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DE19818478A1 - Vorrichtung zum Fixieren von Substraten - Google Patents

Vorrichtung zum Fixieren von Substraten

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Publication number
DE19818478A1
DE19818478A1 DE19818478A DE19818478A DE19818478A1 DE 19818478 A1 DE19818478 A1 DE 19818478A1 DE 19818478 A DE19818478 A DE 19818478A DE 19818478 A DE19818478 A DE 19818478A DE 19818478 A1 DE19818478 A1 DE 19818478A1
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DE
Germany
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spring
axially
expandable
inner hole
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Withdrawn
Application number
DE19818478A
Other languages
English (en)
Inventor
Klaus Weber
Ulrich Speer
Ludwig Denzler
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Steag Hamatech AG
Original Assignee
Steag Hamatech AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Steag Hamatech AG filed Critical Steag Hamatech AG
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Priority to AU36062/99A priority patent/AU3606299A/en
Priority to PCT/EP1999/002500 priority patent/WO1999056306A1/de
Priority to CA002329118A priority patent/CA2329118A1/en
Priority to JP2000546386A priority patent/JP2002513206A/ja
Priority to KR10-2000-7011842A priority patent/KR100371014B1/ko
Priority to TW088105986A priority patent/TW541273B/zh
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Abstract

Eine Vorrichtung zum Fixieren von jeweils ein Innenloch aufweisenden Substraten mit einem in das Innenloch einführbaren Element, weist ein axial bewegbares Innenglied auf, wobei das Außenglied durch eine Relativbewegung der Glieder aufweitbar ist.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Fixieren von jeweils ein Innenloch aufweisenden Substraten mit einem in das Innenloch einfügbaren Element.
Eine solche Vorrichtung ist beispielsweise an unter­ schiedlichen Stationen bei einer Vorrichtung zum Verkle­ ben von Substraten einsetzbar, wie sie zum Beispiel in der auf dieselbe Anmelderin zurückgehenden, nicht vorver­ öffentlichten DE-A-197 18 471 beschrieben ist. Insbeson­ dere ist die erfindungsgemäße Vorrichtung zu einem Ein­ satz bei einer Vorrichtung zum Trocknen von Substraten, wie sie in der auf dieselbe Anmelderin zurückgehenden, nicht vorveröffentlichten DE 197 21 689 beschrieben ist, geeignet. Zur Vermeidung von Wiederholungen, wird der In­ halt der oben genannten Anmeldungen zum Inhalt dieser An­ meldung gemacht. Bei den obigen Vorrichtungen werden Sub­ strate zu bestimmten Behandlungsschritten jeweils auf ei­ ner Auflage abgelegt, um beispielsweise ein Verkleben von zwei Substraten oder eine Trocknung von Substraten durch­ zuführen. Dabei sehen die Auflageflächen keine Fixierung der zu behandelnden Substrate vor, so daß ein Verrutschen der Substrate, insbesondere ein Verrutschen von zwei mit­ einander zu verklebenden Substraten auftreten kann. Dies beeinflußt wiederum den Behandlungsvorgang, was zu Quali­ tätsverlusten bei den behandelten Substraten führen kann.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Vor­ richtung zum Fixieren von jeweils ein Innenloch aufwei­ senden Substraten der eingangs genannten Art zu schaffen, die mit einfachen technischen Mitteln und bei einfacher Handhabung der Vorrichtung eine gute Fixierung der Sub­ strate ermöglicht, um geringere Ausschußraten und eine bessere Qualität der gefertigten Substrate zu ermögli­ chen.
Die gestellte Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch ge­ löst, daß das in das Innenloch einführbare Element ein axial bewegbares Außenglied und ein axial bewegbares In­ nenglied aufweist, wobei das Außenglied durch eine Rela­ tivbewegung der Glieder aufweitbar ist. Durch die Aufwei­ tung des Außengliedes in dem Innenloch eines Substrates wird das Substrat zum einen fixiert und bezüglich des Au­ ßengliedes zentriert. Insbesondere miteinander verklebten noch zu trocknenden Substraten ergibt sich dabei auch ei­ ne gute Zentrierung der beiden Substrate zueinander. Da­ durch, daß nicht nur das Innenglied, sondern auch das Au­ ßenglied axial bewegbar ist, ergibt sich eine einfache Möglichkeit, diese in ein Innenloch eines Substrats ein­ zuführen und herauszubewegen.
