DE19510047A1 - Anode für eine Röntgenröhre - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Anode für eine Röntgenröhre, wel­ che Anode mit einer Auftrefffläche für einen Elektronenstrahl versehen ist. Von der Auftreffstelle des Elektronenstrahles geht im Betrieb der Röntgenröhre die Röntgenstrahlung aus.

Treffen Elektronen auf ein Material mit der Kernladungszahl Z auf, dann wird ein Anteil η der Elektronen, der auch als Rückstreukoeffizient bezeichnet wird, rückgestreut. Der Rück­ streukoeffizient ist, wie aus der Tabelle 1 ersichtlich ist, nur schwach von der Elektronenenergie E, jedoch stark von der Kernladungszahl Z des Materials abhängig. Ebenfalls stark ab­ hängig ist der Rückstreukoeffizient η von dem Winkel Φ zwi­ schen der Elektronenbahn und der Flächennormalen an der Auf­ treffstelle (siehe Fig. 1). Die mittlere Energie der Rück­ streuelektronen nimmt mit der Kernladungszahl Z des Materials der Auftrefffläche stetig zu und beträgt für Elemente mit ho­ her Kernladungszahl Z ca. 90% der Auftreffenergie.

Wie aus der Fig. 1 ersichtlich ist, ist für den Wirkungsgrad bei der Röntgenstrahlungserzeugung durch einen auf ein bei­ spielsweise aus Wolfram (Z=74) bestehendes Anodentarget tref­ fenden Elektronenstrahl also der Auftreffwinkel Φ von großer Bedeutung. Der Auftreffwinkel Φ sollte nicht größer als 30° werden, da sonst, wie aus der Fig. 1 ersichtlich ist, der Rückstreukoeffizient η dramatisch ansteigt und die Rückstreu­ elektronen einerseits nur die Anode aufheizen und anderer­ seits nur zu Extrafokalstrahlung führen.

Die Elektronenstrahlquelle einer Röntgenröhre und die ihr eventuell nachgeschaltete Elektronenoptik sind deshalb in aller Regel so ausgebildet und angeordnet, daß ein kritischer Auftreffwinkel Φ_krit von 30° nicht überschritten wird. Bei herkömmlichen Röntgenröhren kann diese Anordnung normal er­ weise einfach realisiert werden. Es gibt jedoch auch Anwen­ dungen, wie beispielsweise bei den für die Electron Beam Tomography benötigten Ring-Röntgenröhren (siehe z. B. EP 0 455 177 A2), wo Überschreitungen des kritischen Auf­ treffwinkels Φ_krit nur durch erheblichen Aufwand vermieden werden können.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Anode der ein­ gangs genannten Art so auszubilden, daß ein hoher Wirkungs­ grad bei der Röntgenstrahlungserzeugung erreicht wird.

Gemäß einem ersten Lösungsprinzip wird diese Aufgabe nach der Erfindung gelöst durch eine Anode für eine Röntgenröhre, wel­ che Anode mit einer Auftrefffläche für einen Elektronenstrahl zur Erzeugung eines Brennfleckes versehen ist, die wenigstens in demjenigen Bereich, in dem sich im Betrieb der Röntgen­ röhre der Brennfleck befindet, eine stufenartige Struktur mit Stirnflächen aufweist, die im Betrieb der Röntgenröhre wenig­ stens im wesentlichen rechtwinklig zu dem Elektronenstrahl stehen. Durch eine derartige Stufenstruktur der Anode erhält man annähernd den für das jeweilige Material der Auftreffflä­ che und die im Betrieb der Röntgenröhre vorliegende Elektro­ nenenergie wenigstens annähernd den minimal erreichbaren Rückstreukoeffizienten. Infolge von die Stirnflächen gemäß einer Variante der Erfindung miteinander verbindenden Seiten­ wände, auf die im Betrieb der Röntgenröhre von den Stirnflä­ chen rückgestreute Elektronen auftreffen, wird eine weitere Steigerung der Quantenausbeute erreicht, da auch die auf die Seitenwände auftreffenden Elektronen zur Erzeugung von Rönt­ genstrahlung beitragen. Es genügt also bei einer vorhandenen Röntgenröhre zur Erhöhung des Wirkungsgrades bei der Röntgen­ strahlungserzeugung, die Auftrefffläche von deren Anode mit der stufenartigen Struktur zu versehen. Wenn dabei die stu­ fenartige Struktur derart ausgebildet ist, daß ihre Hüllinie der Kontur der Auftrefffläche der zuvor vorhandenen Anode entspricht, sind abgesehen von der Änderung der Anode keine weiteren Änderungen erforderlich.

