[go: up one dir, main page]

DE1125096B - Verfahren zum Herstellen einer Schweisszone gewuenschter Querschnittsform beim Ladungstraegerstrahl-Schweissen - Google Patents

Verfahren zum Herstellen einer Schweisszone gewuenschter Querschnittsform beim Ladungstraegerstrahl-Schweissen

Info

Publication number
DE1125096B
DE1125096B DEZ8412A DEZ0008412A DE1125096B DE 1125096 B DE1125096 B DE 1125096B DE Z8412 A DEZ8412 A DE Z8412A DE Z0008412 A DEZ0008412 A DE Z0008412A DE 1125096 B DE1125096 B DE 1125096B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
charge carrier
welding
workpiece
deflection
carrier beam
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DEZ8412A
Other languages
English (en)
Inventor
Dr Wolfgang Opitz
Dipl-Phys Karl Hei Steigerwald
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to NL271015D priority Critical patent/NL271015A/xx
Application filed by Carl Zeiss SMT GmbH filed Critical Carl Zeiss SMT GmbH
Priority to DEZ8412A priority patent/DE1125096B/de
Priority to CH1234061A priority patent/CH433535A/de
Priority to FR879749A priority patent/FR1306863A/fr
Priority to GB42597/61A priority patent/GB1004356A/en
Priority to US156770A priority patent/US3134013A/en
Publication of DE1125096B publication Critical patent/DE1125096B/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/147Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path
    • H01J37/1472Deflecting along given lines
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K15/00Electron-beam welding or cutting
    • B23K15/0013Positioning or observing workpieces, e.g. with respect to the impact; Aligning, aiming or focusing electronbeams
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K15/00Electron-beam welding or cutting
    • B23K15/0046Welding
    • B23K15/0053Seam welding
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/147Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/3002Details
    • H01J37/3005Observing the objects or the point of impact on the object
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/302Controlling tubes by external information, e.g. programme control

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)

