DE10243996A1

DE10243996A1 - Multi-layer micro valve has electrostatic drive and one piece electrical connection to the conductive valve operating layers

Info

Publication number: DE10243996A1
Application number: DE2002143996
Authority: DE
Inventors: Andreas Dr. Muth; Metin Giousouf
Original assignee: Festo SE and Co KG
Current assignee: Festo SE and Co KG
Priority date: 2002-09-21
Filing date: 2002-09-21
Publication date: 2004-04-08
Anticipated expiration: 2022-09-22
Also published as: DE10243996B4

Abstract

A multi-player micro valve comprises a conductive opening layer (7), isolation layer (11) and a conductive control layer (8) comprising a valve component which moves in the valve opening (13) under electrostatic forces. Electrical connections (27) at the edge of the layers are formed as one-piece flag (36) with them for a connecting plug (37).

Description

Die Erfindung betrifft ein mehrschichtiges Mikroventil mit elektrostatischem Antrieb, mit einer wenigstens eine Ventilöffnung aufweisenden, elektrisch leitfähigen Öffnungsschicht, an der unter Zwischenschaltung einer Isolationsschicht eine ebenfalls elektrisch leitfähige Steuerschicht angeordnet ist, die ein durch elektrostatische Kräfte relativ zu der wenigstens einen Ventilöffnung bewegbares Ventilglied enthält, wobei am Rand der vorgenannten Schichten Anschlussmittel für zum Anlegen einer Ansteuerspannung dienende elektrische Leiter vorgesehen sind.The invention relates to a multilayer Micro valve with electrostatic actuator, with at least one a valve opening having, electrically conductive opening layer, on the one with the interposition of an insulation layer electrically conductive Control layer is arranged, the one by electrostatic forces relative to the at least one valve opening contains movable valve member, whereby at the edge of the aforementioned layers connection means for to put on electrical conductors serving for a control voltage are provided.

Ein aus der US 4585209 bekanntes Mikroventil dieser Art enthält eine eine Ventilöffnung aufweisende Schicht (Öffnungsschicht) und eine ein Ventilglied enthaltende weitere Schicht (Steuerschicht). Die beiden Schichten bestehen aus Silizium und sind unter Zwischenschaltung einer Isolationsschicht aneinander befestigt. Das Ventilglied bildet zusammen mit den gegenüberliegenden Bereichen der Öffnungsschicht einen elektrostatischen Aktor, der durch Anlegen einer Ansteuerspannung betätigt werden kann. Auf diese Weise kann zwi sehen dem Ventilglied und der Öffnungsschicht ein elektrostatisches Feld aufgebaut werden, mit dem das Ventilglied zu einer Steuerbewegung relativ zur Ventilöffnung angetrieben werden kann. Zum Anlegen der Ansteuerspannung sind am Rand der Öffnungsschicht und der Steuerschicht Anschlussflächen vorgesehen, an denen elektrische Leiter angelötet sind.One out of the US 4585209 Known microvalve of this type contains a layer having a valve opening (opening layer) and a further layer containing a valve member (control layer). The two layers consist of silicon and are attached to one another with the interposition of an insulation layer. Together with the opposite areas of the opening layer, the valve member forms an electrostatic actuator that can be actuated by applying a control voltage. In this way, an electrostatic field can be built up between the valve member and the opening layer, with which the valve member can be driven to perform a control movement relative to the valve opening. To apply the control voltage, connection surfaces are provided at the edge of the opening layer and the control layer, to which electrical conductors are soldered.

In der Praxis erweist sich das Anschließen und Herausführen der elektrischen Leiter wegen der geringen Schichtdicken als sehr problematisch. Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, Maßnahmen vorzuschlagen, die das Anschließen elektrischer Leiter an die zu kontaktierenden Schichten des Mikroventils vereinfachen.In practice, connecting and lead out the electrical conductor because of the small layer thicknesses as very problematic. It is therefore the object of the present invention activities to suggest the connecting electrical conductor to the layers of the microvalve to be contacted simplify.

