DE19747510A1 - Meßsystem und Verfahren zur Auswertung von Sensorsignalen - Google Patents
Meßsystem und Verfahren zur Auswertung von SensorsignalenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Meßsystem und ein Verfahren zur
Auswertung von Sensorsignalen. Ein Anwendungsgebiet ist zum
Beispiel die Abluftreinigung, wobei Ozon zur Oxidation von
flüchtigen Lösungsmitteln genutzt wird. Hierfür werden
Konzentrationen von Ozon- und Kohlenwasserstoff in Luft
bestimmt, wobei die Gaskomponenten in einer Mischatmosphäre
vorliegen.
Sensoren können auch in vielen anderen Bereichen zum Nachweis
von physikalischen, chemischen und sonstigen Meßgrößen
verwendet werden. Je nach Sensortyp und Meßverfahren werden
die zu messenden Komponenten selektiv oder summarisch
nachgewiesen. Der klassische Nachweis von Gasen mit
spektrometrischen Methoden stellt z. B. eine selektive
Gasmessung dar. Wegen ihres komplexen Aufbaus sind diese
Meßmethoden kostenintensiv und für viele Anwendungen, wie
z. B. in der Umwelttechnik, ungeeignet. Eine Alternative
stellt die Halbleitergassensorik dar. Die
Halbleitergassensoren sind kostengünstig und robust. Sie
weisen aber nur eine geringe Selektivität auf und unterliegen
teilweise sehr starken Drifterscheinungen.
In W. Göpel, Chemische Sensorik und heterogene Katalyse,
AMA-Seminar; September 1987 ist die Auswertung von Sensorsignalen
beschrieben, bei denen die Meßgröße G des Sensors als
eindeutige Funktion der Konzentration der Partialdrücke Pi
und der Temperatur erfaßt werden soll:
Bei hochselektiven Sensoren überwiegt der Wert einer
partiellen Ableitung den Wert aller anderen, so daß die
Änderung der Meßgröße G eindeutig einer physikalischen Größe
zugeordnet werden kann. Falls eine hohe Selektivität nicht
gegeben ist, der obige Funktionszusammenhang aber gilt und
unterschiedliche Sensoren mit unterschiedlichen Ableitungen
bzgl. verschiedener Komponenten "i" existieren, dann kann mit
Hilfe von Verfahren der Mustererkennung auch eine
Mehrkomponentenanalyse der Sensorarrays vorgenommen werden.
Ein entsprechendes Verfahren ist auch in der DE-PS 42 27 727
beschrieben. Hierbei erfolgt die Auswertung sowohl mit
Mustererkennungsverfahren als auch mit Hilfe einer Fuzzy
Logic zur Trenderkennung und -korrektur. Diese Verfahren sind
relativ aufwendig und versagen dann, wenn kein analytischer
Zusammenhang zwischen einer Konzentration und der
Sensorantwort erkennbar ist.
In der DE-OS 44 33 772 ist eine Sensoranordnung und ein
Verfahren zur Meßwerterfassung mit der Sensoranordnung
beschrieben. Die Sensoranordnung hat eine Auswerteeinheit zum
Auswerten der Meßsignale mit einem neuronalen Netzwerk. Das
neuronale Netzwerk weist in bekannter Weise eine
Eingangsschicht, mindestens eine verdeckte Schicht, eine
Ausgangsschicht und Verknüpfungsgewichte für die einzelnen
Schichten auf. Die Verknüpfungsgewichte werden in einer
Lernphase durch Messungen an mehreren verschiedenen
geeigneten Lernobjekten mit bekanntem Ist-Wert bestimmt und
abgespeichert.
Ausgehend von diesem Stand der Technik war es Aufgabe der
Erfindung, ein Meßsystem mit mindestens einem Sensorelement
und einer Auswerteeinheit für die Meßdaten des Sensorelements
sowie ein Verfahren zur Auswertung von Sensormeßdaten mit
einem neuronalen Netzwerk anzugeben, so daß einzelne
Meßgrößen mit einer hohen Genauigkeit und zuverlässig
bestimmt werden und der Rechen- und Schaltungsaufwand gering
ist.
Die Aufgabe wird durch das Meßsystem nach Anspruch 1 und das
Verfahren nach Anspruch 6 gelöst. Vorteilhafte
Ausgestaltungen sind in den Unteransprüchen beschrieben.
Die Auswerteeinheit hat ein erstes Rechenwerk zur Berechnung
einer mathematischen Funktion, die bestmöglich an die
Meßdaten angepaßt ist, und ein zweites Rechenwerk zur
Berechnung eines neuronalen Netzwerks. Als Eingangsdaten für
das neuronale Netzwerk werden Koeffizienten der
mathematischen Funktion verwendet. Wenn mehrere
Sensorelemente vorhanden sind, wird für die Meßdaten jedes
Sensorelements jeweils eine bestangepaßte mathematische
Funktion ermittelt und jeweils die Koeffizienten der
mathematische Funktion in das neuronale Netzwerk geleitet.
