DE1091274B - Verdampfer fuer Vorrichtungen zur Erzeugung hohen Vakuums - Google Patents

Description

DEUTSCHES

Es sind Vorrichtungen bekanntgeworden, bei denen das abzusaugende Gas gegebenenfalls unter der Einwirkung eines Elektronenbombardements durch physikalische oder chemische Adsorption an frisch kondensierten Metalloberflächen (Gettern) gebunden wird, wobei diese Getterschichten durch die laufende Verdampfung eines Gettermetalls erzeugt werden. Die praktischen Betriebsbedingungen erfordern für die Verdampfung des Gettermetalls Anordnungen, die es gestatten, eine definierte Verdampfungsleistung über lange Zeit hinweg (Größenordnung 1000 bis 10 000' Stunden) aufrechtzuerhalten.

Diese Forderung nach langer Betriebszeit ist praktisch sehr schwierig zu erfüllen, da 'das für derartige Vorrichtungen, die auch als Getterpumpen bezeichnet werden können, meist verwendete Gettermetall Titan zur Verdampfung sehr hohe Temperaturen benötigt. Bei diesen hohen Temperaturen wirkt das Titan durch Legierungsbildung oder chemischen Angriff zerstörend auf die mit ihm in Berührung kommenden Tiegelmaterialien.

Eine bisher bekanntgewordene Ausführungsform eines Verdampfers für Getterpumpen ist folgendermaßen aufgebaut: Eine Kohleelektrode wird durch Beschüß mit Elektronen, die aus einer Wolframkathode emittiert werden, auf eine sehr hohe Temperatur aufgeheizt. Durch eine automatische Vorschubeinrichtung erfolgt gleichzeitig der Vorschub eines dünnen Titandrahtes aus einer Düse gegen diese Elektrode. Wegen der hohen Temperatur der Kohleelektrode verdampft der mit ihr in Berührung kommende Teil des Drahtes nahezu momentan, und auf diese Weise wird erreicht, daß die \^rerdampfungsleistung nur von der Vorschubgeschwindigkeit des Drahtes abhängt. Außerdem ist bei dieser Anordnung das Titan immer nur in geringen Mengen und für kurze Zeit mit der Kohleelektrode in Berührung, so daß diese Elektrode einem chemischen Angriff nur in verhältnismäßig geringem Maße ausgesetzt ist. Ein solcher Aufbau hat jedoch verschiedene Nachteile, von denen besonders zwei bei angestrebtem Dauerbetrieb nachteilig in Erscheinung treten. Wegen des laufend kondensierten Metalls setzt sich die Führungsdüse für den Titandraht durch verdampftes Titan zu. Hierdurch wird die weitere Anlieferung des Gettermetalls unmöglich, und die Anordnung ist nicht mehr betriebsbereit. Weiter beobachtet man, daß die Kohleelektrode wegen der hohen Temperatur auf die Dauer doch einer gewissen chemischen Umsetzung unterliegt, wodurch die Wirksamkeit des Verdampfers stark eingeschränkt wird.

Zur Verbesserung des in einem abgeschlossenen Gefäß vorhandenen Vakuums ist bereits eine Anordnung von Lichtbogenelektroden bekanntgeworden, bei Verdampfer für Vorrichtungen
zur Erzeugung hohen Vakuums

Anmelder:

E. Leybold's Nachfolger,
Köln-Bayenthal, Bonner Str. 504

Dipl.-Phys. Dr. Klaus Ziock

und Dipl.-Phys. Dr. Günther Reich, Bad Godesberg,
sind als Erfinder genannt worden

der ein zwischen den Bogenelektroden gezündeter Lichtbogen in einer quecksilberdampfhaltigen Atmosphäre brennt. Dabei soll die Erhitzung der Bogenelektroden dazu benutzt werden, die im Umgebungsraum vorhandenen Gase an deren Oberflächen abzubinden. Eine Verdampfung von Gettermetall und die Erzeugung eines Getterspiegels auf der Innenwand des Entladungsgefäßes ist dabei weder angestrebt noch technisch ausführbar, weil dadurch eine elektrisch leitende Verbindung zwischen den Entladungselektroden des Quecksilberdampfgleichrichters entstehen würde. Man kann daher den Lichtbogen nur zur Erhitzung der Elektroden benutzen und muß durch geeignete Wahl der Betriebsbedingungen die Verdampfung des Elektrodenmaterials weitgehend unterdrücken. Dieses Ziel wird jedoch durch den im Entladungsraum eines derartigen Quecksilberdampfentladungsgefäßes herrschenden hohen Quecksilberdampfpartialdruck unterstützt, dessen gute Wärmeleitfähigkeit eine Überhitzung und Verdampfung der Elektroden verhindert. Eine Übertragung der vorhandenen konstruktiven Ausführungsform auf Ionengetterpumpen ist nicht möglich.

