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DE19747510A1 - Meßsystem und Verfahren zur Auswertung von Sensorsignalen - Google Patents

Meßsystem und Verfahren zur Auswertung von Sensorsignalen

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DE19747510A1
DE19747510A1 DE1997147510 DE19747510A DE19747510A1 DE 19747510 A1 DE19747510 A1 DE 19747510A1 DE 1997147510 DE1997147510 DE 1997147510 DE 19747510 A DE19747510 A DE 19747510A DE 19747510 A1 DE19747510 A1 DE 19747510A1
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Germany
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coefficients
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sensor
neural network
mathematical function
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DE1997147510
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Nowzar Emami
Peter Dr Kaul
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Sci Worx GmbH
Original Assignee
Sican F & E Sibet GmbH
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Publication date
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Description

Die Erfindung betrifft ein Meßsystem und ein Verfahren zur Auswertung von Sensorsignalen. Ein Anwendungsgebiet ist zum Beispiel die Abluftreinigung, wobei Ozon zur Oxidation von flüchtigen Lösungsmitteln genutzt wird. Hierfür werden Konzentrationen von Ozon- und Kohlenwasserstoff in Luft bestimmt, wobei die Gaskomponenten in einer Mischatmosphäre vorliegen.
Sensoren können auch in vielen anderen Bereichen zum Nachweis von physikalischen, chemischen und sonstigen Meßgrößen verwendet werden. Je nach Sensortyp und Meßverfahren werden die zu messenden Komponenten selektiv oder summarisch nachgewiesen. Der klassische Nachweis von Gasen mit spektrometrischen Methoden stellt z. B. eine selektive Gasmessung dar. Wegen ihres komplexen Aufbaus sind diese Meßmethoden kostenintensiv und für viele Anwendungen, wie z. B. in der Umwelttechnik, ungeeignet. Eine Alternative stellt die Halbleitergassensorik dar. Die Halbleitergassensoren sind kostengünstig und robust. Sie weisen aber nur eine geringe Selektivität auf und unterliegen teilweise sehr starken Drifterscheinungen.
In W. Göpel, Chemische Sensorik und heterogene Katalyse, AMA-Seminar; September 1987 ist die Auswertung von Sensorsignalen beschrieben, bei denen die Meßgröße G des Sensors als eindeutige Funktion der Konzentration der Partialdrücke Pi und der Temperatur erfaßt werden soll:
Bei hochselektiven Sensoren überwiegt der Wert einer partiellen Ableitung den Wert aller anderen, so daß die Änderung der Meßgröße G eindeutig einer physikalischen Größe zugeordnet werden kann. Falls eine hohe Selektivität nicht gegeben ist, der obige Funktionszusammenhang aber gilt und unterschiedliche Sensoren mit unterschiedlichen Ableitungen bzgl. verschiedener Komponenten "i" existieren, dann kann mit Hilfe von Verfahren der Mustererkennung auch eine Mehrkomponentenanalyse der Sensorarrays vorgenommen werden.
Ein entsprechendes Verfahren ist auch in der DE-PS 42 27 727 beschrieben. Hierbei erfolgt die Auswertung sowohl mit Mustererkennungsverfahren als auch mit Hilfe einer Fuzzy Logic zur Trenderkennung und -korrektur. Diese Verfahren sind relativ aufwendig und versagen dann, wenn kein analytischer Zusammenhang zwischen einer Konzentration und der Sensorantwort erkennbar ist.
In der DE-OS 44 33 772 ist eine Sensoranordnung und ein Verfahren zur Meßwerterfassung mit der Sensoranordnung beschrieben. Die Sensoranordnung hat eine Auswerteeinheit zum Auswerten der Meßsignale mit einem neuronalen Netzwerk. Das neuronale Netzwerk weist in bekannter Weise eine Eingangsschicht, mindestens eine verdeckte Schicht, eine Ausgangsschicht und Verknüpfungsgewichte für die einzelnen Schichten auf. Die Verknüpfungsgewichte werden in einer Lernphase durch Messungen an mehreren verschiedenen geeigneten Lernobjekten mit bekanntem Ist-Wert bestimmt und abgespeichert.
Aufgabe
Ausgehend von diesem Stand der Technik war es Aufgabe der Erfindung, ein Meßsystem mit mindestens einem Sensorelement und einer Auswerteeinheit für die Meßdaten des Sensorelements sowie ein Verfahren zur Auswertung von Sensormeßdaten mit einem neuronalen Netzwerk anzugeben, so daß einzelne Meßgrößen mit einer hohen Genauigkeit und zuverlässig bestimmt werden und der Rechen- und Schaltungsaufwand gering ist.
Erfindung
Die Aufgabe wird durch das Meßsystem nach Anspruch 1 und das Verfahren nach Anspruch 6 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind in den Unteransprüchen beschrieben.