Vorteilhafterweise ist das Außen- und/oder Innenglied zy­ lindrisch, um eine einfache Ausgestaltung zu erreichen und sicher mit dem Innenloch des Substrats bzw. der Sub­ strate in Eingriff zu kommen.
Um auf einfache Weise die Aufweitbarkeit des Außenglieds vorzusehen, sind Schlitze in einem Endbereich des Au­ ßenglieds vorgesehen. Vorteilhafterweise ist das Au­ ßenglied elastisch aufweitbar, d. h., daß es nach der Aufweitung elastisch in den nicht aufgeweiteten Zustand zurückkehrt und somit den Eingriff mit dem oder den Sub­ straten löst.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung weist das Au­ ßenglied im Bereich der Schlitze einen sich verjüngenden Innendurchmesser auf, über den bei einer Relativbewegung der Glieder die Aufweitbarkeit erreicht wird.
Vorteilhafterweise ist das Außenglied durch eine Vorspan­ neinrichtung axial vorspannbar, damit es in eine bestimm­ te Axialposition vorgespannt ist, in der sich das Außen­ glied in einem Innenloch eines Substrates befindet.
Als besonders geeignete Vorspanneinrichtung ist eine Fe­ der vorgesehen.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform weist das In­ nenglied eine Schräge am Außenumfang auf, die vorteilhaf­ terweise komplementär zu dem sich verjüngenden Innen­ durchmesser des Außengliedes ist, um möglichst wider­ standsfrei bei einer Relativbewegung der Glieder das Au­ ßenglied aufzuweiten.
Das Innenglied ist vorteilhafterweise durch eine Vorspan­ neinrichtung in eine das Außenglied aufweitende Position axial vorspannbar, um das Innenglied auf einfache Weise in eine Position zu bringen, in der das Innenglied das Außenglied aufweitet. Hierbei ist die Vorspanneinrichtung vorteilhafterweise eine Feder.
Um zu gewährleisten, daß bei einem auf die Vorrichtung von außen ausgeübten Druck vor einer Bewegung des Au­ ßenglieds zunächst dessen Aufweitung beendet wird, weist die Vorspanneinrichtung für das Innenglied eine kleinere Federkonstante auf, als die Vorspanneinrichtung für das Außenglied.
Vorzugsweise weist das Außenglied eine Abstützfläche für die Vorspanneinrichtung der Außen- und Innenglieder auf.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung sind die Außen- und Innenglieder durch eine gemeinsame Vor­ spanneinrichtung; die vorteilhafterweise eine Feder ist axial vorspannbar. Durch Verwendung einer gemeinsamen Vorspanneinrichtung kann die Anzahl der die Vorrichtung bildenden Teile verringert werden.
Um die Relativbewegung der Glieder zueinander zu be­ schränken und um ein Auseinanderkommen der Glieder zu vermeiden, weist das Außenglied in einem nicht aufweitba­ ren Endbereich eine Schulter im Innenumfang auf.
Vorteilhafterweise weist das Innenglied einen aus dem Außenglied herauserstreckbaren Vorsprung auf, um auf einfa­ che Weise durch Druck auf den Vorsprung eine Relativbewe­ gung zwischen den Gliedern zu ermöglichen.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Er­ findung weist die Vorrichtung ein die bewegbaren Außen- und Innenglieder aufnehmendes Gehäuse auf, um eine in sich geschlossene Vorrichtung zu bilden.
Um dem oder den fixierten Substrat(en) einen besseren Halt zu geben weist das Gehäuse vorteilhafterweise eine Substratauflagefläche auf.
Vorteilhafterweise weist das Gehäuse an einem Ende eine Bodenwand auf, um eine Gegenfläche für die das Außen- und/oder Innenglied vorspannende Vorspanneinrichtung zu bilden.
