DE19643709A1

DE19643709A1 - Surface treatment apparatus for steel workpiece in gas discharge

Info

Publication number: DE19643709A1
Application number: DE1996143709
Authority: DE
Inventors: Gerhard W Dipl Ing Tuymer
Original assignee: RUEBIG & CO KG GmbH
Current assignee: RUEBIG & CO KG GmbH
Priority date: 1995-10-30
Filing date: 1996-10-23
Publication date: 1997-05-07
Anticipated expiration: 2016-10-24
Also published as: AT405582B; ATA178795A; DE19643709B4

Abstract

The workpiece is treated with gas in a low-pressure vessel which acts as the other electrode, connected to a source of high voltage via an isolating switch operated by a detector (7). The voltage on a divider (6) connected between the electrodes (8) is compared (9) with a predetermined lower limit (10). Below this limit a monostable (11) opens a transistor switch (12) so that a flash from an LED (13) is passed through a light guide (14) to a photodiode (16). The voltage drop across a resistance (17) exceeds a limit recognised by a comparator (18), whose output is AND-gated (19) with a control signal synchronised to the source pulses, for triggering another monostable (21).

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Behandeln eines Werkstückes in einer Gasentladung, mit einem das Werkstück aufnehmenden Behandlungsgefäß, mit einer an das Behandlungsgefäß und das Werkstück als Elektroden angelegten Spannungsquelle und mit einem in Abhängigkeit von der Elektrodenspannung über eine Steuereinrichtung betätigbaren Trennschalter zwischen der Spannungsquelle und dem Werkstück bzw. dem Behandlungsgefäß, wobei die an einem Geber für die Elektrodenspannung angeschlossene Steuereinrichtung eine Vergleicherstufe auf weist, die eingangsseitig einerseits an dem Ausgangssignal dieses Gebers und anderseits an einem Vergleichssignal für eine untere Elektrodengrenzspannung anliegt und ausgangsseitig den Trennschalter bei einer Unterschreitung der Elek trodengrenzspannung ansteuert.The invention relates to a device for treating a workpiece in a gas discharge, with a treatment vessel holding the workpiece, with one applied to the treatment vessel and the workpiece as electrodes Voltage source and with a depending on the electrode voltage a control device operated isolating switch between the voltage source and the workpiece or the treatment vessel, which on a donor for Electrode voltage connected control device on a comparator stage points, the input side of the output signal of this encoder and on the other hand, a comparison signal for a lower electrode limit voltage is present and the disconnector on the output side if the elec trode limit voltage controlled.

Zur Oberflächenbehandlung von stählernen Werkstücken in einer Gasentladung werden die zu behandelnden Werkstücke als Kathode in ein Behandlungsgefäß eingesetzt, das als Anode geschaltet ist, so daß das bei einem entsprechenden Unterdruck im Behandlungsgefäß befindliche Gas in dem elektrischen Feld zwischen den Elektroden ionisiert wird, was in weiterer Folge zu einem für die Werkstückbe handlung wesentlichen Ionenstrom führt, der allerdings nicht über eine zulässige Obergrenze ansteigen darf, wenn Beschädigungen des Werkstückes vermieden werden sollen. Es muß daher die Ausbildung von Lichtbögen und der damit ver bundene Anstieg des Ionenstromes tunlichst vermieden werden. Zu diesem Zweck ist es bekannt, den Ionenstrom zu überwachen, um beim Überschreiten eines oberen Grenzwertes die Elektroden möglichst noch vor der Ausbildung eines Lichtbogens von der Spannungsquelle zu trennen. Diese Vorkehrungen sind jedoch mit dem Nachteil verbunden, daß der Ionenstrom bereits eine das Werkstück gefährdende Größe erreicht, bevor die Gefahr eines Lichtbogens erkannt und die Spannungsquelle abgeschaltet werden kann.For surface treatment of steel workpieces in a gas discharge the workpieces to be treated are placed as a cathode in a treatment vessel used, which is connected as an anode, so that at a corresponding Vacuum gas in the treatment vessel in the electrical field between the electrodes are ionized, which subsequently becomes one for the workpiece action leads to significant ion current, which, however, does not have an admissible The upper limit may rise if damage to the workpiece is avoided should be. It must therefore the formation of arcs and the ver bound increase in the ion current should be avoided as far as possible. For this purpose it is known to monitor the ion current to exceed an upper one Limit the electrodes if possible before the formation of an arc disconnect from the voltage source. However, these precautions are with the Disadvantage associated that the ion current is already a hazardous to the workpiece Size reached before the risk of an arc was detected and the voltage source can be switched off.