Die Auswerteeinheit hat ein erstes Rechenwerk zur Berechnung einer mathematischen Funktion, die bestmöglich an die Meßdaten angepaßt ist, und ein zweites Rechenwerk zur Berechnung eines neuronalen Netzwerks. Als Eingangsdaten für das neuronale Netzwerk werden Koeffizienten der mathematischen Funktion verwendet. Wenn mehrere Sensorelemente vorhanden sind, wird für die Meßdaten jedes Sensorelements jeweils eine bestangepaßte mathematische Funktion ermittelt und jeweils die Koeffizienten der mathematische Funktion in das neuronale Netzwerk geleitet.
Die mathematische Funktion sollte ein Polynom beinhalten bzw. ein Polynom sein.
Es ist dann vorteilhaft, wenn entweder nur die Koeffizienten höherer Ordnung oder nur die Koeffizienten niedriger Ordnung als Eingangsdaten für das Netzwerk verwendet werden.
Verschiedenen physikalische und/oder chemische Prozesse, die gleichzeitig vorhanden sind und deren Einzelsignale sich in der Sensorantwort überlagern, lassen sich sehr gut durch Polynome höherer Ordnung ausdrücken, die mit einem relativ geringen Fehler an die Meßkurven angepaßt werden können. Bei Polynomen fünfter Ordnung mit der Formel:
R(t) = a0 + a1 t + a2 t2 + a3 t3 + a4 t4 + a5 t5
können die Koeffizienten niedriger Ordnung, z. B. a0 und a1, langsamen Effekten und die Koeffizienten höherer Ordnung, z. B. a4 und a5, schnellen Effekten zugeordnet werden.
Bei der Messung von Gaskonzentrationen mit mindestens zwei Sensorelementen ist es vorteilhaft, wenn die Sensorelemente mit jeweils voneinander verschiedenen Temperaturen betrieben werden.
Zeichnungen
Die Erfindung wird nachfolgend anhand der beigefügten Zeichnungen erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 Signalfluß des Meßsystems mit einem Sensorarray und einer Auswerteeinheit für die Meßdaten des Sensorarrays;
Fig. 2 Ausgangsfehler des neuronalen Netzes bei verschiedenen Kombinationen der Eingangsparameter;
Fig. 3 Koeffizienten eines angepaßten Polynoms fünfter Ordnung in Abhängigkeit von der Anzahl an Gaspulsen.
Ausführungsbeispiel
Die Erfindung wird am Beispiel der getrennten Bestimmung von Konzentrationen aus einer Mischung aus Kohlenwasserstoffen, Ozon und Luft mit einem Zweisensorsystem beschrieben. Dieses System besteht aus zwei halbleitenden Halbleitergassensoren gleichen Typs, die mit einer unterschiedlichen Arbeitstemperatur beschrieben werden. Das Meßgas wird pulsförmig den beiden Sensoren für eine gewisse Zeitspanne zugeführt. Das Antwortsignal der Sensoren ist eine Änderung der Oberflächenleitfähigkeit. Je nach Gasspezies, die oxidierend oder reduzierend sein kann, und nach Halbleitertyp wird eine Erhöhung bzw. eine Erniedrigung des Oberflächenwiderstandes gemessen.
Die relative Widerstandsänderung gegenüber den verwendeten Kohlenwasserstoffen ist in einem Temperaturbereich von ca. 400 bis 700°C nahezu konstant. Bei einer Sensortemperatur von ca. 600°C ist die Empfindlichkeit gegenüber Ozon sehr klein. Dagegen steigt die Empfindlichkeit gegenüber Ozon, wenn der Sensor bei nur 300°C betrieben wird. Zwei Sensoren mit unterschiedlichen Temperaturen weisen demnach unterschiedliche Empfindlichkeiten gegenüber Ozon aber nicht gegenüber Kohlenwasserstoffen auf.
Das gleichzeitige Vorhandensein von oxidierenden Gasen (z. B. Ozon) und reduzierenden Gasen (z. B. Kohlenwasserstoffen) macht sich im Kurvenverlauf bemerkbar. Die relative Änderung des zeitlichen Signalverlaufs zeigt sowohl bei Begasungen mit Ozon als auch mit einem Gemisch aus Ozon und Kohlenwasserstoffen einen gleich großen Signalhub mit unterschiedlichem Vorzeichen. Es ist jedoch auch das Aussehen der beiden Kurvenverläufe unterschiedlich. Ein Grund dafür ist das unterschiedliche Adsorptionsverhalten, d. h. unterschiedliche Zeitkonstanten bei Diffusion und Chemisorbtion, der verschiedenen Gaskomponenten.
