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DE1964639C3 - Verfahren zum Metallisieren einer Oberfläche eines Keramik-Körpers - Google Patents

Verfahren zum Metallisieren einer Oberfläche eines Keramik-Körpers

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DE1964639C3
DE1964639C3 DE1964639A DE1964639A DE1964639C3 DE 1964639 C3 DE1964639 C3 DE 1964639C3 DE 1964639 A DE1964639 A DE 1964639A DE 1964639 A DE1964639 A DE 1964639A DE 1964639 C3 DE1964639 C3 DE 1964639C3
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metal
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RCA Corp
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Description

Plattierung beträgt etwa 5 bis 7 Gew.-% des Gewichtes an Molybdän oder Wolfram.
C Mangan-Pulver
Dies ist ein äußerst hochreines Metallpulver von 44 μπι und feinen Das Pulver ist frei von irgendeinem Überzug.
D. Magnesium-Sinterpulver
Dies ist ein Magnesiumaluminiumsilikat, das durch inniges Mischen von 300 Gew.-Teilen Magnesiumoxyd (flockig), 50 Gew.-Teilen Aluminiumoxyd (44 μπι), technische Qualität) und 650 Gew.-Teilen Siliciumdioxyd (44 μπι, techniiche Qualität), Sinter.) der Mischung bei 1300° C während etwa einer Stunde und anschließendes Mahlen der gesinterten Masse auf annähernd 2 μπι durchschnittliche Teilchengröße hergestellt wurde.
E. Calcium-Sinterpulver
Dies ist ein Kalziumaluminiumsilikat-Sinterpulver, das durch inniges Mischen von 404 Gew.-Teilen Kalziumoxyd (44 μπι, technische Qualität), 108 Gew.-Teilen Aluminiumoxyd (44 μπι, technische Qualität), und 488 Gew.-Teilen Siliziumdioxyd (44 μπι, technische Qualität), Sintern der Mischung bei etwa 13000C während einer Stunde und anschließendes Mahlen der gesinterten Masse auf eine durchschnittliche Teilchengröße von annähernd 2 μπι hergestellt wurde.
F. Mangan-Sinterpulver
Dies ist ein Mangansilikat-Pulver, d?s durch inniges Mischen von 620 Gew.-Teilen Siliziumdioxyd (44 μπι, ^d technische Qualität) mit 465 Gew.-Teilen Mangandioxyd (technische Qualität), Sintern der Mischung bei etwa 11700C während etwa einer halben Stunde und anschließendes Mahlen der gesinterten Masse auf eine durchschnittliche Teilchengröße von etwa 2 μΐη herge- .»-, stellt wurde.
G. Bindemittel
Dies ist ein kommerziell verfügbares Bindemittel wie Äthylcellulose-Bindemittel. Das Bindemittel besitzt die Fähigkeit, die Zubereitung vor dem Sintern zu binden und sich im wesentlichen vollständig beim Erhitzen unterhalb der Sintertemperatur zu verflüchtigen, ohne Blasenbildung in dem Überzug hervorzurufen.
H.Träger
hl)
Dies kann irgendeine Flüssigkeit sein, weiche mit dem Bindemittel verträglich ist. Für Äthylcellulose-Bindemittel wird Äthylenglykoldibutyläther bevorzugt.
In den nachstehend beschriebenen Beispielen wird die metallisierende Mischung durch inniges Mischen der h-, trockenen Bestandteile, Zugeben an Träger soviel wie erforderlich, weiteres Mischen der Zubereitung und vorzugsweise Erhitzen auf etwa 1500C während etwa einer Stunde hergestellt Nach Abkühlen der Mischung auf Raumtemperatur wird die Mischung auf eine optimale Viskosität durch Zugabe einer geeigneten Menge an Träger verdünnt Die Metallisierungsmischung wird dann auf eine Oberfläche des Keramik-Körpers mittels Durchsieben durch ein 1 ΙΟ-μπι-Sieb als Schicht aufgebracht. Andere Sieb-Maschengrößen können verwendet werden. Andere Methoden der Aufbringung, wie z. B. durch Sprühen, Streichen oder mittels eines Förderbandes, können ebenfalls angewandt werden. Der überzogene Keramik-Körper wird dann, wie in jedem Beispiel gezeigt, erhitzt und anschließend auf Raumtemperatur zur Metallisierung des Keramik-Körpers abgekühlt Der metallisierte Keramik-Körper wird in eine Einspannvorrichtung gegenüber einem ähnlichen metallisierten Keramik-Körper gebracht, mit einer Schicht von Nicoro-Hartlöt-Material (Nickel-Kupfer-Gold-Legierung) dazwischen. Diese Einheit wird auf etwa 10500C während 10 Minuten erhitzt und anschließend gekühlt, wodurch die Verbindung vollendet wird.