Gemäß einem zweiten Lösungsprinzip wird die Aufgabe nach der Erfindung gelöst durch eine Anode für eine Röntgenröhre, wel­ che Anode mit einer Auftrefffläche für einen Elektronenstrahl zur Erzeugung eines Brennfleckes versehen ist, die wenigstens in demjenigen Bereich, in dem sich im Betrieb der Röntgen­ röhre der Brennfleck befindet, wenigstens eine Stirnfläche und eine diese auf wenigstens einer Seite begrenzende Seiten­ wand aufweist, auf welche Seitenwand die im Betrieb der Rönt­ genröhre von der Stirnfläche rückgestreuten Elektronen auf­ treffen. Da also auch die auf die Seitenwand auftreffenden rückgestreuten Elektronen zur Röntgenstrahlungserzeugung bei­ tragen, ergibt sich gegenüber herkömmlichen Anoden eine ver­ besserte Quantenausbeute und damit ein besserer Wirkungsgrad bei der Röntgenstrahlungserzeugung. Der Rückstreukoeffizient im Bereich der Stirnfläche ist minimal, wenn der Elektronen­ strahl gemäß einer Variante der Erfindung wenigstens im wesentlichen rechtwinklig auf die Stirnfläche auftrifft. Um die Geometrie der Auftrefffläche den jeweiligen Gegebenheiten anpassen zu können, sieht eine Variante der Erfindung eine stufenartige Struktur der Auftrefffläche mit mehreren Stirn­ flächen und einer entsprechenden Anzahl von Seitenwänden vor.

Im Hinblick aufeine ungehinderte Abstrahlung der im Bereich der Stirnfläche(n) erzeugten Röntgenstrahlung sollte der Win­ kel zwischen Stirnfläche und Seitenwand wenigstens gleich 90° sein. Im Hinblick auf den Heel-Effekt ist der Winkel zwischen Stirnfläche und Seitenwand jeweils wenigstens gleich 98°.

Gemäß einem dritten Lösungsprinzip wird die Aufgabe nach der Erfindung gelöst durch eine Anode für eine Röntgenröhre, wel­ che Anode mit einer Auftrefffläche für einen Elektronenstrahl versehen ist, die wenigstens in demjenigen Bereich, in dem sich im Betrieb der Röntgenröhre der Brennfleck befindet, eine Rauhtiefe von wenigstens 5 µm, vorzugsweise wenigstens 50 µm aufweist. Die Rauhigkeiten der Auftrefffläche überneh­ men im Hinblick auf die kleinen Dimensionen eines Elektrons die Funktionen von Stirnflächen und Seitenwänden. Es wird also ein verbesserter Wirkungsgrad bei der Röntgenstrahlungs­ erzeugung zum einen durch eine Verringerung des (mittleren) Rückstreukoeffizienten und zum anderen durch die Ausnutzung rückgestreuter, auf benachbarte Rauhigkeiten auftreffender Elektronen zur Röntgenstrahlungserzeugung erreicht.

Um zu verhindern, daß die stufenartige Struktur bzw. die Rau­ higkeiten in demjenigen Bereich, in dem sich im Betrieb der Röntgenröhre der Brennfleck befindet, während des Betriebes der Röntgenröhre aufgeschmolzen und damit zerstört wird (werden), enthält die Anode gemäß einer Variante der Erfin­ dung ein Volumen für ein Kühlmittel, beispielsweise einen Kanal, durch den eine Kühlflüssigkeit geleitet wird.