Description

DEUTSCHES
PATENTAI
Z 8412 Vffld/21h
ANMELDETAG: 6. DEZEMBER 1960
BEKANNTMACHUNG
DER ANMELDUNG
UNDAUSGABE DER
AUSLEGESCHRIFT: 8. MÄRZ 1962
Bei den bisher üblichen Schweißverfahren wird, außer beim Widerstandsschweißen, den miteinander zu verschweißenden Werkstücken mittels einer Wärmequelle, z. B. einer Flamme, die notwendige Wärme zugeführt. Die Energie der Wärmequelle wird dabei in einer sehr dünnen Oberflächenschicht absorbiert, und die Wärme gelangt durch Wärmeleitung in das Innere der miteinander zu verschweißenden Werkstücke. Dabei tritt normalerweise eine Schweißzone auf, welche halbkreisförmig begrenzt ist oder zumindest die Form eines sehr stumpfwinkligen V hat. Infolge dieser Form der Schweißzone können beim Erkalten der Werkstücke beträchtliche Deformationen im Winkel oder innere Spannungen auftreten.
Es ist bekannt, Schweißungen mit Hilfe eines auf die Schweißstelle fokussierten Ladungsträgerstrahles vorzunehmen. Wird dabei gemäß einem eigenen älteren Vorschlag die Energiedichte des auf die zu verschweißenden Werkstücke auftreffenden Ladungsträgerstrahles über einen bestimmten Grenzwert, beispielsweise 1 MW/cm2, hinaus erhöht, so dringt der Ladungsträgerstrahl plötzlich sehr tief in das Werkstück ein und bewirkt dabei ein gleichzeitiges Aufschmelzen des gesamten Materials über die so ganze Eindringtiefe. Bei diesem inzwischen unter dem Namen »Tiefschweißen« bekanntgewordenen Schweißverfahren entsteht eine Schmelzzone von sehr spitzwinkliger V-Form. Die beim Erkalten des innerhalb dieser Zone aufgeschmolzenen Materials auftretenden Deformationen des Werkstückes bzw. die auftretenden Spannungen sind naturgemäß wesentlich kleiner als bei den anderen Schweißverfahren. Trotzdem kann beim Erkalten einer solchen V-förmigen Schmelzzone eine geringfügige Deformation des Werkstückes auftreten, so daß ζ. B. bei einer Stumpf schweißung von Kanten ebener Platten deren Flächen sich stumpfwinklig zueinander neigen. Ein solcher über die Tiefe der gesamten Schweißnaht auftretender ungleichmäßiger Verzug entsteht durch die unterschiedliche Breite der V-förmigen Schweißzone in verschiedenen Tiefen.
Der vorliegenden Erfindung liegt nun die Erkenntnis zugrunde, daß sich beim Schweißen mittels eines Ladungsträgerstrahles Werkstückdeformationen grundsätzlich vermeiden lassen bzw. daß sich gewünschte, vorausberechnete Deformationen erzielen lassen, wenn der Schweißzone eine vorherbestimmte Querschnittsform gegeben wird.
Die vorliegende Erfindung betrifft somit ein Verfahren zum Herstellen einer Schweißzone gewünschter Querschnittsform beim Schweißen mittels eines tief in das Werkstück eindringenden, eine im wesentlichen Verfahren zum Herstellen einer Schweißzone
gewünschter Querschnittsform
beim Ladungsträgerstrahl-Schweißen
Anmelder:
Fa. Carl Zeiss, Heidenheim/Brenz
Dr. Wolfgang Opitz, Aalen (Württ.),
und Dipl.-Phys. Karl Heinz Steigerwald,
Heidenheim/Brenz,
sind als Erfinder genannt worden
V-förmige Zone aufschmelzenden Ladungsträgerstrahles. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, daß mindestens ein Ladungsträgerstrahl auf die Schweißstelle gerichtet und so um eine parallel zur Richtung der Schweißnaht liegende Achse gekippt wird, daß die Flanken des gewünschten Querschnittsbereiches unter Aufschmelzung des Materials in diesem Querschnitt von den Flanken der V-förmigen Schmelzzone berührt werden.
Verwendet man nur einen Ladungsträgerstrahl, so wird dieser vorteilhaft auf das Werkstück gerichtet und periodisch so um eine in der Werkstückoberfläche liegende Achse gekippt, daß die Flanken der von ihm aufgeschmolzenen V-förmigen Zone abwechselnd nacheinander mit den Flanken des gewünschten Querschnittsbereichs zusammenfallen. Werden mehrere auf das Werkstück gerichtete Ladungsträgerstrahlen zum Schweißen verwendet, so wird mindestens ein Teil dieser Strahlen so gekippt, daß die Flanken des gewünschten Querschnittsbereiches nacheinander oder gleichzeitig von den Flanken der V-förmigen Schmelzzone berührt werden. Die Verkippung des oder der Ladungsträgerstrahlen erfolgt dabei mit einer so hohen Frequenz, daß die Bewegung des Strahles senkrecht zur Schweißrichtung groß gegen die Relativbewegung in Schweißrichtung ist. Dabei ist es vorteilhaft, die Verkippung des Ladungsträgerstrahles so zu steuern, daß die Verweilzeit des Strahles in den verschiedenen Querschnittsbereichen der Schweißzone verschieden groß ist. Dies wird zweckmäßig dadurch erreicht, daß den Ablenkelementen Ablenkspannungen oder Ablenk-
209 518/360
ströme von nichtlinearem zeitlichen Verlauf zugeführt vor dem Werkstück zwei in verschiedenen Ebenen werden. Durch diese Steuerung der Strahlablenkung angeordnete Ablenksysteme enthält. Durch diesen wird beispielsweise erreicht, daß den durch den üb- Aufbau der Vorrichtung läßt sich erreichen, daß die rigen Materialverband stark gekühlten Randbereichen Ablenkelemente in genügender Entfernung vom Werkder Schmelzzone mehr Energie zugeführt wird als den 5 stück angebracht werden können. Das in Strahlrichin der Mitte der Schweißzone gelegenen Material- tung gesehen erste Ablenksystem lenkt den Ladungsbereichen, trägerstrahl aus seiner ursprünglichen Richtung ab, Wird der zur Schweißung dienende Ladungsträger- während das zweite Ablenksystem ihn in entgegenstrahl intermittierend gesteuert, so erfolgt auch die gesetzter Richtung so ablenkt, daß er in der Höhe Strahlablenkung vorteilhaft intermittierend in den io der Werkstückoberfläche seine Ursprungsrichtung Impulspausen. Weiterhin ist es zweckmäßig, in die- schneidet. Erfolgen beide Ablenkungen synchron, so sem Fall auch die Bewegung des Strahles in Schweiß- läßt sich erreichen, daß der Ladungsträgerstrahl stets richtung intermittierend zu gestalten, wobei während in Höhe der Werkstückoberfläche seine Ursprungsder Querablenkung des Ladungsträgerstrahles diese richtung schneidet, d.h. also, daß er um eine in der Bewegung zu Null wird. 15 Werkstückoberfläche in Nahtrichtung liegende Achse Bei allen bisher beschriebenen Arten der Strahl- gekippt wird. Dadurch überstreicht der abgelenkte verkippung wird erreicht, daß schließlich der gesamte Strahl den gewünschten Winkelbereich im Werk-Querschnitt der Schweißzone aufgeschmolzen wird. stück.