Um den Bruchmodul der Verbindung zu testen, werden die geformten Körper maschinell zu Prüfstäben für Bruchfestigkeit mittels Diamantschneid- und Schleifscheiben geformt Anschließend werden die Stäbe bis zum Bruch mit einer 3-Punkt-Belastung bei einer Geschwindigkeit von etwa 70 300 kg/cm2 pro Minute belastet. Die meisten Brüche treten in dem Keramik-Körper bei 'iiner Entfernung von mehr als 635 μπι von der Verbindung auf. Die Belastung ist gewöhnlich größer als diejenige Belastung, welche für den Bruch des Körpers ohne eine Bindung unter den gleichen Bedingungen erforderlich ist.
Beispiel 1
Eine metallisierende Mischung der nachstehenden Rezeptur wird hergestellt:
57 Gew.-Teile nichtüberzogenes Molybdän-Pulver
(Material A)
39 Gew.-Teile überzogenes Molybdän-Pulver
(Material B)
6 Gew.-Teile Mangan-Pulver (Material C)
6,75 Gew.-Teile Magnesium-Sinterpulver
(Material D)
6,75 Gew.-Teile Kalzium-Sinterpulver
(Material E)
1,5 Gew.-Teile Mangan-Sinterpulver (Material F)
4,0 Gew.-Teile Bindemittel (Material G)
18 Gew.-Teile Träger (Material H)
Im Anschluß daran wird eine Oberfläche eines Keramik-Körpers aus Berylliumoxid mit dem Ansatz in einer Dicke von etwa 63,5 μπι beschichtet. Nach dem Beschichten wird der Keramik-Körper in einer reduzierenden Atmosphäre, welche im wesentlichen aus Stickstoff, enthaltend etwa 10 bis 25 Gew.-% Wasserstoff, welche einen Taupunkt zwischen +250C und -25°C aufweist, bei etwa 12600C während etwa 30 Minuten erhitzt und anschließend abgekühlt.
Beispiele 2bis5
Die Tabelle zeigt eine Gruppe von Zubereitungen, welche steigende Anteile an Nickel-plattiertem Molybdän-Pulver und abnehmende Anteile an unplattiertem Pulver enthalten. In diesen Beispielen wird ein keramischer Körper aus 95% Aluminiumoxyd mit dem Ansatz beschichtet und anschließend in einer sonst in
Beispiel 1 beschriebenen Weise bei der Metallisierungstemperatur erhitzt.
Tabelle
90,0 I 3 4 5
—
Beispiel 4,5 82,5 76,0 19,0
2 4,5 7,5 19,0 77,0
Material (Gew.-Teile) i,o · 4,5 4.5 4,5
A 3,5 4,5 4,5 4,5
B 18 1,0 1,0 1,0
D 1540 3,5 3,5 3,5
E 18 18 18
F 1425 1280 1220
G
H
Metallisie
rungstem
peratur (0C)
2(1
Die unter den Beispielen 2 bis 5 durchgeführten Untersuchungen des Bruchmoduls an den Prüfstäben für Bruchfestigkeit ergaben Bruchfestigkeiten von etwa dem gleichen Wert in der Nachbarschaft von etwa r> 3866,5 kg/cm2. Es sei jedoch bemerkt, daß die Metallisierungstemperatur von 15400C auf 1425°C mit einem geringen Einsatz an plattierten Teilchen ind dann fortschreitend auf 12200C mit steigenden Linsätzen reduziert wurde. w
Beispiel 6
Eine metallisierte Oberfläche kann gleichfalls auf einem keramischen Material unter Verwendung einer r> Mischung, enthaltend Nickel-überzogenes Wolfram-Pulver hergestellt werden. Die Mischung enthält 36,0 Gew.-Teile Wolfram-Pulver als Material A. Material B besteht in 145,0 Gew.-Teilen an Nickel-überzogenem Wolfram-Pulver. Das Nickel in Material B beträgt bis 4,5% des Gesamtgewichtes an Material B. Die Materialien C, D, E, F, G und H werden in den in der vorstehenden Tabelle angegebenen Mengen verwendet. Es wurde gefunden, daß eine Metallisierungstemperatur von etwa 12000C eine optimale Festigkeit für den 4-, metallisierten Überzug ergibt.
