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DE1086103B - Verfahren zur Herstellung von Feinstruktur-Metallnetzen auf photomechanischem und galvanoplastischem Wege - Google Patents

Verfahren zur Herstellung von Feinstruktur-Metallnetzen auf photomechanischem und galvanoplastischem Wege

Info

Publication number
DE1086103B
DE1086103B DEV10748A DEV0010748A DE1086103B DE 1086103 B DE1086103 B DE 1086103B DE V10748 A DEV10748 A DE V10748A DE V0010748 A DEV0010748 A DE V0010748A DE 1086103 B DE1086103 B DE 1086103B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
metal
metal meshes
grid
original
copies
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DEV10748A
Other languages
English (en)
Inventor
Dr Paul Gaenswein
Dr Karl Gundlach
Ernst Mueller
Georg Triemer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
FREIBERGER PRAEZ SMECHANIK VEB
Original Assignee
FREIBERGER PRAEZ SMECHANIK VEB
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by FREIBERGER PRAEZ SMECHANIK VEB filed Critical FREIBERGER PRAEZ SMECHANIK VEB
Priority to DEV10748A priority Critical patent/DE1086103B/de
Priority claimed from GB1204757A external-priority patent/GB862814A/en
Publication of DE1086103B publication Critical patent/DE1086103B/de
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/02Manufacture of electrodes or electrode systems
    • H01J9/14Manufacture of electrodes or electrode systems of non-emitting electrodes
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D1/00Electroforming
    • C25D1/08Perforated or foraminous objects, e.g. sieves
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20Exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/2022Multi-step exposure, e.g. hybrid; backside exposure; blanket exposure, e.g. for image reversal; edge exposure, e.g. for edge bead removal; corrective exposure

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
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  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Printing Plates And Materials Therefor (AREA)