Der gesamte gewünschte Querschnittsbereich wird Ist dieser Winkelbereieh sehr klein, so ist es prinalso während des Schweißvorganges mit geschmol- 20 zipiell auch möglich, nur ein einziges Ablenksystem
zenem Material erfüllt. zu verwenden. Dieses System muß jedoch, sobald
Dieser Effekt läßt sich bei dem neuen Verfahren der vom Strahl zu überstreichende Winkelbereieh
gemäß einer Weiterbildung des Erfindungsgedankens etwas größer ist, zur Erzeugung einer Schweißnaht,
auch dadurch erreichen, daß mehrere Ladungsträger- welche senkrecht zur Schweißrichtung nicht allzu sehr strahlen so auf das Werkstück gerichtet werden, daß 25 ausgedehnt ist, sehr dicht über dem Werkstück an-
die von ihnen erzeugten Schmelzzonen den gewünsch- geordnet werden.
ten Querschnitt vollständig ausfüllen. Dazu kann es Die Erfindung wird im folgenden an Hand der
bei bestimmten Querschnittsformen erforderlich und Ausführungsbeispiele darstellenden Fig. 1 bis 8 näher
vorteilhaft sein, die Ladungsträgerstrahlen von ver- erläutert. Dabei zeigt
schiedenen Seiten auf das Werkstück zu richten. 30 Fig. 1 einen Teilschnitt durch eine gemäß der Er-
Die vorliegende Erfindung findet besonders vorteil- findung aufgebaute Vorrichtung zum Schweißen mit-
haft Anwendung zur Herstellung von Schweißzonen tels eines Elektronenstrahls,
mit rechteckförmigem Querschnitt. Beim Erkalten Fig. 2 die Form der mit dem in Fig. 1 dargestellten
des innerhalb einer solchen Schweißzone aufgeschmol- Gerät erzielten Schweißzone im Werkstück,
zenen Materials kann lediglich ein durch die 35 Fig. 3 eine vergrößerte Teilansicht des in Fig. 1
Materialschrumpfung hervorgerufenes geringfügiges dargestellten Gerätes,
Zusammenziehen der Werkstücke in der Ebene senk- Fig· 4 eine vergrößerte Teilansicht des in Fig. 1
recht zur Schweißnaht auftreten. dargestellten Gerätes, wobei noch ein zusätzliches
Soll eine rechteckförmige Querschnittsform mittels Ablenksystem vorgesehen ist,
nur eines Ladungsträgerstrahles erzielt werden, so 40 Fig· 5 ein Werkstück mit zwei von verschiedenen
wird dieser Strahl während des Schweißvorganges so Seiten auftreffenden Ladungsträgerstrahlen sowie die
um eine in der Werkstückoberfläche hegende Achse entstehende Schweißzone,
gekippt, daß zwischen den Endlagen seiner Ablen- Fig. 6 ein Werkstück mit zwei von verschiedenen
kung im Werkstück ein spitzer Winkel in der Ebene Seiten auftreffenden Ladungsträgerstrahlen sowie die
senkrecht zur Schweißrichtung beschrieben wird, wo- 45 Querschnittsform der entstehenden Schweißzone,
bei dieser Winkel gleich dem Winkel der Schmelz- Fig. 7 ein Werkstück und die bei Verwendung eines
zone bei nicht abgelenktem Strahl ist. intermittierend gesteuerten Schweißstrahles auftreten-
Es ist auch möglich, eine rechteekförmige Schweiß- den Ablenkschritte,
zone dadurch zu erzielen, daß beispielsweise zwei von Fig. 8 ein Beispiel für eine schräg zur Stoßfläche verschiedenen Seiten auf das Werkstück gerichtete 50 zwischen zwei miteinander zu verschweißenden Werk-Ladungsträgerstrahlen verwendet werden. Diese bei- stücken verlaufende Schweißzone, den Strahlen sind zueinander parallel und so gegen In Fig. 1 ist mit 1 die Kathode, mit 2 die Steuerdie Werkstückoberfläche geneigt, daß die äußeren elektrode und mit 3 die Anode eines Elektronen-Flanken ihrer Schmelzzonen senkrecht zur Werk- strahlerzeugungssystemes bezeichnet. Dieses System Stückoberfläche stehen. 55 ist in einem geerdeten metallischen Gehäuse 4 unter-Wird der Ladungsträgerstrahl neben seiner Ver- gebracht und erzeugt einen Elektronenstrahls. Im kippung gleichzeitig senkrecht zur Schweißrichtung Gerät 6 wird eine Hochspannung von z. B. 100 kV ausgelenkt, so kann beispielsweise eine rechteck- erzeugt und mittels eines mit einem Erdmantel verförmige Schweißzone verhältnismäßig großer Breite sehenen Hochspannungskabels dem Gerät 7 zugeerzeugt werden, oder diese Zone läßt sich einseitig 60 führt. Dieses Gerät dient zur Erzeugung der regelverschieben, um eine seitliche Abweichung der zu baren Steuerelektrodenvorspannung. Diese Spannunverschweißenden Nahtstelle gegen den Strahl zu korn- gen werden über das mit einem Erdmantel versehene pensieren. dreiadrige Hochspannungskabel 8 dem Strahlerzeu-
Die Vorrichtung zur Ausübung des Verfahrens gungssystem zugeführt.
nach der Erfindung besteht aus einem an sich be- 65 In Strahlrichtung gesehen unterhalb der Anode 3
kannten Gerät zum Schweißen mittels eines Ladungs- ist eine Blende 9 angeordnet, welche mittels der
trägerstrahles, wobei dieses Gerät erfindungsgemäß Knöpfe 10 und 11 in der Papierebene und senkrecht
in an sich bekannter Weise in Strahlrichtung gesehen zur Papierebene bewegt werden kann.
5 6