Zur frühzeitigen Lichtbogenerkennung wurde bereits vorgeschlagen (EP 0 528 163 A1), nicht feste Grenzen für Strom und Spannung zu überwachen, sondern die zeitlichen Veränderungen der Elektrodenspannung, um in Abhängigkeit von der Differenz zwischen dem Augenblickswert und einem Mittelwert der Elektrodenspan nung die Spannungsquelle über eine Vergleicherstufe von den Elektroden zu trennen. Dabei wird der Umstand ausgenützt, daß vor dem Zünden eines Lichtbogens die Spannung für mehrere Millisekunden auf 150 bis 300 V zusammenbricht. Außerdem soll durch eine der Kathode vorgeschaltete Drossel sichergestellt werden, daß der Kathodenstrom innerhalb eines vorgegebenen Zeitraumes nur unwesentlich ansteigen kann. Nachteilig bei dieser bekannten Vorrichtung ist allerdings, daß sie eine Gleich spannungsquelle voraussetzt und für Spannungsquellen zur gepulsten Spannungsver sorgung ungeeignet ist, die jedoch für viele Anwendungsfälle vorteilhafte Betriebs bedingungen schafft. Aufgrund des üblichen Tastverhältnisses ist nämlich bei einer gepulsten Spannungsversorgung eine Mittelwertbildung der Elektrodenspannung als Vergleichssignal nicht zielführend. Außerdem kann der Zusammenbruch der Elek trodenspannung auf 150 bis 300 V vor dem Zünden des Lichtbogens für die vor zeitige Lichtbogenerkennung deshalb nicht ausgenützt werden, weil die Pulsdauer hiefür nicht ausreicht. Schließlich ist bei der im Zusammenhang mit einer gepulsten Spannungsversorgung im allgemeinen geforderten hohen Stromdynamik das Vor sehen einer Drossel nicht möglich.It has already been proposed for early arc detection (EP 0 528 163 A1), not to monitor fixed limits for current and voltage, but the changes over time of the electrode voltage in order depending on the Difference between the instantaneous value and an average of the electrode chip voltage to separate the voltage source from the electrodes via a comparator stage. This takes advantage of the fact that the before the ignition of an arc Voltage collapses to 150 to 300 V for several milliseconds. Furthermore is to be ensured by a throttle upstream of the cathode that the Cathode current increases only insignificantly within a predetermined period of time can. A disadvantage of this known device, however, is that it is the same voltage source and for voltage sources for pulsed voltage supply supply is unsuitable, but it is advantageous for many applications creates conditions. Because of the usual duty cycle is at pulsed power supply averaging the electrode voltage as Comparison signal not useful. In addition, the collapse of the elec electrode voltage to 150 to 300 V before igniting the arc for the before Early arc detection cannot be used because the pulse duration not enough for that. Finally, in the context of a pulsed Power supply in general demanded high current dynamics the fore see a throttle not possible.

Der Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zum Behandeln eines Werkstückes in einer Gasentladung der eingangs geschilderten Art mit ein fachen Mitteln so auszugestalten, daß eine frühzeitige Lichtbogenerkennung auch bei einer gepulsten Spannungsversorgung möglich wird, um die Spannungsquelle recht zeitig vor einem für das Werkstück gefährlichen Anstieg des Ionenstromes abschal ten zu können. The invention is therefore based on the object of a device for treatment a workpiece in a gas discharge of the type described above fold means so that an early detection of arcing also a pulsed voltage supply becomes possible to get the voltage source right early on before an increase in the ion current dangerous for the workpiece to be able to.