Die Erfindung betrifft einen Verdampfer für Vorrichtungen zur Erzeugung hohen Vakuums, wobei die Gasreste auf der Oberfläche von durch Aufdampfung erzeugten Metallschichten eines Gettermetalls, insbesondere unter zusätzlicher Anwendung einer die Gasadsorption unterstützenden elektrischen Entladung, festgebunden werden. Das Kennzeichen der Erfindung wird darin gesehen, daß die Verdampferanordnung als an sich bekannter Lichtbogen ausgebildet ist, aus dem die Verdampfung eines Gettermetalls erfolgt. Im Gegensatz zur vorbekannten Ausführungsform des Quecksilberdampfgleichrichters brennt hier ein elek-

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irischer Lichtbogen unter hohem Vakuum, wodurch folgenden Trennung wiederholt sich der beschriebene sich die erforderlichen hohen Verdampfungstempera- Vorgang. Eine derartige Ausführung kann vorteilhaft türen für das Gettermetall und insbesondere eine nach dem an sich bekannten Prinzip der Differentialkurzzeitige hohe Verdampferleistung erzielen lassen. bogenlampe aufgebaut sein. Hierbei ist mindestens ein Es hat sich gezeigt, daß der elektrische Lichtbogen 5 Lichtbogenstab in spannungslosem Zustand oder unter besonders geeignet ist, um im Verlauf eines Eva- dem Einfluß der Schwerkraft gegen den anderen kuierungsprozesses kurzzeitig ein größere Getter- Lichtbogenstab gepreßt, wobei an diesem Lichtbogenmetallmenge zu verdampfen, wodurch man eine plötz- stab ein ferromagnetischer Anker angebracht ist, der liehe Druckabsenkung im Vakuumrezipienten herbei- durch eine vom Lichtbogenstrom durchflossene Maführen kann. io gnetspule derart bewegt wird, daß die beiden Licht-Ausgehend von dieser Erkenntnis ist bereits die bogenstäbe voneinander getrennt werden, wobei der Verwendung eines elektrischen Lichtbogens bei einem Lichtbogen zündet und den erforderlichen Abstand Verfahren zur Erzeugung eines extrem hohen der Lichtbogenstäbe selbsttätig steuert. Zur Erzielung Vakuums unter Verwendung von Ionengetterpumpen des gewünschten Aussetzerbetriebs wird diese Anordvorgeschlagen worden, wobei sich im Evakuierungs- 15 nung entsprechend der festgelegten Verdampfungsprozeß an eine Vorevakuierung eine kurzzeitige Ver- leistung durch ein Zeitschaltwerk intermittierend an dampfung eines Gettermetalls unter hoher Ver- Spannung gelegt.

dampferleistung anschließt, der eine vorzugsweise Selbstverständlich sind die verschiedensten mecha-

kontinuierliche Verdampfung mit geringer Ver- nischen Zwangs führungen mit und ohne elektro-

dampferleistung unter zusätzlicher Einwirkung einer 20 magnetisch betätigte Elemente denkbar, bei denen das

elektrischen Entladung nachfolgt. Es handelt sich so- beschriebene Prinzip der Löschung und Wieder-

mit um einen in drei Verfahrensschritten ablaufenden zündung des Lichtbogens durch fortgesetztes Berühren

Evakuierungsvorgang, und es wird speziell für den und Abheben realisiert ist.