Unterhalb der Blende 9 ist ein geerdetes Rohr 12 Naht ungleichmäßige Schrumpfung, so daß sich also vorgesehen, durch welches der Strahl 5 hindurchtritt. die Flächen der als Platten ausgebildeten Werkstücke Eine elektromagnetische Linse 13, deren Stromver- 15 und 16 stumpfwinklig zueinander neigen können, sorgungsgerät mit 14 bezeichnet ist, dient zur Fokus- Zur Vermeidung dieses störenden Effektes wird sierung des Elektronenstrahles 5 auf die miteinander 5 dem Ablenksystem 30 ein Strom zugeführt, welcher zu verschweißenden Werkstücke 15, 16. Diese Werk- eine periodische Ablenkung des Elektronenstrahles 5 stücke sind auf einem an sich bekannten Kreuztisch aus seiner Ruhelage bewirkt. Diese Verhältnisse lasgelagert und können mittels einer Spindel 18 in Rich- sen sich klar aus der vergrößerten Darstellung der tung der Schweißnaht bewegt werden. Zur Verschie- Fig. 3 ersehen. Dem Ablenksystem 31 wird ein solcher bung des Werkstückes senkrecht zur Richtung der io Ablenkstrom gegenphasig zugeführt, daß der Elek-Schweißnaht dient eine weitere, hier nicht dargestellte tronenstrahl 5 in entgegengesetzter Richtung so abSpindel. Durch das Fenster 19 kann der Schweißvor- gelenkt wird, daß er in Höhe der Werkstückobergang beobachtet werden. fläche seine Ursprungsrichtung schneidet. Die beiden
Zur genaueren Beobachtung des Schweißvorganges extremen Ablenklagen des Elektronenstrahles 5 sind
dient ein Mikroskop 20, welches mit dem Gehäuse 4 15 in Fig. 3 mit 5' und 5" bezeichnet,
verbunden ist und dessen Objektiv 21 vom eigent- Trifft der Elektronenstrahl in Richtung 5' auf die
liehen Mikroskopgehäuse getrennt und im Gehäuse 4 Werkstücke 15, 16 auf, so entsteht eine Schweißzone
angeordnet ist. Zwischen Objektiv 21 und Mikroskop 36, deren eine Flanke senkrecht zur Werkstückober-
20 ist ein Röntgenschutzglas 22 angeordnet, welches fläche liegt. Trifft der Elektronenstrahl in Richtung 5"
schädliche Strahlung vom Mikroskop 20 fernhält, ao auf die Werkstückoberfläche auf, so entsteht eine
Das Mikroskopobjektiv 21 kann zum Zwecke der Schweißzone 35, deren andere Flanke senkrecht zur
Fokussierung mittels eines Knopfes 23 in Richtung Werkstückoberfläche liegt. Insgesamt entsteht also
seiner optischen Achse bewegt werden. Zum Schutz beim Verschwenken des Elektronenstrahles 5 zwi-
vor Bedampfung des Objektivs 21 ist vor demselben sehen den Richtungen 5' und 5" eine rechteckförmige
ein Schutzglas 24 angeordnet. as Schweißzone, deren Kanten senkrecht zur Werkstück-
Während des Schweißvorganges glüht die Schweiß- oberfläche liegen.
stelle auf, und das von ihr ausgehende Licht wird Wie ohne weiteres einzusehen ist, entspricht der
mittels des Mikroskopobjektivs 21 parallel gerichtet, Winkel zwischen den Ablenklagen 5' und 5" dem
über den auf dem durchbohrten Rohr 12 angeord- Winkel der V-förmigen Schmelzzone 34.
neten Spiegel 25 in das Mikroskop 20 reflektiert und 30 Die beiden Ablenkgeneratoren 32 und 33 sind mit-
dort von den weiteren Gliedern des Mikroskops in einander gekoppelt, so daß den Ablenksystemen 30
üblicher Weise abgebildet. und 31 stets solche Ströme zugeführt werden, daß
Damit auch eine Justierung der Werkstücke 15, 16 der Elektronenstrahl 5 um die in der Werkstückober-
vor Einleiten des Schweißvorganges vorgenommen fläche liegende, in Richtung der Schweißnaht ver-
werden kann, ist eine Lichtquelle 26 vorgesehen, 35 laufende Achse gekippt wird.
welche über einen Kollektor 27 und zwei Prismen 28 Um innerhalb der entstehenden rechteckförmigen
und 29 durch den teildurchlässigen Spiegel 25 hin- Schweißzone die gewünschte Energieverteilung zu
durch die Werkstücke 15, 16 beleuchtet. erzielen, wird den periodischen Ablenkströmea für
In Strahlrichtung gesehen unterhalb der elektro- die Ablenksysteme 30 und 31 ein geeigneter Verlauf magnetischen Linse 13 sind zwei elektromagnetische 40 gegeben. Insbesondere ist es vorteilhaft, die Genera-Ablenksysteme 30 und 31 angeordnet. Jedes dieser toren32 und 33 so auszubilden, daß sie Ablenk-Systeme besteht beispielsweise aus vier jeweils senk- ströme mit nichtlinearem zeitlichem Verlauf liefern, recht zueinander angeordneten Ablenkspulen. Zur Beispielsweise liefern die Generatoren 32 und 33 Erzeugung des Ablenkstromes für das Ablenksystem Ablenkströme von rechteck- oder sinusförmigem Ver-30 dient ein Generator 32, während ein Generator 45 lauf oder auch Ablenkströme, deren zeitlicher Ver-33 zur Erzeugung des Ablenkstromes für das Ab- lauf die Form einer Dachkurve hat. Dadurch wird lenksystem 31 dient. die Verweilzeit des Elektronenstrahles 5 und damit
Es ist auch möglich, an Stelle zweier elektromagne- die abgegebene Wärmemenge in den verschiedenen tischer Ablenksysteme in bekannter Weise ein elektro- Richtungen seines Ablenkwinkels in gewünschter statisches und ein elektromagnetisches Ablenksystem 50 Weise beeinflußt. Beispielsweise wird bei einem rechtzu verwenden. Dies bringt den Vorteil mit sich, daß eck- oder sinusförmigen Verlauf der Ablenkströme erdie beiden Ablenksysteme näher aneinandergerückt reicht, daß der Elektronenstrahl 5 in den Endlagen 5' werden können, da sich die Felder gegenseitig nicht und 5" langer verweilt als in den MJttellagen und daß stören. Insbesondere wird es auch möglich, das demzufolge den Zonen 35 und 36 mehr Energie zuelektrostatische Ablenksystem sehr dicht an der Linse 55 geführt wird als den zwischen diesen beiden Zonen 13 anzuordnen. gelegenen Schmelzzonen. Dadurch wird die starke
