DE1293385B

DE1293385B - Two-stage oil-sealed vacuum pump

Info

Publication number: DE1293385B
Application number: DEC13941A
Authority: DE
Inventors: Garrison Victor C; Wessling Kenneth F; Nakaji Edward M
Original assignee: Central Scientific Co
Current assignee: Central Scientific Co
Priority date: 1955-11-10
Filing date: 1956-11-10
Publication date: 1969-04-24
Also published as: US2877946A

Description

Die Erfindung betrifft eine zweistufige ölabgedichtete Vakuumpumpe, bei der beiderseits einer tragenden Mittelplatte die beiden Gehäuse der Pumpenstufen angeordnet sind, in deren zylindrischen Kammern jeweils ein darin exzentrisch angeordneter Rotor arbeitet, welcher in Schlitzen radial bewegliche Verdrängerkörper trägt, wobei die Mittelplatte eine Bohrung für eine gemeinsame durchgehende Pumpenwelle und unter anderem einen übergangskanal für das Fördermedium von der Hochvakuumstufe zur Niedervakuumstufe enthält.The invention relates to a two-stage oil-sealed vacuum pump, the two housings of the pump stages on both sides of a supporting middle plate are arranged, in the cylindrical chambers each one eccentrically arranged therein The rotor works, which carries radially movable displacement bodies in slots, wherein the middle plate has a hole for a common through pump shaft and below among other things, a transition channel for the conveying medium from the high vacuum stage to the low vacuum stage contains.

Ein wesentliches Problem bei derartigen Vakuumpumpen besteht darin, daß bei dem erreichten hohen Vakuum im Schmiermittel gelöste Gase und gegebenenfalls Schmiermittäldämpfe frei werden und da= durch das Vakuum vermindern.A major problem with such vacuum pumps is that at the high vacuum reached in the lubricant dissolved gases and possibly Lubricant vapors are released and thus reduce by the vacuum.

Ein weiteres Problem besteht darin, daß durch die Druckunterschiede zwischen .beiden Stufen der Ö1= umlauf erheblich beeinflußt wird, d. h. daß das Druckgefälle zwischen den beiden Stufen einen Förderimpuls auf das Öl ausübt, der unter Umständen die Schmierung gefährdet.Another problem is that due to the pressure differences between .both stages the oil circulation is significantly influenced, d. H. that this Pressure gradient between the two stages exerts a delivery impulse on the oil, which under certain circumstances the lubrication is endangered.

Aus Gründen der Konstruktionsvereinfachung ist es bei derartigen zweistufigen Vakuumpumpen bekannt, die Gehäuse der beiden Stufen beidseits einer Mittelplatte anzuordnen, in welcher gleichzeitig die für beide Stufen gemeinsame Pumpenwelle gelagert ist. Dabei erfolgt die Schmierung der Lagerstelle durch eine Schmiermittelzufuhr in der gemeinsamen Mittelplatte, wobei Schmiermittel durch entsprechende Durchgänge in der Welle in beide Pumpenräume gefördert wird. Bei dieser bekannten Anordnung gelangt auch in die Hochdruckstufe in erheblichem Umfang frisches Schmiermittel mit hohem Gasgehalt, so da ß durch das freiwerdende Gas das Vakuum weitgehend beeinträchtigt wird.For the sake of simplicity of construction, it is two-stage in such cases Vacuum pumps known, the housing of the two stages on both sides of a central plate to be arranged in which at the same time the pump shaft common to both stages is stored. The bearing point is lubricated by a lubricant supply in the common center plate, with lubricant passing through corresponding passages is conveyed in the shaft into both pump chambers. In this known arrangement A considerable amount of fresh lubricant also reaches the high-pressure stage With a high gas content, so that the vacuum largely impaired by the gas released will.

Um dies zu vermeiden, ist es bekannt, das Schmiermittel innerhalb einer zweistufigen Vakuumpumpe, die bis auf die tragend ausgebildete Mittelplatte die eingangs genannten Merkmale aufweist, und bei der ebenfalls das Schmieröl über einen radialen Kanal in der äußeren Stirnwand der Niedervakuumstufe im Bereich der Welle in die Niedervakuumkammer gelangt, von wo eine geringe Ölmenge auch in die Hochvakuumkammer übertritt, hauptsächlich durch den Verbindungskanal für das Fördergas aus der Hochvakuumkammer in die Niedervakuumkammer zurückzuführen. Dadurch soll bei der bekannten Anordnung schon eine bestimmte Ölentgasung stattfinden.To avoid this, it is known to keep the lubricant inside a two-stage vacuum pump, which except for the load-bearing middle plate has the features mentioned at the beginning, and in which the lubricating oil is also over a radial channel in the outer end wall of the low vacuum stage in the area of Shaft enters the low vacuum chamber, from where a small amount of oil also enters the High vacuum chamber passes, mainly through the connecting channel for the conveying gas returned from the high vacuum chamber to the low vacuum chamber. This is supposed to a certain oil degassing already take place in the known arrangement.

Bei Verdichtern ist es bekannt, den öleinlaß in die Pumpenkammer entlang der Arbeitsschieber vorzusehen, um eine ausreichende Schmierung der Arbeitsschieber in ihren Schlitzen und in der Pumpenkammer selbst zu erreichen.In the case of compressors, it is known to run along the oil inlet into the pump chamber the working slide must be provided to ensure adequate lubrication of the working slide in their slots and in the pump chamber itself.

Alle diese bekannten Einrichtungen ergeben jedoch nur bedingt ein befriedigendes Ergebnis, da bei allen der Einfluß der Druckdifferenz zwischen den beiden Pumpenstufen auf die Schmiermittelförderung sehr hoch ist und durch Entgasung in der Hochvakuumstufe das erreichbare Vakuum vermindert wird.However, all these known devices only give a limited result satisfactory result, since the influence of the pressure difference between the both pump stages on the lubricant delivery is very high and by degassing the achievable vacuum is reduced in the high vacuum stage.

