[go: up one dir, main page]

DE19526254C2 - Passiver magnetischer Positionssensor - Google Patents

Passiver magnetischer Positionssensor

Info

Publication number
DE19526254C2
DE19526254C2 DE19526254A DE19526254A DE19526254C2 DE 19526254 C2 DE19526254 C2 DE 19526254C2 DE 19526254 A DE19526254 A DE 19526254A DE 19526254 A DE19526254 A DE 19526254A DE 19526254 C2 DE19526254 C2 DE 19526254C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
position sensor
sensor according
bending beam
beam structure
passive position
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE19526254A
Other languages
English (en)
Other versions
DE19526254A1 (de
Inventor
Lothar Dr Gier
Bernd Oesterle
Rudolf Borchert
Wolfgang Porth
Sabine Stark
Werner Wallrafen
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mannesmann VDO AG
Original Assignee
Mannesmann VDO AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mannesmann VDO AG filed Critical Mannesmann VDO AG
Priority to DE19526254A priority Critical patent/DE19526254C2/de
Priority to US08/649,141 priority patent/US5798640A/en
Publication of DE19526254A1 publication Critical patent/DE19526254A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE19526254C2 publication Critical patent/DE19526254C2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/18—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying effective impedance of discharge tubes or semiconductor devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/16—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying resistance
    • G01D5/165—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying resistance by relative movement of a point of contact or actuation and a resistive track