Sind die Generatoren 32 und 33 abgeschaltet, so Wärmeableitung an den Rändern der Schmelzzone
trifft der Elektronenstrahl 5 senkrecht auf die Ober- kompensiert.
fläche der Werkstücke 15, 16 und dringt dabei über Fig. 4 zeigt eine Vorrichtung, bei welcher zusätzlich die gesamte Tiefe der Stoßstelle zwischen den beiden 60 zu den Ablenksystemen 30 und 31 ein weiteres AbWerkstücken in dieselben ein. Diese Verhältnisse lenksystem 37 vorgesehen ist. Dieses Ablenksystem lassen sich aus Fig. 2 erkennen. Wie diese Figur zeigt, lenkt den Elektronenstrahl 5 so aus seiner ursprüngentsteht beim Eindringen des Elektronenstrahles 5 in liehen Richtung ab, daß er in Richtung 5'" in das die Werkstücke 15, 16 eine Schweißzone 34 von sehr Ablenksystem 30 eintritt. Aus diesem Grunde wird spitzwinkliger V-Form. Beim Erkalten des innerhalb 65 der Elektronenstrahl 5 nach links verschoben, d. h., dieser Zone aufgeschmolzenen Materials entsteht, be- die Schweißzone wandert im Werkstück nach links, dingt durch die unterschiedliche Breite der Schweiß- Dadurch wird kompensiert, daß die ursprünglich bei zone, in verschiedenen Tiefen eine über die Tiefe der 38 gelegene Stoßkante zwischen den Werkstücken 15
und 16 nunmehr bei 39 liegt. Das Ablenksystem 37 bietet also die Möglichkeit, seitliche Abweichungen der Schweißstelle gegen den Strahl zu kompensieren. Derselbe Effekt ließe sich auch ohne das Ablenksystem 37 erzielen. In diesem Fall müßte dem Ablenkstrom für das Ablenksystem 30 ein Gleichstrom bestimmter Größe überlagert werden.
Wird dem Ablenkstrom für das Ablenksystem 30 ein zusätzlicher periodischer Ablenkstrom überlagert bzw. wird dem in Fig. 4 dargestellten Ablenksystem 37 ein periodischer Ablenkstrom zugeführt, so lassen sich rechteckförmige Schmelzzonen einer Breite erzeugen, welche wesentlich größer ist als die Breite der in Fig. 3 dargestellten Schmelzzone.
In der Darstellung der Fig. 5 treffen zwei Ladungsträgerstrahlen 40 und 41 von verschiedenen Seiten auf die Werkstücke 15, 16 auf. Es entsteht dabei eine Schmelzzone 42, welche in der Mitte etwas eingeschnürt ist.
In Fig. 6 treffen zwei Ladungsträgerstrahlen 43 und zo 44 von verschiedenen Seiten auf die Werkstücke 15, 16 auf. Beide Ladungsträgerstrahlen sind so gegen die Werkstückoberfläche geneigt, daß eine rechteckförmige Schweißzone 45 entsteht, deren Kanten senkrecht zur Werkstückoberfläche liegen.
Fig. 7 zeigt die beiden Werkstücke 15 und 16, auf welche ein intermittierend gesteuerter Ladungsträgerstrahl 46 auftrifft. Dieser Ladungsträgerstrahl wird um die in der Werkstückoberfläche gelegene Achse so gekippt, daß er nacheinander die Lagen 46', 46, 46" einnimmt. Die Verkippung des Ladungsträgerstrahles erfolgt dabei während der Impulspausen. In dem hier dargestellten Fall wird die Bewegung der Werkstücke 15, 16 in Richtung der Schweißnaht intermittierend vorgenommen. Die Werkstücke bleiben so lange stehen, bis der Ladungsträgerstrahl nacheinander die drei gezeichneten Ablenklagen eingenommen hat. Sodann wird die Längsbewegung der Werkstücke wieder eingeschaltet, und diese werden so weit bewegt, daß sich die beim darauffolgenden Auftreffen des Ladungsträgerstrahles 46 entstehende Schmelzzone mit der beim vorhergehenden Schweißschritt erzeugten Schmelzzone überlappt.
Derselbe Effekt kann auch dadurch erzielt werden, daß der Kreuztisch 17, auf welchem die Werkstücke 15, 16 gehaltert sind, kontinuierlich in Nahtrichtung bewegt wird, wobei jedoch durch eine Ablenkung des Ladungsträgerstrahles 46 entgegen der Richtung der Schweißnaht dafür gesorgt wird, daß keine Relativbewegung zwischen Strahl und Werkstück auftritt, solange der Ladungsträgerstrahl verkippt wird. Ist diese Verkippung beendet, so wird der Ladungsträgerstrahl in Richtung der Schweißnaht so lange abgelenkt, bis er die nächste Auftreffstelle erreicht hat. Zur Erzielung einer solchen Längsablenkung des Ladungsträgerstrahles kann beispielsweise dem durch das Ablenksystem 31 fließenden Ablenkstrom ein weiterer sägezahnförmiger Ablenkstrom überlagert werden.
Fig. 8 zeigt zwei Werkstücke 47 und 48, welche miteinander verschweißt werden sollen. Werden dabei diese beiden Werkstücke so, wie in Fig. 8 dargestellt, auf dem Kreuztisch 17 gelagert, so kann der Schweißstrahl im nicht abgelenkten Zustand die Nahtstelle nicht erreichen. Aus diesem Grunde wird der Ladungsträgerstrahl 49 aus seiner Ursprungsrichtung abgelenkt und trifft nunmehr schräg zur Stoßkante auf die Werkstücke 47, 48 auf. Zusätzlich wird der Ladungsträgerstrahl um eine in der Werkstückoberfläche liegende Achse gekippt, wobei er nacheinander die beiden Ablenklagen 49' und 49" einnimmt. Dabei entsteht eine geradlinig begrenzte Schweißzone 50, welche in Richtung ihrer Tiefe gegen die ursprüngliche Strahlrichtung geneigt ist.
In allen den hier dargestellten und beschriebenen Beispielen muß die Verkippung des Ladungsträgerstrahles so schnell erfolgen, daß sich der Strahl wesentlich schneller senkrecht zur Schweißrichtung bewegt als in Richtung der Schweißnaht.
Die in Fig. 1 dargestellte Vorrichtung findet nicht nur Anwendung zur Herstellung der in den Fig. 3 bis 8 dargestellten Querschnittsformen von Schweißzonen, sondern es können mit ihrer Hilfe beliebige Querschnittsformen der Schweißzone erzeugt werden. Dazu ist es lediglich erforderlich, den Ablenkwinkel des Ladungsträgerstrahles entsprechend zu ändern oder mehrere in entsprechenden Richtungen auf das Werkstück auftreffende Ladungsträgerstrahlen vorzusehen.