Die Steigerung der Quantenausbeute durch Ausnutzung rückge­ streuter Elektronen läßt sich nahezu verdoppeln (gilt für Materialien hoher Kernladungszahl Z), wenn die Anode zwei Auftreffflächenhälften aufweist, die einander zugewandt sind.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von in den Figuren dar­ gestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 Ein Diagramm bezüglich der Abhängigkeit des Rück­ streukoeffizient von der Kernladungszahl des Tar­ gets und des Auftreffwinkels,

Fig. 2 in schematischer Darstellung eine Röntgenröhre mit einer erfindungsgemäßen Anode in geschnittener Dar­ stellung,

Fig. 3 den Schnitt gemäß Linie III-III in Fig. 2 in ver­ größerter Darstellung,

Fig. 4 die Anode der Röntgenröhre gemäß den Fig. 1 und 2 im Querschnitt in weiter vergrößerter Darstellung,

Fig. 5 die Einzelheit A gemäß Fig. 4 in nochmals ver­ größerter Darstellung,

Fig. 6 in zu der Fig. 5 analoger Darstellung eine weitere Röntgenröhre mit einer erfindungsgemäßen Anode, und

Fig. 7 und 8 in zu den Fig. 2 und 3 analoger Darstellung eine weitere Röntgenröhre mit einer erfindungsgemäßen Anode.

Die Röntgenröhre weist gemäß Fig. 1 ein ringförmiges Vakuum­ gehäuse 1 auf, das im Falle des beschriebenen Ausführungsbei­ spiels mit einem radial nach außen gerichteten Ansatz 2 ver­ sehen ist, der eine insgesamt mit 3 bezeichnete gegen elek­ tromagnetische Störungen abgeschirmte Elektronenstrahlquelle aufnimmt. Der Ansatz 2 kann übrigens auch tangential oder axial gerichtet sein.

Die Elektronenstrahlquelle 3 enthält eine Kathode 4, bei­ spielsweise eine Glühwendel, der eine Heizspannungsquelle 5 zugeordnet ist. Wird die Heizspannungsquelle 5 aktiviert, geht von der Kathode 4 ein Elektronenstrahl E aus. Dieser wird in Richtung auf eine Anodenlochblende 6 beschleunigt, da eine Beschleunigungsspannungsquelle 7 zwischen den einen An­ schluß der Kathode 4 und die Anodenlochblende 6 geschaltet ist. Zur Fokussierung des durch die Anodenlochblende 6 fal­ lenden Elektronenstrahles E sind magnetische Linsen in Form von in Fig. 1 nicht dargestellten Fokussierungsspulen vorge­ sehen, die den Elektronenstrahl E derart fokussieren, daß er auf seiner gesamten Länge einen hinsichtlich seiner Form und seines Flächeninhaltes wenigstens im wesentlichen konstanten vorzugsweise elliptischen, insbesondere kreisförmigen, Quer­ schnitt aufweist.

Im Bereich des Übergangs des Ansatzes 2 in das ringförmige Vakuumgehäuse 1 sind in bezug auf das Vakuumgehäuse 1 statio­ näre erste Ablenkmittel angeordnet, die den Elektronenstrahl E so ablenken, daß er anschließend eine Kreisbahn innerhalb des ringförmigen Vakuumgehäuses 1 durchläuft. Im Falle des beschriebenen Ausführungsbeispiels handelt es sich bei den ersten Ablenkmitteln um einen Elektromagnet 8, der mit sei­ nem beispielsweise U-förmigen Joch 9, das eine Wicklung 10 trägt, das Vakuumgehäuse 1 umgreift und ein, bezogen auf die Fig. 1, rechtwinklig zur Zeichenebene gerichtetes Magnetfeld erzeugt.