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft einen passiven magnetischen Positionssensor, bestehend aus einem elektrisch nicht leitfähigen, unmagnetischen Substrat, auf welchem eine Widerstandsschicht und eine weichmagnetische elektrisch leitfähige Biegebalken­ struktur angeordnet ist, wobei Widerstandsschicht und Biegebalkenstruktur in einem konstanten Abstand teilweise übereinanderliegend angeordnet sind und der Abstand so gewählt ist, daß unter Einwirkung einer entlang des sich überlappenden Berei­ ches von Biegebalkenstruktur und Widerstandsschicht geführten Magneteinrichtung eine Berührung zwischen Widerstandsschicht und weichmagnetischer Biegebalken­ struktur entsteht.
Es sind Positionssensoren bekannt, bei welchen zur Einstellung unterschiedlicher Widerstandswerte Leiterbahn- und Widerstandsbahn übereinander liegend galvanisch voneinander getrennt auf einem Substrat angeordnet sind. Die Lei­ terbahn ist kammförmig ausgebildet und einseitig fest mit dem Substrat verbunden, während seine frei beweglichen Enden der Widerstandsschicht gegenüberliegen. Eine Magneteinrichtung, welche mit dem sich bewegenden Objekt verbunden ist, wird entlang des sich überlappenden Bereiches von Widerstands- und Leiterbahn geführt. Entsprechend der Position der Magneteinrichtung wird das entsprechende frei bewegliche Ende der Leiterbahn auf die Widerstandsbahn gezogen und so ein elektrischer Kontakt hergestellt. Die frei beweglichen Enden der Leiterbahn greifen in einer elektrischen Schaltung unterschiedliche Spannungen ab, je nachdem an welcher Stelle die Kontaktierung erfolgt.
In der EP 0 260 091 A2 ist eine Kontrolleinrichtung für elektrische Geräte offenbart, welche Schaltelemente aufweisen, die jeweils aus einem starren Teil und einem beweglichen Teil bestehen, die elektrisch leitfähig ausgebildet sind. Der starre und der bewegliche Teil sind dabei in einem Gehäuse angeordnet, wobei auf dem freien Ende des beweglichen Teils ein magnetischer Körper angeordnet ist. Der sich außerhalb des Gehäuses befindende Magnet wird gegenüber dem freien Ende des beweglichen Teiles geführt, was an der entsprechenden Position zum Auslenken des beweglichen Teiles und infolgedessen zum Kontakt mit dem starren Teil führt. Die starren Teile sind jeweils als Abgriff zwischen zwei Widerständen eines Spannungsteiles elektrisch geschaltet, so daß der Stromkreis durch die Berührung des beweglichen Teils mit einem starren Teil geschlossen wird.
Aus der G 90 00 737 ist ein magnetischer Positionssensor bekannt, bei welchem auf einer Beschichtung ein magnetisch elektrischer Leiter und ein nicht magnetischer elektrischer Leiter angeordnet sind, welche durch eine Dielektrikumschicht getrennt sind. Die Dielektrikumschicht weist dabei Löcher auf, an welchen es je nach Stellung des Magneten zu einem Kontakt zwischen magnetischem und nicht magnetischem Leiter kommt.
Die DE 43 09 442 A1 offenbart einen magnetischen Positionssensor, welcher auf einem elektrisch nicht leitfähigen, unmagnetischen Substrat eine Widerstandsschicht aufweist. Weiterhin weist der Sensor eine weichmagnetische Biegenbalkenstruktur auf, die in einem konstanten Abstand teilweise übereinanderliegend angeordnet sind, so daß unter Einwirkung eines Magneten eine Berührung zwischen Widerstandsschicht und Biegebalkenstruktur entsteht.