Zur Lösung dieser Aufgabe ist vorgesehen, dass die Anschlussmittel der Öffnungsschicht und/oder der Steuerschicht von mindestens einer einstückig mit der betreffenden Schicht ausgebildeten Steckfahne für einen aufsteckbaren Anschlussstecker gebildet ist.To solve this problem it is provided that the connection means of the opening layer and / or the control layer of at least one integral with the layer in question trained flag for an attachable connector is formed.

Auf diese Weise können elektrische Leiter problemlos durch einen einfachen Steckvorgang mit der betreffenden Schicht kontaktiert werden. Bei der Herstellung der jeweiligen Schicht wird unmittelbar ein vom Rand wegragender Bestandteil ausgebildet, der von der betreffenden Schicht absteht und eine einstückig mit der betreffenden Schicht realisierte Steckfahne bildet, die durch Aufstecken eines mit einem elektri schen Leiter versehenen Anschlusssteckers auch dann ohne Aufwand kontaktiert werden kann, wenn die Schichtdicke relativ gering ist. Da eine einfache Steckverbindung vorliegt, ist das Anschließen des elektrischen Leiters mit keinerlei Wärmeeintrag verbunden, so dass das Material der betreffenden Schicht in seinen Eigenschaften nicht beeinträchtigt wird.In this way, electrical conductors can easily by simply plugging in the relevant layer be contacted. When producing the respective layer immediately formed a component protruding from the edge, the protrudes from the relevant layer and one piece with of the layer in question forms the implemented flag Attach a connector with an electrical conductor can also be contacted without effort if the layer thickness is relatively small. Since there is a simple plug connection connecting of the electrical conductor with no heat input, so that the properties of the material of the layer in question are not impaired becomes.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung gehen aus den Unteransprüchen hervor.Advantageous further developments of Invention emerge from the subclaims.

Zweckmäßigerweise entspricht die Dicke der jeweiligen Steckfahne der Schichtdicke der zugehörigen Öffnungs- oder Steuerschicht. Im Vergleich zu einer Bauform, bei der die Dicke der Steckfahne größer oder kleiner als die Schichtdicke ist, ermöglicht dies eine besonders einfache Herstellung ohne aufwendige Bearbeitungsschritte.The thickness suitably corresponds the respective flag of the layer thickness of the associated opening or control layer. Compared to a design where the thickness the flag larger or is smaller than the layer thickness, this enables a particularly simple manufacture without complex processing steps.

Die Gestaltung der Steckfahne kann in Abhängigkeit von den zu kontaktierenden Anschlusssteckern gewählt werden. Sie können beispielsweise Flachgestalt aufweisen oder stiftförmig ausgebildet sein.The design of the flag can dependent on be selected from the connector plugs to be contacted. For example, you can use flat form have or pin-shaped be trained.

Wenn die verschiedenen Schichten des Mikroventils einen Schichtkörper mit rechteckigem Umriss bilden, ragen die Steckfahnen zweckmäßigerweise über diesen Umriss hinaus. Dabei kann wenigstens eine Steckfahne in einem der vier Eckenbereiche des Schichtkörpers platziert sein, beispielsweise mit paralleler Ausrichtung zum seitlichen Rand der betreffenden Schicht oder auch in diagonaler Ausrichtung.If the different layers of the microvalve a laminate form with a rectangular outline, the pegs conveniently protrude above this Outline beyond. At least one flag can be in one of the four corner areas of the laminate be placed, for example with parallel alignment to the side Edge of the relevant layer or in a diagonal orientation.

Besonders zweckmäßig ist eine Ausgestaltung, bei der die mit mindestens einer Steckfahne versehene Schicht aus Metall besteht, insbesondere aus einem Nickel-Material. Hier besteht die Möglichkeit, die Steckfahne nach der Herstellung durch Biegen so auszurichten, dass sie aus der Ausdehnungsebene der zugeordneten Schicht heraustritt. Allerdings ist ohne Weiteres auch eine Anordnung möglich, bei der die Steckfahne in der Ausdehnungsebene der zugeordneten Schicht verläuft.An embodiment is particularly expedient, in which the layer provided with at least one flag Metal consists, in particular, of a nickel material. Here there is the possibility, align the flag after manufacture by bending, that it emerges from the plane of expansion of the assigned layer. However, an arrangement is also possible without further ado of the flag in the expansion plane of the assigned layer runs.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand der beiliegenden Zeichnung näher erläutert. In dieser zeigen:The invention is explained below the attached drawing closer explained. In this show:

1 eine bevorzugte Bauform des erfindungsgemäßen Mikroventils in einem Längsschnitt gemäß Schnittlinie I-I aus 2 und 1 a preferred design of the microvalve according to the invention in a longitudinal section along section line II 2 and

2 einen zu den Schichtebenen parallelen Schnitt durch das Mikroventil der 1 gemäß Schnittlinie II-II. 2 a section through the microvalve parallel to the layer planes 1 according to section line II-II.

In der Zeichnung ist schematisch ein Mikroventil 1 gezeigt, das einen Mehrschichtaufbau hat und über einen integrierten elektrostatischen Antrieb 2 verfügt.In the drawing is a micro valve schematically 1 shown, which has a multi-layer structure and an integrated electrostatic drive 2 features.

Im Einzelnen setzt sich das Mikroventil 1 aus einer Mehrzahl überwiegend plattenartig gestalteter Schichten 3 zusammen, die mit zueinander parallelen Ausdehnungsebenen in einer zu den Ausdehnungsebenen rechtwinkeligen Schichtungsrichtung 4 sandwichartig aufeinandersitzen.The micro valve settles in detail 1 from a plurality of mostly plate-like layers 3 together, that with mutually parallel expansion planes in a stratification direction perpendicular to the expansion planes 4 sandwiched on top of each other.

Die durch Verkleben oder Bonden miteinander verbundenen Schichten 3 bilden einen Schichtkörper 5 mit bevorzugt rechteckförmigem Umriss.The layers bonded together by gluing or bonding 3 form a laminate 5 with a preferably rectangular outline.

Beim Ausführungsbeispiel enthalten die Schichten 3 eine Anschlussschicht 6, auf der eine Öffnungsschicht 7 sitzt, auf welche eine Steuerschicht 8 folgt, an die sich eine Distanzschicht 9 anschließt, auf welcher letztlich eine Deckschicht 10 sitzt.In the exemplary embodiment, the layers contain 3 a connection layer 6 on which an opening layer 7 sits on which a control layer 8th follows, to which there is a spacer layer 9 on which ultimately a top layer 10 sitting.

Der Name "Öffnungsschicht 7" rührt daher, dass die betreffende Schicht an der der Steuerschicht 8 zugewandten Seite wenigstens eine Ventilöffnung aufweist, wobei sie beim Ausführungsbeispiel mit einer ersten Ventilöffnung 13 und einer zweiten Ventilöffnung 14 ausgestattet ist. Die Ventilöffnungen 13, 14 gehören jeweils zu einem ersten bzw. zweiten Ventilkanal 15, 16, der die Öffnungsschicht 7 und die sich anschließende Anschlussschicht 6 durchsetzt. Über die Anschlussschicht 6 können an die Ventilkanäle 15, 16 weiterführende Fluidkanäle angeschlossen werden, zu welchem Zweck die Ventilkanäle 15, 16 im Bereich ihrer den Ventilöffnungen 13, 14 entgegengesetzten Enden über geeignete Schnittstellen 17 verfügen.The name "opening layer 7 "stems from the fact that the layer in question belongs to the control layer 8th facing side has at least one valve opening, in the embodiment with a first valve opening 13 and a second valve opening 14 Is provided. The valve openings 13 . 14 each belong to a first or second valve channel 15 . 16 that the opening layer 7 and the subsequent connection layer 6 interspersed. Over the connection layer 6 can on the valve channels 15 . 16 further fluid channels are connected, for what purpose the valve channels 15 . 16 in the area of their valve openings 13 . 14 opposite ends via suitable interfaces 17 feature.