Es ist die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe, bei einer einstufigen Vakuumpumpe der eingangs erwähnten Art einen besonders intensiven Ölumlauf unter zweckmäßiger Ausnutzung des Druckgefälles zwischen den beiden Stufen und hauptsächlich eine bessere Ölentgasung, vor allem in der Hochvakuumstufe und im Weg von der Hochvakuumstufe zu der Niedervakuumstufe, zu erreichen. Gemäß der Erfindung wird dies dadurch erreicht, . daß aus einem Ölbad, in das die beiden Pumpen-1 stufen in an sich bekannter Weise eingetaucht sind, Öl in einen radialen Zufuhrkanal und einen Querkanal einer den Förderraum der Niedervakuumstufe zur äußeren Seite stirnseitig abschließenden Gehäuseseitenplatte zu einem Ringraum an der entsprechenden Stirnfläche des Rotors der Niedervakuumstufe einströmt, von dort durch Längsnuten an der Wand einer zur Aufnahme der Welle dienenden zentrischen Bohrung dieses Rotors zu einer Ringkammer an der anderen Stirnseite dieses Rotors weitergeleitet wird, dann durch den Spalt zwischen der Welle und der Wand der Lagerbohrung für die Welle in der Mittelplatte zu einem Ringraum an der entsprechenden Stirnseite des Rotors der Hochvakuumstufe geleitet wird, daß dann ein Teil des Öls noch durch Längsnuten an der Wand einer zur Aufnahme der Welle dienenden zentrischen Bohrung des Rotors zu einer schmalen zylindrischen Kammer an der anderen (äußeren) Stirnseite des Rotors der Hochvakuumstufe gelangt, während der andere Teil des zum Rotor der Hochvakuumstufe . strömenden. Öls schon vorher durch eine schräge Stichnut an der Seitenfläche der Mittelplatte vom dortigen Ringraum zu einem Eingangsteil des Übergangskanals für das Fördermedium (-gas) an der Mittelglatte gelangt, wobei der Druck in diesem Kanal geringer :ist als im nächstgelegenen Ringraum an der Stirnseite des Hochvakuumstufen-.rotors, wodurch ein teilweises Entgasen des Öls erreicht wird, und daß die Stichnut so in das Eingangs-'teil des übergangskanals einschneidet, daß die Einmündung wesentlich über dem Böden dieses Gaskanals liegt, so daß das Öl ungehindert neben dem Gas zum Förderraum der Niedervakuumstufe fließen kann.It is the underlying task of the invention in a single-stage Vacuum pump of the type mentioned at the beginning has a particularly intensive oil circulation expedient utilization of the pressure gradient between the two stages and mainly better oil degassing, especially in the high vacuum stage and on the way from the high vacuum stage to the low vacuum stage. According to the invention this is achieved by . that from an oil bath into which the two pumps-1 stage in a manner known per se are immersed, oil in a radial supply channel and a transverse channel of one of the Conveying space of the low-vacuum stage to the outer side of the housing side plate that closes on the front side to an annular space on the corresponding end face of the rotor of the low vacuum stage flows in, from there through longitudinal grooves on the wall of a serving to accommodate the shaft central bore of this rotor to an annular chamber on the other end face this rotor is passed, then through the gap between the shaft and the Wall of the bearing bore for the shaft in the center plate to an annular space on the corresponding end face of the rotor of the high vacuum stage is passed that then some of the oil is still through longitudinal grooves on the wall of one for receiving the shaft serving central bore of the rotor to a narrow cylindrical chamber reaches the other (outer) end face of the rotor of the high vacuum stage while the other part of the rotor to the high vacuum stage. pouring. Oil beforehand through an inclined stitch groove on the side surface of the middle plate from the annular space there to an inlet part of the transition channel for the conveying medium (gas) on the middle slat reaches, whereby the pressure in this channel is lower than in the nearest annulus at the front of the high vacuum stage rotor, which results in partial degassing of the oil is reached, and that the stitch groove so in the input-'part of the transition channel cuts in so that the confluence is substantially above the bottom of this gas channel, so that the oil can flow unhindered next to the gas to the delivery chamber of the low vacuum stage can.

Weitere Merkmale der Erfindung sind noch in den Unteransprüchen gekennzeichnet.Further features of the invention are also characterized in the subclaims.

Die Erfindung wird ' im folgenden an Hand der Zeichnungen an Ausführungsbeispielen näher erläutert. In den Zeichnungen zeigt F i g. 1 einen vertikalen Längsschnitt durch eine Ausführungsform der « Pumpe, nach Linie 1-1 in F i g. 2, F i g. 2 einen Querschnitt nach Linie 2-2 in F i g. 1, F i g. 3 einen Querschnitt nach Linie 3-3 in F i g. 1 mit Stirnansicht der Mittelplatte, wobei einzelne Teile weggebrochen sind, F i g. 3 a eine Teilansicht einer der Pumpenöffnungen in F i g. 3, F i g. 4 einen Teillängsschnitt nach der Linie 1-1 in F i g. 2 in größerer Darstellung, F i g. 5 eine auseinandergezogene Schrägansicht verschiedener Bauelemente der in F i g. 1 gezeigten Ausführungsform der Pumpe, F i g. 6 eine Schrägansicht der Hauptteile der Hochvakuumstufe der Pumpe, wobei einzelne Teile weggebrochen sind, F i g. 7 eine Schrägansicht der Hauptteile der Niederdruckvakuumstufe und F i g. 8 eine Schrägansicht der Pumpe auf einer Grundplatte zusammen mit einem Antriebsmotor. Die zweistufige Pumpe 10 besteht aus einer Mittelplatte 12 (s. F i g. 1 und 5) mit einer Hochvakuum-oder Saugstufe 14 auf einer Seite und einer Niedervakuum- oder Vorpumpstufe 16 auf der anderen Seite der Platte. Die beiden Stufen werden eingeschlossen von einem äußeren Gehäuse 18, bestehend aus einem Paar Gehäusehalbschalen 20, die an der Mittelplatte befestigt sind. Der von dem äußeren Gehäuse umschlossene Raum ist mit einem Schmiermittel, wie z. B. Öl, bis ungefähr zur Linie 22 angefüllt. Eine Welle 24, die in der Mittelplatte 12 gelagert und mit einem Antrieb verbunden ist, betätigt sowohl die Hochvakuum- oder HV-Stufe 14 als auch die Niederkammer- oder NV-Stufe 16.The invention is described below with reference to the drawings of exemplary embodiments explained in more detail. In the drawings, F i g. 1 shows a vertical longitudinal section by an embodiment of the "pump, according to line 1-1 in FIG. 2, fig. 2 one Cross section along line 2-2 in FIG. 1, Fig. 3 shows a cross section along line 3-3 in Fig. 1 with a front view of the middle plate, with individual parts broken away are, F i g. 3 a is a partial view of one of the pump openings in FIG. 3, fig. 4 shows a partial longitudinal section along the line 1-1 in FIG. 2 in a larger representation, F i g. 5 is an exploded perspective view of various components of the FIG F i g. 1 embodiment of the pump shown, FIG. 6 is an oblique view of the main parts the high vacuum stage of the pump, with individual parts broken away, FIG. 7th an oblique view of the main parts of the low-pressure vacuum stage and FIG. 8 is an oblique view the pump on a base plate together with a drive motor. The two-stage Pump 10 consists of a center plate 12 (see FIGS. 1 and 5) with a high vacuum or Suction stage 14 on one side and a low vacuum or pre-pump stage 16 on the other side of the plate. The two stages are enclosed by an outer one Housing 18, consisting of a Pair of housing half-shells 20, the are attached to the center plate. The space enclosed by the outer housing is with a lubricant, such as. B. Oil, filled to about line 22. A shaft 24, which is mounted in the middle plate 12 and connected to a drive operates both the high vacuum or HV stage 14 and the low chamber or NV level 16.