Nachteilig ist dabei bei allen Anordnungen, daß die Struktur der Widerstandsbahn keine genaue Bestimmung der am Widerstand abfallenden Spannung zuläßt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Positionsgeber anzugeben, der einen genauen Spannungsabgriff erlaubt, der verschleißarm arbeitet sowie konstruktiv einfach zu realisieren ist.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß die Widerstandsschicht elektrisch leitfähig ausgebildet ist und entlang ihrer Längsrichtung eine mä­ anderförmiger Struktur aufweist, an die sich kammartige Abgriffe anschließen welche an den der weichmagnetischen Biegebalkenstruktur gegenüberliegen­ den Bereichen Kontaktflächen aufweisen.
Der Vorteil der Erfindung steht in der Verbesserung der Kontaktfähigkeit. Die kammartige Gestaltung mit den sich anschließenden Kontaktflächen der Wi­ derstandsschicht dient der Steigerung der Empfindlichkeit und zur Verbesse­ rung der örtlichen Auflösung.
Dadurch lassen sich auf gleicher Fläche eine wesentlich längere Leiterbahn und somit größere Widerstandsbereiche realisieren, vorzugsweise zwischen 500 Ω und 2 k Ω.
Zur Erniedrigung des Kontaktwiderstandes sind sowohl die Kontaktflächen der Widerstandsschicht als auch die der einseitig frei beweglichen Biegebalken­ struktur mit Gold beschichtet.
Das die Widerstandsschicht und die Biegebalkenstruktur tragende isolierende, unmagnetische Substrat besteht entweder aus einer Keramik-, Glas- oder Kunststoffplatte oder einer glas- oder isolationsbeschichteten Metallplatte.
Um eine gute elektrische Isolierung von Widerstandsbahn und Biegebalken­ struktur außerhalb des durch die Magneteinrichtung festgelegten Kontaktbe­ reiches zu erlangen, sind beide durch einen Abstandshalter räumlich getrennt.
Vorzugsweise wird der Abstand zwischen Widerstandsbahn und Biegebalken­ struktur mit in einem Klebemittel enthaltenen Spacern realisiert, mittels wel­ chem Widerstandsbahn oder Biegebalkenstruktur am isolierenden Substrat befestigt sind. Die Spacer weisen dabei eine durchschnittliche Größe von 0,1-0,2 mm auf.
Weitere Ausgestaltungen sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.
Die Erfindung läßt zahlreiche Ausführungsformen zu, wobei eine in der Zeich­ nung anhand der Figuren näher erläutert werden soll.
Es zeigt:
Fig. 1 erfindungsgemäßer Positionsgeber,
Fig. 2 Ausschnittdarstellung des erfindungsgemäßen Positionsgebers,
Fig. 3 bogenförmig gestaltete Widerstandsschicht,
Fig. 4 bogenförmig gestaltete Biegebalkenstruktur,
Fig. 5 schematische Darstellung des Funktionsprinzips des Positionsgebers.
Fig. 6 schematische Darstellung Gehäusequerschnitt.
Gleiche Merkmale sind in allen Figuren mit den gleichen Bezugszeichen ge­ kennzeichnet.
In Fig. 1 ist der Aufbau eines linearen passiven magnetischen Positionssensors auf der Basis einer Dünnschichtanordnung dargestellt.
Das unmagnetische, elektrisch nicht leitende Substrat 1 trägt eine metallische, niederohmige und somit leitende Widerstandsschicht 2, welche kammartig gestaltet ist.
Wie aus Fig. 1 ersichtlich, weist die Widerstandsschicht 2 einen Bereich 3 auf, welcher sich mäanderförmig zwischen zwei elektrischen Anschlüssen 5 und 6 erstreckt. An jeden Mäander schließt sich jeweils ein Abgriff 4 an, der partiell mit Gold beschichtet ist und eine geschlossene Kontaktfläche 4a bildet.