Die mathematische Funktion sollte ein Polynom beinhalten bzw.
ein Polynom sein.
Es ist dann vorteilhaft, wenn entweder nur die Koeffizienten
höherer Ordnung oder nur die Koeffizienten niedriger Ordnung
als Eingangsdaten für das Netzwerk verwendet werden.
Verschiedenen physikalische und/oder chemische Prozesse, die
gleichzeitig vorhanden sind und deren Einzelsignale sich in
der Sensorantwort überlagern, lassen sich sehr gut durch
Polynome höherer Ordnung ausdrücken, die mit einem relativ
geringen Fehler an die Meßkurven angepaßt werden können. Bei
Polynomen fünfter Ordnung mit der Formel:
R(t) = a0 + a1 t + a2 t2 + a3 t3 + a4 t4 + a5 t5
können die Koeffizienten niedriger Ordnung, z. B. a0 und a1,
langsamen Effekten und die Koeffizienten höherer Ordnung,
z. B. a4 und a5, schnellen Effekten zugeordnet werden.
Bei der Messung von Gaskonzentrationen mit mindestens zwei
Sensorelementen ist es vorteilhaft, wenn die Sensorelemente
mit jeweils voneinander verschiedenen Temperaturen betrieben
werden.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand der beigefügten
Zeichnungen erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 Signalfluß des Meßsystems mit einem Sensorarray und
einer Auswerteeinheit für die Meßdaten des
Sensorarrays;
Fig. 2 Ausgangsfehler des neuronalen Netzes bei
verschiedenen Kombinationen der Eingangsparameter;
Fig. 3 Koeffizienten eines angepaßten Polynoms fünfter
Ordnung in Abhängigkeit von der Anzahl an Gaspulsen.
Die Erfindung wird am Beispiel der getrennten Bestimmung von
Konzentrationen aus einer Mischung aus Kohlenwasserstoffen,
Ozon und Luft mit einem Zweisensorsystem beschrieben. Dieses
System besteht aus zwei halbleitenden Halbleitergassensoren
gleichen Typs, die mit einer unterschiedlichen
Arbeitstemperatur beschrieben werden. Das Meßgas wird
pulsförmig den beiden Sensoren für eine gewisse Zeitspanne
zugeführt. Das Antwortsignal der Sensoren ist eine Änderung
der Oberflächenleitfähigkeit. Je nach Gasspezies, die
oxidierend oder reduzierend sein kann, und nach Halbleitertyp
wird eine Erhöhung bzw. eine Erniedrigung des
Oberflächenwiderstandes gemessen.
Die relative Widerstandsänderung gegenüber den verwendeten
Kohlenwasserstoffen ist in einem Temperaturbereich von ca.
400 bis 700°C nahezu konstant. Bei einer Sensortemperatur
von ca. 600°C ist die Empfindlichkeit gegenüber Ozon sehr
klein. Dagegen steigt die Empfindlichkeit gegenüber Ozon,
wenn der Sensor bei nur 300°C betrieben wird. Zwei Sensoren
mit unterschiedlichen Temperaturen weisen demnach
unterschiedliche Empfindlichkeiten gegenüber Ozon aber nicht
gegenüber Kohlenwasserstoffen auf.
Das gleichzeitige Vorhandensein von oxidierenden Gasen (z. B.
Ozon) und reduzierenden Gasen (z. B. Kohlenwasserstoffen)
macht sich im Kurvenverlauf bemerkbar. Die relative Änderung
des zeitlichen Signalverlaufs zeigt sowohl bei Begasungen mit
Ozon als auch mit einem Gemisch aus Ozon und
Kohlenwasserstoffen einen gleich großen Signalhub mit
unterschiedlichem Vorzeichen. Es ist jedoch auch das Aussehen
der beiden Kurvenverläufe unterschiedlich. Ein Grund dafür
ist das unterschiedliche Adsorptionsverhalten, d. h.
unterschiedliche Zeitkonstanten bei Diffusion und
Chemisorbtion, der verschiedenen Gaskomponenten.
Diese verschiedenen Prozesse können durch mathematische
Fitfunktionen ausgedrückt werden. Im einfachsten Fall sind
dies Polynome höherer Ordnung, die ein Anfitten der Kurven
mit einem nur kleinen Fehler ermöglichen. Bei einem
Polynomfit z. B. fünfter Ordnung
R(t) = a0 + a1 t + a2 t2 + a3 t3 + a4 t4 + a5 t5
können die Koeffizienten niedriger Ordnung (a0, a1) langsamen
Effekten, z. B. Diffusion, zugeordnet werden. Die Terme höhere
Ordnung (a4 und a5) repräsentieren dagegen schnelle Effekte,
wie z. B. die Chemisorption, die gegenüber der Diffusion meist
schneller abläuft.