Innerhalb des ringförmigen Vakuumgehäuses 1 ist am Beginn der ringförmigen Bahn des Elektronenstrahles eine Blende vorge­ sehen, die für die gewünschte monochromatische Elektronen­ energie sorgt. Übrigens selektiert der Elektromagnet 10 auch gleichzeitig die Elektronen nach ihrer Energie, falls die Energie der Elektronen infolge von Stößen mit dem in dem Va­ kuumgehäuse 1 befindlichen Restgas nicht mehr monoenergetisch ist.

Um den Elektronenstrahl auf seiner Kreisbahn zu halten, ist ein schematisch angedeutetes Helmholtz-Spulenpaar 11 vorgese­ hen, das ein ebenfalls rechtwinklig zu Zeichenebene der Fig. 1 verlaufendes Magnetfeld erzeugt, das jedoch dem Ma­ gnetfeld des Elektromagneten 10 entgegengesetzt gerichtet ist.

Innerhalb des ringförmigen Vakuumgehäuses 1 ist als Anode ein Target 12 vorgesehen, das sich entlang der Außenwand des Vakuumgehäuses 1 erstreckt. Das Target enthält ein für die Röntgenstrahlenemission geeignetes Material, z. B. Wolfram.

Um den Elektronenstrahl E in der zur Erzeugung von Röntgen­ strahlung erforderlichen Weise aus seiner ringförmigen Bahn auf das Target 12 ablenken zu können, sind zweite Ablenkmit­ tel, vorzugsweise in Form eines Ablenkmagneten 13, vorgese­ hen. Dessen Magnetfeld ist dem Magnetfeld des Helmholtz-Spu­ lenpaares 11 entgegengesetzt und lenkt deshalb den Elektro­ nenstrahl E radial nach außen ab, so daß er in einem Brenn­ fleck BF auf das Target 12 auftrifft.

Die von dem Brennfleck BF ausgehende Röntgenstrahlung tritt durch ein ringförmiges, die Innenwand des Vakuumgehäuses 1 bildendes Strahlenaustrittsfenster 14 aus, das aus einem ge­ eigneten Material niedriger Kernladungszahl, z. B. Beryllium, gebildet ist.

Der Ablenkmagnet 13 ist im Falle des beschriebenen Ausfüh­ rungsbeispieles als Elektromagnet ausgeführt, der zwei Wick­ lungen 15a und 15b aufweist, die jeweils auf einem Joch 16a bzw. 16b angebracht sind. Wie aus der Fig. 2 ersichtlich ist, blenden die Joche 16a und 16b, die in nicht dargestellter Weise miteinander verbunden sind, auch Streu- und Extrafokal­ strahlung aus.

Gemäß Fig. 2 ist im Falle des beschriebenen Ausführungsbei­ spiels ein Kollimator 17 für die von dem Brennfleck BF aus­ gehende Röntgenstrahlung vorgesehen. Wie in Verbindung mit der Fig. 1 deutlich wird, blendet der Kollimator 17 im Falle des beschriebenen Ausführungsbeispiels die Röntgenstrahlung derart aus, daß ein fächerförmiges Röntgenstrahlenbündel, wie es für die Computertomographie benötigt wird, geformt wird.

In Fig. 2 sind übrigens die Feldlinien des Magnetfeldes des Helmholtz-Spulenpaares 11 strichliert und die des Ablenkma­ gneten 13 strichpunktiert eingetragen, wobei die Pfeile die Richtung der Magnetfeldes veranschaulichen.

Um auf einfache und präzise Weise den Brennfleck BF in der zur Computertomographie erforderlichen Weise auf einer Kreis­ bahn entlang des Umfanges des Targets 12 verlagern zu können, ist der Ablenkmagnet 13 samt des Kollimators 17 durch in den Fig. 1 und 2 nicht näher dargestellte Verstellmittel längs des Umfanges des Vakuumgehäuses 1 verstellbar, wodurch sich in analoger Weise der Brennfleck BF der jeweiligen Stellung des Ablenkmagneten 13 entsprechend längs des Umfanges des Targets 12 verlagert.