Die metallisierende Mischung besteht also im wesentlichen aus 10 bis 90 Gew.-Teilen nicht überzogenem Molybdän- oder Wolfram-Metallpulv?r, 4 bis 80 Gew.-Teilen überzogenem Molybdän- oder Wolfram- -,0 Metallpulver, 0 bis 10 Gew.-Teilen nicht überzogenem Mangan-Metallpulver und 2 bis 27 Gew.-Teilen Silikatpulver.
Die überzogenen Molybdän- und Wolfram-Metallpulver können die gleichen sein wie die nicht überzogenen y, Molybdän- und Wolfram-Metallpulver mit der Ausnahme der Beschichtung auf den Teilchen. Die Beschichtung besteht aus Nickel-, Eisen- oder Kobalt-Metall, vorzugsweise durch Plattieren der Teilchen aufgebracht, obwohl andere anhaftende Metallüberzüge w> geeignet sind. Bloßes Mischen von Molybdän- oder Wolfram-Teilchen mit feineren Teilchen des Überzugsmetalls ist nicht geeignet. Die Menge an Überzugsmetall kann von etwa 0,5 bis 10 Gew.-% des Gewichtes der Teilchen, welche überzogen sind, variieren. „-,
Die Anwesenheit an nicht überzogenen Mangan-Teilchen in der Zubereitung ist wahlfrei. Zugaben an Manean-Teilchen sind /um Metallisieren von Körnern aus Berylliumoxid (99,5% oder mehr BeO) und Körpern mit sehr hohem Aluminiumoxidgehalt (98% oder mehr AI2O3) erwünscht Zugaben an Mangan-Teilchen werden vorzugsweise dort unterlassen, wo Mangan oder Chrom in dem keramischen Körper enthalten ist. Mangan-Metall-Teilchen von sehr hoher Reinheit werden bevorzugt, obwohl andere Reinheitsgrade verwendet werden können. Die durchschnittliche Partikelgröße beträgt 44 μηη und darunter.
Das Silikatpulver kann Magnesium-Aluminium-Silikat, Kalzium-Aluminium-Silikat und/oder Mangansilikat sein. Es wird bevorzugt, eine Kombination von allen drei dieser Silikate in den folgenden Anteilen pro 100 Gew.-Teilen an Metallpulver zu verwenden: 1 bis 12 Gew.-Teile Magnesium-Aluminium-Silikat 1 bis 12 Gew.-Teile Kalzium-Aluminium-Silikat und 0,2 bis 3 Gew.-Teile Mangansilikat.
Die Metallisierungsmischung ist mit geeigneten Bindemitteln und Trägern rezeptiert, welche mit den anderen Bestandteilen der Rezeptur und mit den Verarbeitungsstufen, welche zur Herstellung des Metallüberzugs angewandt werden, verträglich sind (vgl. z. B. US-PS 32 90 !71). Die Mischung wird vorzugsweise bei etwa 150°C während etwa einer Stunde erhitzt. Dies verbessert die Eigenschaften der nachfolgend mit der Metallisierungsmischung hergestellten Melallisierungsschicht.
Die Metallisierungsmischung wird auf eine Oberfläche eines keramischen Körpers aufgebracht. Der keramische Körper kann von irgendeinem Beschaffenheitstyp sein, wie er für elektrische Isolierung verwendet wird, und dessen Alterungstemperatur höher als die angewandte Metallisierungstemperatur ist. Es wird bevorzugt, einen Keramik-Körper aus Aluminium oder Berylliumoxid zu verwenden. Ein Vorteil des neuen Verfahrens ist die Tatsache, daß es mit verschiedenen Arten von Keramik-Körpern und insbesondere mit Keramik-Körpern aus Beryllium- und Aluminiumoxid durchgeführt werden kann. Die Metallisierungsmischung kann in üblicher Weise aufgebracht werden, z. B. mittels Sieben, Streichen, Sprühen, Tauchen, Abstreichmesser etc. Ein Förderband kann gleichfalls verwendet werden. Die Metallisierungsmischung wird als eine dünne Schicht vorzugsweise von etwa 15 bis 75 μιη Stärke aufgebracht, obwohl Schichten mit 12 bis 100 μίτι Dicke ebenfalls verwendet werden können. Die Dicke der aufgebrachten Schicht wird so eingestellt, daß nach dem Brennen eine Sinterschicht mit etwa 12 bis 36 μΐη Stärke vorhanden ist. Es wurde gefunden, daß dieser Bereich Verbindungen mit optimaler Festigkeit ergibt. Nach der Aufbringung wird die aufgebrachte Schicht zur Entfernung des Trägers getrocknet.