Ein weiterer unerwünschter Effekt bei Halbleitergassensoren
ist der sogenannte Memory-Effekt, der u. a. von der
Gashistorie des Sensors abhängt. Das bedeutet, daß die
Signalverläufe bei gleichartigen Begasungen unterschiedlich
ausfallen können, wenn der Sensor vor der Begasung mit
verschiedenen Konzentrationen der Gase beaufschlagt wurde.
Dieses Verhalten spiegelt sich in den Koeffizienten der
Polynome ebenfalls wieder.
Der gesamte Signalfluß des Meßsystems mit einem Sensorarray
und einer Auswerteeinheit für die Meßdaten des Sensorarrays
Signalfluß des Meßsystems mit einem Sensorarray und einer
Auswerteeinheit für die Meßdaten des Sensorarrays ist in der
Fig. 1 skizziert. Ein Testgas wird auf ein Sensorarray
geleitet, wobei jeder Sensor mit einer bestimmten Temperatur
betrieben wird. Das Sensorarray liefert Sensorsignale als
Widerstandswerte. Die resultierenden Meßdaten werden jeweils
einer nichtlinearen Regression, d. h. einer Kurvenanpassung,
unterzogen. Hierbei wird in bekannter Weise der Fehler
zwischen einem Polynom und der Meßkurve minimiert.
Der charakteristische Kurvenverlauf von verschiedenen
Kohlenwasserstoff-/Ozon-Gemischen spiegelt sich in den
Koeffizienten der verschiedenen Polynome wieder. Mit den
höheren Koeffizienten verschiedener Polynome, die einen
geringen Memory-Effekt aufweisen, als Eingangsgrößen eines
Neuronalen Netzes läßt sich ein System aufbauen, welches
unter Verwendung von zwei Halbleitergassensoren eine Messung
der Konzentrationen von Ozon und Kohlenwasserstoffen
ermöglicht.
Ausgewählte Koeffizienten der resultierenden Polynome,
vorzugsweise die Koeffizienten höherer Ordnung, werden als
Koeffiziententabelle in ein neuronales Netzwerk ANN, z. B.
Back-Propagation-Netz, geleitet. Die Ausgangsknoten geben die
Konzentration von Ozon Cozone und Kohlenwasserstoff CHC an.
In der Fig. 2 ist der Fehler eines neuronalen Netzes mit
verschiedenen Parameterkombinationen als Eingangsgrößen des
Netzes dargestellt. Die gestrichelte Kurve stellt den
Ausgangsfehler bei allen vier Eingangskoeffizienten eines
Polynoms dritter Ordnung dar. Dann ist der Einfluß des
Memory-Effektes relativ groß. Die besten Resultate werden
erzielt, wenn als Eingangsgrößen die jeweils höchsten Terme
von drei Polynomen verwendet werden, wobei die Polynome
dritter, vierter und fünfter Ordnung sind. Hierfür werden
sechs Eingangskoeffizienten verwendet, die jeweils die beiden
obersten Koeffizienten der drei Polynome, d. h. des Polynoms
dritter, vierter und fünfter Ordnung, sind. Dann ist der
Einfluß des Memory-Effektes geringer. Nach 5000 Lernschritten
beträgt der maximale Netzfehler bezüglich der Testdaten in
dem Beispiel etwa 5%.
In der Fig. 3 sind die Koeffizienten des Polynomfits fünfter
Ordnung dargestellt. Von Meßpunkt zu Meßpunkt wurde die
Konzentration des Gasgemisches aus Kohlenwasserstoffen und
Ozon kontinuierlich verändert. So zeigen die ersten 10
Begasungen eine Konzentration von 27 ppb Ozon und 18-180
ppm Kohlenwasserstoffen in 10 identischen Schritten. Bei den
weiteren 10 Begasungen wurden Konzentrationen von 54 ppb Ozon
und wiederum 18-180 ppm Kohlenwasserstoffen eingestellt.
Die weiteren 10 Begasungen zeigen eine erneute Erhöhung der
Ozonkonzentration um 27 ppb und eine entsprechende
stufenweise Erhöhung der Kohlenwasserstoffkonzentration.