Zeitraum kurzzeitiger Verdampfung mit hoher Ver- Eine weitere Möglichkeit zur Regulierung der Verdampferleistung die Anwendung eines Lichtbogens 25 dampfungsleistung besteht darin, nach dem Zünden vorgeschlagen. Dieser Lichtbogen ist aber nach dem des Lichtbogens die Lichtbogenstäbe in ihrer gegen-Gegenstand der Erfindung auch unabhängig von dem seitigen Stellung festzuhalten und den Lichtbogen für vorbekannten Betriebsverfahren ein besonders vorteil- eine bestimmte Zeit unter konstanten Bedingungen haftes Mittel, unter dessen Verwendung sich wirkungs- brennen zu lassen. Hierzu kann vorteilhaft ein Zeitvolle Verdampfer für Getterpumpen aufbauen lassen. 30 schaltwerk angewendet werden. Bei einer günstigen Ein zusätzlicher Vorteil kann gemäß einer Weiter- Ausführungsform eines derartigen Schaltwerkes mit bildung der Erfindung dadurch gewonnen werden, daß Nockenantrieb wird die Nockenwelle nach Zünden des Mittel vorgesehen sind, durch welche der elektrische Lichtbogens angehalten und durch das Zeitschaltwerk Lichtbogen intermittierend gezündet und wieder ge- die Brennzeit pro Umdrehung und damit die pro Umlöscht wird, wobei das Verhältnis von Brenndauer 35 drehung verdampfte Menge festgelegt. Die Löschzeit zur Löschzeit nach der gewünschten Verdampfungs- kann durch die Umlauffrequenz reguliert werden, und leistung festgelegt ist. zwar entweder in der Weise, daß die Welle, abgesehen Eine empfehlenswerte Verdampferanordnung kann von der durch das Zeitschaltwerk definierten Ruhezeit, derart aufgebaut sein, daß zwei Lichtbogenstäbe kontinuierlich mit geeigneter Geschwindigkeit rotiert, gegeneinandergeführt werden, wobei mindestens einer, 40 oder dadurch, daß die Welle in einer Stellung, in der mindestens teilweise, aus dem zu verdampfenden sich die beiden Elektroden noch nicht berühren, für Metall oder einer Legierung dieses Metalls besteht. eine durch ein Zeitschaltwerk definierte Zeit an-Durch die Anwendung des elektrischen Lichtbogens gehalten wird.

werden in derartigen Ionengetterpumpen wesentliche Die Elektroden können das Verdampfermaterial Vorteile erzielt, da der elektrische Lichtbogen bei 45 auch als Docht in der bei Bogenlampenkohlen beentsprechender Bemessung innerhalb kurzer Zeit sehr kannten Art enthalten.

hohe Verdampfungsleistungen erzielt. Durch die In der Zeichnung sind Ausführungsbeispiele des

Regelung des Verhältnisses von Brenndauer zur Gegenstandes der Erfindung schematisch dargestellt.

Löschzeit kann man die Verdampfungsleistung sehr Es zeigt

feinstufig regeln und den gewünschten Verhältnissen 50 Fig. 1 einen Schnitt durch eine Getterpumpe nach

anpassen. Bei der Verwendung von zwei Lichtbogen- der Erfindung,

stäben kann die eine Elektrode vorteilhaft aus einem Fig. 2 einen Schnitt durch eine Getterpumpe nach

hochschmelzenden Material, z. B. aus Kohle, oder aus Fig. 1, jedoch mit elektromagnetischem Antrieb,

einer das zu verdampfende Material enthaltenden Fig. 3 einen Schnitt durch eine Getterpumpe nach

Legierung bestehen, während die andere Elektrode 55 Fig. 1 mit einem weiteren elektromagnetischen An-

aus dem zu verdampfenden Material oder einer es trieb.

enthaltenden Mischung oder Legierung gebildet ist. In Fig. 1 sind zwei Lichtbogenstäbe in Form der

Es mag ferner vorteilhaft sein, eine mechanische Elektroden I₁ 2 erkennbar, wobei der Lichtbogenstab 2

Zwangsführung der Lichtbogenstäbe derart vor- in einer Führungshülse 21 gelagert ist. Diese Füh-

zusehen, daß mindestens einer der beiden Lichtbogen- 60 rungshülse 21 steht mit einem Federkörper 3 in Ver-

stäbe eine oszillierende Bewegung ausführt, in deren bindung, der den durch einen Teil eines Gehäuses 4

Verlauf er den anderen Lichtbogenstab mindestens und eine Zwischenwand 5 begrenzten Vakuumraum

kurzzeitig berührt. Während dieses Bewegungsvor- abschließt. Der auf den Federungskörper 3 wirkende

ganges wird der elektrische Lichtbogen beim Abheben äußere Luftdruck wird dabei durch eine Feder 31 aus-

der Lichtbogenstäbe voneinander gezündet und er- 65 geglichen. Der Federungskörper 3 kann über eine

lischt, nachdem die Entfernung beider Stäbe einen Exzenterscheibe 6 zusammengedrückt werden, wobei

gewissen, von der stationären Brennspannung des sich der Lichtbogenstab 2 bis zur Berührung mit dem