Die Erfindung löst die gestellte Aufgabe dadurch, daß bei einer Spannungsquelle für eine gepulste Spannungsversorgung an der Vergleicherstufe ein einer vorgegebenen Elektrodengrenzspannung entsprechendes Vergleichssignal anliegt und daß der Trennschalter über ein Und-Gatter ansteuerbar ist, dessen Eingänge einerseits mit den Ausgangssignalen der Vergleicherstufe und anderseits mit zu den Spannungs impulsen der Spannungsquelle synchronen Steuersignalen beaufschlagbar sind.The invention solves the problem in that at a voltage source for a pulsed voltage supply at the comparator stage at a given one Electrode limit voltage corresponding reference signal is present and that the Isolator switch can be controlled via an AND gate, the inputs of which are on the one hand the output signals of the comparator stage and on the other hand with the voltage impulses of the voltage source synchronous control signals can be applied.

Da der einerseits von der eingestellten Spannung und anderseits von der Ausgangs impedanz der Spannungsquelle abhängige Anstieg des Ionenstromes eine Folge des der Lichtbogenausbildung vorausgehenden Spannungseinbruches zwischen den Elektroden innerhalb eines Ionisationskanales ist, kann durch die Überwachung der Elektrodenspannung, also der Spannung zwischen dem Behandlungsgefäß und dem Werkstück, die Ausbildung eines Lichtbogens frühzeitig erkannt und die Spannungs quelle abgeschaltet werden, bevor der Ionenstrom eine für das Werkstück gefährliche Größe erreicht hat, weil eben zwischen dem Spannungseinbruch und dem Ionen stromanstieg auf eine unzulässige Größe eine für die Abschaltzeit ausreichende Zeitspanne zur Verfügung steht. Mit der Verwendung von Impulsgeneratoren würde allerdings ohne zusätzliche Maßnahmen am Ende jedes Spannungsimpulses der Trennschalter betätigt werden. Aus diesem Grunde wird der Trennschalter über ein Und-Gatter angesteuert, das eingangsseitig einerseits mit den Ausgangssignalen der Vergleicherstufe und anderseits mit zu den Spannungsimpulsen der Spannungsquelle synchronen Steuersignalen beaufschlagt wird. Liegt ein Spannungseinbruch innerhalb der durch die Steuersignale angezeigten Spannungsimpulslänge, so führt dieser Spannungseinbruch zu einer Betätigung des Trennschalters, um einen sonst auf tretenden Lichtbogen zu unterdrücken. Fällt der über den Geber für die Elektroden spannung erfaßte Spannungseinbruch mit dem Ende eines Spannungsimpulses zusammen, so wird dieser Spannungseinbruch als Ende des Spannungsimpulses erkannt und kein Steuersignal an den Trennschalter weitergeleitet.Because on the one hand by the set voltage and on the other hand by the output Impedance of the voltage source dependent increase in the ion current as a result of the arc formation preceding voltage drop between the Electrodes within an ionization channel can be monitored by monitoring Electrode voltage, i.e. the voltage between the treatment vessel and the Workpiece, the formation of an arc recognized early and the voltage source must be switched off before the ion current is dangerous for the workpiece Has reached size because it is between the voltage drop and the ion current rise to an impermissible size sufficient for the switch-off time Time period is available. With the use of pulse generators however, without additional measures at the end of each voltage pulse Disconnect switches are operated. For this reason, the disconnector is over a And gate controlled, the input side with the output signals of the Comparator stage and on the other hand with the voltage pulses of the voltage source synchronous control signals is applied. There is a voltage drop within of the voltage pulse length indicated by the control signals, this leads Voltage drop to an actuation of the disconnector, otherwise one on suppress arc. If it falls over the sensor for the electrodes voltage detected voltage drop with the end of a voltage pulse together, this voltage dip becomes the end of the voltage pulse recognized and no control signal forwarded to the disconnector.