Wie aus der Fig. 2 ersichtlich ist, trifft der Elektronen­ strahl E mit einem hinsichtlich des Rückstreukoeffizienten η an sich ungünstigen Winkel zwischen der Flächennormalen N und der Elektronenbahn in dem Brennfleck BF auf die Auftreffflä­ che 18 des Targets 12 auf.

Um dennoch einen guten Wirkungsgrad bei der Röntgenstrah­ lungserzeugung zu erreichen, ist im Falle der erfindungsge­ mäßen Röntgenröhre die Auftrefffläche 18 des Targets 12 gemäß Fig. 3 längs ihres Umfanges mit einer im Querschnitt stufen­ artigen Struktur versehen, die Stirnflächen (19₁ bis 19 _n) aufweist, die im Betrieb der Röntgenröhre wenigstens im wesentlichen rechtwinklig zu dem Elektronenstrahl E, d. h. zur Auftreffrichtung der Elektronen stehen. Hierdurch wird der für das im Bereich der Auftrefffläche des jeweiligen Targets vorliegende Material minimale Rückstreukoeffizient zumindest annähernd verwirklicht. Die Stirnflächen 19₁ bis 19 _n sind derart über Seitenwände 20₁ bis 20 _n miteinander verbunden, daß die Hüllinie H der stufenartigen Struktur wenigstens an­ nähernd der Querschnittskontur der Auftrefffläche 18 ent­ spricht.

Außerdem wird eine Steigerung der Quantenausbeute dadurch er­ reicht, daß in der in Fig. 4 für die Stirnfläche 19₃ und die Seitenwand 20₃ am Beispiel eines einfallenden Elektrons EE angedeuteten Weise von einer Stirnfläche rückgestreute Elek­ tronen RE auf eine Seitenwand auftreffen und hier zur Rönt­ genstrahlungserzeugung X beitragen. Der Winkel β zwischen Stirnfläche 19₁ bis 19 _n und Seitenwand 20₁ bis 20 _n beträgt im Falle des beschriebenen Ausführungsbeispieles im Hinblick auf den Heel-Effekt wenigstens 98°.

Die Steigerung der Quantenausbeute durch den Beitrag der Sei­ tenwände 20₁ bis 20 _n berechnet sich wie folgt:

Für die von der Summe der Stirnflächen ausgehende Strahlungs­ leistung P_SF gilt:

P_SF = 1,1 · 10^-9 · U · Z · I · (1 - η) (1)

Für die von den Seitenwänden ausgehende Strahlungsleistung P_SW gilt:

Als Grenzwert für das in der Gleichung (2) enthaltene Inte­ gral über einen Halbraum der Rückstreuelektronen ergibt sich:

Als Grenzwert für die mit einer stufenförmigen Struktur er­ zielbare Quantenausbeutesteigerung Δε₁ ergibt sich damit fol­ gender Grenzwert:

In den Gleichungen (1) bis (4) sind

U = Röhrenspannung,
Z = Kernladungszahl des Materials des Targets im Bereich der Auftrefffläche,
I = Röhrenstrom,
η = Rückstreukoeffizient,
ϕ = Auftreffwinkel
Φ_min = minimaler Winkel zwischen der Normalen der Seitenflä­ che und der Auftreffrichtung der Rückstreuelektronen.

Die Lösung des Integrals in Gleichung (2) für Wolfram (η =0,45) ergibt für ein Verhältnis der Breite b der Stirnflä­ chen 19₁ bis 19 _n zur Höhe h der Seitenwände 20₁ bis 20 _n (Schachtverhältnis) von 12 und somit ein Φ_min von 1,53 rad einen Quantenausbeutesteigerung Δε₁ von 0,08, also 8%, bei gleicher Röhrenspannung und gleichem Kathodenstrom.

Anstelle einer Stufenstruktur kann die Auftrefffläche 18 auch eine sehr rauhe Oberfläche mit einer Rauhtiefe in der Größen­ ordnung von 5 µm bis 50 µm aufweisen. Wie in der Fig. 5 grob schematisch angedeutet ist, ergibt sich auch dann trotz des Fehlens definierter Stirnflächen und definierter Seitenwände ein gegenüber einer makroskopisch geometrisch ähnlichen Auf­ trefffläche ein verringerter mittlerer Rückstreukoeffizient und eine erhöhte Quantenausbeute infolge der Rauhigkeiten.