Im Anschluß an das Trocknen wird der überzogene Keramik-Körper auf etwa 1100°C bis 1500°C (Metallisierungstemperatur) in einer reduzierenden Atmosphäre erhitzt, bis die Schicht auf die Oberfläche des Keramik-Körpers gesintert und eine metallisierte Schicht vorhanden ist. Die reduzierende Atmosphäre besteht vorzugsweise aus 10 bis 40 Gew.-°/o Wasserstoffgas und 90 bis 60 Gew.-% Stickstoff und enthält weiterhin so viel Wasserdampf, daß sie einen Taupunkt von höher als -25°C bis hinauf zu +200C besitzt. Atmosphären, die trockener sind (niedriger Taupunkt), haben schwächere Bindungen zwischen dem Metallbclag und dem Keramik-Körper zur Folge. Das Metallisierungserhitzen erfordert gewöhnlich etwa 1 Stunde, kann jedoch auch in eimern so geringen Zeitraum wie 10 Minuten und gleichfalls bis zu 3 Stunden crfoliren. Der
metallisierte Keramik-Körper wird anschließend auf Raumtemperatur abgekühlt.
Während des Erhitzens agglomerieren die Metallteilchen und wachsen zu einem porösen metallischen Gefüge mit einem gewissen Wachstum der Partikelgröße zusammen. Die Oberfläche der Metallschicht ist metallisch und kann leicht gelötet oder geschweißt werden. Während des Erhitzens passen sich gleichfalls die anwesenden Silikate an das poröse Gefüge an und füllen die Poren unter Ausbildung einer im wesentlichen vollkommen gefüllten Struktur, was zum Erreichen einer endgültigen vakuumdichten Verbindung wichtig ist. Die Silikate netzen gleichfalls den Keramik-Körper und die poröse Metallstruktur, wobei sie eine Verbindung hervorbringen, welche fester ist als die des Keramik-Körpers. Zusätzlich ist das Geiüge so beschaffen, daß bei dem nachfolgenden Erhitzen während des Schweißens oder Lötens die Silikate nicht zu der Oberfläche hin ausblühen und die Adhäsion des Lotes oder des Hartlotes an den Metallbelag hindern.
Eines der Merkmale der Erfindung ist die Verwendung einer Mischung von beschichteten und nichtbeschichteten Teilchen aus Molybdän- oder Wolfram-Metall. Die Verwendung von beschichteten Teilchen erlaubt die Anwendung von niedrigeren Metallisierungstemperaturen. Mit Anwachsen des Verhältnisses von beschichteten Teilchen in unbeschichteten Teilchen nimmt die erforderliche Metallisierungstemperatur ab.
Mischungen, worin alle Metall-Teilchen beschichtet sind, benötigen die tiefste Metallisierungstemperatur; jedoch ist das Zeit-Temperatur-Verhältnis während der Metallisierung dann schwierig zu regeln, um ein genügend einheitliches Produkt herzustellen. Daher stellt eine Mischung von beschichteten und nichibeschichteten Metall-Teilchen beides, nämlich sowohl den Vorteil einer niedrigeren Metallisierungstemperatur als auch ein Produkt mit guten Eigenschaften sicher. Das Relativgewicht des Metallüberzugs auf den Metall-Teilchen beeinflußt die Metallisierungstemperatur ebenfalls, jedoch in einem geringeren Ausmaß.