Wegen der sonst zu berücksichtigenden Spannungsabfälle sollte die Elektrodenspan nung vorteilhaft im Bereich der Elektrodenanschlüsse erfaßt werden. Eine Span nungsgeberanordnung im Bereich der Elektrodenanschlüsse macht jedoch unter Umständen längere Steuerleitungen zu der Spannungsquelle erforderlich, insbeson dere wenn der Trennschalter zur Bildung kompakter Baueinheiten der Spannungs quelle zugeordnet werden soll. Damit trotz längerer Steuerleitungen die Ansprech zeiten für den Trennschalter klein gehalten und eine hohe Sicherheit gegenüber äußeren Störeinflüssen erzielt werden kann, kann die Steuereinrichtung dem Geber für die Elektrodenspannung zugeordnet werden und über einen Lichtwellenleiter den der Spannungsquelle zugehörigen Trennschalter ansteuern. Der Lichtwellenleiter sorgt für eine hohe Übertragungsgeschwindigkeit, und zwar bei einer geringen Stör anfälligkeit, zumal wegen der Zuordnung der Steuereinrichtung zum Spannungsgeber keine Meßdaten zu übertragen sind.Because of the voltage drops to be taken into account otherwise, the electrode chip should voltage can be detected advantageously in the area of the electrode connections. A span However, the sensor arrangement in the area of the electrode connections makes Longer control lines to the voltage source may be required, in particular when the disconnector to form compact units of voltage source should be assigned. So the response despite longer control lines times for the disconnector are kept short and a high level of security external interference can be achieved, the control device can the encoder for the electrode voltage and be assigned via an optical fiber Control the disconnector associated with the voltage source. The optical fiber ensures a high transmission speed with a low interference vulnerability, especially because of the assignment of the control device to the voltage generator no measurement data are to be transmitted.

In der Zeichnung ist der Anmeldungsgegenstand beispielsweise dargestellt. Es zeigenThe subject of the application is shown in the drawing, for example. Show it

Fig. 1 den zeitlichen Verlauf der Elektrodenspannung einer herkömmlichen Vor richtung mit einer Spannungsabschaltung aufgrund einer Überwachung des Ionenstromes, Fig. 1 shows the time course of the electrode voltage of a conventional device with a voltage before shutdown due to a monitoring of the ion current,

Fig. 2 den zeitlichen Verlauf des Ionenstromes bei einer Spannungsabschaltung aufgrund einer Überwachung des Ionenstromes, Fig. 2 shows the time course of the ion current at a voltage cut-off as a result of monitoring of the ion current,

Fig. 3 den zeitlichen Verlauf der Elektrodenspannung für eine erfindungsgemäße Vorrichtung bei einer Spannungsabschaltung aufgrund einer Überwachung der Elektrodenspannung, Fig. 3 shows the time course of electrode voltage for a device according to the invention at a voltage cut-off due to monitoring the electrode voltage,

Fig. 4 den zeitlichen Verlauf des Ionenstromes entsprechend einer Spannungs abschaltung nach der Fig. 3, Fig. 4 shows the time course of the ion current corresponding to a voltage switch-off of FIG. 3,

Fig. 5 eine erfindungsgemäße Vorrichtung zum Behandeln eines Werkstückes in einer Gasentladung in einem vereinfachten Blockschaltbild und Fig. 5 shows an inventive device for treating a workpiece in a gas discharge in a simplified block diagram and

Fig. 6 eine Steuersignalübertragung zwischen der Steuereinrichtung für den Trenn schalter und dem Trennschalter in einem vereinfachten Blockschaltbild. Fig. 6 shows a control signal transmission between the control device for the circuit breaker and the circuit breaker in a simplified block diagram.