Die Hochvakuumstufe der Pumpe 10 besteht aus einem Gehäusemittelteil oder Stator 26 und einer Stirnplatte 28, die an der Mittelplatte durch Bolzen 30 befestigt sind. Ein Läufer 32 mit einem Paar sich diametral gegenüberstehender Nuten 34 (s. F i g. 5 und 6), von denen die eine zu einer Nut 36 in der Welle 24 ausgerichtet werden kann, wird auf die Welle 24 mittels eines Keiles 35 aufgekeilt, der in die I\Tuten 34 und 36 eingesetzt ist. Der Läufer 32 ist von zylindrischer Form und innerhalb der zylindrischen Innenwand 38 des Stators 26 außermittig angeordnet, um eine im Querschnitt sichelförmige Pumpenkammer 37 (s. F i g. 6) zu bilden. Bei der vorliegenden Ausführungsform bildet der oberste Teil der Förderkammer 38 den Dichtungsbereich 39 mit einem Krümmungshalbmesser gleich dem des Umfanges des Läufers 32, wobei der Läufer in Berührung mit dieser Dichtungsfläche gebracht wird. Die Dichtungsfläche 39 erstreckt sich zwischen den Punkten 41und43inFig.5.The high vacuum stage of the pump 10 consists of a middle part of the housing or stator 26 and an end plate 28 attached to the center plate by bolts 30 are attached. A runner 32 having a pair of diametrically opposed grooves 34 (see FIGS. 5 and 6), one of which is aligned with a groove 36 in the shaft 24 can be, is keyed to the shaft 24 by means of a wedge 35 which is in the I \ Tuten 34 and 36 is used. The rotor 32 is cylindrical in shape and inside the cylindrical inner wall 38 of the stator 26 is arranged eccentrically to an im Cross-section to form a sickle-shaped pump chamber 37 (see FIG. 6). With the present Embodiment, the uppermost part of the delivery chamber 38 forms the sealing area 39 with a radius of curvature equal to that of the circumference of the rotor 32, the Runner is brought into contact with this sealing surface. The sealing surface 39 extends between points 41 and 43 in Fig. 5.

Der Läufer 32 hat zwei tiefe diametral gegenüberstehende Schlitze 40 und in jedem derselben einen Arbeitsschieber 42. Diese letzteren gleiten in Schlitze 40 mit verhältnismäßig enger Passung auch gegen die benachbarten Flächen der Stirnplatte 28 sowie der Mittelplatte 12. Jeder der Schieber 42 besitzt eine abgerundete Kante 44, die in Berührung mit den Flächen 38 und 39 des Stators 26 stehen. Das andere Ende jedes Schiebers hat eine Bohrung 46 (s. F i g. 1 und 4) zur Aufnahme des einen Endes eines Zapfens 48, welche eine Druckfeder 50 zwischen den beiden Schiebern führen. Zapfen bzw. Stange 48 und die Feder 50 gehen durch eine Bohrung 52 in der Welle 24 und durch die Bohrungen 53 im Läufer 32.The rotor 32 has two deep diametrically opposed slots and 40 each of which has a working slide 42. This latter slide in the slots 40 with a relatively close fit against the adjacent surfaces of the end plate 28 and the center plate 12. Each of the slide 42 has a rounded edge 44 which are in contact with the surfaces 38 and 39 of the stator 26. The other end of each slide has a bore 46 (see FIGS. 1 and 4) for receiving one end of a pin 48, which guide a compression spring 50 between the two slides. The pin or rod 48 and the spring 50 pass through a bore 52 in the shaft 24 and through the bores 53 in the rotor 32.

Der Stator 26 ist durch Bolzen 56, die durch Bohrungen 54 geführt sind (s. F i g. 5 und 6) befestigt, ferner durch durch andere Bohrungen 58 gehende Bolzen 30 zusammen mit der Stirnplatte 28 an der Mittelplatte befestigt. An einer Seite der Fläche 39 (s.. F i g. 6) hat der Stator an beiden ebenen Flächen 60 und 62 die gleichen abgerundeten Schlitze 64 und 66 sowie eine Längsbohrung 68, die etwas oberhalb des durch den Stator eingeschlossenen Raums liegt. An der anderen Seite des Dichtungsbereiches 39 hat der Stator auf beiden Seiten gleiche Schlitze 70 und 72, die flacher sind als die Schlitze 64 und 66, sowie eine Bohrung 74 ähnlich der Bohrung 68, wobei zu bemerken ist, daß die beiden Bohrungen 68 und 74 sich parallel zu der Achse der Welle 24 erstrecken.The stator 26 is guided by bolts 56 which are guided through bores 54 are attached (see Fig. 5 and 6), also through other holes 58 going Bolts 30 attached to the center plate together with the face plate 28. At a On the side of the surface 39 (see FIG. 6), the stator has on both flat surfaces 60 and 62 the same rounded slots 64 and 66 and a longitudinal bore 68 that lies slightly above the space enclosed by the stator. On the other On the side of the sealing area 39, the stator has the same slots on both sides 70 and 72, which are shallower than slots 64 and 66, and a bore 74 similarly the bore 68, it being noted that the two bores 68 and 74 are parallel extend to the axis of the shaft 24.

Die Oberfläche 73 der Stirnplatte 28 der Hochvakuumstufe ist eben bearbeitet und hat eine kreisrunde Aussparung 75 zu einem später zu beschreibenden Zweck.The surface 73 of the end plate 28 of the high vacuum stage is flat machined and has a circular recess 75 to be described later Purpose.

Die Mittelplatte 12 besteht aus einem plattenförmigen Körper 77 mit den eben bearbeiteten Flächen 76 und 78 zu beiden Seiten derselben sowie einer ebenen Bodenfläche 80 als Basis zum Aufsetzen auf eine beliebige Pumpensockelfläche. Die Mittelplatte hat eine Einlaßöffnung 82, welche zu einer Kammer 84 (s. F i g. 3) innerhalb der Mittelplatte führt. Diese Kammer steht in Verbindung mit einem Einlaßkanal 86, der in einer Öffnung 88 an der Hochvakuumstufenseite der Platte 12 endet. Die Mittelplatte 12 besitzt ferner eine Auslaßöffnung 90 an einem Raum 92, der durch die sich quer durch die Mittelplatte erstreckende Bohrung bzw. die Öffnung 93 gebildet wird. Die Welle 24 ruht drehbar in einer Lagerbohrung 94 in der Mittelplatte. In der letzteren befinden sich ferner die Bohrungen 96 für die Bolzen 30 und 56 sowie die Bohrungen 98 für die Bolzen 100, mittels welcher die Gehäuseplatte 20 der Hochvakuumstufe befestigt wird. In der Mittelplatte befindet sich ferner ein quer durchgehender, aber diagonaler Kanal 102, der an einer Öffnung 104 an der Hochvakuumstufenseite der Platte beginnt und in einer Öffnung 106 an der Vorpumpstufenseite der Platte endet. Dieser Kanal 102 ist wohl zu der Achse der Welle 24 geneigt, aber praktisch horizontal. Wie aus den F i g. 3 und 5 ersichtlich, besitzt die Mittelplatte noch Öffnungen oder -Durchbrüche 105,106 und 108, so daß das Öl zu jeder Seite der Mittelplatte in der Tat ein einziges Ölbad bildet.The middle plate 12 consists of a plate-shaped body 77 with the flat machined surfaces 76 and 78 on both sides of the same and a flat bottom surface 80 as a base for placing on any pump base surface. The center plate has an inlet port 82 which leads to a chamber 84 (see Fig. 3) within the center plate. This chamber is in communication with an inlet channel 86 which terminates in an opening 88 on the high vacuum stage side of the plate 12. The middle plate 12 also has an outlet opening 90 in a space 92 which is formed by the bore or opening 93 extending transversely through the middle plate. The shaft 24 rests rotatably in a bearing bore 94 in the center plate. In the latter there are also the bores 96 for the bolts 30 and 56 and the bores 98 for the bolts 100, by means of which the housing plate 20 of the high vacuum stage is attached. Also located in the center plate is a transverse but diagonal channel 102 which begins at an opening 104 on the high vacuum stage side of the plate and ends in an opening 106 on the priming stage side of the plate. This channel 102 is inclined to the axis of the shaft 24, but practically horizontal. As shown in FIGS. 3 and 5, the center plate still has openings or perforations 105, 106 and 108 so that the oil on either side of the center plate actually forms a single oil bath.