Die Widerstandsschicht 2 ist auf das isolierende Substrat 1 aufgesputtert oder aufgedampft und auf einen kleinen Temperaturkoeffizienten ( < 100 ppm/K) ein­ gestellt. Die Strukturierung der Widerstandsschicht 2 erfolgt photolithografisch mittels Lacktechnik, Ätz- oder Lift-off-Technik. Der Widerstandswert wird durch ein geeignetes Layout, durch eine entsprechende Schichtdicke oder durch die Wahl der Legierung bestimmt. Typische Leiterbahnbreiten liegen bei der vorlie­ genden Mäanderstruktur bei 10 bis 100 µm.
Die mäanderförmige Struktur der Widerstandsschicht 2 kann aufgedampft, auf­ gesputtert oder als Carbon oder Leitplastikschicht aufgedruckt sein. Auch eine Ausführung als Dickschicht ist vorstellbar. Eine Linearisierung bzw. der Ab­ gleich des genauen Schichtwiderstandes erfolgt dabei durch Laser, Elektronen­ strahl oder andere abrasive Methoden.
Auf dem Substrat 1 ist parallel zur Widerstandsschicht 2 eine Abstandsfolie 7 angeordnet, auf welcher eine kammförmige Biegebalkenstruktur 8 in Form ei­ ner weichmagnetischen Folie aufgebracht ist. Gemäß Fig. 2 besteht die kamm­ förmige weichmagnetische Folie aus einseitig gestützten Biegebalken 9. In ihrem Kernbereich sind die Biegebalken 9 tailliert ausgebildet. Das sich an diese Taille 12 anschließende frei bewegliche Ende 10 des Biegebalkens 9 ist zur Reduzierung des Kontaktwiderstandes galvanisch mit einer Gold-Dünn­ schicht beschichtet. Die Taillierung der Biegebalken 9 führt zur Optimierung der Magnetempfindlichkeit.
Die Abstandsfolie 7 hält die freibeweglichen Enden 10 der Biegebalkenstruktur 8 in einem definierten Abstand zu den Kontaktflächen 4a der Widerstands­ schicht 2.
Die Abstandsfolie 7 ist mittels eines temperaturbeständigen und ausgasungs­ freien Klebstoffes sowohl an der Biegebalkenstruktur 8 als auch am isolieren­ den Substrat 1 befestigt. Zur Herstellung einer elektrischen Verbindung ist die Abstandsfolie 7 metallisch ausgebildet.
Die Abstandsfolie 7 kann entfallen, wenn das Klebemittel selbst Spacer z. B. von korngroßen Glasbruch enthält, die die Funktion des Abstandshalters wahr­ nehmen. Die weichmagnetische Folie 8 ist selbst elektrisch leitfähig ausgebil­ det. Auch kann die natürliche Längskrümmung der Biegebalkenstruktur 8 zur Abstandsgewinnung der Biegebalken 9 zu den Kontaktflächen 4a der Wider­ standsschicht 2 genutzt werden.
Die Widerstandsschicht 2 ist über die Anschlüsse 5 und 6 vorzugsweise elek­ trisch mit Masse und der Betriebsspannung UB verbunden. An der Biegebal­ kenstruktur 8 liegt die Signalspannung UAUS, die im Bereich 0V bis UB vari­ ierbar ist und die Position eines Permanentmagneten 11 darstellt.
Wie aus Fig. 5 ersichtlich, überdecken sich die freibeweglichen Enden 10 der Biegebalken 9 mit den Kontaktflächen 4a der Widerstandsschicht 2. Wider­ standsbahn 2 und Biegebalkenstruktur 8 sind so ausgerichtet, daß entweder die Kontaktflächen beider Enden in eine Richtung weisen oder sich überlap­ pend gegenüberliegen.
Der Permanentmagnet 11, welcher beweglich zu der weichmagnetischen Bie­ gebalkenstruktur 8 abgewandten Seite der Widerstandsschicht 2 in Abstand angeordnet ist, wird im Bereich der Überlagerung der Kontaktflächen 4a der Widerstandsschicht 2 mit den freibeweglichen Enden 10 der einseitig gestütz­ ten Biegebalken 9 bewegt.
Die freibeweglichen Enden 10 der Biegebalken 9 der weichmagnetischen Folie 8 werden durch das Magnetfeld des Permanentmagneten 11 auf die Kontaktflä­ chen 4a der Widerstandsschicht 2 gezogen und kontaktiert. Je nachdem, an welcher Position der Permanentmagnet 11 einen Kurzschluß erzeugt, wird an dieser Stelle ein bestimmter Abgriff der Widerstandsbahn 2 durch den Anschluß UAUS erzeugt.