Bogens abhängigen Wert überschritten hat. An- fest eingestellten Lichtbogenstab 1 aufwärts bewegt,

schließend werden die beiden Lichtbogenstäbe wieder Die Exzenterscheibe 6 wird über ein Zahnrad 7,

bis zur Berührung angenähert, und bei der nach- 70 welches mit einer Schnecke 8 im Eingriff steht, von

einem Elektromotor 9 angetrieben. Der Elektromotor 9 wird. Zur Untersetzung der Motordrehzahl ist ein ist über Zuleitungen 91, 92 an ein Gleichspannungs- Schneckenradantrieb 41 vorgesehen. Die Drehzahl des netz P, N angeschlossen und kann über einen Regulier- Motors 40 ist in bekannter Weise über einen Vorwiderstand 93 hinsichtlich seiner Drehzahl geregelt widerstand 42 regelbar. Der Weicheisenkern 33, werden. 5 welcher in das Innere der Magnetspule 34 eintaucht,

Gegenüber dem eine oszillierende Bewegung aus- wird durch ein Federungselement 43 in stromlosem führenden Lichtbogenstab 2 befindet sich der feste Zustand nach oben gepreßt, so daß der Lichtbogen-Lichtbogenstab 1, welcher in eine Führungshülse 11 stab 2 auf dem Lichtbogenstab 1 aufliegt. Der von eingesetzt ist. An dieser Führungshülse 11 ist ein dem Federungselement 43 ausgeübte Druck ist über erster Führungsring 12 angebracht, gegen den sich io eine Einstellschraube 44 einstellbar,
eine Druckfeder 13 einseitig abstützt. Die erforder- Erreicht im Betrieb der Exzenter 39 eine solche

liehe zweite Auflage findet die Druckfeder 13 an Lage, bei der der Kontaktsatz 38 geschlossen ist, so einem zweiten Führungsring 14 des Führungsgehäuses liegt über die Zuleitungen 20, 37 und 36 Spannung an 15, in dem die Führungshülse 11 mit dem ersten den Lichtbogenstäben 1, 2. Im ersten Einschaltmoment Führungsring 12 verschiebbar ist. Die genaue Ein- 15 bildet sich dabei ein hoher Strom aus, welcher auch stellung des Lichtbogenstabes 1 erfolgt über ein am die Magnetspule 34 durchsetzt, so daß in ihrem Führungsgehäuse 15 befindliches Gewinde 16 in dem Innern ein kräftiges homogenes Magnetfeld auftritt. Tragring 17, gegen den eine Kontermutter 18 an- Hierdurch wird der ferromagnetische Anker 33 in den gezogen wird. Der Tragring 17 ist seinerseits von Hohlraum der Magnetspule 34 gegen die Wirkung des einem Isolierring 19, der vorzugsweise aus kera- 20 Federelementes 43 hineingezogen, und der Lichtbogenmischem Material besteht, umfaßt, der über einen stab 2 löst sich von seiner Auflage auf dem Licht-Tragarm 191 den im Betrieb praktisch feststehenden bogenstab 1. Dabei wird ein elektrischer Lichtbogen Lichtbogenstab 1 und seine Halterung im Innern des zwischen beiden Elektroden gezündet, welcher so Vakuumraumes fixiert. lange andauert, wie der Kontaktsatz 38 durch den

Der Lichtbogenstab 1 ist über eine Zuleitung 20 25 motorisch angetriebenen Exzenter 39 geschlossen ge- und einen Vorwiderstand 23 mit einer Spannungs- halten wird, öffnet sich der Kontaktsatz 38 im quelle 24 verbunden, wobei die Durchführung durch weiteren Verlauf der Drehbewegung des Exzenters das metallische Gehäuse 4 bei 22 isoliert erfolgt. Der 39, so wird der Lichtbogenstromkreis unterbrochen eine Pol der Spannungsquelle 24 ist mit einem Masse- und damit auch die magnetische Erregung der Maanschluß am Gehäuse verbunden und liegt somit ent- 30 gnetspule 34 abgeschaltet. Der ferromagnetische Anker sprechend den bestehenden metallischen Verbindungen 33 schnellt nunmehr unter der Wirkung des Federauch am Lichtbogenstab 2. elementes 43 nach oben und bringt den Lichtbogen-

