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DE1236097B - Elektronenlinse zum Korrigieren einer drehsymmetrischen, magnetischen Elektronenlinse - Google Patents

Elektronenlinse zum Korrigieren einer drehsymmetrischen, magnetischen Elektronenlinse

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Publication number
DE1236097B
DE1236097B DEP30567A DEP0030567A DE1236097B DE 1236097 B DE1236097 B DE 1236097B DE P30567 A DEP30567 A DE P30567A DE P0030567 A DEP0030567 A DE P0030567A DE 1236097 B DE1236097 B DE 1236097B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
electrode
magnetic
electron lens
central electrode
electron
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DEP30567A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Alvar Pietari Wilska
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Philips Electronics and Pharmaceutical Industries Corp
Original Assignee
Philips Electronics and Pharmaceutical Industries Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Philips Electronics and Pharmaceutical Industries Corp filed Critical Philips Electronics and Pharmaceutical Industries Corp
Publication of DE1236097B publication Critical patent/DE1236097B/de
Pending legal-status Critical Current

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    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
    • H01J29/46—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the ray or beam, e.g. electron-optical arrangement
    • H01J29/58—Arrangements for focusing or reflecting ray or beam
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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    • H01J37/02—Details
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DEP30567A 1961-11-15 1962-11-13 Elektronenlinse zum Korrigieren einer drehsymmetrischen, magnetischen Elektronenlinse Pending DE1236097B (de)

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DEP30567A Pending DE1236097B (de) 1961-11-15 1962-11-13 Elektronenlinse zum Korrigieren einer drehsymmetrischen, magnetischen Elektronenlinse

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NL (1) NL285301A (xx)
SE (1) SE300852B (xx)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1905937B1 (de) * 1969-02-06 1971-01-14 Corpuscular Forschungs Stiftun Stigmator zur elektrischen Kompensation von Abbildungsfehlern bei elektronenoptischen Systemen mit Hohlstrahlen und Ringblendenden

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3452241A (en) * 1966-09-06 1969-06-24 Rca Corp Electron gun suitable for electron microscope
DE1937482C3 (de) * 1969-07-23 1974-10-10 Max-Planck-Gesellschaft Zur Foerderung Der Wissenschaften E.V., 3400 Goettingen Mikrostrahlsonde
NL7012387A (xx) * 1970-08-21 1972-02-23 Philips Nv
GB1416043A (en) * 1972-01-28 1975-12-03 Nasa Electron microscope aperture system
US3996468A (en) * 1972-01-28 1976-12-07 Nasa Electron microscope aperture system
US4002912A (en) * 1975-12-30 1977-01-11 The United States Of America As Represented By The United States Energy Research And Development Administration Electrostatic lens to focus an ion beam to uniform density
DE2752598C3 (de) * 1977-11-25 1981-10-15 Dr.-Ing. Rudolf Hell Gmbh, 2300 Kiel Verfahren zum Betrieb einer elektromagnetischen fokussierenden elektronen-optischen Linsenanordnung und Linsenanordnung hierfür
JPS5842935B2 (ja) * 1978-04-07 1983-09-22 日本電子株式会社 走査電子顕微鏡等の対物レンズ
AU534599B2 (en) * 1978-08-25 1984-02-09 Commonwealth Scientific And Industrial Research Organisation Cold cathode ion soirce
JPS6091544A (ja) * 1983-10-24 1985-05-22 Anelva Corp オ−ジエ分析装置
US4725736A (en) * 1986-08-11 1988-02-16 Electron Beam Memories Electrostatic electron gun with integrated electron beam deflection and/or stigmating system
JP5097512B2 (ja) * 2006-11-21 2012-12-12 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子ビーム用軌道補正器、及び荷電粒子ビーム装置
JP5153348B2 (ja) * 2008-01-09 2013-02-27 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子ビーム軌道補正器及び荷電粒子ビーム装置
JP6747687B2 (ja) * 2014-08-25 2020-08-26 ナショナル ユニヴァーシティー オブ シンガポール 収差補正装置、これを有するデバイス、および荷電粒子の収差を補正するための方法
JP6351196B2 (ja) * 2015-04-27 2018-07-04 国立大学法人名古屋大学 荷電粒子ビーム用電磁レンズの球面収差補正装置
US11798776B2 (en) * 2019-05-15 2023-10-24 Hitachi High-Tech Corporation Charged particle beam apparatus

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2976457A (en) * 1953-11-02 1961-03-21 Rca Corp Electron lens

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL95815C (xx) * 1954-03-11

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2976457A (en) * 1953-11-02 1961-03-21 Rca Corp Electron lens

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1905937B1 (de) * 1969-02-06 1971-01-14 Corpuscular Forschungs Stiftun Stigmator zur elektrischen Kompensation von Abbildungsfehlern bei elektronenoptischen Systemen mit Hohlstrahlen und Ringblendenden

Also Published As

Publication number Publication date
GB995387A (en) 1965-06-16
NL285301A (xx)
SE300852B (xx) 1968-05-13
CH407356A (de) 1966-02-15
US3100260A (en) 1963-08-06

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