Die Erfindung wird nachstehend anhand bevorzugter Ausfüh­ rungsbeispiele unter Bezugnahme auf die Figuren erläu­ tert. Es zeigen:
Fig. 1 eine schematische Darstellung einer erfindungs­ gemäßen Fixiervorrichtung in einem aufgeweite­ ten Zustand, wie sie in einer Trocknungsvor­ richtung verwendet wird;
Fig. 2 die erfindungsgemäße Fixiervorrichtung gemäß Fig. 1 in einem nicht aufgeweiteten Zustand, wobei zur Vereinfachung Teile der Trocknungs­ vorrichtung weggelassen wurden;
Fig. 3 eine schematische Darstellung der erfindungsge­ mäßen Fixiervorrichtung gemäß Fig. 1 in einer nicht aufgeweiteten und zurückgezogenen Positi­ on, wobei wiederum Teile der Trocknungsvorrich­ tung weggelassen wurden.
Fig. 4a und b eine schematische Draufsicht auf die er­ findungsgemäße Vorrichtung bzw. eine schemati­ sche Schnittansicht eines Gehäuses und eines Außengliedes der erfindungsgemäßen Fixiervor­ richtung;
Fig. 5 eine vergrößerte schematische Darstellung eines weiteren Ausführungsbeispiels der erfindungsge­ mäßen Fixiervorrichtung.
Fig. 1 zeigt eine schematische Darstellung einer erfin­ dungsgemäßen Fixiervorrichtung 1, wie sie in einer - zu­ mindest teilweise dargestellten - Trocknungsvorrichtung für Halbleitersubstrate 2 verwendet wird. Die in Fig. 1 dargestellte Trocknungsvorrichtung 2 kann von der Bauart sein, die in der nicht vorveröffentlichten, auf dieselbe Anmelderin zurückgehenden DE 197 721 689 beschrieben ist. Zur Vermeidung von Wiederholungen wird der Inhalt dieser Anmeldung zum Gegenstand der vorliegenden Anmeldung ge­ macht.
Die Trocknungsvorrichtung weist ein Unterteil 4 und ein nicht dargestelltes Oberteil auf. Das Unterteil 4 weist einen Auflageteller 5 mit einer Auflageglasplatte 6 auf, auf der eine Substratscheibe 8 liegt. Der Auflageteller 5 ist durch Rollen 9 und 10 drehbar und gleichzeitig in seiner Lage geführt. Obwohl in Fig. 1 nur zwei Rollen 9, 10 dargestellt sind, weist die Trocknungsvorrichtung in der Regel drei jeweils um 120° zueinander winkelmäßig versetzt angeordnete Rollen auf.
Das Unterteil 4 weist ferner ein mittleres Führungsele­ ment 12 zur Aufnahme der erfindungsgemäßen Fixiervorrich­ tung 1 auf.
Die Fixiervorrichtung 1 weist, wie am besten in Fig. 2 zu sehen ist, ein stationäres, in dem Führungselement 12 aufgenommenes Gehäuse 15 auf. Das Gehäuse 15 besitzt eine hohlzylindrische Form mit einem Ringflansch 16 an einem oberen Ende des Gehäuses. Der Ringflansch 16 steht über den Außenumfang des zylindrischen Gehäuses 15 vor und bildet auf der Oberseite eine Substratauflagefläche 17.
Innerhalb des zylindrischen Gehäuses 15 befindet sich konzentrisch ein beweglich aufgenommenes Außenglied 20 mit einem oberen, aufweitbaren Endteil 21 und einem nicht aufweitbaren Teil 22. Das Außenglied 20 ist wiederum hohlzylindrisch mit einem Innenumfang 24, der sich in dem Bereich des aufweitbaren Teils 21 nach oben verjüngt. Im Bereich des aufweitbaren Endteils 21 sind drei Schlitze 23 vorgesehen, wie am besten in Fig. 4 zu sehen ist.
Der nicht aufweitbare Teil 22 des Außengliedes ist an seinem unteren Ende mittels eines einschraubbares Stop­ fens 25 verschlossen.
Das Außenglied 20 ist mittels einer Feder 27, die sich einerseits an dem Stopfen 25 und andererseits an dem Füh­ rungselement 12 abstützt nach oben vorgespannt. Das Füh­ rungselement 12 weist einen zentrierten Führungsvorsprung 28 auf, der sich in die Feder 27 erstreckt, welche als Kompressionsfeder ausgebildet ist. Hierdurch wird ein seitliches Verrutschen und Verkanten der Feder 27 verhin­ dert.