Die Breite des Dauermagneten 11 ist so dimensioniert, daß mehrere neben einander liegende frei bewegliche Enden 10 der Biegebalkenstruktur 8 gleichzeitig mit den entsprechenden Kontaktflächen 4a der Widerstandsschicht 2 kontaktiert werden und somit redundant wirken.
Die Auflösung des oben beschriebenen Positionsgebers beträgt (100/n) %, wobei n die Anzahl der Kontaktteilungen (Biegebalken 9) ist. Im Mittelbereich wird eine Auflösung von (100/2n)% erreicht.
Die Fig. 3 und 4 zeigen eine bogenförmige Gestaltung der Widerstands­ schicht 2 und der Biegebalkenstruktur 8.
Zur Verbesserung der Kennlinienanpassung ist es auch möglich eine nicht gleichgeteilte Ausführung der Biegebalkenstruktur 8 und/oder der Mäandrie­ rung der Widerstandsschicht 2 vorzunehmen.
Außerhalb des Meßbereichs des Positionsgebers weisen die Widerstands­ schicht 2 sowie die Biegebalkenstruktur 8 jeweils einen nicht dargestellten gegenüberliegenden Kontaktbereich (Warnkontakt) auf, bei dessen Kontak­ tierung durch den Dauermagneten dem Nutzer des Positionsgebers signalisiert wird, daß der Meßbereich verlassen wurde.
Das die Widerstandsschicht 2 und die weichmagnetische Folie 8 tragende iso­ lierende Substrat 1 besteht aus einer Keramikplatte. Es ist aber auch der Ein­ satz von Glas- oder Kunststoffträgern oder glas- oder isolationsbeschichteten Metallplatten denkbar.
In einer anderen Ausgestaltung sind die Abstandsfolie 7 und die Biegebalken­ struktur 8 mit einer nicht dargestellten geklemmten Andruckplatte gegen das isolierende Substrat 1 gepreßt.
Das isolierende Substrat 1, welches die Widerstandsschicht 2, die Abstandsfo­ lie 7 sowie die weichmagnetische Folie 8 trägt, dient gleichzeitig als Gehäuse­ wandung des Positionssensors, die mit einer Gehäuseabdeckung 16 verschlos­ sen wird.
Bei Verwendung einer metallischen Gehäuseabdeckung 16 kann die Ab­ deckung zum Korrosionsschutz und zur Verbesserung der Lötbarkeit voll­ ständig verzinnt werden. Das Material der Abdeckung weist dabei einen Ausdehnungskoeffizienten auf, der dem des Materials des isolierenden Substrats 1 angepaßt ist.
Das geschlossene, vorverzinnte Gehäuse des Positionssensors wird verlötet.
Anstelle der metallischen Gehäuseabdeckung 16 ist auch ein lötfähig metallisierter Keramikdeckel verwendbar.
Eine weitere Möglichkeit besteht darin, den Gehäusedeckel 16 mit dem Substrat mit Kleber oder einer Schmelzfolie zu verkleben.
Gleichzeitig mit der Widerstandsschicht 2 wird eine Metallschicht 13 als umlau­ fender Rand auf das isolierende Substrat 1 zur Verkapselung des Positions­ sensors aufgebracht. Zur Verbesserung der Lötbarkeit wird die Metallschicht 13 vergoldet.
Zur Realisierung der elektrischen Anschlüsse werden gemäß Fig. 3 u. 6 Stifte 14 durch das isolierende Substrat 1 geführt und dort hermetisch dicht und damit medienbeständig mit den Kontaktflächen 5, 6 der Widerstandsschicht 2 und UAUS der Biegebalkenstruktur 8 verlötet oder verschweißt.
Durch von der Außenseite des Gehäuses auf die Stifte aufgesteckte Hülsen 15 können die Stifte 14 druckentlastet werden.
Durch geeignete Layoutgestaltung können die Kontaktstifte 14 als 3-fach Steckerstifte bei potentiometrischer Beschaltung oder 2-fach Steckerstifte bei Betrieb als positionsabhängiger Widerstand ausgeführt werden.
Die Steckerstifte können aber auch als 2- bzw. 3-poliges Steckerspritzteil zum direkten Einlöten in den Positionsgeber ausgebildet sein.