Die Steuerschicht 8 hat einen mit der Öffnungsschicht 7 fest verbundenen rahmenartigen Abschnitt 18, der die umfangsseitige Begrenzung einer Ventilkammer 22 bildet. Ferner enthält die Steuerschicht 8 ein beispielsweise membranartig oder zungenartig ausgebildetes Ventilglied 23, das an wenigstens einer Verbindungsstelle 24 einstückig mit dem rahmenartigen Abschnitt 18 verbunden ist und in die Ventilkammer 22 hineinragt.The tax layer 8th has one with the opening layer 7 firmly connected frame-like section 18 that the circumferential boundary of a valve chamber 22 forms. The control layer also contains 8th a valve member, for example, membrane-like or tongue-like 23 at at least one junction 24 in one piece with the frame-like section 18 is connected and into the valve chamber 22 protrudes.

Das Ventilglied 23 ragt über wenigstens eine der Ventilöffnungen 13, 14 hinweg, wobei es sich vorliegend lediglich um die erste Ventilöffnung 13 handelt. Die zweite Ventilöffnung 14 könnte zwar ebenfalls so angeordnet sein, dass sie von dem Ventilglied 23 überragt wird, mündet beim Ausführungsbeispiel jedoch in einen spaltartigen Zwischenraum 25 zwischen dem Ventilglied 23 und dem rahmenartigen Abschnitt 18.The valve member 23 protrudes beyond at least one of the valve openings 13 . 14 away, in the present case only the first valve opening 13 is. The second valve opening 14 could also be arranged so that it from the valve member 23 is towered, but in the embodiment leads into a gap-like space 25 between the valve member 23 and the frame-like section 18 ,

Das Ventilglied 23 ist relativ zur Öffnungsschicht 7 gemäß Doppelpfeil 26 bewegbar. Auf diese Weise kann es zwischen einer die erste Ventilöffnung 13 dicht verschließenden Schließstellung und mindestens einer mehr oder weniger weit von der ersten Ventilöffnung 13 abgehobenen Offenstellung verlagert werden. In der Zeichnung ist die maximale Offenstellung gezeigt. Die als Steuerbewegung bezeichenbare Verstellbewegung des Ventilgliedes 23 ist beim Ausführungsbeispiel eine Schwenkbewegung. Entsprechend dem konstruktiven Konzept des Mikroventils 1 kann es sich allerdings auch um eine andere Bewegungsart handeln, beispielsweise um eine translatorische Bewegung in der Schichtungsrichtung 4.The valve member 23 is relative to the opening layer 7 according to the double arrow 26 movable. In this way it can be between the first valve opening 13 tightly closing position and at least one more or less far from the first valve opening 13 withdrawn open position. The maximum open position is shown in the drawing. The adjustment movement of the valve member which can be designated as a control movement 23 is a pivoting movement in the embodiment. According to the design concept of the micro valve 1 However, it can also be a different type of movement, for example a translatory movement in the stratification direction 4 ,

Die Ventilkammer 22 ist an der Unterseite von der Öffnungsschicht 7 begrenzt. Die Begrenzung an der Oberseite übernimmt die Deckschicht 10. Die zwischen dem rahmenartigen Abschnitt 18 und der Deckschicht 10 platzierte Distanzschicht 9 gewährleistet die für das Ausführen der Steuerbewegung 26 erforderliche Höhe der Ventilkammer 22.The valve chamber 22 is at the bottom of the opening layer 7 limited. The top layer is covered by the top layer 10 , The between the frame-like section 18 and the top layer 10 placed spacer layer 9 ensures the execution of the tax movement 26 required height of the valve chamber 22 ,

Die Materialien für die Deckschicht 10 und die Anschlussschicht 6 sind prinzipiell beliebig. Es kann sich beispielsweise um Metall, Keramik, Glas oder Kunststoff handeln. Bei der Distanzschicht 9 handelt es sich zweckmäßigerweise um eine Klebstoffschicht. Auf sie kann allerdings auch verzichtet werden, wenn in der Deckschicht 10 eine die Stellbewegung des Ventilgliedes 23 ermöglichende Aussparung vorgesehen wird.The materials for the top layer 10 and the connection layer 6 are in principle arbitrary. It can be, for example, metal, ceramic, glass or plastic. With the spacer layer 9 it is expedient to use an adhesive layer. However, they can also be omitted if they are in the top layer 10 an the actuating movement of the valve member 23 enabling recess is provided.