In dem Außenglied 20 ist ein relativ zu dem Außenglied verschiebbares Innenglied 30 konzentrisch aufgenommen. Das Innenglied 30 weist einen hohlzylindrischen Endteil 32, einen sich konisch verjüngenden Mittelteil 30 und ei­ nen einen Vorsprung bildenden Endteil 34 auf.
Der hohlzylindrische Endteil 32 weist einen Aufnahmehohl­ raum 36 auf, in dem eine Feder 37 aufgenommen ist. Die Feder 37, die als Kompressionsfeder ausgebildet ist, stützt sich mit ihrem einen Ende an dem Stopfen 25 ab und mit ihrem anderen Ende an einer Wand des Innengliedes, um dieses nach oben vorzuspannen.
Der sich konisch verjüngende Mittelteil 33 besitzt eine schräge Außenumfangsfläche 39, welche komplementär zu der sich konisch verjüngenden Innenumfangsfläche des aufweit­ baren Endteils 21 des Außengliedes 20 ist.
Der zylindrische Endteil 34 bildet einen Vorsprung, der sich durch den aufweitbaren Endteil 21 hindurcherstrecken kann, wie in Fig. 1 dargestellt ist.
In den Fig. 1 bis 3 ist oberhalb der erfindungsgemäßen Fixiervorrichtung 1 ein sogenannter Innenlochgreifer 40 dargestellt.
Dieser Innenlochgreifer 40 ist durch einen nicht näher dargestellten Mechanismus axial bewegbar. Ferner besitzt der Innenlochgreifer 40 einen kugelkopfförmigen Endteil 41, der in ein Innenloch eines Substrates 8 einführbar ist, und innerhalb des Innenlochs aufgeweitet werden kann, um das Substrat 8 zu ergreifen und ggf. zu trans­ portieren. Innenlochgreifer dieser Art sind in der Tech­ nik bekannt, und der Innenlochgreifer wird daher hier nicht weiter beschrieben.
Die Funktionsweise der erfindungsgemäßen Fixiervorrich­ tung 1 wird nun anhand der Fig. 1 bis 3 erläutert. Wie in Fig. 1 zu sehen ist, ist das Außenglied über die Fe­ der 27 innerhalb des stationären Gehäuses 15 nach oben vorgespannt. Dabei erstreckt sich das Außenglied 20 durch ein Innenloch eines Substrats 8 hindurch. Ferner ist das Innenglied 30 durch die Feder 37 innerhalb des Außenglie­ des 20 nach oben vorgespannt. Dabei kommt die Schräge 39 mit dem sich verjüngenden Innenumfang 24 des aufweitbaren Endteils 21 in Kontakt und weitet den aufweitbaren End­ teil 21 auf. Der aufweitbare Endteil 21 kommt dadurch mit seinem Außenumfang fest mit dem Innenloch des Wafers 8 in Eingriff. Hierdurch wird der Wafer bezüglich der Fixier­ vorrichtung 1 zentriert und fixiert. In der in Fig. 1 dargestellten Position erstreckt sich der zylindrische Endteil 34 axial aus dem ausweitbaren Endteil 21 des Au­ ßengliedes 20 heraus.
Um die Fixierung des Wafers 8 zu lösen, wird der kugel­ förmige Kopf 41 des Innenlochgreifers mit einer Oberseite des zylindrischen Endteils 34 des Innengliedes 30 in Kon­ takt gebracht, wie in Fig. 1 zu sehen ist. Dann wird das Innenglied 21 durch den Innenlochgreifer 40 in dem Au­ ßenglied nach unten gedrückt, und zwar entgegen der Vor­ spannung der Feder 37. Aufgrund der Tatsache, daß die Fe­ derkonstante der Feder 37 kleiner ist als die Federkon­ stante der Feder 27, welche das Außenglied nach oben vor­ spannt, bleibt das Außenglied 20 zunächst in seiner Posi­ tion. Wenn sich das Innenglied 30 in der in Fig. 2 dar­ gestellten Position befindet, steht die Schräge 39 nicht mehr in Kontakt mit dem sich verjüngenden Teil des Innen­ umfangs 24 Außengliedes, und der aufweitbare Endteil 21 kehrt elastisch in seine nicht ausgeweitete Position zu­ rück. Dadurch wird der Kontakt mit dem Innenloch des Wa­ fers 8 gelöst, der somit nicht mehr fixiert ist.