Weiterhin ist aus F i g. 3 und 5 ersichtlich, daß um die Lagerbohrung 94 an der Hochvakuumstufenseite der Mittelplatte herum die Platte eine kreisrunde Aussparung 110 besitzt, welche für einen später noch zu beschreibenden Zweck über einen Schlitz 112 mit dem Kanal 102 in Verbindung steht.Furthermore, from FIG. 3 and 5 can be seen that around the bearing bore 94 on the high vacuum stage side of the middle plate around the plate a circular one Has recess 110, which for a purpose to be described later on a slot 112 communicates with the channel 102.

Die NV-Stufenseite der Pumpe ist ähnlich geformt wie die Hochvakuumstufenseite und besitzt die gleichen Bohrungen 96 und 98 zur Aufnahme der gleichen Bolzen 30, 56 und 100. An dieser Seite der Mittelplatte besitzt die Oberfläche 78 eine kurvenförmige Aussparung 113 um die Lagerfläche 94 herum.The low-voltage stage side of the pump is shaped similarly to the high-vacuum stage side and has the same bores 96 and 98 for receiving the same bolts 30, 56 and 100. On this side of the center plate, the surface 78 is curved Recess 113 around the bearing surface 94.

Die NV-Stufe 16 der Pumpe 10 ist ähnlich der Hochvakuumstufe 14 und besteht aus einem Stator 114 sowie einer Stirnplatte 116 mit einer bearbeiteten Oberfläche 117, die an der Mittelplatte durch die Bolzen 30 befestigt ist. Ein Läufer 118 besitzt ein Paar sich diametral gegenüberstehender Längsnuten 119, von denen jede zu einer Nut 120 in der Welle 24 ausgerichtet werden kann. Der Läufer wird auf die Welle 24 mittels eines Keils 121 aufgekeilt, der in die Nuten 119, 120 eingesetzt ist. Der Läufer 118 ist von zylindrischer Form und innerhalb der zylindrischen Innenwand 122 des Stators 114 außermittig angebracht bzw. eingebaut, um mit dieser eine im Querschnitt sichelförmige Pumpenkammer 123 (F i g. 7) zu bilden. Wie im Falle der Hochvakuumstufe besitzt der oberste Teil des Stators 114 in seiner Innenwand 122 einen Dichtungsbereich 124 mit einem Krümmungshalbmesser gleich demjenigen des Umfangs des Läufers 118, wobei der letztere in Berührung mit dieser Oberfläche ist. Die Oberfläche 124 erstreckt sich zwischen den Punkten 125 und 127 in F i g. 2.The NV stage 16 of the pump 10 is similar to the high vacuum stage 14 and consists of a stator 114 and an end plate 116 with a machined surface 117 which is attached to the center plate by bolts 30. A rotor 118 has a pair of diametrically opposite longitudinal grooves 119, each of which can be aligned with a groove 120 in the shaft 24. The rotor is keyed onto the shaft 24 by means of a key 121 which is inserted into the grooves 119, 120. The rotor 118 is of cylindrical shape and is attached or installed eccentrically within the cylindrical inner wall 122 of the stator 114 in order to form with the latter a pump chamber 123 (FIG. 7) with a sickle-shaped cross section. As in the case of the high vacuum stage, the uppermost part of the stator 114 has in its inner wall 122 a sealing area 124 with a radius of curvature equal to that of the circumference of the rotor 118, the latter being in contact with this surface. Surface 124 extends between points 125 and 127 in FIG. 2.

Der Läufer 118 besitzt ein Paar sich diametral gegenüberstehender Schlitze 126, und in jedem derselben befindet sich ein Arbeitsschieber 128. Diese letzteren gleiten in den Schlitzen 126 mit verhältnismäßig enger Passung, wie im Falle der Arbeitsschieber der Hochvakuumstufe. Jeder der letzteren hat eine abgerundete Kante 130 zwecks Berührung der Wandflächen 122 und 124 des Stators 114. Das andere Ende jedes Schiebers besitzt eine Bohrung 132 zur Aufnahme eines Zapfens 134 (s. F i g. 1), welche eine Druckfeder 136 zwischen den beiden Arbeitsschiebern 128 führen. Der Zapfen 134 und die Feder 136 gehen durch eine Bohrung 138 in der Welle 24 und durch die Bohrungen 139 in dem Läufer hindurch.The rotor 118 has a pair of diametrically opposite one another Slots 126, and in each of them there is a working slide 128. These the latter slide in the slots 126 with a relatively close fit, as in FIG Case of the working slide of the high vacuum stage. Each of the latter has a rounded one Edge 130 to contact wall surfaces 122 and 124 of stator 114. The other The end of each slide has a bore 132 for receiving a pin 134 (see Fig. F i g. 1), which guide a compression spring 136 between the two working slides 128. The pin 134 and the spring 136 go through a hole 138 in of the shaft 24 and through the bores 139 in the rotor.

Auf der Hochvakuumseite der Pumpe endet die Welle 24 innerhalb des von dem Stator 26 umschlossenen Raums, während auf der NV-Seite die Welle hindurchgeht und in einem Lager 162 (F i g. 4) in der Stirnplatte 116 gelagert ist. Die Welle 24 besitzt die beiden Ringnuten 164 und 166 zu beiden Seiten der Stirnplatte 116. An die Flächen der Stirnplatte 116 legen sich die Druckscheiben 168 an, beispielsweise mittels der Sprengringe 170, wobei die innere Druckscheibe 168 und der Ring 170 sich in eine runde Äussparung 172 an der ebenen inneren Fläche 117 der Stirnplatte um die Lagerfläche 162 herum hineinlegen.On the high vacuum side of the pump, the shaft 24 ends within the space enclosed by the stator 26, while on the NV side the shaft passes through and is supported in a bearing 162 (FIG. 4) in the end plate 116. The shaft 24 has the two annular grooves 164 and 166 on both sides of the end plate 116. The pressure disks 168 lie against the surfaces of the end plate 116, for example by means of the snap rings 170, the inner pressure disk 168 and the ring 170 being in a round recess Place 172 on the flat inner surface 117 of the face plate around the bearing surface 162.