Die Öffnungsschicht 7 und die Steuerschicht 8 bestehen insgesamt aus elektrisch leitfähigem Material. Es kann sich hierbei um ein Halbleitermaterial wie Silizium handeln. Bevorzugt bestehen diese Schichten jedoch aus einem Metall, insbesondere aus einer Nickellegierung.The opening layer 7 and the control layer 8th consist of electrically conductive material. This can be a semiconductor material such as silicon. However, these layers preferably consist of a metal, in particular of a nickel alloy.

Sowohl die Öffnungsschicht 7 als auch die Steuerschicht 8 sind an ihrem schmalseitigen Rand mit Anschlussmitteln 27 versehen, an denen elektrische Leiter 28 anschließbar sind, über die an die beiden Schichten 3 eine von einer Spannungsquelle 32 generierte Ansteuerspannung anlegbar ist. Bei angelegter Ansteuerspannung bildet sich zwischen den einander zugewandten, den elektrostatischen Antrieb 2 definierenden Oberflächen 33, 34 der Öffnungsschicht 7 und des zur Steuerschicht 8 gehörenden Ventilgliedes 23 ein elektrostatisches Feld aus, welches bewirkt, dass das Ventilglied 23 an die Öffnungsschicht 7 herangezogen wird und dadurch die erste Ventilöffnung 13 verschließt. Ein über den ersten Ventilkanal 15 eingespeistes Druckmedium wird somit am Einströmen in die Ventilkammer 22 gehindert.Both the opening layer 7 as well as the control layer 8th are on their narrow edge with connection means 27 provided on which electrical conductors 28 can be connected via the two layers 3 one from a voltage source 32 generated drive voltage can be applied. When the control voltage is applied, the electrostatic drive forms between the mutually facing ones 2 defining surfaces 33 . 34 the opening layer 7 and the control layer 8th belonging valve member 23 an electrostatic field, which causes the valve member 23 to the opening layer 7 is used and thereby the first valve opening 13 closes. One over the first valve channel 15 The pressure medium fed in is thus flowing into the valve chamber 22 prevented.

Wird die Ansteuerspannung entfernt – hierzu kann ein Schalter 35 vorgesehen sein – und ist die elektrische Ladung abgeflossen, so bewegt sich das Ventilglied 23 durch den an der ersten Ventilöffnung 13 anstehenden Fluiddruck in die Offenstellung. Das über den ersten Ventilkanal 15 zuströmende Druckmedium kann nun, durch die Ventilkammer 22 hindurch, über die zweite Ventilöffnung 14 zum zweiten Ventilkanal 16 überströmen.If the control voltage is removed - a switch can be used for this 35 be provided - and if the electrical charge has flowed away, the valve member moves 23 through the at the first valve opening 13 pending fluid pressure in the open position. That through the first valve channel 15 inflowing pressure medium can now through the valve chamber 22 through, through the second valve opening 14 to the second valve channel 16 overflow.

Um einen Kurzschluss zu vermeiden, befindet sich zwischen der Öffnungsschicht 7 und der Steuerschicht 8 eine oben noch nicht erwähnte weitere Schicht 3, bei der es sich um eine Isolationsschicht 11 handelt. Sie kann beispielsweise aus Siliziumoxid bestehen.To avoid a short circuit, there is between the opening layer 7 and the control layer 8th another layer not mentioned above 3 , which is an insulation layer 11 is. For example, it can consist of silicon oxide.

Vorzugsweise sind die Anschlussmittel 27 von sowohl der Öffnungsschicht 7 als auch der Steuerschicht 8 von jeweils einer Steckfahne 36 gebildet, die einstückig mit der betreffenden Schicht ausgebildet ist und das Aufstecken eines mit einem der elektrischen Leiter 28 verbundenen Anschlusssteckers 37 ermöglicht.The connection means are preferably 27 from both the opening layer 7 as well as the control layer 8th of one flag each 36 formed, which is formed in one piece with the relevant layer and plugging one with one of the electrical conductors 28 connected connector 37 allows.