Die gesinterte Metallschicht kann als solche zur Ausbildung einer Verbindung mit einem Metall-Teil
■-, oder mit einem ähnlich metallisierten keramischen Teil verwendet werden. Frei nach Wahl kann die gesinterte Metallschicht als Basis für die Deposition eines anderen Metalles verwendet werden. Zum Beispiel wird der metallisierte Keramik-Körper in einem Plattierungsbad
κι zur Deposition eines Überzugs von Nickelmetall von etwa 2,54 μηι bis 5,08 μπι Dicke auf den metallisierten Teil der Keramik behandelt. Der Keramik-Körper kann dann an seinen Nickel-plattierten Flächen entweder mit einem metallisierten keramischen Teil oder mit einem metallischen Teil unter Verwendung von Hartloten, wie z. B. reinem Kupfer, oder Siiber-Kupfer-Legierungen verbunden sein. Legierungen von Nickel-Gold, Nickel-Kupfer-Gold und Nickel-Kupfer erfordern keine plattierte Schicht auf dem Metallbelag.
Das Hartlöten wird in geeigneter Weise durchgeführt, indem man den Keramik-Körper in einer Einspannvorrichtung hält, das Hartlot zwischen die metallisierte Fläche an dem Körper und dem Teil bringt, mit welchem dieser zu verbinden ist, und anschließend die Einrichtung in einer reduzierenden Umgebungsatmosphäre während etwa 3 bis 5 Minuten bei einer Temperatur von etwas oberhalb des Schmelzpunktes des verwendeten Hartlotes erhitzt. Für ein 72-Silber-28-Kupfer-Hartlot wird eine Temperatur von 8150C
jo bevorzugt. Wenn reines Kupfer als Hartlot verwendet wird, wird eine Temperatur von etwa 1110° C bevorzugt. Nach dem Hartlöten wird die Einrichtung abgekühlt, und die hartgelötete Verbindung ist gebrauchsfertig. Die Verbindung ist vakuumdicht und hat eine Biegefestigkeit, die etwa gleich oder größer als die Biegefestigkeit des Keramik-Körpers ist, mit einer maximalen Festigkeit von etwa 4921 kg/cm2.

Claims (10)

  1. Patentansprüche:
    '.. Verfahren zum Metallisieren einer Oberfläche eines Keramik-Körpers durch Beschichten der Oberfläche mit einer metallisierenden Mischung, welche unbeschichtete Teilchen aus den schwer schmelzbaren Metallen Molybdän und/oder Wolfram, Schwermetall in Form vor. Nickel, Eisen und/oder Kobalt sowie ein Silikat enthält, und anschließendes Erhitzen des beschichteten Keramik-Körpers in einer reduzierenden Atmosphäre auf mindestens 11000C, dadurch gekennzeichnet, daß das Schwermetall als haftender Überzug auf zusätzliche Teilchen aus den schwer schmelzbaren Metallen Molybdän und/oder Wolfram aufgebracht wird, daß als Silikat zumindest eine der Verbindungen Magnesium-Aluminiurn-Silikat, Kalzium-Aluminium-Silikat und Mangansilikat gewählt wird, daß die Mischung aus 10 bis 90 Gew.-Teilen der unbeschichteten und 4 bis 80 Gew.-Teilen der beschichteten Teilchen aus dem schwer schmelzbaren Metall und 2 bis 27 Gew.-Teilen des Silikates besteht und daß der beschichtete Keramik-Körper auf eine Temperatur bis zu 1500° C erhitzt wird.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet daß eine zusätzlich bis zu 10 Gew.-Teile Mangan enthaltende metallisierende Mischung verwendet wird.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß nichtbeschichtete Teilchen aus Molybdän und beschichtete Teilchen aus mit Nickel überzogenem Molybdän verwendet werden.
  4. 4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Körper aus einer Berylliumoxid-Keramik verwendet wird.
  5. 5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Körper aus einer Aluminiumoxid-Keramik verwendet wird.
  6. 6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in einer aus 10 bis 40 Gew.-°/o Wasserstoff und 90 bis 60 Gew.-% Stickstoff bestehenden reduzierenden Atmosphäre, deren Taupunkt höher als - 25°C liegt, gearbeitet wird.
  7. 7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß eine aus 57 Gew.-Teilen nichtbeschichtetem Molybdänpulver, 39 Gew.-Teilen mit Nickel überzogenem Molybdänpulver und 15 Gew.-Teilen Silikat-Pulver bestehende metallisierende Mischung verwendet wird.
  8. 8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß eine zusätzlich 6 Gew.-Teile Mangan-Pulver enthaltende metallisierende Mischung verwendet wird.
  9. 9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß ein Körper aus einer Berylliumoxid-Keramik verwendet und bei Temperaturen zwischen 1200° und 13000C gearbeitet wird.