Wie der Fig. 5 entnommen werden kann, wird das zu behandelnde Werkstück 1 in ein Behandlungsgefäß 2 eingesetzt, das mit einem unter einem entsprechenden Unterdruck stehenden Behandlungsgas gefüllt ist. Das Werkstück 1 und das Behandlungsgefäß 2 bilden dabei an eine Spannungsquelle 3 angeschlossene Elektroden, zwischen denen ein elektrisches Feld für eine Gasentladung aufgebaut wird. Damit der zwischen den Elektroden fließende Ionenstrom nicht eine das Werkstück 1 gefährdende Größe erreichen kann, muß der Ionenstrom begrenzt und die Aus bildung von Lichtbögen verhindert werden. Zu diesem Zweck wird die Spannungs quelle 3 bei einer unzulässigen Erhöhung des Ionenstromes über einen Trennschalter 4 abgeschaltet, der über eine Steuereinrichtung 5 ansteuerbar ist.As can be seen from FIG. 5, the workpiece 1 to be treated is inserted into a treatment vessel 2 which is filled with a treatment gas which is under a corresponding negative pressure. The workpiece 1 and the treatment vessel 2 form electrodes connected to a voltage source 3 , between which an electric field for a gas discharge is built up. So that the ion current flowing between the electrodes can not reach a size endangering the workpiece 1 , the ion current must be limited and the formation of arcs prevented. For this purpose, the voltage source 3 is switched off in the event of an impermissible increase in the ion current via a disconnector 4 , which can be controlled via a control device 5 .

Bei herkömmlichen Vorrichtungen dieser Art wird der Ionenstrom I überwacht und in der Steuereinrichtung für den Trennschalter 4 mit einem vorgegebenen oberen Grenzwert I_s verglichen, wie dies in der Fig. 2 im Zusammenhang mit der Fig. 1 näher veranschaulicht ist. Tritt gemäß der Fig. 1 im Zeitpunkt t₁ ein Spannungsein bruch der Elektrodenspannung E auf, so steigt der Ionenstrom I in Abhängigkeit von der eingestellten Spannung und der Ausgangsimpedanz der Spannungsquelle 3 rasch an, bis er im Zeitpunkt t₂ die Größe des Grenzwertes I_s erreicht, der erheblich oberhalb des durchschnittlichen Ionenstromes liegen muß, um übliche Stromschwan kungen zu berücksichtigen. Die über die Steuereinrichtung erfaßte Überschreitung des Grenzwertes I_s führt zu einer Ansteuerung des Trennschalters 4, der nach einer unvermeidbaren Ansprechzeit die Spannungsquelle 3 zum Zeitpunkt t₃ abschaltet, was einen völligen Zusammenbruch der Elektrodenspannung E und einen entspre chenden Abbau des Ionenstromes I zur Folge hat. Da somit bei einem Spannungs einbruch zur Zeit t₁ der Ionenstrom bis zum Zeitpunkt t₃ ansteigt, kann die Span nungsquelle 3 erst bei einer das Werkstück bereits gefährdenden Stromstärke über den Trennschalter 4 abgeschaltet werden.In conventional devices of this type, the ion current I is monitored and compared in the control device for the disconnector 4 with a predetermined upper limit value I _s , as is illustrated in more detail in FIG. 2 in connection with FIG. 1. Occurs in accordance with the Fig. 1 at the time t₁, a conduct voltage drop of the electrode voltage E, so the ion current I increases as a function of the set voltage and the output impedance of the voltage source 3 rapidly until it at the time the size t₂ of the limit value I _s reached, which must be significantly above the average ion current in order to take into account current fluctuations. The detection of the limit value I _s detected by the control device leads to activation of the isolating switch 4 which , after an unavoidable response time, switches off the voltage source 3 at the time t 3 , which results in a complete breakdown of the electrode voltage E and a corresponding reduction in the ion current I. Since thus at a voltage drop at time t₁ the ion current rises to the time t₃, the voltage source 3 can only be switched off at a current intensity which is already endangering the workpiece via the isolating switch 4 .