Somit kann die elektrische Kontaktierung der elektrischen Leiter 28 sehr einfach im Rahmen eines Steckvorganges stattfinden, wobei an den Steckfahnen 36 keine besonderen Maßnahmen zu treffen sind, da sie aus dem gleichen Material wie die zugehörige Schicht 7, 8 bestehen und folglich ebenfalls von Hause aus über elektrisch leitende Eigenschaften verfügen.The electrical contacting of the electrical conductor 28 take place very easily in the context of a plug-in process, being on the plug-in flags 36 No special measures need to be taken as they are made of the same material as the associated layer 7 . 8th exist and consequently also have inherently electrically conductive properties.

Die Steckfahnen 36 werden unmittelbar bei der Herstellung der zugehörigen Schicht 7, 8 ausgebildet. Die betreffende Schicht 7, 8 und die randseitig davon wegragende Steckfahne 36 repräsentieren insgesamt ein einstückiges Bauteil. Die Formgebung kann beispielsweise durch spanabhebende Mikroverfahren, durch Erodieren oder durch galvanische Techniken realisiert werden.The flags 36 are used immediately in the manufacture of the associated layer 7 . 8th educated. The layer in question 7 . 8th and the peg protruding from the edge 36 represent a one-piece component. The shaping can be realized, for example, by micro machining processes, by eroding or by galvanic techniques.

Von Vorteil ist, wenn die in der Schichtungsrichtung 4 gemessene Dicke einer jeweiligen Steckfahne 36 der Schichtdicke der mit ihr versehenen Öffnungsschicht 7 bzw. Steuerschicht 8 entspricht.It is advantageous if in the stratification direction 4 measured thickness of a respective flag 36 the layer thickness of the opening layer provided with it 7 or control layer 8th equivalent.

Die Formgebung der Steckfahnen 36 ist auf die Formgebung des zu kontaktierenden Anschlusssteckers 37 abgestimmt. So können die Steckfahnen beispielsweise stiftförmig ausgebildet sein und insbesondere einen quadratischen Querschnitt besitzen. Möglich ist aber auch eine flache Gestaltung, wie dies in 2 strichpunktiert bei 27a angedeutet ist.The shape of the flags 36 is on the shape of the connector to be contacted 37 Voted. For example, the plug-in lugs can be pin-shaped and in particular have a square cross section. A flat design is also possible, as shown in 2 dash-dotted at 27a is indicated.

Die Steckfahnen 36 ragen seitlich über den Umriss des Schichtkörpers 5 hinaus. Hierbei können sie sich, wie dies in 1 in durchgezogenen Linien gezeigt ist, in der Ausdehnungsebene der zugeordneten Schicht 3 erstrecken. Vor allem bei Metallmaterialien besteht jedoch auch die Möglichkeit, die Steckfahnen 36 abzuwinkeln, so dass sie mit ihrem zum Aufstecken des Anschlusssteckers 37 vorgesehenen Endabschnitt quer zur Ausdehnungsebene der zugeordneten Schicht 3 verlaufen. Die Steckfahne 36 kann hierzu insbesondere umgebogen sein.The flags 36 protrude laterally over the outline of the laminate 5 out. Here they can look like this in 1 is shown in solid lines, in the plane of expansion of the associated layer 3 extend. Especially with metal materials there is also the option of using the flags 36 bend it so that it can be used to attach the connector 37 provided end section transverse to the plane of expansion of the associated layer 3 run. The flag 36 can in particular be bent for this purpose.

Für das Anlegen der Ansteuerspannung genügt prinzipiell eine Steckfahne 36 pro Schicht 7, 8. Allerdings können ohne Weiteres auch mehrere Steckfahnen 36 pro Schicht vorgesehen sein.In principle, a plug-in flag is sufficient to apply the control voltage 36 every layer 7 . 8th , However, several flags can easily be used 36 be provided per shift.