Eine weitere Steigerung der Quantenausbeute ist möglich, wenn gemäß den Fig. 6 und 7 zwei gleichartige Targethälften 12a und 12b verwendet werden, deren Auftreffflächenhälften als Stufenstrukturen mit Stirnflächen 19a₁ bis 19a_n bzw. 19b₁ bis 19b_n bzw. Seitenwänden 20a₁ bis 20a_n bzw. 20b₁ bis 20b_n aus­ geführt sind, deren Hüllinien bezüglich des Elektronenstrah­ les ES entgegengesetzt geneigt sind. Für die Quantenausbeu­ testeigerung Δε₂ gilt dann:

Es ergibt sich also die doppelte Quantenausbeutesteigerung.

Natürlich können anstelle zweier Targethälften mit stufenför­ migen Auftreffflächenhälften auch zwei Targethälften mit ge­ mäß Fig. 5 aufgerauhten Auftreffflächenhälften oder eine Anodenhälfte mit stufenförmiger und eine mit aufgerauhter Auftreffflächenhälfte vorgesehen sein.

Das Target 12 bzw. die Targethälften 12a und 12b sind jeweils aus einem Grundkörper 21 bzw. 21a und 21b aus einem gut wär­ meleitenden Material, beispielsweise Kupfer, und einem die Auftrefffläche 18 bzw. die Auftreffflächenhälften 18a und 18b bildenden Belag 22 bzw. 22a und 22b aus einem zur Röntgen­ strahlungserzeugung geeigneten Material, beispielsweise Wolfram, versehen. Dabei genügt ein dünner Belag 22 bzw. 22a und 22b mit einer Dicke von 10 µm bis 50 µm, der auf den Grundkörper 21 bzw. 21a und 21b aufgedampft oder in Form eines dünnen Bleches aufgeschweißt sein kann.

Um zu verhindern, daß im Bereich der Auftrefffläche 18 bzw. der Auftreffflächenhälften 18a und 18b durch thermische Ein­ wirkung die stufenartige Struktur bzw. die Rauhigkeiten auf­ geschmolzen werden, ist der Grundkörper 21 bzw. 21a und 21b mit einem Kühlkanal 23 bzw. 23a und 23b versehen, indem ein flüssiges Kühlmittel strömt.

Im Falle des beschriebenen Ausführungsbeispieles sind die stufenartige Struktur bzw. die Rauhigkeiten jeweils im Be­ reich der gesamten Auftrefffläche 18 bzw. der gesamten Auf­ treffflächenhälften 18a und 18b vorhanden. Es genügt aber an sich, die stufenartige Struktur bzw. die Rauhigkeiten nur in demjenigen Bereich der Auftrefffläche 18 bzw. der Auftreff­ flächenhälften 18a und 18b vorzusehen, in dem sich im Betrieb der Röntgenröhre der Brennfleck BF befinden kann.

Die Erfindung wurde vorstehend am Beispiel einer Ring-Rönt­ genröhre beschrieben, wie sie zur Electron Beam Tomography verwendet wird. Es besteht aber auch die Möglichkeit, sowohl Festanoden- als auch Drehanoden-Röntgenröhren mit erfindungs­ gemäß ausgebildeten Anoden zu versehen.

Tabelle 1

Claims (11)

1. Anode für eine Röntgenröhre, welche Anode (12) mit einer Auftrefffläche (18, 18a, 18b) für einen Elektronenstrahl (ES) zur Erzeugung eines Brennfleckes (BF) versehen ist, die wenigstens in demjenigen Bereich, in dem sich im Betrieb der Röntgenröhre der Brennfleck (BF) befindet, eine stufenartige Struktur mit Stirnflächen (19₁ bis 19 _n, 19a₁ bis 19a_n, 19b₁ bis 19b_n) aufweist, die im Betrieb der Röntgenröhre wenig­ stens im wesentlichen rechtwinklig zu dem Elektronenstrahl (ES) stehen.