Die gewölbten Gehäusehalbschalen 20, die an der Mittelplatte 12 um die Hochvakuum- und die Vorpumpstufe herum befestigt sind, bestehen aus je einem gewölbten oberen Teil 176 (F i g. 1) mit einem äußeren Flansch 178. Diese letzteren umgeben die Mittelplatte 12 und sind mit den Bolzenlöchern 179 für die durchgehenden Bolzen 100 versehen. Der obere gewölbte Teil 176 geht in einen unteren flachen Ständteil180 über. Zur größeren Festigkeit können zwischen den Teilen 176 und 180 die Verstärkungsrippen 181 angeordnet werden. Die ebene Fläche 182 des Unterteils bildet zusammen mit der ebenen Fläche 80 der Mittelplatte die Auflageflächen für die Pumpe zum Aufsetzen auf eine Grundplatte. Die die Hochvakuumstufe 14 abdeckende gewölbte Gehäusehalbschale 20 ist mit einem Schauglas 184 versehen. Dieses besteht aus einem runden Glas 186 oder einem durchsichtigen Kunststoff mit einer Ölstandsmarkierungslinie 187, eingebaut in einer geeigneten Fassung 188, die innerhalb der Öffnung 190 in der Platte 20 abgedichtet ist. In dem unteren Ende dieser Platte 20 befindet sich ein Entleerungskanal 192, der zu einem geeigneten Ablaßhahn 194 führt.The domed housing half-shells 20, which are attached to the central plate 12 around the high vacuum and the fore-pumping stage, each consist of a domed upper part 176 (FIG. 1) with an outer flange 178. These latter surround the central plate 12 and are provided with the bolt holes 179 for the bolts 100 through. The upper arched part 176 merges into a lower flat stand part 180. For greater strength, the reinforcing ribs 181 can be arranged between the parts 176 and 180. The flat surface 182 of the lower part, together with the flat surface 80 of the middle plate, forms the bearing surfaces for the pump to be placed on a base plate. The curved housing half-shell 20 covering the high vacuum stage 14 is provided with a sight glass 184. This consists of a round glass 186 or a clear plastic with an oil level marking line 187, installed in a suitable socket 188 which is sealed within the opening 190 in the plate 20. In the lower end of this plate 20 is a drainage channel 192 which leads to a suitable drain cock 194.

Die die NV-Stufe abdeckende gewölbte Gehäusehalbschale 20 weist eine Bohrung 198 mit einer O-Ring-Dichtung auf. Die Dichtung 200 erfaßt die Manschette 202, welche einen Teil einer üblichen Wellendichtung 204 bildet. Letztere wird an Ort und Stelle gehalten durch eine Druckscheibe 206, welche sich an den Sprengring 208 in der Ringnut 210 der Welle 24 anlegt. Die Welle 24 hat eine längliche Nut 212 zur Aufnahme eines Keils 213, mittels dessen auf dieses Ende der Welle eine Riemenscheibe aufgekeilt wird.The curved housing half-shell 20 covering the NV stage has a bore 198 with an O-ring seal. The seal 200 engages the sleeve 202, which forms part of a conventional shaft seal 204. The latter is held in place by a thrust washer 206, which rests against the snap ring 208 in the annular groove 210 of the shaft 24 . The shaft 24 has an elongated groove 212 for receiving a key 213 by means of which a pulley is keyed onto this end of the shaft.

Man wird bemerken, daß sich die Stirnplatte 116 und die Arbeitsschieber 128 der NV-Stufe von den gleichen Bauelementen der Hochvakuumstufe unterscheiden. Die Stirnplatte 116 hat einen Kanal 214 (F i g. 1, 4, 5 und 7), welcher sich radial von einer Öffnung 215 oben an der Platte zu einem Querkanal 216 neben der Lagerfläche 162 erstreckt. Der Kanal 216 endet in einer Öffnung 218 in der Aussparung 172 an der Innenfläche dieser Stirnplatte. Bei der vorliegenden Ausführungsform wurde der Kanal 216 hergestellt, indem man an dieser Stelle die Platte durchbohrte und in das äußere Ende der Bohrung einen Verschlußstopfen 220 einpaßte.It will be noted that the end plate 116 and the working slide 128 of the NV stage differ from the same components of the high vacuum stage. The face plate 116 has a channel 214 (FIGS. 1, 4, 5 and 7) which extends radially from an opening 215 at the top of the plate to a transverse channel 216 adjacent the bearing surface 162. The channel 216 terminates in an opening 218 in the recess 172 on the inner surface of this faceplate. In the present embodiment, the channel 216 was created by drilling through the plate at this point and fitting a plug 220 into the outer end of the bore.

Beide Läufer - 32 und 118 - haben an ihren Stirnwänden radiale Nuten 222. Ferner haben sowohl die Innen- als auch die Außenflächen dieser Läufer Ringnuten 223. Wie aus F i g. 2 ersichtlich, ist die eine Kante 225 der äußeren Seiten der Schaufeln 128, also der Seiten neben der Oberfläche 117 der Stirnplatte 116 bei 227 auf einen Teil ihrer betreffenden Länge abgeschrägt. Diese Kanten sind genügend weit von dem inneren Ende 224 der Schaufeln abgeschrägt, so .daß die in dieser Weise geschaffenen Kanäle, die weiterhin durch die benachbarten Teile des Läufers und der Stirnplatte 116 bestimmt werden, zeitweise mit der Pumpenkammer 123 zwischen dem Läufer 116 und dem Stator 114 in Verbindung stehen, nämlich wenn die betreffenden Schaufeln voll ausgefahren sind (F i g. 2).Both runners - 32 and 118 - have radial grooves 222 on their end walls. Furthermore, both the inner and outer surfaces of these runners have annular grooves 223. As shown in FIG. 2, one edge 225 of the outer sides of the blades 128, that is to say of the sides next to the surface 117 of the end plate 116, is beveled at 227 over part of its length. These edges are beveled sufficiently far from the inner end 224 of the blades, so that the channels created in this way, which are further determined by the adjacent parts of the rotor and the end plate 116, temporarily connect the pump chamber 123 between the rotor 116 and the Stator 114 are connected, namely when the blades in question are fully extended (Fig. 2).

An der Einlaßöffnung 82 kann ein Schlauch-Kupplungsnippel 226, an der Auslaßöffnung 90 eine Auslaßglocke 228 angebracht werden. Der Nippel 226 kann an das Rohr 230 angeschlossen werden, welches zu dem zu evakuierenden Rezipienten führt. Ein rohrförmiger Ansaugseiher 227 erstreckt sich durch den Nippel 226 hindurch abwärts und durch die Einlaßkammer (F i g. 3). Wie aus F i g. 8 ersichtlich, ist die Pumpe 10 auf einer Grundplatte 232 zusammen mit einem Motor 234 zum Antrieb der Pumpe über einen Treibriemen 236 befestigt, der über Riemenscheiben läuft, von denen die eine an dem Motor 234 sitzt, während die andere mittels des Keiles 213 auf das Ende der Welle 24 aufgekeilt ist.A hose coupling nipple 226 can be attached to the inlet opening 82 and an outlet bell 228 can be attached to the outlet opening 90. The nipple 226 can be connected to the tube 230 which leads to the recipient to be evacuated. A tubular suction strainer 227 extends down through the nipple 226 and through the inlet chamber (Fig. 3). As shown in FIG. 8, the pump 10 is attached to a base plate 232 together with a motor 234 for driving the pump via a drive belt 236, which runs over pulleys, one of which sits on the motor 234, while the other is attached to the motor 234 by means of the wedge 213 The end of the shaft 24 is keyed.