Die Anzahl der Schichten kann entsprechend der Ausgestaltung des Ventils variieren. Die Steckfahnen 36 werden jeweils an derjenigen oder denjenigen Schichten vorgesehen, die kontaktiert werden sollen.The number of layers can vary according to the design of the valve. The flags 36 are provided on the layer or layers that are to be contacted.

Als besonders vorteilhaft wird es angesehen, die Steckfahnen 36 jeweils in einem der vier Eckenbereiche des rechteckig konturierten Schichtkörpers 5 zu platzieren. Diese Anordnung wird aus 2 deutlich. Die Steckfahnen 36 können hierbei so ausgerichtet sein, dass sie sich parallel zu einem Seitenrand der zugeordneten Schicht 7, 8 erstrecken. Möglich ist allerdings auch ein schräger Verlauf und insbesondere eine diagonale Ausrichtung, wie dies in 2 bei 27c strichpunktiert angedeutet ist.It is considered to be particularly advantageous to insert the flags 36 each in one of the four corner areas of the rectangularly contoured laminate 5 to place. This arrangement is made 2 clear. The flags 36 can be aligned so that they are parallel to a side edge of the assigned layer 7 . 8th extend. However, an oblique course and in particular a diagonal alignment, as shown in 2 at 27c is indicated by dash-dotted lines.

Durch die erfindungsgemäße Anschlusstechnik können die für die elektrostatische Aktivierung relevanten Schichten 7, 8 ohne unmittelbare Lötmaßnahmen kontaktiert werden. Trotz dünner Schichtdicken ist somit eine problemlose Kontaktierung möglich. Außerdem werden die Materialeigenschaften der Schichten nicht beeinträchtigt.The connection technology according to the invention enables the layers relevant for electrostatic activation 7 . 8th can be contacted without immediate soldering measures. Despite thin layer thicknesses, problem-free contacting is possible. In addition, the material properties of the layers are not affected.

Claims

Multi-layer microvalve with electrostatic drive, with at least one valve opening ( 13 ), electrically conductive opening layer ( 7 ), with the interposition of an insulation layer ( 11 ) an also electrically conductive control layer ( 8th ) which is arranged by electrostatic forces relative to the at least one valve opening ( 13 ) movable valve member ( 23 ) contains, at the edge of the aforementioned layers ( 7 . 8th ) Connection means ( 27 ) are provided for electrical conductors used to apply a control voltage, characterized in that the connection means ( 27 ) the opening layer ( 7 ) and / or the control layer ( 8th ) of at least one piece with the relevant layer ( 7 . 8th ) trained flag ( 36 ) for a plug-in connector ( 37 ) is formed.

Microvalve according to claim 1, characterized in that the thickness of the plug-in lug ( 36 ) the layer thickness of the assigned opening or control layer ( 7 . 8th ) corresponds.

Microvalve according to claim 1 or 2, characterized in that at least one plug-in lug ( 36 ) Has a flat shape.

Microvalve according to one of claims 1 to 3, characterized in that at least one plug-in lug ( 36 ) is pin-shaped.

Microvalve according to one of claims 1 to 4, characterized in that the different layers are part of a laminated body ( 5 ) with a rectangular outline, with at least one flag ( 36 ) protrudes beyond this outline.

Microvalve according to claim 5, characterized in that at least one plug-in lug ( 36 ) in one of the four corner areas of the assigned layer ( 7 . 8th ) is placed.

Microvalve according to claim 6, characterized in that at least one plug-in lug ( 36 ) diagonally from the laminate ( 5 ) sticking out.

Microvalve according to one of claims 5 to 7, characterized in that at least one plug-in lug ( 36 ) parallel to a side edge of the assigned layer ( 7 . 8th ) runs.

Microvalve according to one of claims 1 to 8, characterized in that the opening layer ( 7 ) and / or the control layer ( 8th ) is made of metal, especially made of nickel material.

Microvalve according to one of claims 1 to 9, characterized in that at least one plug-in lug ( 36 ) in the expansion level of the assigned layer ( 7 . 8th ) runs.

Microvalve according to one of claims 1 to 10, characterized in that at least one plug-in lug ( 27 . 27b ) with reference to the expansion level of the assigned layer ( 7 . 8th ) is angled.