Claims (17)

1. Passiver magnetischer Positionssensor, bestehend aus einem elek­ trisch nicht leitfähigen, unmagnetischen Substrat, auf welchem eine Widerstandsschicht und eine weichmagnetische, elektrisch leitfähige Biegebalkenstruktur angeordnet ist, wobei Widerstandsschicht und Biegebalkenstruktur in einem konstanten Abstand teilweise übereinan­ derliegend angeordnet sind, und der Abstand so gewählt ist, daß unter Einwirkung einer entlang des sich überlappenden Bereiches von Bie­ gebalkenstruktur und Widerstandsschicht geführten Magneteinrichtung eine Berührung zwischen Widerstandsschicht und weichmagnetischer Biegebalkenstruktur entsteht, dadurch gekennzeichnet, daß die Wider­ standsschicht (2) elektrisch leitfähig ausgebildet ist und entlang ihrer Längsrichtung eine mäanderförmige Struktur (3) aufweist, an die sich Abgriffe (4) anschließen, welche an den der weichmagnetischen Biegebalkenstruktur (8) gegenüberliegenden Bereichen Kontaktflächen (4a) aufweisen.
2. Passiver Positionssensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Widerstandsschicht (2) auf dem isolierenden Substrat (1) aufgedampft oder aufgesputtert ist.
3. Passiver Positionssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktflächen (4a) der Wider­ standsschicht (2) zur Erniedrigung der Kontaktwiderstände mit Gold beschichtet sind.
4. Passiver Positionssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das isolierende, unmagnetische Sub­ strat (1) eine Keramik- oder Glas- oder Kunststoffplatte ist.
5. Passiver Positionssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das isolierende, unmagnetische Substrat (1) eine glas- oder isolationsbeschichtete Metallplatte ist.
6. Passiver Positionssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die weichmagnetische Biegebal­ kenstruktur (8) im Bereich der Kontaktflächen (10) vergoldet ist.
7. Passiver Positionssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die weichmagnetische Biegebal­ kenstruktur (8) vollständig vergoldet ist.
8. Passiver Positionssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Widerstandsschicht (2) und die Biegebalkenstruktur (8) durch Abstandshalter (7) getrennt sind.
9. Passiver Positionssensor nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstandshalter (7) eine metallische Folie ist, auf welcher die weichmagnetische Biegebalkenstruktur (8) befestigt ist.
10. Passiver Positionssensor nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstandshalter (7) mit einem temperaturbeständigen, ausga­ sungsarmen Klebemittel sowohl an der Biegebalkenstruktur (8) als auch am Substrat (1) befestigt ist.
11. Passiver Positionssensor nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die natürliche Längskrümmung der weichmagnetischen Biege­ balkenstruktur (8) zur Abstandsgewinnung nutzbar ist.
12. Passiver Positionssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Magneteinrichtung ein Permanent­ magnet (11) ist.
13. Passiver Positionssensor nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Permanentmagnet (11) in seinen Abmaßen mindestens zwei Biegebalken (9) der weichmagnetischen Biegebalkenstruktur (8) überdeckt.
14. Passiver Positionssensor nach Anspruch 1, 12 oder 13, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Permanentmagnet (11) an der der Biegebalken­ struktur (8) abgewandten Seite der Widerstandsschicht (2) in Abstand zu dieser beweglich angeordnet ist.
15. Passiver Positionssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Widerstandsschicht (2) und die Biegebalkenstruktur (8) linear oder bogenförmig gestaltet sind.
16. Passiver Positionssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Biegebalkenstruktur (8) ein- oder beidseitig gestützt ist.
17. Passiver Positionssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das isolierende Substrat (1) gleichzeitig als Gehäusewandung dient, welche mit einer Gehäuseabdeckung (16) verschlossen ist.
DE19526254A 1995-07-19 1995-07-19 Passiver magnetischer Positionssensor Expired - Lifetime DE19526254C2 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19526254A DE19526254C2 (de) 1995-07-19 1995-07-19 Passiver magnetischer Positionssensor
US08/649,141 US5798640A (en) 1995-07-19 1996-05-14 Passive magnetic position sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19526254A DE19526254C2 (de) 1995-07-19 1995-07-19 Passiver magnetischer Positionssensor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE19526254A1 DE19526254A1 (de) 1997-01-23
DE19526254C2 true DE19526254C2 (de) 1998-01-29