Zwischen diesen regulären Punkten wurden Zufallspunkte
eingefügt, deren Konzentration gegenüber dem regulären Punkt
erhöht war. Bei den nächsten regulären Punkten zeigt sich
daraufhin eine Abweichung von erwarteten Verhalten, das durch
den Memory-Effekt erklärbar ist. Diese Abweichung ist
besonders bei den Koeffizienten niedriger Ordnung zu
beobachten. Zuvor adsorbierte Gasmoleküle sind noch nicht
wieder desorbiert. Daher ist der Signalverlauf durch die
vorhergehende Begasung verfälscht. Da die Desorption im
Vergleich zur Chemisorption ein langsamer Vorgang ist, macht
sich der Memory-Effekt im wesentlichen in den Termen
niedriger Ordnung bemerkbar. Dies läßt sich ausnutzen, um
Fehler bei der Konzentrationsbestimmung zu minimieren.
Als Eingangsparameter für das neuronale Netz sind bei der
vorliegenden Anwendung die gedächtnisfreien bzw.
gedächtnisschwachen Polynomkoeffizienten am besten geeignet.
Mit diesen kann das Netz schneller trainiert werden und die
maximalen Fehler am Netzausgang sind wesentlich kleiner. In
dem Beispiel wurden zwei Netzausgänge für die O3- und
Kohlenwasserstoffkonzentration gewählt und eine verdeckte
Schicht erstellt, die aus drei Neuronen besteht. Die
Verwendung eines Polynominalfits und der Einsatz von
neuronalen Netzen eignen sich damit gut zur Messung des
O3-Gehaltes in kohlenwasserstoffhaltiger Mischatmosphäre, wenn
zwei identische SnO2-Sensoren bei verschiedenen
Arbeitstemperaturen eingesetzt werden.
Claims (14)
1. Meßsystem mit einem Sensorelement und einer
Auswerteeinheit für die Meßdaten des Sensorelements,
dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerteeinheit ein
erstes Rechenwerk zur Berechnung einer mathematischen
Funktion, die bestmöglich an die Meßdaten angepaßt ist,
und ein zweites Rechenwerk zur Berechnung eines
neuronalen Netzwerks hat, wobei Koeffizienten der
mathematischen Funktion als Eingangsdaten für das
neuronale Netzwerk verwendet werden.
2. Meßsystem nach Anspruch 1, wobei mindestens zwei
Sensorelemente vorgesehen sind, dadurch gekennzeichnet,
daß jeweils eine mathematische Funktion an die Meßdaten
jeweils eines Sensorelements angepaßt ist und
Koeffizienten der mathematischen Funktionen als
Eingangsdaten für das neuronale Netzwerk verwendet
werden.
3. Meßsystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die mathematische Funktion ein Polynom beinhaltet
bzw. ein Polynom ist.
4. Meßsystem nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß
entweder nur die Koeffizienten höherer Ordnung oder nur
die Koeffizienten niedriger Ordnung als Eingangsdaten für
das Netzwerk verwendet werden.
5. Meßsystem nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet,
daß mehrere Polynome jeweils verschiedener Ordnung an
die Meßdaten angepaßt werden und Koeffizienten der
Polynome als Eingangsdaten für das neuronale Netzwerk
verwendet werden.
6. Meßsystem nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß
die mehreren Polynome dritter, vierter und fünfter
Ordnung sind.
7. Meßsystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche zur
Messung von Gaskonzentrationen mit mindestens zwei
Sensorelementen, dadurch gekennzeichnet, daß die
Sensorelemente mit jeweils voneinander verschiedenen
Temperaturen betrieben werden.
8. Verfahren zur Auswertung von Sensormeßdaten mit einem
neuronalen Netzwerk, gekennzeichnet durch,
- - Berechnen einer mathematischen Funktion, die bestmöglich an die Meßdaten angepaßt ist, und
- - Verwenden von Koeffizienten der mathematischen Funktion als Eingangsdaten für das neuronale Netzwerk.
9. Verfahren nach Anspruch 8, wobei die Sensormeßdaten
mindestens von zwei Sensorelementen stammen,
gekennzeichnet durch
- - Anpassen jeweils einer mathematischen Funktion an die Meßdaten jeweils eines Sensorelements und
- - Verwenden von Koeffizienten der mathematischen Funktionen als Eingangsdaten für das neuronale Netzwerk.
10. Meßsystem nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet,
daß die mathematische Funktion ein Polynom beinhaltet
bzw. ein Polynom ist.
11. Verfahren nach Anspruch 10, gekennzeichnet durch
Verwenden entweder nur der Koeffizienten höherer Ordnung
oder nur der Koeffizienten niedriger Ordnung als
Eingangsdaten für das Netzwerk.
12. Verfahren nach Anspruch 10 oder 11, gekennzeichnet durch
Anpassen mehrerer Polynome jeweils verschiedener Ordnung
an die Meßdaten und Verwenden von Koeffizienten der
Polynome als Eingangsdaten für das neuronale Netzwerk.
13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß
die mehreren Polynome dritter, vierter und fünfter
Ordnung sind.
14. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß Sensorelemente mit jeweils
voneinander verschiedenen Temperaturen betrieben werden.
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