Zwischen die aneinanderstoßenden Teile der Mittelplatte 12 und der betreffenden Gehäusehalbschalen 20 .kann eine Dichtungsmasse eingebracht werden, um eine vollkommene Abdichtung zu erzielen.Between the abutting parts of the center plate 12 and the relevant housing half-shells 20 .can be introduced a sealing compound, to achieve a perfect seal.

Die Pumpe wird bis zur Ölstandsmarkierungslinie 187 in dem Schauglas 184 gefüllt. Die Pumpe 10 wird über das Rohr 230 (F i g. 1) an den zu evakuierenden Raum angeschlossen. Eine nichtmontierte Pumpe wird auf einem ebenen Sockel 232 aus Stahl oder Gußeisen aufgebaut.The pump is filled to the oil level marking line 187 in the sight glass 184. The pump 10 is connected to the room to be evacuated via the pipe 230 (FIG. 1). An unassembled pump is built on a flat base 232 made of steel or cast iron.

Die Strömung des Öls und des Gases, z. B: Luft, durch die Pumpe 10 bei laufendem Motor ist in den Zeichnungen durch gerade bzw. Wellenlinien angedeutet.The flow of the oil and gas, e.g. B: air, through pump 10 when the engine is running is indicated in the drawings by straight or wavy lines.

Bei laufendem Motor tritt Öl in die Öffnung 215 der Stirnplatte 116 (F i g. 1 und 4) ein und strömt durch den Kanal 214 abwärts zu dem Kanal 216 und von dort durch die Öffnung 218 in den Raum 238, der bestimmt wird durch die Aussparung 172 in der Stirnplatte 116 und die benachbarte Fläche des Läufers 118 einschließlich der darin befindlichen Aussparung 223. Aus diesem Raum fließt das Öl zwischen die aneinander anstoßenden Seiten des Läufers 118 und der Stirnplatte 116 und tritt in den Raum 240 ein, der durch die Längsnuten 119 in dem Läufer 118 (F i g. 2) bestimmt wird, fließt durch denselben hindurch in den Raum 242, welcher bestimmt wird durch die Innenfläche des Läufers 118 einschließlich dessen Aussparung 223 und die Fläche 78 der Mittelplatte zusammen mit der darin befindlichen gekrümmten Aussparung 11.3 um die Lagerfläche 94 herum. Das Öl fließt dann durch die Nuten 222 in den Raum 243 zwischen den radial einwärts gerichteten Enden der Arbeitsschieber 128 und den inneren Enden der Schlitze 126 und von dort zu den Bohrungen 139 des Läufers, welche zu den radial einwärts gerichteten Teilen der Schaufeln 128 führen. Ebenso strömt das Öl in den durch die abgeschrägte Kante 225 der Arbeitsschieber 128 gebildeten Kanal zwischen der Stirnplatte 116 und den benachbarten Teilen des Läufers 118, wie nachstehend ausführlicher beschrieben werden wird.When the engine is running, oil enters opening 215 of face plate 116 (Figs. 1 and 4) and flows down through duct 214 to duct 216 and from there through opening 218 into space 238, which is defined by the Recess 172 in the end plate 116 and the adjacent surface of the rotor 118 including the recess 223 located therein. From this space the oil flows between the abutting sides of the rotor 118 and the end plate 116 and enters the space 240 which is passed through the longitudinal grooves 119 in the rotor 118 (FIG. 2), flows through the same into the space 242 which is determined by the inner surface of the rotor 118 including its recess 223 and the surface 78 of the middle plate together with the curved recess therein 11.3 around the storage area 94. The oil then flows through the grooves 222 into the space 243 between the radially inwardly directed ends of the working slide 128 and the inner ends of the slots 126 and from there to the bores 139 of the rotor, which lead to the radially inwardly directed parts of the blades 128. Likewise, the oil flows into the channel formed by the beveled edge 225 of the working slide 128 between the face plate 116 and the adjacent parts of the rotor 118, as will be described in more detail below.

Das Öl fließt in einem dünnen Film zwischen der Welle 24 und der Lagerbohrung 94 zu dem Raum 244, der durch die Aussparung 110 in der Mittelplattenfläche 76 und die benachbarte Fläche des Läufers 32 zusammen mit den Nuten 222 und der gekrümmten ringförmigen Aussparung 223 in dieser Fläche des Läufers bestimmt wird. Aus diesem Raum 244 fließt das Öl durch den Raum 246 (F i g. 6) hindurch, der bestimmt wird durch den Extraschlitz 34 und die Oberfläche der Welle 24 zu dem Raum 248, welcher bestimmt wird durch die Aussparung 75 in der Stirnplatte 28 sowie die benachbarte oder äußere Fläche des Läufers 32 einschließlich dessen Aussparung 223. Das Öl fließt dann in den Raum 245 zwischen den radial einwärts gerichteten Enden der Schieber 42 und den inneren Enden der Schlitze 40, aus den Räumen 244 und 248 und einwärts davon durch die Bohrungen 53 zu den radial einwärts gerichteten Enden der Schieber 42. Das Öl in den Räumen 244 und 248 zu jeder Seite dieses Läufers schmiert die Seiten des Läufers und der Schaufeln.The oil flows in a thin film between the shaft 24 and the bearing bore 94 to the space 244 created by the recess 110 in the center plate surface 76 and the adjacent surface of the rotor 32 together with the grooves 222 and the curved annular recess 223 in this surface of the runner is determined. From this space 244 the oil flows through the space 246 (FIG. 6) which is determined by the extra slot 34 and the surface of the shaft 24 to the space 248 which is determined by the recess 75 in the face plate 28 as well the adjacent or outer surface of the rotor 32 including its recess 223. The oil then flows into the space 245 between the radially inward ends of the vanes 42 and the inner ends of the slots 40, out of the spaces 244 and 248 and inward therefrom through the bores 53 to the radially inward ends of the vanes 42. The oil in spaces 244 and 248 on either side of this rotor lubricates the sides of the rotor and vanes.

Die Pfeile in F i g. 1 und 4 zeigen den Weg des Öls durch die Mitte der Pumpe an. Die Räume 238, 242, 244 und 248 wirken dabei als Ölvorratsräume.The arrows in FIG. 1 and 4 show the path of the oil through the middle of the pump. The rooms 238, 242, 244 and 248 act as oil storage rooms.