Claims (15)

PATENTANSPRÜCHE:
1. Verfahren zum Herstellen einer Schweißzone gewünschter Querschnittsform beim Schweißen mittels eines tief in das Werkstück eindringenden, eine im wesentlichen V-förmige Zone aufschmelzenden Ladungsträgerstrahles, dadurch ge kennzeichnet, daß mindestens ein Ladungsträgerstrahl auf die Schweißstelle (15, 16) gerichtet und so um eine parallel zur Richtung der Schweißnaht liegende Achse gekippt wird, daß die Flanken des gewünschten Querschnittsbereiches unter Aufschmelzung des Materials in diesem Querschnitt von den Flanken der durch den Ladungsträgerstrahl bewirkten V-förmigen Schmelzzone berührt werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Ladungsträgerstrahl (5) auf das Werkstück (15, 16) gerichtet und periodisch so um eine in der Werkstückoberfläche liegende Achse gekippt wird, daß die Flanken der von ihm aufgeschmolzenen V-förmigen Zone abwechselnd nacheinander mit den Flanken des gewünschten Querschnittsbereiches zusammenfallen.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Ladungsträgerstrahlen auf das Werkstück (15, 16) gerichtet und mindestens teilweise so gekippt werden, daß die Flanken des gewünschten Querschnittsbereiches nacheinander oder gleichzeitig von den Flanken der V-förmigen Schmelzzonen berührt werden.
4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Ladungsträgerstrahlen (43, 44) so auf das Werkstück (15, 16) gerichtet werden, daß die von ihnen erzeugten Schmelzzonen den gewünschten Querschnitt (45) vollständig ausfüllen.
5. Verfahren nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Ladungsträgerstrahlen (43, 44) von verschiedenen Seiten auf das Werkstück gerichtet werden.
6. Verfahren nach Anspruch! und 2, bei welchem der Ladungsträgerstrahl intermittierend gesteuert wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Verkippung des Ladungsträgerstrahles (46) jeweils in den Impulspausen erfolgt.
7. Verfahren nach Anspruch 1 und einem oder mehreren der folgenden, gekennzeichnet durch die Verwendung zur Herstellung von Schweißzonen mit rechteckförmigem Querschnitt (Fig. 3, 6 und 7).
8. Verfahren nach Anspruch 1 bis 3 und 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Verkippung des Ladungsträgerstrahles mit einer so hohen Frequenz erfolgt, daß die Bewegung des Strahles in der senkrecht zur Schweißrichtung liegenden Ebene sehr viel schneller erfolgt als die Relativbewegung in Schweißrichtung.
9. Verfahren nach Anspruch 1 bis 3 und 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Verkippung des Ladungsträgerstrahles so erfolgt, daß die Verweilzeit des Strahles in den verschiedenen Querschnittsbereichen verschieden groß ist.
10. Verfahren nach Anspruch 1, 2 und 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Ladungsträgerstrahl neben seiner Verkippung gleichzeitig senkrecht zur Schweißrichtung ausgelenkt wird.
11. Vorrichtung zur Ausübung des Verfahrens nach Anspruch 1, enthaltend ein an sich bekanntes Gerät zum Schweißen mittels eines Ladungsträgerstrahles, dadurch gekennzeichnet, daß in an sich bekannter Weise in Strahlrichtung gesehen vor dem Werkstück (15, 16) zwei in verschiedenen Ebenen angeordnete Ablenksysteme (30, 31) vorgesehen sind.
12. Vorrichtung nach Anspruch 11, gekennzeichnet durch die an sich bekannte Verwendung eines elektrostatischen und eines elektromagnetischen Ablenksystems.
13. Vorrichtung zur Ausübung des Verfahrens nach Anspruch 5 und Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß zu beiden Seiten des Werkstückes (15, 16) Systeme zur Erzeugung, Fokussierung und Ablenkung eines Ladungsträgerstrahles (43 bzw. 44) angeordnet sind.
14. Vorrichtung zur Ausübung des Verfahrens nach Anspruch 9 und Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Ablenksysteme (30, 31) mit Generatoren zur Erzeugung einer Ablenkgröße von nichtlinearem zeitlichem Verlauf verbündten sind.
15. Vorrichtung zur Ausübung des Verfahrens nach Anspruch 10 und Vorrichtung nach Anspruch 12, gekennzeichnet durch ein zusätzliches, mit einem Generator zur Erzeugung einer konstanten Ablenkgröße in Verbindung stehendes Ablenksystem (37).
In Betracht gezogene Druckschriften:
Deutsche Auslegeschrift Nr. 1 053 691.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
© 209 518/360 2.
DEZ8412A 1960-12-06 1960-12-06 Verfahren zum Herstellen einer Schweisszone gewuenschter Querschnittsform beim Ladungstraegerstrahl-Schweissen Pending DE1125096B (de)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL271015D NL271015A (de) 1960-12-06
DEZ8412A DE1125096B (de) 1960-12-06 1960-12-06 Verfahren zum Herstellen einer Schweisszone gewuenschter Querschnittsform beim Ladungstraegerstrahl-Schweissen
CH1234061A CH433535A (de) 1960-12-06 1961-10-25 Verfahren zum Herstellen einer Schweisszone bestimmter Querschnittsform beim Ladungsträgerstrahl-Schweissen
FR879749A FR1306863A (fr) 1960-12-06 1961-11-22 Procédé pour l'obtention d'une zone de soudure présentant en section une forme déterminée, dans une opération de soudage à l'aide d'un faisceau de particules électrisées
GB42597/61A GB1004356A (en) 1960-12-06 1961-11-29 Method of producing a weld zone of desired cross-sectional shape in charge-carrier-beam welding
US156770A US3134013A (en) 1960-12-06 1961-12-04 Method of producing a weld zone of desired cross-sectional shape in charge-carrier-beam welding