Description

DEUTSCHES
In der Fernsehaufnahmetechnik werden sowohl für Orthikon- als auch für Vidikon-Aufnahmerohre Feinstruktur-Metallnetze mit einer Gitterkonstanten von beispielsweise 50 μ benötigt. Die Außenabmessungen dieser Metallnetze richten sich nach den Dimensionen des Fernsehaufnahmerohres. Sie können z. B. quadratische Form mit einer Kantenlänge von etwa 50 mm oder auch Kreisform haben.
Es ist bereits ein Verfahren zur Herstellung von metallischen Netzfolien bekannt, bei dem zunächst ein in eine durchsichtige Platte eingeritztes Originalbild eines Netzes mit Metall bedampft oder bestäubt wird. Beim darauffolgenden Abwischen der Platte werden die in sie eingeritzten Rillen von den Metallteilchen zugeschmiert, während die dazwischenliegenden Stellen klar durchsichtig bleiben. Das auf diese Weise hergestellte Originalbild wird dann auf eine mit Metall hinterlegte Chromlackschicht kopiert, die sich auf einer Glasplatte befindet. Nach Ablösung des unbelichteten Teiles der Lackschicht verbleibt ein metallisches Netzraster, das in einem galvanischen Bad verstärkt wird. Hierauf wird die gesamte, aus dem Chromlackbild und dem elektrolytisch verstärkten Raster bestehende Schicht von der als Unterlage dienenden Platte abgelöst und dann mit chemischen Lösungsmitteln von der Metallaufdampfschicht und der Lackschicht befreit.
Dieses bekannte Verfahren hat den Nachteil, daß die nach dem Chromlackverfahren hergestellte Kopie des Originals nicht wieder verwendbar ist, da die Metallaufdampfschicht zusammen mit der elektrolytisch niedergeschlagenen Schicht von der Unterlage abgelöst wird.
Durch das im folgenden beschriebene erfindungs-. gemäße Verfahren zur photomechanischen Herstellung von Feinstruktur-Metallnetzen wird dieser Nachteil des bekannten Verfahrens beseitigt. Auch hierbei werden von einem Original Positiv- oder Negativkopien in Form von auf Glas angebrachten Metallgittern hergestellt und darauf galvanisch verstärkt.
Gemäß der Erfindung werden jedoch die Metallnetze durch Ablösen der galvanisch aufgebrachten Verstärkungsschicht von den Kopien erzeugt.
Im Gegensatz zu dem bekannten Verfahren ergibt sich also bei der Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens der Vorteil, daß die nach dem Original hergestellten Positiv- oder Negativkopien, die aus einem auf Glas angebrachten Metallgitter bestehen, vielfach zur Herstellung von Abzügen ausgenutzt werden können, indem nach der galvanischen Verstärkung des Metallgitters lediglich die Verstärkungsschicht von dem auf der Glasunterlage befindlichen Metallgitter der Kopie abgelöst wird. Das Metallgitter verbleibt also auf der Glasunterlage und
Verfahren zur Herstellung
von Feinstruktur-Metallnetzen
auf photomectianiscliem
und galvanoplastischem Wege
Anmelder:
VEB Freiberger Präzisionsmechanik,
Freiberg (Sa.), Hainichener Str. 2 a
Dr. Paul Gänswein, Aalen (Württ),
Dr. Karl Gundlach, Jena, Ernst Müller, Uhlstädt,
und Georg Triemer, Jena,
sind als Erfinder genannt worden
kann zur Herstellung weiterer Abzüge benutzt werden. Dadurch ergibt sich der beträchtliche Vorteil, daß von einem einzigen Original, dessen Herstellung bekanntlich sehr schwierig und -kostspielig ist, Hunderte von brauchbaren Feinstruktur-Metallnetzen hergestellt werden können, da zunächst einmal von dem Original mehrere Kopien angefertigt werden. Von jeder dieser Kopien lassen sich dann wiederum hundert und mehr Abzüge durch galvanische Verstärkung des Metallgitters und nachfolgende Ablösung der Verstärkungsschicht von dem auf Glas befindlichen Metallgitter erzeugen.
Das Metallgitter kann vorzugsweise mittels Aufdampfen von Chrom hergestellt werden, da sich ein in Chrom erzeugtes Gitter für die galvanische Verstärkung als besonders vorteilhaft erwiesen hat.
An und für sich bietet eine galvanische Verstärkung von Chrom auf Grund von dessen Passivität mehr Schwierigkeiten als viele andere Metalle. Es wurde jedoch gefunden, daß nach Anwendung einer der bekannten Maßnahmen zur Aufhebung der Passivität des Chroms, z. B. nach kurzzeitigem Tauchen in eine anorganische, sauerstofffreie Säure, sich das Chromgitter in den handelsüblichen galvanischen Bädern gut verstärken, z. B. verkupfern oder vernickeln läßt. Das fertige Metallnetz läßt sich vom Chromgitter leicht abziehen, ohne dieses zu beschädigen, so daß nacheinander mehrere Metallabzüge, auch aus verschiedenen Metallen oder Legierungen,
009 568/298
von ein und demselben Chromgitter hergestellt werden können.
Eine Variante des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht darin, daß als Original nicht ein positives Gitter, sondern ein Linienraster als Negativ mit der entsprechenden Gitterkonstanten verwendet wird. Von diesem Linienraster läßt sich auf eine hochauflösende Photoschicht, z. B. auf eine Tanninschicht, durch nacheinander erfolgendes Kopieren in zwei zueinander senkrechten Richtungen ein photographisches Kreuzgitter als Vorlage für die auf galvanischem Wege zu erzeugenden Metallnetze herstellen.
Eine Weiterbildung dieses Verfahrens besteht darin, daß das Linienrasternegativ in den beiden zueinander senkrechten Richtungen jeweils mehrmals um einen entsprechenden Bruchteil der Gitterkonstanten parallel verschoben kopiert wird, so daß als Vorlage für die auf galvanischem Wege zu erzeugenden Metallnetze ein Kreuzgitter entsprechend höherer Rasterfeinheit entsteht. Auf diese Weise kann beispielsweise von einem 50-^-Strichraster-Original ein 25^-Feinstrukturnetz hergestellt werden, wenn man, wie vorstehen beschrieben, von einem Negativraster ausgeht und in vier Schritten kopiert, indem das Negativ oder die Photoplatte nach dem ersten Kopieren um 25 μ verschoben, dann zum zweitenmal kopiert und nach dem zweiten Kopieren das Raster gegen die Photoplatte um 90° gedreht, erneut kopiert, schließlich wieder um 25 μ verschoben und zum vierten und letzten Mal kopiert wird. In gleicher Weise läßt sich beispielsweise aus einem ΙΟΟ-μ-Linienraster-Original durch dreimaliges Verschieben in jeder Richtung und 90° Drehung nach der dritten Verschiebung wiederum ein 25-μ-Νείζ anfertigen. Im Bedarfsfalle könnten auch Netze mit noch geringeren Gitterkonstanten als 25μ, z.B. mit 12,5μ, 6,25μ; oder Raster mit anderen Konstanten, ja sogar solche mit ungleichen Abständen der Rasterstriche angefertigt werden. Der Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht darin, daß das Original, gemessen an der Feinheit des nach dem erfindungsgemäßen Verfahren erhaltenen Netzes, verhältnismäßig leicht herzustellen ist.
Die Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens soll an Hand eines Beispiels beschrieben werden.
Gewünscht sei ein MetaJlnetz aus Kupfer mit einer Gesamtgröße von 50 · 50 mm2 bei einer Gitterkonstanten von 50 μ. Das fertige Netz würde demnach 1 Million Maschen aufweisen. Verlangt sei überdies, daß das Netz eine Gesamtlichtdurchlässigkeit von mindestens 50% besitzt, was bedeutet, daß die Stege des Netzes nicht über 15 μ breit sein dürfen. Darüber hinaus wird verlangt, daß das fertige Netz genügend stabil ist, um bei seiner beispielsweisen Verwendung im Fernsehaufnahmerohr auf einen Metallrahmen aufgeschweißt werden zu können und nach seinem Einbau weiteren mechanischen Belastungen standzuhalten. Das erfindungsgemäße Verfahren wird nun so durchgeführt, daß z. B. ein mechanisch geteiltes Original hergestellt wird, welches ein Metallgitter auf Glas mit den gewünschten optischen Daten aufweist. Dieses Gitter kann aus jedem beliebigen Metall bestehen. Von diesem Original können nach der Erfindung mehrere, beispielsweise zwanzig photographische Kopien nach an sich bekannten Kopierverfahren angefertigt werden, wobei die Kopien zuletzt ein Chromgitter auf Glas darstellen. Jede Kopie wird nun für sich galvanisch, im Ausführungsbeispiel in einem cyanischen Kupferbad, verstärkt, zuvor jedoch wird unmittelbar vor dem Einbringen des Chromgitters in das galvanische Bad die Passivität in an sich bekannter Weise behoben. Die galvanische Verstärkung
ίο soll vorzugsweise bei höherer Badtemperatur von 60 bis 80° C und bei geringen Stromdichten bis zu 1 A/dm2 durchgeführt werden. Die vorher genannte Stegbreite von 15 μ wird nach einer Verstärkungsdauer von 10 bis 20 Minuten erreicht. Das auf der Chromschicht gebildete Metallnetz löst sich beim Einbringen der Glasplatte in ein Wasserbad leicht ab, ohne daß hierbei das Chromgitter mit abgelöst wird oder auch nur eine Beschädigung erleidet. Vielmehr kann das Chromgitter nun ohne weiteres von neuem galvanisch verstärkt werden.
Nach dem erfindungsgemäßen Verfahren können Feinstrukturnetze aus beliebigen Metallen oder auch Legierungen, wie z. B. aus Kupfer, Gold, Silber, Nickel, Palladium usw., hergestellt werden.
In der beschriebenen Weise hergestellte Feinstrukturnetze können außer für Fernsehaufnahmerohre auch für andere Zwecke, z. B. als Objektträger in der Elektronenmikroekopie oder als Testobjekte zur Prüfung von photographischen Objektiven, Verwendung finden.