  10. 10. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß eine aus 76 Gew.-Teilen nichtbeschichtetem Molybdän-Pulver, 19 Gew.-Teilen mit Nickel überzogenem Molybdänpulver und 10 Gew.-Teilen Silikat-Pulver bestehende metallisierende Mischung verwendet wird.
    Die Erfindung betrifft ein Verfahren nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
    Für viele Anwendungszwecke werden feste, vakuumdichte Keramik-Metall-Verbindungen benötigt z. B. in Hochvakuum-Röhren, in denen ein Keramik-Körper vakuumdicht mit einem Metallteil verbunden ist Derartige Dichtungsabschlüsse werden hergestellt indem man zuerst die Oberfläche des Keramik-Körpers metallisiert und anschließend die metallisierte Oberfläehe mit dem Metallteil oder einer anderen metallisierten Oberfläche verbindet Das Metallisieren wird gewöhnlich durch Sintern einer Schicht eines schwer schmelzbaren Metalls, wie Molybdän oder Wolfram, auf die Oberfläche des Keramik-Körpers durchgeführt Für die meisten praktischen Zwecke wird das Sintern des schwer schmelzbaren Metalls durch irgendwelche Mittel gefördert, damit die Metallisierungstemperatur auf einen Wert von unterhalb 17500C bzw. 2100° C (der Temperatur, bei welcher Molybdän bzw. Wolfram von selbst sintert) herabgesetzt werden kann. Metallisierungstemperaturen oberhalb von 1750"C sind für die zu metallisierende Keramik wegen des die Festigkeit beeinträchtigenden Kernwachstums nachteilig und erfordern außerdem aufwendige öfen.
    Eine Sinterhilfe ist beispielsweise die Anwesenheit von Wasserdampf in der während der Metallisierung herrschenden Gasatmosphäre.
    Eine andere Sinterhilfe ist die Verwendung von »glasartigen« Additiven zur Metallisierung (US-PS 30 23 492), die aber die Auswahl verwendbarer Keramik-Körper begrenzen, oder von Hilfsmetallen, wie z. B. Mangan, Eisen, Yttrium und Niob (US-PS 29 38 806).
    Ein Verfahren der eingangs genannten Art ist aus der US-PS 29 85 547 bekannt. Bei dem bekannten Verfahren, das zur Sinterhilfe mit einem verdampfbaren Hilfsmittel arbeitet, wird eine Mischung aus unbeschithteten Molybdän- bzw. Woiframteilchen mit Schwermetallteilchen im Elementarzustand verwendet
    Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren anzugeben, das einerseits mit relativ niedrigen Temperaturen auskommt und andererseits ein Erzeugnis mit guten, genau reproduzierbaren Adhäsions- und Festigkeitseigenschaften gewährleistet
    Diese Aufgabe wird durch das im Anspruch 1 gekennzeichnete Verfahren gelöst.
    Die Erfindung hat den Vorteil, daß bei niedrigen Metallisierungstemperaturen ein sehr gleichmäßiges Produkt entsteht, und zwar ohne aufwendige Sinterhilfsmittel. Ohne Beeinträchtigung der Bruchfestigkeitseigenschaften des Keramik-Körpers wird zugleich eine optimale Adhäsion und eine vollkommen vakuumdichte Verbindung erreicht. Ferner besteht weitgehende Fre ι heit hinsichtlich der Art des Keramik- Körpers.
    In den nachstehend beschriebenen Beispielen werden die folgenden Materialien verwendet:
    A. Unbeschichtetes Molybdän- oder Wolfram-Pulver
    Dieses ist ein äußerst hochreines (99,8% oder höher) Metallpulver mit einer Partikelgröße im Bereich von 1 bis 20 μιη.
    B. Beschichtetes Molybdän- oder Wolfram-Pulver
    Dies ist ein äußerst hochreines (99,8% oder höher) Metallpulver, in welchem das Molybdän eine durch schnittliche Teilchengröße von 3,5 bis 5,0μηι und das Wolfram eine durchschnittliche Teilchengröße von 2,0 bis 3,5 μηι hat. Die Teilchen weisen eine aufplattierte Schicht aus Nickel-, '-.isen- oder Chrom-Metall auf. Die
DE1964639A 1968-12-26 1969-12-23 Verfahren zum Metallisieren einer Oberfläche eines Keramik-Körpers Expired DE1964639C3 (de)

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