Nach dem Lösen der Fixierung wird nun der Innenlochgrei­ fer 40 noch weiter nach unten bewegt, wodurch nun auch das Außenglied 20 entgegen der Federkraft der Feder 27 nach unten aus dem Innenloch des Wafers 8 herausgedrückt wird. Diese Position ist in Fig. 3 dargestellt. In die­ ser Position kann der kugelförmige Kopf 41 des Innenloch­ greifers 40 aufgeweitet werden, um mit dem Innenloch in Eingriff zu kommen und den Wafer 8 zu ergreifen. Wenn der Innenlochgreifer nun nach oben bewegt wird, nimmt er den Wafer 8 mit. Dabei kehren das Außenglied 20 und das In­ nenglied 30 in umgekehrter Weise in die in Fig. 1 ge­ zeigte Position zurück, wobei sich diesmal das Außenglied nicht durch ein Innenloch des Wafers 8 erstreckt.
Das Fixieren eines Wafers mit der Fixiervorrichtung 1 er­ folgt in umgekehrter Reihenfolge.
Fig. 5 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfin­ dungsgemäßen Fixiervorrichtung. Die erfindungsgemäße Fi­ xiervorrichtung gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel weist ein hohlzylindrisches Gehäuse 45 auf. Ein Endteil des Hohlzylinders weist eine sich radial erstreckende Wand 46 auf, welche den Hohlzylinder abschließt. Die Wand 46 weist einen zentrierten Mittelvorsprung 47 auf.
In dem Gehäuse 45 ist ein axial innerhalb des Gehäuses verschiebbares Außenglied 49 mit einem aufweitbaren End­ teil 51 und einem nicht aufweitbarem Teil 52. Das Au­ ßenglied 49 ist hohlzylindrisch und weist einen Innenum­ fang 54 auf, der sich im oberen Bereich verjüngt und eine Schräge 55 bildet. Im Bereich des nicht aufweitbaren Be­ reichs 52 befindet sich am Innenumfang 54 ein ringförmiges Glied 56, welches in geeigneter Weise, zum Beispiel durch eine Schraubverbindung, mit dem Innenumfang 54 verbunden ist.
Innerhalb des Außenglieds 49 ist konzentrisch ein In­ nenglied 58 angeordnet, das im wesentlichen dem In­ nenglied 30 gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel gleicht. Das Innenglied weist wiederum einen im wesentlichen hohlzylindrischen Endteil 60, einen sich konisch verjün­ genden Mittelteil 61 sowie einen zylindrischen Endteil 62 auf. Der hohlzylindrische Teil 60 definiert einen Aufnah­ mehohlraum 64 für eine Feder 65, welche das Innenglied 58 axial nach oben vorspannt. Die Feder 65 erstreckt sich in den Aufnahmehohlraum 64, stützt sich an einer Wand des­ selben ab und erstreckt sich von dort durch das Ringele­ ment 56 zu der sich radial erstreckenden Endwand 46 des Gehäuses 45. Der Führungsvorsprung 47 der Endwand 46 er­ streckt sich in die als Kompressionsfeder ausgebildete Feder 65 und führt diese.
Der sich radial verjüngende Mittelteil 61 weist wiederum eine Schräge 68 auf, die komplementär zu der Schräge 55 ist und in der in Fig. 5 gezeigten Position mit dieser in Eingriff kommt, um den aufweitbaren Endteil 51 des Au­ ßenglieds 49 aufzuweiten. Der zylindrische Teil 62 er­ streckt sich axial nach außen aus dem Außenglied 49.
Die Funktionsweise der Fixiervorrichtung gemäß dem zwei­ ten Ausführungsbeispiel ist im wesentlichen dieselbe wie die Funktionsweise der Vorrichtung gemäß dem ersten Aus­ führungsbeispiel.