Claims (3)

Patentansprüche:
1. Verfahren zur Herstellung von Feinstruktur-Metallnetzen auf photomechanischem und galvanoplastischem Wege, insbesondere für Fernsehzwecke, von einem auf einem durchsichtigen Träger befindlichen Original, wobei von dem Original Positiv- oder Negativkopien in Form von auf Glas angebrachten Metallgittern, vorzugsweise Chromgittern, hergestellt und nach galvanischer Verstärkung die Metallgitter durch Ablösen von den Kopien erzeugt werden, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallnetze durch Ablösen der galvanisch aufgebrachten Verstärkungsschicht von den Kopien erzeugt werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein als Original dienendes Linienrasternegativ nacheinander in zwei zueinander senkrechten Richtungen kopiert wird, so daß als Vorlage für die auf galvanischem Wege zu erzeugenden Metallnetze ein Kreuzgitter entsteht.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Linienrasternegativ in den beiden zueinander senkrechten Richtungen jeweils mehrmals um einen entsprechenden Bruchteil der Gitterkonstante parallel verschoben kopiert wird, so daß als Vorlage für die auf galvanischem Wege zu erzeugenden Metallnetze ein Kreuzgitter entsprechend höherer Rasterfeinheit entsteht.
In Betracht gezogene Druckschriften:
Deutsche Patentschriften Nr. 813 162, 849 570, 937 325.
DEV10748A 1956-06-07 1956-06-07 Verfahren zur Herstellung von Feinstruktur-Metallnetzen auf photomechanischem und galvanoplastischem Wege Pending DE1086103B (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DEV10748A DE1086103B (de) 1956-06-07 1956-06-07 Verfahren zur Herstellung von Feinstruktur-Metallnetzen auf photomechanischem und galvanoplastischem Wege

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DEV10748A DE1086103B (de) 1956-06-07 1956-06-07 Verfahren zur Herstellung von Feinstruktur-Metallnetzen auf photomechanischem und galvanoplastischem Wege
GB1204757A GB862814A (en) 1957-04-12 1957-04-12 Improvements in and relating to the manufacture of fine structure metal nets

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE1086103B true DE1086103B (de) 1960-07-28

Family

ID=26001238

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DEV10748A Pending DE1086103B (de) 1956-06-07 1956-06-07 Verfahren zur Herstellung von Feinstruktur-Metallnetzen auf photomechanischem und galvanoplastischem Wege

Country Status (1)

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DE (1) DE1086103B (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1272965B (de) * 1964-02-03 1968-07-18 Rca Corp Ebene Netz- oder Schirmgitter-Elektrode fuer Fernsehaufnahmeroehren und Verfahren zu deren Herstellung

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE813162C (de) * 1949-04-22 1951-09-10 Fernseh Gmbh Verfahren zur Herstellung feinmaschiger Netzfolien
DE849570C (de) * 1949-04-22 1952-09-15 Fernseh Gmbh Verfahren zur Herstellung sehr feinmaschiger Netzfolien
DE937325C (de) * 1952-12-11 1956-01-05 Fernseh Gmbh Verbessertes Verfahren zur Herstellung von Netzfolien

Patent Citations (3)

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