Family

ID=7767177

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19526254A Expired - Lifetime DE19526254C2 (de) 1995-07-19 1995-07-19 Passiver magnetischer Positionssensor

Country Status (2)

Country Link
US (1) US5798640A (de)
DE (1) DE19526254C2 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102009018342A1 (de) 2008-04-24 2009-10-29 Hirschmann Automotive Gmbh Magnetischer Positionssensor mit einer Abgreifschicht aus einem amorphen Metall

Families Citing this family (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19648539C2 (de) * 1996-11-25 2000-04-13 Mannesmann Vdo Ag Passiver magnetischer Positionssensor
DE19701246A1 (de) * 1997-01-16 1998-07-23 Mannesmann Vdo Ag Füllstandsgeber
US5901458A (en) 1997-11-21 1999-05-11 Mitutoyo Corporation Electronic caliper using a reduced offset induced current position transducer
DE19819047A1 (de) * 1998-03-21 1999-09-23 Mannesmann Vdo Ag Kraftstofftank
US6029363A (en) * 1998-04-03 2000-02-29 Mitutoyo Corporation Self-calibrating position transducer system and method
US7047416B2 (en) * 1998-11-09 2006-05-16 First Data Corporation Account-based digital signature (ABDS) system
US6820202B1 (en) * 1998-11-09 2004-11-16 First Data Corporation Account authority digital signature (AADS) system
US6501264B2 (en) * 2000-03-13 2002-12-31 Mitutoyo Corporation Induction type transducer and electronic caliper
CA2418050C (en) * 2000-08-04 2014-05-20 First Data Corporation Linking public key of device to information during manufacture
US6487787B1 (en) 2001-08-03 2002-12-03 Mitutoyo Corporation System and method for determination of error parameters for performing self-calibration and other functions without an external position reference in a transducer
US20050139003A1 (en) * 2003-02-26 2005-06-30 Rudolph Bergsma Trust Hermetic fuel level sender
DE10308958A1 (de) * 2003-02-28 2004-09-09 Siemens Ag Magnetisch passiver Positions-Sensor, Verfahren zur Fertigung des magnetisch passiven Positions-Sensors
WO2004099724A2 (en) 2003-05-06 2004-11-18 Sri International Hydraulic cylinder with piston and a magnetic layer on the piston rod for piston position determination
US6868724B2 (en) * 2003-05-08 2005-03-22 Ti Group Automotive Systems, L.L.C. Sealed fuel level sensor
US20050237197A1 (en) * 2004-04-23 2005-10-27 Liebermann Howard H Detection of articles having substantially rectangular cross-sections
US7259553B2 (en) * 2005-04-13 2007-08-21 Sri International System and method of magnetically sensing position of a moving component
US20060272405A1 (en) * 2005-06-07 2006-12-07 Lajos Feher Casing for in-tank hall effect sensor used for fuel level sensing
US7673509B2 (en) * 2006-01-04 2010-03-09 Rudolph Bergsma Trust Magnetically coupled drive for a sealed liquid level sender
EP2084498A2 (de) * 2006-11-18 2009-08-05 Hirschmann Automotive GmbH Magnetischer positionssensor
DE102007023530A1 (de) 2007-05-18 2008-11-20 Metallux Ag Positionssensor
DE102007061316A1 (de) 2007-12-19 2009-06-25 Continental Automotive Gmbh Tankgeberplatine
DE102008011713A1 (de) 2008-02-28 2009-09-03 Continental Automotive Gmbh Magnetischer passiver Positionssensor
DE102009013533A1 (de) * 2009-03-19 2010-09-23 Metallux Ag Positionssensor
KR101131425B1 (ko) 2010-02-03 2012-04-03 한국과학기술원 평면 형상 변형 인식 방법 및 그 장치
EP2534448A4 (de) * 2010-02-11 2014-09-10 Kurt D Fulkerson Wegmesssystem und -verfahren mithilfe magnetischer kodierungen
DE102012008266A1 (de) * 2012-04-25 2013-10-31 Airbus Operations Gmbh Sensorik zur Layoutvalidierung eines Sauerstoffmoduls
CH706479A1 (de) * 2012-05-07 2013-11-15 Contelec Ag Mehrgang-Potentiometer zur Messung eines Drehwinkels.
DE102014210737A1 (de) * 2014-06-05 2015-12-31 Robert Bosch Gmbh Magnetisch passiver Positionssektor insbesondere für Kfz-Kraftstoffbehälter
DE102014210717A1 (de) * 2014-06-05 2015-12-17 Robert Bosch Gmbh Füllstandssensor für Kraftfahrzeugtank mit metallischem Abstandshalterelement
DE102016213501A1 (de) 2016-07-22 2018-01-25 Continental Automotive Gmbh Füllstandsgeber
DE102016213514A1 (de) * 2016-07-22 2018-01-25 Continental Automotive Gmbh Passiver magnetischer Positionssensor
EP3343232B1 (de) 2016-12-29 2021-09-15 Roche Diagnostics GmbH Laborprobenverteilungssystem und laborautomatisierungssystem