Beim Betrieb der Vorrichtung bewegt sich der stab 2 wiederum am Lichtbogenstab 1 zur Auflage. Lichtbogenstab 2 unter dem Einfluß des abwechselnd Nach einem gewissen zeitlichen Abstand erfolgt ein durch den Exzenter 6 zusammengedrückten Feder- 35 erneuter Schaltvorgang und damit die erneute Auselementes 3 fortgesetzt bis zur Berührung gegen den bildung eines elektrischen Lichtbogens.
Lichtbogenstab 1. Beim Trennen beider Elektroden Eine weitere Anordnung gemäß der Erfindung kann

entsteht dabei für eine bestimmte Zeit ein elektrischer entsprechend Fig. 3 aufgebaut sein. Hierbei sind eben-Lichtbogen, der das in mindestens einem der beiden falls zwei Lichtbogenstäbe 1, 2 vorhanden. Der in Lichtbogenstäbe enthaltene Gettermetall verdampft. 40 dieser Anordnung feststehende Lichtbogenstab 2 ist Nachdem sich die beiden Lichtbogenstäbe 1, 2 im Ver- in einer Führungshülse 21 eingesetzt, die gegen das laufe der weiteren Bewegung des Exzenters 6 ge- Gehäuse 4 mit Hilfe eines Keramikteiles 23 isoliert nügend weit voneinander entfernt haben, erlischt der ist. Der zweite oszillierende Lichtbogenstab 1 liegt im Lichtbogen und wird erst nach vorangegangener Be- Ruhezustand durch die Schwerkraft auf dem Lichtrührung bei erneuter Trennung der Elektroden wieder 45 bogenstab 2 auf. Er wird in zwei mit entsprechenden gezündet. Das Verhältnis von Brenndauer zur Lösch- Bohrungen versehenen Lagerstücken 50 und 51 axial zeit ist durch die Geschwindigkeitsregelung des An- leicht verschiebbar geführt. Die beiden Lagerstücke triebsmotors einstellbar. Auch die Lichtbogenspan- 50 und 51 sind mit Hilfe einer Halterung 52 und eines nung kann mit Hilfe der Spannungsquelle 24 und des Tragearmes 53 im Vakuumraum fixiert.
Vorwiderstandes 23 in gewünschter Weise an die ge- 50 Ein Anker 60 aus ferromagnetischem Material, der gebenen Verhältnisse angepaßt werden. am einen Ende zwei Ringscheiben 61 und 62 trägt, die

In Fig. 2 ist eine etwas abgeänderte Ausführungs- durch ein Rohrstück 63 miteinander verbunden sind, form einer Getterpumpe nach Fig. 1 dargestellt. Man ist auf dem Lichtbogenstab 1 in axialer Richtung mit erkennt auch hier einen im Betrieb feststehenden genügendem Spiel leicht verschieblich und liegt im Lichtbogenstab 1 und die Einzelteile seiner Halterung 55 Ruhezustand unter dem Einfluß der Schwerkraft auf und Stromzuführung, welche der Ausführungsform dem unteren Lagerstück 50 auf. Es ist ferner ein nach Fig. 1 entsprechen. In analoger Weise ist auch Elektromagnet 64 mit einem aus einem ferromagneder Lichtbogenstab 2 in einem Federungskörper 3 ge- tischen Metall bestehenden Kern 65 mit Hilfe einer lagert, der jedoch bei dieser Ausführung mit einem Halterung 68 in passendem Abstand über dem Anker Weicheisenstab 33 starr verbunden ist. Dieser Weich- 60 60 angeordnet.

eisenstab 33 taucht in den Hohlraum einer Magnet- Wird der Elektromagnet 64 erregt, so dreht sich

spule 34, welche auf einem Tragstück 35 befestigt ist. der Anker zunächst unter Auflage des Punktes 66 am Die Stromzuführung zur Magnetspule 34 erfolgt über Lichtbogenstab 1, bis er auch an der Stelle 67 fest an Zuleitungen 36, 37, wobei in die Zuleitung 37 ein Zeit- dem Lichtbogenstab 1 anliegt (Verkantung). Von schaltwerk in an sich bekannter Ausführung ein- 65 diesem Moment an wird eine weitere Drehung durch geschaltet ist. die Lagerstücke 50 und 51 verhindert, und der Anker