Der wesentliche Unterschied liegt darin, daß nur eine Fe­ der 65 vorgesehen ist, die dazu dient, sowohl das In­ nenglied 58 als auch das Außenglied 49 axial nach oben vorzuspannen. Dies geschieht dadurch, daß die Feder zu­ nächst das Innenglied 58 axial nach oben vorspannt und über das Innenglied 58 indirekt das Außenglied 49 axial nach oben vorspannt. Wenn mittels eines Innenlochgreifers von oben auf das Innenglied 58 gedrückt wird, bewegt sich dieses nach unten bezüglich des Außengliedes 49, und zwar entgegen der Federvorspannung der Feder 65. Dadurch wird in gleicher Weise wie bei dem ersten Ausführungsbeispiel die Aufweitung des aufweitbaren Teils 51 des Außengliedes gelöst. Bei einer weiter, nach unten gerichteten Bewegung des Innenlochgreifers kommt das Innenglied 58 mit dem Ringelement 56 in Eingriff. Bei einer weiteren, nach un­ ten gerichteten Bewegung des Innenlochgreifers wird nun auch das Außenglied nach unten gedrückt.
Die erfindungsgemäße Fixiervorrichtung wurde anhand spe­ zifischer Ausführungsbeispiele, insbesondere in Verbin­ dung mit einer Trocknungsvorrichtung 2 für Halbleitersub­ strate beschrieben. Dem Fachmann sind jedoch Ausgestal­ tungen und Abwandlungen möglich, ohne daß dadurch der Er­ findungsgedanke verlassen wird. Beispielsweise ist die Fixiervorrichtung auch bei anderen Vorrichtungen einsetz­ bar, bei denen ein Substrat mit einem Innenloch fixiert werden muß.

Claims (20)

1. Vorrichtung (1) zum Fixieren von jeweils ein Innen­ loch aufweisenden Substraten (8) mit einem in das In­ nenloch einführbaren Element, dadurch gekennzeich­ net, daß das Element ein axial bewegbares Außenglied (20; 49) und ein axial bewegbares Innenglied (30; 58) aufweist, wobei das Außenglied (20; 49) durch eine Relativbewegung der Glieder (20, 30; 49, 58) aufweitbar ist.
2. Vorrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das Außen- und/oder Innenglied (20, 30; 49, 58) zylindrisch ist.
3. Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Außenglied (20; 49) Schlitze (23) in einem Endbereich (21) auf­ weist.
4. Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Außenglied (20; 49) elastisch aufweitbar ist.
5. Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Außenglied (20; 49) im Bereich der Schlitze (23) einen sich verjüngenden Innendurchmesser (24; 55) aufweist.
6. Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Außenglied (20; 49) durch eine Vorspanneinrichtung (27; 65) axial vorspannbar ist.
7. Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorspan­ neinrichtung (27; 65) eine Feder (27; 65) ist.
8. Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Innenglied (30; 58) eine Schräge (39; 68) am Außenumfang auf­ weist.
9. Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Schräge (39; 68) am Außenumfang des Innengliedes (30; 58) komplementär zu dem sich verjüngenden Innendurchmes­ ser (24; 55) des Außengliedes (20; 49) ist.
10. Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Innenglied (20; 49) durch eine Vorspanneinrichtung in eine das Außenglied (30; 58) aufweitende Position axial vor­ spannbar ist.
11. Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorspannein­ richtung (37; 65) eine Feder (37; 65) ist.
12. Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorspannein­ richtung (37) für das Innenglied (30) eine kleinere Federkonstante aufweist wie die Vorspanneinrichtung (27) für das Außenglied (20).
13. Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Außenglied (20; 49) ein Abstützelement (25) der Vorspannein­ richtung für die Außen- und Innenglieder (20, 30) aufweist.
14. Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Außen- und Innenglieder (49, 58) durch eine gemeinsame Vorspan­ neinrichtung (65) axial vorspannbar sind.
15. Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Außenglied (49) in einem nicht-aufweitbaren Bereich ein am In­ nenumfang angebrachtes Ringelement (56) aufweist.
16. Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Innenglied (30; 58) einen aus dem Außenglied (20; 49) herauser­ streckbaren Vorsprung (34; 62) aufweist.
17. Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, gekennzeichnet durch ein die bewegbaren Außen- und Innenglieder (20, 30; 49, 58) aufnehmendes Gehäuse (15; 45).
18. Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (15) eine Substratauflagefläche (17) aufweist.
19. Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (45) eine Bodenwand (46) aufweist.
20. Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Bodenwand (46) einen Führungsvorsprung (37) aufweist.
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