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2011892B2 (de) * 1969-03-14 1978-11-23 Communications Patents Ltd Elektrischer Schalter
EP0260091A2 (de) * 1986-09-09 1988-03-16 Hayashibara, Ken Regler für elektrische Geräte die zum Gebrauch in Bädern bestimmt sind
DE9000737U1 (de) * 1990-01-24 1990-04-12 Bergwerksverband Gmbh, 4300 Essen Biegsamer berührungsloser Sensor für Maschinen und Geräte
DE4309442A1 (de) * 1993-03-24 1994-09-29 Vdo Schindling Passiver berührungsloser magnetischer Positionssensor
DE4335004A1 (de) * 1993-10-14 1995-04-20 Hoffmann & Krippner Gmbh Sensor

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5074053A (en) * 1990-08-13 1991-12-24 West John D Magnetically actuated linear position sensor

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2011892B2 (de) * 1969-03-14 1978-11-23 Communications Patents Ltd Elektrischer Schalter
EP0260091A2 (de) * 1986-09-09 1988-03-16 Hayashibara, Ken Regler für elektrische Geräte die zum Gebrauch in Bädern bestimmt sind
DE9000737U1 (de) * 1990-01-24 1990-04-12 Bergwerksverband Gmbh, 4300 Essen Biegsamer berührungsloser Sensor für Maschinen und Geräte
DE4309442A1 (de) * 1993-03-24 1994-09-29 Vdo Schindling Passiver berührungsloser magnetischer Positionssensor
DE4335004A1 (de) * 1993-10-14 1995-04-20 Hoffmann & Krippner Gmbh Sensor

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102009018342A1 (de) 2008-04-24 2009-10-29 Hirschmann Automotive Gmbh Magnetischer Positionssensor mit einer Abgreifschicht aus einem amorphen Metall

Also Published As

Publication number Publication date
US5798640A (en) 1998-08-25
DE19526254A1 (de) 1997-01-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19526254C2 (de) Passiver magnetischer Positionssensor
DE19648539C2 (de) Passiver magnetischer Positionssensor
EP0953141B1 (de) Füllstandsgeber
DE4309442C2 (de) Passiver berührungsloser magnetischer Positionssensor
DE3013129C2 (de) Detektorvorrichtung für die X- und Y-Koordinaten von Eingabepunkten
DE3902738C2 (de) Düsenklappenvorrichtung
EP1282920B1 (de) Piezo-biegewandler und verwendung desselben
DE2715475C2 (de) Stufenweise einstellbarer Widerstand
DE1590870C3 (de) Elektrischer Präzisionswiderstand
DE19701637A1 (de) Pedaleinrichtung
DE4433693C2 (de) Chipwiderstand und dessen Verwendung
EP0284787B1 (de) Weg- bzw. Positionsgeber
EP1286144B1 (de) Verfahren zur Herstellung einer Hybriden Hochtemperaturerfassungseinrichtung
WO1999050632A1 (de) Dehnungsempfindlicher widerstand
EP1380038B1 (de) Passiver magnetischer positionssensor
DE29700862U1 (de) Pedaleinrichtung
WO2008058751A2 (de) Magnetischer positionssensor
EP0076292A1 (de) Elektrische kontaktvorrichtung, insbesondere für mit leiterplatten ausgestattete elektrische kleingeräte.
DE102015103386B4 (de) Touch-Control-Regelwiderstand
DE29620485U1 (de) Passiver magnetischer Positionssensor
DE29700625U1 (de) Füllstandsgeber
DE3818191C2 (de)
EP2071293B1 (de) Positionssensor
WO1987005433A1 (en) Variable electric resistance
DE19701704B4 (de) Vorrichtung zur Angabe des Niveaus einer Fahrzeugachse

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: MANNESMANN VDO AG, 60326 FRANKFURT, DE

D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE

8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: CONTINENTAL AUTOMOTIVE GMBH, 30165 HANNOVER, DE

R071 Expiry of right