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DEZ8412A DE1125096B (de) 1960-12-06 1960-12-06 Verfahren zum Herstellen einer Schweisszone gewuenschter Querschnittsform beim Ladungstraegerstrahl-Schweissen

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE1125096B true DE1125096B (de) 1962-03-08

Family

ID=7620494

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DEZ8412A Pending DE1125096B (de) 1960-12-06 1960-12-06 Verfahren zum Herstellen einer Schweisszone gewuenschter Querschnittsform beim Ladungstraegerstrahl-Schweissen

Country Status (5)

Country Link
US (1) US3134013A (de)
CH (1) CH433535A (de)
DE (1) DE1125096B (de)
GB (1) GB1004356A (de)
NL (1) NL271015A (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1261971B (de) * 1963-02-13 1968-02-29 United Aircraft Corp Einrichtung zum Schweissen, Schneiden oder zur Materialbearbeitung mittels eines Ladungstraegerstrahls
DE1292418B (de) * 1965-05-05 1969-04-10 Hermsdorf Keramik Veb Verfahren zur Programmsteuerung bei der automatischen Bearbeitung von Duennschichtbauelementen der Elektrotechnik mittels eines Ladungstraegerstrahles
DE1565865B1 (de) * 1966-05-14 1970-10-22 Steigerwald Karl-Heinz Dipl-D Energiestrahl-Schweiss- und Schneidverfahren