Diese verschiedenen Prozesse können durch mathematische Fitfunktionen ausgedrückt werden. Im einfachsten Fall sind dies Polynome höherer Ordnung, die ein Anfitten der Kurven mit einem nur kleinen Fehler ermöglichen. Bei einem Polynomfit z. B. fünfter Ordnung
R(t) = a0 + a1 t + a2 t2 + a3 t3 + a4 t4 + a5 t5
können die Koeffizienten niedriger Ordnung (a0, a1) langsamen Effekten, z. B. Diffusion, zugeordnet werden. Die Terme höhere Ordnung (a4 und a5) repräsentieren dagegen schnelle Effekte, wie z. B. die Chemisorption, die gegenüber der Diffusion meist schneller abläuft.
Ein weiterer unerwünschter Effekt bei Halbleitergassensoren ist der sogenannte Memory-Effekt, der u. a. von der Gashistorie des Sensors abhängt. Das bedeutet, daß die Signalverläufe bei gleichartigen Begasungen unterschiedlich ausfallen können, wenn der Sensor vor der Begasung mit verschiedenen Konzentrationen der Gase beaufschlagt wurde. Dieses Verhalten spiegelt sich in den Koeffizienten der Polynome ebenfalls wieder.
Der gesamte Signalfluß des Meßsystems mit einem Sensorarray und einer Auswerteeinheit für die Meßdaten des Sensorarrays Signalfluß des Meßsystems mit einem Sensorarray und einer Auswerteeinheit für die Meßdaten des Sensorarrays ist in der Fig. 1 skizziert. Ein Testgas wird auf ein Sensorarray geleitet, wobei jeder Sensor mit einer bestimmten Temperatur betrieben wird. Das Sensorarray liefert Sensorsignale als Widerstandswerte. Die resultierenden Meßdaten werden jeweils einer nichtlinearen Regression, d. h. einer Kurvenanpassung, unterzogen. Hierbei wird in bekannter Weise der Fehler zwischen einem Polynom und der Meßkurve minimiert.
Der charakteristische Kurvenverlauf von verschiedenen Kohlenwasserstoff-/Ozon-Gemischen spiegelt sich in den Koeffizienten der verschiedenen Polynome wieder. Mit den höheren Koeffizienten verschiedener Polynome, die einen geringen Memory-Effekt aufweisen, als Eingangsgrößen eines Neuronalen Netzes läßt sich ein System aufbauen, welches unter Verwendung von zwei Halbleitergassensoren eine Messung der Konzentrationen von Ozon und Kohlenwasserstoffen ermöglicht.
Ausgewählte Koeffizienten der resultierenden Polynome, vorzugsweise die Koeffizienten höherer Ordnung, werden als Koeffiziententabelle in ein neuronales Netzwerk ANN, z. B. Back-Propagation-Netz, geleitet. Die Ausgangsknoten geben die Konzentration von Ozon Cozone und Kohlenwasserstoff CHC an.
In der Fig. 2 ist der Fehler eines neuronalen Netzes mit verschiedenen Parameterkombinationen als Eingangsgrößen des Netzes dargestellt. Die gestrichelte Kurve stellt den Ausgangsfehler bei allen vier Eingangskoeffizienten eines Polynoms dritter Ordnung dar. Dann ist der Einfluß des Memory-Effektes relativ groß. Die besten Resultate werden erzielt, wenn als Eingangsgrößen die jeweils höchsten Terme von drei Polynomen verwendet werden, wobei die Polynome dritter, vierter und fünfter Ordnung sind. Hierfür werden sechs Eingangskoeffizienten verwendet, die jeweils die beiden obersten Koeffizienten der drei Polynome, d. h. des Polynoms dritter, vierter und fünfter Ordnung, sind. Dann ist der Einfluß des Memory-Effektes geringer. Nach 5000 Lernschritten beträgt der maximale Netzfehler bezüglich der Testdaten in dem Beispiel etwa 5%.
In der Fig. 3 sind die Koeffizienten des Polynomfits fünfter Ordnung dargestellt. Von Meßpunkt zu Meßpunkt wurde die Konzentration des Gasgemisches aus Kohlenwasserstoffen und Ozon kontinuierlich verändert. So zeigen die ersten 10 Begasungen eine Konzentration von 27 ppb Ozon und 18-180 ppm Kohlenwasserstoffen in 10 identischen Schritten. Bei den weiteren 10 Begasungen wurden Konzentrationen von 54 ppb Ozon und wiederum 18-180 ppm Kohlenwasserstoffen eingestellt. Die weiteren 10 Begasungen zeigen eine erneute Erhöhung der Ozonkonzentration um 27 ppb und eine entsprechende stufenweise Erhöhung der Kohlenwasserstoffkonzentration.