Im Gegensatz dazu wird nach der Erfindung nicht der Ionenstrom I, sondern die Elektrodenspannung E überwacht, und zwar mit Hilfe eines Gebers 6, so daß die jeweilige Elektrodenspannung E mit einer unteren Grenzspannung E_s verglichen werden kann, um im Falle eines Unterschreitens dieser Grenzspannung E_s den Trennschalter 4 über die Steuereinrichtung 5 abzuschalten. In der Fig. 3 ist dieser mit dem Zeitpunkt der Grenzwertunterschreitung praktisch übereinstimmende Zeitpunkt der Spannungsunterschreitung mit t_1,2 bezeichnet. Die Abschaltung erfolgt nach einer entsprechenden Ansprechzeit für den Trennschalter 4 zum Zeitpunkt t₃, wie dies der Fig. 4 entnommen werden kann. Beim Vergleich der Fig. 1 und 2 mit den Fig. 3 und 4 ergibt sich, daß bei einer Stromüberwachung gemäß den Fig. 1 und 2 der Ionen strom I um die Zeitspanne (t₂-t₁) länger ansteigt als bei der Spannungsüberwa chung, bei der der Zeitpunkt des Spannungszusammenbruches praktisch mit dem Zeitpunkt der Erkennung der Grenzüberschreitung zusammenfällt.In contrast to this, according to the invention it is not the ion current I, but the electrode voltage E that is monitored, with the aid of a sensor 6 , so that the respective electrode voltage E can be compared with a lower limit voltage E _s , in order to be able to, if the limit voltage E falls below this limit _s to disconnect the isolating switch 4 via the control device 5 . In FIG. 3, this point in time of the voltage drop, which practically corresponds to the point in time when the limit value is undershot, is denoted by t _1,2 . The shutdown takes place after a corresponding response time for the disconnector 4 at the time t₃, as can be seen in FIG. 4. When comparing FIGS. 1 and 2 with FIGS. 3 and 4, it follows that with a current monitoring according to FIGS. 1 and 2, the ion current I increases by the time span (t₂-t₁) longer than in the voltage monitoring, at that the time of the voltage collapse practically coincides with the time when the limit is recognized.

Für die Werkstückbehandlung empfiehlt sich der Einsatz einer Spannungsquelle 3 für eine gepulste Spannungsversorgung. In den Fig. 1 bis 4 sind die vollständigen Spannungs- bzw. Stromimpulse strichliert angedeutet. Damit der Spannungszusam menbruch am Ende eines Spannungsimpulses nicht zum Abschalten des Trenn schalters 4 führt, ist gemäß der Fig. 5 eine entsprechende Erkennungsschaltung 7 vorgesehen, die nur dann das Steuersignal der Steuereinrichtung 5 zum Betätigen des Trennschalters 4 an diesen weitergibt, wenn der über den Geber 6 festgestellte Spannungseinbruch innerhalb eines Spannungsimpulses liegt.The use of a voltage source 3 for a pulsed voltage supply is recommended for workpiece treatment. In FIGS. 1 to 4, the full voltage or current pulses are indicated by dashed lines. So that the voltage collapse at the end of a voltage pulse does not lead to the disconnection of the isolating switch 4 , a corresponding detection circuit 7 is provided in accordance with FIG. 5, which only then transmits the control signal of the control device 5 for actuating the isolating switch 4 to the latter when the switch is on Encoder 6 detected voltage drop is within a voltage pulse.