Wie aus F i g. 6 ersichtlich, tritt das Gas, wie z. B. Luft, durch die Öffnung 82 in die Pumpe ein und strömt durch die Einlaßkammer 84 und den Kanal 86 in den Raum, der bestimmt wird durch den Schlitz 66 in der Stirnfläche 62 des Stators 26, durch die Öffnung 88 hindurch. Wenn die Schieber 42 sich entgegengesetzt dem Uhrzeigersinn drehen (F i g. 6), wird die Luft, beispielsweise durch die einen der Schieber 42, abwärts gesogen durch diesen Schlitz 66 hindurch sowie durch den Kanal 68 und den Schlitz 64 in der Fläche 60 des Stators 26 in die Pumpenkammer 37 hinein. Der folgende Schieber drückt die Luft aus der Pumpenkammer 37 durch den Schlitz 70 in der Fläche 60 und den Kanal 74 sowie durch den Schlitz 72 (F i g. 6) in der Fläche 62 in den Kanal 102 durch die Öffnung 104 hindurch.As shown in FIG. 6 can be seen, the gas occurs, such as. B. air, through the port 82 enters the pump and flows through the inlet chamber 84 and the channel 86 into the space that is determined by the slot 66 in the end face 62 of the Stator 26, through opening 88. When the slide 42 is opposed turn clockwise (Fig. 6), the air, for example through one the slide 42, sucked down through this slot 66 as well as through the Channel 68 and the slot 64 in the surface 60 of the stator 26 into the pump chamber 37 into it. The following slide pushes the air out of the pump chamber 37 through the Slot 70 in surface 60 and channel 74 and through slot 72 (Fig. 6) in the area 62 into the channel 102 through the opening 104.

Jedesmal wenn ein Schieber 128 sich bei der vorliegenden Ausführungsform seiner unteren vertikalen Lage annähert, ist der tiefste Teil der Pumpenkammer 1,23 erreicht. Da der jeweilige Druck neben der Vorderseite jeder Schaufel in dieser Stellung recht niedrig ist und jede Schaufel weit genug aus dem Läufer herausgefahren ist, um den durch das Abschrägen der Kante 225 der Schieber gebildeten Kanal in zeitweiser Verbindung mit der Pumpenkammer 123 zu bringen, wird eine zugemessene Menge an Öl in die Kammer gesogen. Dieses in die Pumpenkammer 123 gesogene Extraöl wird gleichfalls in die Kanäle 150 gedrückt, mit dem Ergebnis, daß das Öl dazu neigt, diese Kanäle auszufüllen, so daß jedesmal, wenn eine bestimmte Menge an Öl und Luft in diese Kanäle gedrückt wird, der Streifen 156 des Ventils 154 etwas angehoben wird, um das Gemisch aus Öl und Luft oben an diesen Kanälen herauszulassen.Whenever a slide 128 approaches its lower vertical position in the present embodiment, the deepest part of the pump chamber 1.23 is reached. Since the respective pressure next to the front of each blade is quite low in this position and each blade has moved far enough out of the rotor to bring the channel formed by the chamfering of the edge 225 of the slide into temporary communication with the pump chamber 123, a measured amount of oil sucked into the chamber. This extra oil sucked into the pump chamber 123 is also forced into the channels 150, with the result that the oil tends to fill these channels so that the strip 156 is pressed each time a certain amount of oil and air is forced into these channels of valve 154 is raised slightly to let the mixture of oil and air out at the top of these channels.

Da die Luftmenge, welche durch die Pumpe hindurchströmt, infolge des zunehmenden Vakuums in dem zu evakuierenden Raum immer geringer wird, neigen die Luftmoleküle dazu, von dem Öl, das aus der Hochvakuumstufe in die Vorpumpstufe gesogen wird, eingeschlossen bzw. absorbiert zu werden. Durch Einbringen einer gewissen Menge an Öl zu Beginn des Verdichtungshubes in die Kammer 123 werden die Kanäle 150 mit Öl angefüllt, wobei gewährleistet ist, daß einiges von dem Öl mit den darin eingeschlossenen bzw. absorbierten Luftmolekülen aus diesen Auslaßöffnungen herausgedrückt wird, jedesmal wenn Öl in dieselben hineingelangt. Infolge des verhältnismäßig langen Weges, den das Öl bis zu den abgeschrägten Kanten 275 zurückzulegen hat, hat dasselbe genügend Zeit zur Entgasung, bevor es in die AusIaßkammer 123 eintritt.Since the amount of air that flows through the pump becomes less and less due to the increasing vacuum in the space to be evacuated, the air molecules tend to be enclosed or absorbed by the oil that is sucked from the high vacuum stage into the pre-pump stage. By introducing a certain amount of oil into the chamber 123 at the beginning of the compression stroke, the channels 150 are filled with oil, whereby it is ensured that some of the oil with the air molecules trapped or absorbed therein is pushed out of these outlet openings each time oil enters the same got in. As a result of the relatively long distance that the oil has to cover up to the beveled edges 275, it has sufficient time to degas before it enters the outlet chamber 123.

Nach dem Herausdrücken des öl-Luft-Gemisches aus dem Ventil 154 bewegen sich die Luftmoleküle zu der Oberfläche des Ölbads und fließen aus der Pumpe durch die Öffnung 90 und die Entlüftungsvorrichtung 228 heraus.After pressing the oil-air mixture out of the valve 154 move the air molecules move to the surface of the oil bath and flow through from the pump port 90 and vent 228 out.

Wie man sieht, wird die Hochvakuumstufe der Pumpe durch Öl aus der NV-Stufe geschmiert. Weiterhin wird das zur Hochvakuumstufe fließende Öl entgast, bevor es dieselbe erreicht. Hierzu dient der Schlitz 112, der die Aussparung 110 und den Raum 244 mit der Öffnung 104 und dem Kanal 102 verbindet.As you can see, the high vacuum stage of the pump is lubricated by oil from the NV stage. Furthermore, the oil flowing to the high vacuum stage is degassed before it reaches the same. The slot 112, which connects the recess 110 and the space 244 with the opening 104 and the channel 102 , is used for this purpose.

Ferner, da bei jeder Umdrehung der Pumpe eine gewisse Menge an Öl aus der Hochvakuumstufe über den Kanal 102 zu der Vorpumpstufe fließt, erhält man bei jeder solchen Umdrehung eine frische Ölmenge zum Abdichten der Vorpumpstufe. Diese Tätigkeit der Pumpe bewirkt einen dauernden Umlauf des Öls von der Öffnung 215 her durch die Pumpe hindurch und zurück in das Ölbad. Das Öl in der Hochvakuumstufe wird also dauernd gewechselt. Die Öffnung 215 ist die einzige Stelle, wo eine erhebliche Menge an Öl in den Raum eintritt, der durch die Statoren und deren Stirnplatten begrenzt wird. Sehr wenig Öl, wenn überhaupt welches, geht aus dem Ölbad an der Druckscheibe 168 hindurch.Furthermore, since with each revolution of the pump a certain amount of oil flows from the high vacuum stage via the channel 102 to the fore-pumping stage, a fresh amount of oil for sealing the fore-pumping stage is obtained with each such revolution. This action of the pump causes the oil to continuously circulate from port 215 through the pump and back into the oil bath. The oil in the high vacuum stage is therefore constantly changed. The opening 215 is the only place where a significant amount of oil enters the space defined by the stators and their end plates. Very little, if any, oil passes from the oil bath on thrust washer 168.