Zwischen diesen regulären Punkten wurden Zufallspunkte eingefügt, deren Konzentration gegenüber dem regulären Punkt erhöht war. Bei den nächsten regulären Punkten zeigt sich daraufhin eine Abweichung von erwarteten Verhalten, das durch den Memory-Effekt erklärbar ist. Diese Abweichung ist besonders bei den Koeffizienten niedriger Ordnung zu beobachten. Zuvor adsorbierte Gasmoleküle sind noch nicht wieder desorbiert. Daher ist der Signalverlauf durch die vorhergehende Begasung verfälscht. Da die Desorption im Vergleich zur Chemisorption ein langsamer Vorgang ist, macht sich der Memory-Effekt im wesentlichen in den Termen niedriger Ordnung bemerkbar. Dies läßt sich ausnutzen, um Fehler bei der Konzentrationsbestimmung zu minimieren.
Als Eingangsparameter für das neuronale Netz sind bei der vorliegenden Anwendung die gedächtnisfreien bzw. gedächtnisschwachen Polynomkoeffizienten am besten geeignet. Mit diesen kann das Netz schneller trainiert werden und die maximalen Fehler am Netzausgang sind wesentlich kleiner. In dem Beispiel wurden zwei Netzausgänge für die O3- und Kohlenwasserstoffkonzentration gewählt und eine verdeckte Schicht erstellt, die aus drei Neuronen besteht. Die Verwendung eines Polynominalfits und der Einsatz von neuronalen Netzen eignen sich damit gut zur Messung des O3-Gehaltes in kohlenwasserstoffhaltiger Mischatmosphäre, wenn zwei identische SnO2-Sensoren bei verschiedenen Arbeitstemperaturen eingesetzt werden.

Claims (14)

1. Meßsystem mit einem Sensorelement und einer Auswerteeinheit für die Meßdaten des Sensorelements, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerteeinheit ein erstes Rechenwerk zur Berechnung einer mathematischen Funktion, die bestmöglich an die Meßdaten angepaßt ist, und ein zweites Rechenwerk zur Berechnung eines neuronalen Netzwerks hat, wobei Koeffizienten der mathematischen Funktion als Eingangsdaten für das neuronale Netzwerk verwendet werden.
2. Meßsystem nach Anspruch 1, wobei mindestens zwei Sensorelemente vorgesehen sind, dadurch gekennzeichnet, daß jeweils eine mathematische Funktion an die Meßdaten jeweils eines Sensorelements angepaßt ist und Koeffizienten der mathematischen Funktionen als Eingangsdaten für das neuronale Netzwerk verwendet werden.
3. Meßsystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die mathematische Funktion ein Polynom beinhaltet bzw. ein Polynom ist.
4. Meßsystem nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß entweder nur die Koeffizienten höherer Ordnung oder nur die Koeffizienten niedriger Ordnung als Eingangsdaten für das Netzwerk verwendet werden.
5. Meßsystem nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Polynome jeweils verschiedener Ordnung an die Meßdaten angepaßt werden und Koeffizienten der Polynome als Eingangsdaten für das neuronale Netzwerk verwendet werden.
6. Meßsystem nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die mehreren Polynome dritter, vierter und fünfter Ordnung sind.
7. Meßsystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche zur Messung von Gaskonzentrationen mit mindestens zwei Sensorelementen, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensorelemente mit jeweils voneinander verschiedenen Temperaturen betrieben werden.
8. Verfahren zur Auswertung von Sensormeßdaten mit einem neuronalen Netzwerk, gekennzeichnet durch,
  • - Berechnen einer mathematischen Funktion, die bestmöglich an die Meßdaten angepaßt ist, und
  • - Verwenden von Koeffizienten der mathematischen Funktion als Eingangsdaten für das neuronale Netzwerk.
9. Verfahren nach Anspruch 8, wobei die Sensormeßdaten mindestens von zwei Sensorelementen stammen, gekennzeichnet durch
  • - Anpassen jeweils einer mathematischen Funktion an die Meßdaten jeweils eines Sensorelements und
  • - Verwenden von Koeffizienten der mathematischen Funktionen als Eingangsdaten für das neuronale Netzwerk.
10. Meßsystem nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß die mathematische Funktion ein Polynom beinhaltet bzw. ein Polynom ist.
11. Verfahren nach Anspruch 10, gekennzeichnet durch Verwenden entweder nur der Koeffizienten höherer Ordnung oder nur der Koeffizienten niedriger Ordnung als Eingangsdaten für das Netzwerk.
12. Verfahren nach Anspruch 10 oder 11, gekennzeichnet durch Anpassen mehrerer Polynome jeweils verschiedener Ordnung an die Meßdaten und Verwenden von Koeffizienten der Polynome als Eingangsdaten für das neuronale Netzwerk.
13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die mehreren Polynome dritter, vierter und fünfter Ordnung sind.
14. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Sensorelemente mit jeweils voneinander verschiedenen Temperaturen betrieben werden.
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