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL297893A (de) * 1962-09-15
US3396262A (en) * 1963-11-28 1968-08-06 Nippon Electric Co Means for observing electron beams
GB1114423A (en) * 1964-12-11 1968-05-22 Lucas Industries Ltd Electron beam welding
US3431389A (en) * 1965-10-15 1969-03-04 Tudor Corp Method for working materials by means of an energy beam
US3582605A (en) * 1966-02-11 1971-06-01 Siemens Ag Method for welding metal parts having different cross sections
US3518400A (en) * 1968-08-30 1970-06-30 United Aircraft Corp Method of welding with a high energy beam
US3609287A (en) * 1970-01-22 1971-09-28 Smith Corp A O Method and apparatus for electron beam welding
US3887784A (en) * 1971-12-27 1975-06-03 Commissariat Energie Atomique Welding guns
US4072356A (en) * 1975-01-24 1978-02-07 The Welding Institute Electron beam welding generators
JPS5674382A (en) * 1979-11-19 1981-06-19 Hitachi Ltd Electron beam welding device

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1053691B (de) * 1957-11-20 1959-03-26 Zeiss Carl Fa Verfahren und Einrichtung zur Materialbearbeitung mittels Ladungstraegerstrahl

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2899556A (en) * 1952-10-17 1959-08-11 Apparatus for the treatment of substances
NL240710A (de) * 1958-07-01
NL248568A (de) * 1959-02-20
US3020387A (en) * 1959-06-03 1962-02-06 Alloyd Electronics Corp Electron beam heating devices

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1053691B (de) * 1957-11-20 1959-03-26 Zeiss Carl Fa Verfahren und Einrichtung zur Materialbearbeitung mittels Ladungstraegerstrahl

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1261971B (de) * 1963-02-13 1968-02-29 United Aircraft Corp Einrichtung zum Schweissen, Schneiden oder zur Materialbearbeitung mittels eines Ladungstraegerstrahls
DE1292418B (de) * 1965-05-05 1969-04-10 Hermsdorf Keramik Veb Verfahren zur Programmsteuerung bei der automatischen Bearbeitung von Duennschichtbauelementen der Elektrotechnik mittels eines Ladungstraegerstrahles
DE1565865B1 (de) * 1966-05-14 1970-10-22 Steigerwald Karl-Heinz Dipl-D Energiestrahl-Schweiss- und Schneidverfahren

Also Published As

Publication number Publication date
US3134013A (en) 1964-05-19
GB1004356A (en) 1965-09-15
NL271015A (de)
CH433535A (de) 1967-04-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0013573B1 (de) Verfahren und Einrichtung zur Positionsregelung eines Ladungsträgerstrahls in einer Ladungsträgerstrahl-Werkzeugmaschine
AT215265B (de) Verfahren und Vorrichtung zum Schweißen unter Verwendung eines Ladungsträgerstrahles
DE2458370C2 (de) Energiestrahl-Gravierverfahren und Einrichtung zu seiner Durchführung
DE3502902C2 (de)
DE1053691B (de) Verfahren und Einrichtung zur Materialbearbeitung mittels Ladungstraegerstrahl
DE60111863T2 (de) Laserschweissverfahren
DE2654486A1 (de) Verfahren zur glaettung eines nadeloehrs
DE1125096B (de) Verfahren zum Herstellen einer Schweisszone gewuenschter Querschnittsform beim Ladungstraegerstrahl-Schweissen
DE1084398B (de) Verfahren und Vorrichtung zum Schweissen und Loeten mit Ladungstraegerstrahlen
DE102014001653B4 (de) Laserionenquelle und Schwerteilchenstrahl-Therapiegerät
DE102013205684B3 (de) Vorrichtung zur lichtbogenbasierten, laserunterstützten Bearbeitung eines Werkstücks, insbesondere zu dessen Lichtbogenschweißen oder -schneiden
DE1301209B (de) Verfahren zum Abtragen, insbesondere zum Perforieren von flexiblen Kunststoffen
DE3505857C2 (de)
DE2634341A1 (de) Verfahren und einrichtung zum ausrichten eines ladungstraegerstrahles eines technischen ladungstraegerstrahlgeraetes
DE1072763B (de) Verfahren und Anordnung zum Verschweißen einer Deckplatte mit einem aus Streifen beliebiger Gestalt zusammengesetzten Bauteil
DE2821028A1 (de) Verfahren und einrichtung zur strahlpositionsregelung in einem ladungstraegerstrahlgeraet
DE2432021A1 (de) Verfahren zur herstellung eines speisers und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens
DE4339661C2 (de) Verfahren zum Herstellen von röhrenförmigen Rohlingen aus Fein- oder Feinstblech
DE1765852C3 (de) Vorrichtung zur Bearbeitung von Werkstoffen mit magnetisch fokussierten Ladungsträgerstrahlen
DE4102983A1 (de) Oberflaechenstruktur einer walze sowie verfahren und vorrichtung zur erzeugung der oberflaechenstruktur
DE2820447A1 (de) Verfahren und einrichtung zum elektronenstrahlschweissen
DE4102984A1 (de) Oberflaechenstruktur einer walze sowie verfahren und vorrichtung zur erzeugung der oberflaechenstruktur
DE2815478A1 (de) Strahlerzeugungssystem fuer ein technisches ladungstraegerstrahlgeraet
DE102010047419B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung von EUV-Strahlung aus einem Gasentladungsplasma
DE102020105505A1 (de) Verfahren zum Laserschweißen zweier beschichteter Werkstücke