Dieses Zeitschaltwerk besteht aus einem Kontakt- 60 und der zwischen seinen Ringscheiben 61 und 62 satz 38, welcher durch ein Exzenterstück 39, ent- eingeklemmte Lichtbogenstab 1 werden durch den sprechend der Antriebsgeschwindigkeit durch den Elektromagneten 64 angehoben. In diesem Augenblick Elektromotor 40 fortgesetzt geöffnet und geschlossen 70 zündet der Bogen. Um die Reibung an den Stellen 66

und 67 groß und an den Lagerstücken 50 und 51 klein zu halten, ist es zweckmäßig, bei den erstgenannten die berührenden Kanten scharf und bei den letzteren rund zu machen. Wird der Elektromagnet 64 wieder stromlos, so fällt der Anker auf das Lagerstück 50 zurück. Hierbei löst sich die Verkantung an den Punkten 66 und 67, und der Lichtbogenstab 1 fällt frei herunter, bis er erneut den Lichtbogenstab 2 berührt, so daß auf diese Weise der während der Brenndauer aufgetretene Elektrodenabbrand ausgeglichen wird.

Die Stromzuführung zum Lichtbogenstab 2 erfolgt in gleicher Weise wie in Fig. 1 über die Zuleitung 20 und die Durchführung 22. Der Lichtbogenstab 1 ist über die flexible Zuführung 25 mit dem geerdeten Gehäuse 4 verbunden.

Zur Steuerung des Elektromagneten sind Stromzuleitungen 70 und 71 vorgesehen, welche über ein Dichtungsstück 72 nach außen geführt sind und mit einem Zeitschaltwerk analog Fig. 2 in Verbindung stehen.

Das Prinzip des intermittierenden Lichtbogens kann außer bei den beschriebenen Getterpumpen auch überall dort angewendet werden, wo eine bestimmte Verdampfungsleistung innerhalb eines gewissen Zeitraumes eingehalten werden muß.

Claims (6)

Patentansprüche:

1. Verdampfer für Vorrichtungen zur Erzeugung hohen Vakuums, wobei die Gasreste auf der Oberfläche von durch Aufdampfung erzeugten Metallschichten eines Gettermetalls, insbesondere unter zusätzlicher Einwirkung einer die Gasadsorption unterstützenden elektrischen Entladung festgebunden werden, dadurch gekennzeichnet, daß die Verdampferanordnung als an sich behannter elektrischer Lichtbogen ausgebildet ist, aus dem die Verdampfung eines Gettermetalls erfolgt. *o

2. Verdampfer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel vorgesehen sind, durch welche der elektrische Lichtbogen intermittierend gezündet und gelöscht wird, wobei das Verhältnis von Brenndauer zur Löschzeit nach der gewünschten Verdampfungsleistung festgelegt ist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Verdampferanordnung zwei Lichtbogenstäbe aufweist, wobei mindestens einer, mindestens teilweise, aus dem zu verdampfenden Metall oder einer Legierung dieses Metalls bzw. einer dieses Metall enthaltenden Mischung besteht.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß eine mechanische Zwangsführung vorgesehen ist, durch die mindestens einer der beiden Lichtbogenstäbe eine oszillierende Bewegung ausführt, in deren Verlauf er den anderen Lichtbogenstab mindestens kurzzeitig berührt.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein Lichtbogenstab in spannungslosem Zustand durch ein Federelement oder unter dem Einfluß der Schwerkraft gegen den anderen Lichtbogenstab gepreßt ist, ferner an dem Lichtbogenstab ein ferromagnetischer Anker angebracht ist, der durch eine vom Lichtbogenstrom durchflossene Magnetspule derart bewegt wird, daß die beiden Lichtbogenstäbe voneinander getrennt werden, wobei der Lichtbogen zündet und den erforderlichen Abstand der Lichtbogenstäbe selbsttätig steuert, und daß diese Anordnung entsprechend der gewünschten Verdampfungsleistung durch ein Zeitschaltwerk intermittierend an Spannung gelegt ist.

6. Vorrichtung nach Anspruch 4, gekennzeichnet durch eine mechanische Zwangsführung, die derart ausgebildet ist, daß der die oszillierende Bewegung ausführende erste Lichtbogenstab zunächst unter dem Einfluß eines Gewichtes auf dem zweiten Lichtbogenstab frei aufliegt und erst bei Beginn jedes Bewegungsvorganges von der Zwangsführung ergriffen wird, wobei sich die Angriffspunkte der Zwangsführung am ersten Lichtbogenstab nach dem Abbrand des Stabes selbsttätig verschieben.

In Betracht gezogene Druckschriften:
Deutsche Patentschrift Nr. 661 185;
USA.-Patentschrift Nr. 1110 576.

In Betracht gezogene ältere Patente:
Deutsches Patent Nr. 1 020 765.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

© 009 628/92 10.60