2. Anode nach Anspruch 1, deren stufenartige Struktur die Stirnflächen (19₁ bis 19 _n, 19a₁ bis 19a_n, 19b₁ bis 19b_n) mit­ einander verbindende Seitenwände (20₁ bis 20 _n, 20a₁ bis 20a_n, 20b₁ bis 20b_n) aufweist, auf welche Seitenwände (20₁ bis 20 _n, 20a₁ bis 20a_n, 20b₁ bis 20b_n) im Betrieb der Röntgenröhre von den Stirnflächen (19₁ bis 19 _n, 19a₁ bis 19a_n, 19b₁ bis 19b_n) rückgestreute Elektronen auftreffen.

3. Anode für eine Röntgenröhre, welche Anode (12) mit einer Auftrefffläche (18, 18a, 18b) für einen Elektronenstrahl (ES) zur Erzeugung eines Brennfleckes (BF) versehen ist, die in wenigstens demjenigen Bereich, in dem sich im Betrieb der Röntgenröhre der Brennfleck (BF) befindet, wenigstens eine Stirnfläche (19₁ bis 19_n, 19a₁ bis 19a_n, 19b₁ bis 19b_n) und eine diese auf wenigstens einer Seite begrenzende Seitenwand (20₁ bis 20 _n, 20a₁ bis 20a_n, 20b₁ bis 20b_n) aufweist, auf welche Seitenwand (20₁ bis 20 _n, 20a₁ bis 20a_n, 20b₁ bis 20b_n) die im Betrieb der Röntgenröhre von der Stirnfläche (19₁ bis 19 _n, 19a₁ bis 19a_n, 19b₁ bis 19b_n) rückgestreuten Elektronen auftreffen.

4. Anode nach Anspruch 3, deren Stirnfläche (19₁ bis 19 _n, 19a₁ bis 19a_n, 19b₁ bis 19b_n) im Betrieb der Röntgenröhre wenigstens im wesentlichen rechtwinklig zu dem Elektronen­ strahl (ES) steht.

5. Anode nach Anspruch 3 oder 4, deren Auftrefffläche (18, 18a, 18b) eine stufenartige Struktur mit mehreren Stirnflä­ chen (19₁ bis 19 _n, 19a₁ bis 19a_n, 19b₁ bis 19b_n) und einer entsprechenden Anzahl von Seitenwänden (20₁ bis 20 _n, 20a₁ bis 20a_n, 20b₁ bis 20b_n) aufweist.

6. Anode nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei der der Winkel zwischen Stirnfläche (19₁ bis 19 _n, 19a₁ bis 19a_n, 19b₁ bis 19b_n) und Seitenwand (20₁ bis 20 _n, 20a₁ bis 20a_n, 20b₁ bis 20b_n) jeweils wenigstens gleich 98° ist.

7. Anode für eine Röntgenröhre, welche Anode mit einer Auf­ trefffläche für einen Elektronenstrahl (ES) zur Erzeugung eines Brennfleckes (BF) versehen ist, die wenigstens in dem­ jenigen Bereich, in dem sich im Betrieb der Röntgenröhre der Brennfleck (BF) befindet, eine Rauhtiefe von wenigsten 5 um, vorzugsweise wenigstens 50 µm, aufweist.

8. Anode nach Anspruch 7, deren Auftrefffläche (18, 18a, 18b) bezüglich der Auftreffrichtung des Elektronenstrahles (ES) geneigt ist.

9. Anode nach einem der Ansprüche 1 bis 8, welche ein Volumen für ein Kühlmedium enthält.

10. Anode nach einem der Ansprüche 1 bis 9, welche zwei Auf­ treffflächenhälften (18a, 18b) aufweist, die einander zuge­ wandt sind.

11. Röntgenröhre mit einem Elektronenemitter zur Erzeugung des Elektronenstrahls (ES) und einer Anode (12) nach einem der Ansprüche 1 bis 10.