DE10219678C1 - Induktiver Wegmessaufnehmer mit einen passiven Resonanzkreis aufweisendem Messkopf - Google Patents

Abstract

Der offenbarte induktive Wegmessaufnehmer mit einem verschieblichen oder drehbaren, magnetisch permeablen Messkopf (110), mit wenigstens einer Messschleife (100, 102), deren geometrische Gestalt sich in Abhängigkeit vom Verschiebungs-Drehweg des Messkopfes (110) ändert, mit wenigstens einer Erregerschleife (106), mittels der in dem Messkopf (110) ein magnetischer Fluss erzeugbar ist, der die Messschleife (100, 102) an jedem Punkt des Verschiebungs-/Drehweges, im Wesentlichen im Bereich des Messkopfes (110), durchsetzt und ein elektrisches Messsignal (i2) induziert, sieht insbesondere vor, dass an dem Messkopf (110) ein nach außen elektrisch entkoppelter Schwingkreis (112) angeordnet ist, der durch einen kurzen Spannungsimpuls nach einer Anzahl von bevorzugt 10-20 freier Schwingungen phasenrichtig angeregt wird.

Description

Die Erfindung betrifft einen induktiven Wegmessaufnehmer gemäß dem Oberbegriff des unabhängigen Anspruchs 1.

Ein induktiver Wegmessaufnehmer der genannten Art geht bspw. aus der DE 100 16 540 C1 und der FR 2 682 760 A1 hervor. Bei diesem Wegmessaufnehmer ist an einem elektrisch isolierenden rechteckförmigen Träger ein entlang des Trägers verschiebbarer Läufer angeordnet, der den Träger U-förmig umschließt und als Messkopf zur Wegmessung dient.

Der Messkopf besteht aus einem ferromagnetischen Werkstoff. Auf dem Träger sind eine rechteckförmig ausgebildete Erregerschleife und eine V-förmig ausgebildete Messschleife aufgebracht. Eine an die Erregerschleife angelegte Wechselspannung induziert nach dem Induktionsgesetz über den im Messkopf sich ausbildenden magnetischen Kreis sowie über Luft eine Wechselspannung in der Messschleife. Aufgrund der sich stetig ändernden geometrischen Gestalt der Messschleife entlang des Verschiebungsweges des Messkopfes sowie der über den Verschiebungsweg sich nicht ändernden Gestalt der Erregerschleife ändert sich das Ausgangssignal der Messschleife ebenfalls stetig mit einer Verschiebung des Messkopfes entlang des Trägers.

In der DE 39 13 861 A1 ist ein ähnlicher Wegmessaufnehmer beschrieben, bei dem der Messkopf allerdings ein elektrisch aktives (induktives) Element aufweist, das Bestandteil eines extern anregbaren Schwingkreises ist. Das induktive Element ist vorzugsweise durch eine Kernspule mit magnetisch weichem Kern von im Wesentlichen E-förmiger Gestalt gebildet. Der Mittelschenkel dieser Kernspule ist über der Mess- und Referenzschleife liegend angeordnet.

Zusätzlich zur Messschleife weist der in der DE 39 13 861 A1 beschriebene Wegmessaufnehmer eine bevorzugt rechteckförmig ausgebildete Referenzschleife auf, die zur Beobachtung einer Steuerspannung des Schwingkreises dient und mittels der Änderungen in der Flussdichte, bspw. aufgrund einer Spannungsänderung der Wechselspannungsquelle oder Änderungen der Umgebungstemperatur, erfasst werden können. Hierdurch kann die Flussdichte des durch das induktive Element erzeugten magnetischen Feldes konstant gehalten werden. Das induktive Element induziert dabei in der Messschleife eine Messspannung und in der Referenzschleife eine Referenzspannung. Zur Konstanthaltung der Referenzspannung kann die den Schwingkreis anregende Wechselspannung, in Abhängigkeit von der Referenzspannung, mittels eines P- oder PI- Reglers auf eine vorgebbare Schwellenspannung geregelt werden.

Ein eine vorgenannte Referenzschleife aufweisender Wegmessaufnehmer ist auch in der DE 101 20 822 A1 und DE 100 16 540 C1 offenbart. Sowohl die Messschleife als auch die Referenzschleife werden dort als Auswerteschleifen verwendet, wobei das Messsignal aus dem Quotienten aus Messspannung und Referenzspannung gebildet wird. Durch die Quotientenbildung lassen sich insbesondere Temperaturdrifts und Lageänderungen des Messkopfes rechnerisch eliminieren.