Eines der Probleme beim Betrieb von Drehschieber-bzw. Schaufelpumpen der beschriebenen Bauart waren Schwierigkeiten beim Anlassen infolge des Umstandes, daß sich die Pumpenkammern während einer Stillstandsperiode mit Öl anfüllen. Der vorliegenden Erfindung zufolge liegt die Öleinlaßöffnung 215 dicht neben dem Spiegel des Ölbads. Beim Stillsetzen der Pumpe fällt der Ölspiegel bis zu der Öffnung 215, wenn Öl in die Auslaßkammer fließt, und dann wird Luft in die Pumpenkammern eingesaugt. Ebenso wird beim Anlassen etwas Luft in die Pumpe gesaugt. Da die Luft komprimiert werden kann, ist das Anlassen mit etwas Luft in den Pumpenkammern sehr viel leichter. Außerdem sorgen auch der die beiden Stufen miteinander verbindende Kanal und die beiden Auslaßöffnungen 150 für ein leichteres Anlassen. Bei der vorliegenden Anordnung ist es daher nicht notwendig, zum Anlassen der Pumpe eine Entlastungsvorrichtung vorzusehen.One of the problems with the operation of rotary valve or. Vane pumps the type of construction described were difficulties when starting due to the fact that the pump chambers fill with oil during a standstill period. Of the In accordance with the present invention, the oil inlet port 215 is close to the mirror of the oil bath. When the pump is stopped, the oil level drops to opening 215, when oil flows into the discharge chamber, and then air is drawn into the pump chambers. Some air is also sucked into the pump when it is started. As the air compresses starting is much easier with a little air in the pump chambers. In addition, the channel connecting the two stages and the two outlet ports 150 for easier starting. With the present arrangement it is therefore not necessary to use a relief device to start the pump to be provided.

Ein wesentliches Merkmal der erfindungsgemäßen Pumpe besteht darin, daß die in den Statoren vorgesehenen Schlitze 70, 72,144,146 weiteren Arbeitsraum für das Pumpen des Öls schaffen. Hierdurch wird das Anlassen der Pumpe sehr erleichtert und es wurde festgestellt, daß dies dazu beiträgt, daß kleinere Bauformen der Pumpe schneller evakuieren.An essential feature of the pump according to the invention is that that the slots 70, 72, 144, 146 provided in the stators provide further working space create for pumping the oil. This makes starting the pump much easier and it has been found that this helps reduce the size of the pump evacuate faster.

Beide Pumpenstufen tauchen völlig in Öl ein und beide Stufen sind - wie bereits oben bemerkt wurde - praktisch selbst vor dem Ölbad abgeschlossen, mit Ausnahme der Öffnung 215 und der Kanäle, zu denen sie führt. Dadurch kommt eine äußerst wirksame Abdichtung zustande.Both pump stages are completely immersed in oil and both stages are - as already noted above - practically closed even before the oil bath, with the exception of the opening 215 and the channels to which it leads. This creates an extremely effective seal.

Die verhältnismäßig große Einlaßkammer 84 bewirkt, daß das Öl aus der Hochvakuumstufe nicht in den zu evakuierenden Raum zurückfließen kann, wenn die Pumpe abgestellt wird, und auf längere Zeit mit diesem Raum verbunden bleibt. Das aus der Hochvakuumstufe abgesaugte Öl hat also einen erheblichen Raum auszufüllen, bevor es aus der Einlaßöffnung 82 herausgesogen werden kann.The relatively large inlet chamber 84 causes the oil to come out the high vacuum level cannot flow back into the room to be evacuated, if the pump is switched off and remains connected to this room for a long time. That from the High vacuum level sucked oil has a significant To fill space before it can be sucked out of the inlet port 82.

Der Vollständigkeit halber sind im Vorhergehenden alle Teile der zweistufigen Vakuumpumpe erläutert. Die Erfindung selbst ist in den Patentansprüchen angegeben.For the sake of completeness, the above are all parts of the two-stage Vacuum pump explained. The invention itself is set out in the claims.

Claims

Claims: 1. Two-stage oil-sealed vacuum pump, in which the two housings of the pump stages are arranged on both sides of a supporting middle plate, in the cylindrical chambers of which an eccentrically arranged rotor works in each case, which carries radially movable displacement bodies in slots, the middle plate having a bore for a common continuous pump shaft and, inter alia, a transition channel for the conveying medium from the high vacuum stage to the low vacuum stage, characterized in that from an oil bath (22) into which the two pump stages are immersed in a manner known per se, oil into a radial supply channel (214) and a transverse channel (216) of a housing side plate (116) closing the end face of the delivery chamber of the low vacuum stage (16) to an annular space (238) on the corresponding end face of the rotor (118) of the low vacuum stage, from there through longitudinal grooves (119) on the Wall one to accommodate the well e (24) serving central bore of this rotor (118) is passed on to an annular chamber (242) on the other end face of this rotor, then through the gap between the shaft (24) and the wall of the bearing bore (94) for the shaft in the Middle plate (12) is passed to an annular space (244) on the corresponding end face of the rotor (32) of the high vacuum stage, that then a. Part of the oil still through longitudinal grooves (34) on the wall of a central bore of the rotor (32) serving to accommodate the shaft (24) to a narrow cylindrical chamber (248) on the other (outer) end face of the rotor (32) of the high vacuum stage while the other part of the oil flowing to the rotor of the high vacuum stage passes through an inclined stitch groove (112) on the side surface of the central plate (12) from the annular space (244) there to an input part (104) of the transition channel (102) for the The conveying medium (gas) reaches the center plate (1), the pressure in this channel (102) being lower than in the closest annular space (244) on the end face of the high-vacuum stage rotor (32), whereby a partial degassing of the oil is achieved, and that the stitch groove (112) cuts into the inlet part (104) of the transition channel (102) so that the confluence is substantially above the bottom of this gas channel, so that oil flows unhindered next to the gas to the delivery chamber of the low vacuum stage can eat.

2. Vacuum pump according to claim 1, characterized in that by radial grooves (222) on the end faces of the rotors (32, 118) facing the center plate (12), the annular spaces (244, 242) on these rotor front sides, which are mainly formed by recesses (110, 113) are formed on the side surfaces (76, 78) of the middle plate (12), are in communication with the chambers (245, 243) which remain below the displacement bodies (42, 128) in the rotor slots (40, 126).

3. Vacuum pump according to claim 2, characterized in that the displacement bodies (42, 128) are plate-shaped work slides that are already through when the pump starts up Spring force in a sealing system against the circumferential walls of the conveying chambers of the steps be pressed.

4. Vacuum pump according to claim 2 or 3, characterized in that that a certain amount of oil from the chambers (243) below the working slide (128) in the rotor (118) of the low vacuum stage enters the pumping chamber of this stage when the working slide (s) in question have just moved out of the rotor.

5. Vacuum pump according to claim 1, characterized in that the upper end of the central plate (12) has an inlet channel (82) which communicates with the inlet space (84), the inlet passage (86), the one formed in the surface (62) of the stator (26) at the opening (88) Slot (66), the passage (68) extending transversely in the stator (26) and connected to the rounded slot (64) of the gas through the rotor (32) is dragged along.

6. Vacuum pump according to claim 1 to 5, characterized in that oil and gas from the transition channel (102) into a space formed by the slot (146) in the surface (142) of the stator (114 a), the passage (148) , the slot (144), the pump chamber (123), the passages (150) and past the strip (156) of the valve (154) into the oil bath (22).