In der Fig. 6 ist die Ansteuerung des Trennschalters 4 näher dargestellt. Über den an die Anschlußklemmen 8 der Elektroden angeschlossenen, als Spannungsteiler ausge bildeten Geber 6 wird ein der Elektrodenspannung proportionaler Wert an die Steuer einrichtung 5 weitergeleitet, die diesen Spannungswert in einer Vergleicherstufe 9 mit einem über einen Eingang 10 vorgegebenen Grenzspannungswert vergleicht und beim Unterschreiten dieses Grenzspannungswertes eine monostabile Kippstufe 11 ansteuert, die einen Transistorschalter 12 kurzzeitig öffnet, so daß eine in dem Kreis dieses Transistorschalters 12 vorgesehene Photodiode 13 einen Lichtblitz abgibt, der über einen Lichtwellenleiter 14 zu der die Spannungsquelle 3 einschließenden Energieversogungseinheit 15 geleitet wird. Dieser Lichtblitz beaufschlagt eine Photo diode 16, die leitend wird, so daß der zufolge des dadurch bedingten Stromflusses an einem ohmschen Widerstand 17 auftretende Spannungsabfall über eine Vergleicher stufe 18 erfaßt werden kann, die nur dann ein Steuersignal abgibt, wenn der Span nungsabfall einen vorgegebenen Stellwert überschreitet. Der Ausgang der Vergleicherstufe 18 liegt an einem Und-Gatter 19 an, dessen anderer Eingang 20 mit zu den Spannungsimpulsen der Spannungsquelle 3 synchronen Steuersignalen beaufschlagt wird, so daß das Und-Gatter 19 nur dann durchschaltet, wenn der über den Geber 6 erfaßte Spannungseinbruch innerhalb eines Spannungsimpulses liegt. Über eine nachgeordnete monostabile Kippstufe 21 wird der Trennschalter 4 für eine Zeitspanne betätigt, die einen Abbau des Lichtbogenkanals erlaubt.The control of the disconnector 4 is shown in more detail in FIG. 6. About the connected to the terminals 8 of the electrodes, formed as a voltage divider encoder 6 , a value proportional to the electrode voltage is passed on to the control device 5 , which compares this voltage value in a comparator stage 9 with a limit voltage value specified via an input 10 and when the voltage falls below this limit value controls a monostable multivibrator 11 which briefly opens a transistor switch 12 so that a photodiode 13 provided in the circuit of this transistor switch 12 emits a flash of light which is conducted via an optical waveguide 14 to the energy supply unit 15 including the voltage source 3 . This flash of light acts on a photo diode 16 , which becomes conductive, so that the voltage drop that occurs as a result of the resulting current flow at an ohmic resistor 17 can be detected via a comparator stage 18 , which emits a control signal only when the voltage drop a predetermined control value exceeds. The output of the comparator stage 18 is connected to an AND gate 19 , the other input 20 of which is supplied with control signals which are synchronous with the voltage pulses of the voltage source 3 , so that the AND gate 19 only switches through when the voltage drop detected via the encoder 6 occurs within of a voltage pulse. The isolating switch 4 is actuated via a downstream monostable multivibrator 21 for a period of time which allows the arc channel to be removed.

Claims

1. Device for treating a workpiece in a gas discharge, with a treatment vessel receiving the workpiece, with a voltage source applied to the treatment vessel and the workpiece as electrodes, and with a disconnect switch which can be actuated as a function of the electrode voltage via a control device between the voltage source and the workpiece or the treatment vessel, wherein the device connected to a sensor for the electrode voltage control means comprises a comparator, the input side on the one hand rests against the output signal of this sensor and the other hand on a Ver same signal for a lower electrode threshold voltage and the output side, actuates the circuit breaker at an underflow of the electrode threshold voltage, characterized characterized in that at a voltage source ( 3 ) for a pulsed voltage supply at the comparator stage ( 9 ) a comparative corresponding to a predetermined electrode limit voltage Signal is present and that the isolating switch ( 4 ) can be controlled via an AND gate ( 19 ), the inputs of which can be acted upon on the one hand by the output signals of the comparator stage ( 9 ) and on the other hand by control signals which are synchronous with the voltage pulses of the voltage source ( 3 ).

2. Apparatus according to claim 1, characterized in that the Steuereinrich device ( 5 ) is assigned to the transmitter ( 6 ) for the electrode voltage and controls the isolating switch ( 4 ) associated with the voltage source ( 3 ) via an optical waveguide ( 14 ).