Der vorgenannte Messkopf ist meist mit einer externen Auswerteschaltung über eine leitergebundene oder leiterlose, z. B. optische oder mittels einer Funkverbindung realisierte Zuführung verbunden. Diese Auswerteschaltung dient zur Berechnung des jeweiligen Verschiebeweges des Läufers auf dem Träger in Abhängigkeit von der ermittelten Messspannung und ggf. zusätzlich zur vorbeschriebenen Korrektur mittels der Referenzschleife.

Hierbei ist anzumerken, dass die Referenz- und die Messschleife auf beliebig ausgeformten Trägern oder sogar freitragend angeordnet werden können, solange eine berührungslose Abtastung durch den Messkopf möglich ist. Als Trägerplatte kommt bevorzugt eine gedruckte Leiterplatte zum Einsatz.

Der Nachteil des in der DE 39 13 861 A1 und der DE 100 16 540 C1 beschriebenen Wegmessaufnehmers liegt nun darin, dass der Messkopf aktiv ausgelegt ist und daher eine ständige Energiezufuhr benötigt, die nur durch bewegte, mitgeführte Leitungen realisierbar ist.

An der in der FR 2 682 760 A1 beschriebenen Messanordnung ist nachteilig, dass Temperatureinflüsse und Lageänderungen des Messkopfes zu unstabilen Messwerten führen. Zudem erfordert die kontinuierliche Anregung für verwertbare Signale eine relativ hohe elektrische Betriebsleistung.

Darüber hinaus tritt bei den im Stand der Technik bekannten Wegmessaufnehmern prinzipiell das Problem der sogenannten "Luftkopplung" in Erscheinung. Diese Luftkopplung beruht auf einer elektrischen Kopplung nach dem Induktionsgesetz zwischen der Erregerschleife und der (den) Messschleife(n) außerhalb des Wirkungsbereichs des magnetisierbaren Kerns des Messkopfes.

Der vorliegenden Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, einen Wegmessaufnehmer der genannten Art dahingehend weiterzubilden, dass die genannten Nachteile, insbesondere die vorgenannten Luftkopplungseffekte, möglichst wirksam und mit möglichst gutem Kosten-Nutzen-Verhältnis vermieden werden.

Diese Aufgabe wird bei einem induktiven Wegmessaufnehmer der eingangs genannten Art gelöst durch die Merkmale der unabhängigen Ansprüche. Vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.

Der erfindungsgemäße Wegmessaufnehmer zeichnet sich dadurch aus, dass am Messkopf ein passiver Schwingkreis (Resonanzkreis) angeordnet ist, der keine elektrische Leitungsverbindung nach außen besitzt und daher nur von außen, d. h. vorliegend ursächlich durch induktive Einkopplung im Bereich des Messkopfes, zu elektrischen Schwingungen angeregt wird. Dieser Schwingkreis wird erfindungsgemäß durch einen kurzen Spannungsimpuls nach einer Anzahl freier Schwingungen phasenrichtig angeregt. Die Anzahl der freien Schwingungen beträgt bevorzugt 10-20.

Der Vorteil liegt darin, dass der Wegmessaufnehmer energiesparsam betrieben werden kann. Zudem wird eine sofortige Auswertung des Messsignals nach der ersten Halbwelle ermöglicht.

Des Weiteren kann die Schwingungsfrequenz gegenüber den im Stand der Technik üblichen 5-10 MHz um etwa zwei Zehnerpotenzen niedriger sein, d. h. beträgt etwa 100 kHz. Hierdurch wird die Auswertung bzw. Verarbeitung des Messsignals erheblich erleichtert.

Die Anregung des Schwingkreises erfolgt bevorzugt mittels einer rechteckförmigen Erregerschleife, und zwar wie bereits erwähnt, durch einen Spannungsimpuls, der kürzer als eine Halbwelle der jeweiligen Resonanzfrequenz des Schwingkreises ist. Dieser Spannungsimpuls regt über den bevorzugt U-förmig ausgebildeten Ferrit den Schwingkreis des Messkopfes zum Schwingen an. Gleichzeitig induziert er in den Messschleifen aufgrund der Luftkopplung eine positionsunabhängige Spannung. Um den Einfluss dieser Luftkopplung zu vermeiden, wird während des Anregeimpulses kein Messsignal ausgewertet, so dass sichergestellt ist, dass die parasitären Effekte aufgrund der luftgekoppelten Induktion abgeklungen sind. Erst nach Abklingen des Anregeimpulses wird die in den Messschleifen induzierte Spannung ausgewertet. Diese induzierte Spannung basiert demnach auf der vom Schwingkreis erzeugten, luftkopplungsfreien Induktion.

Die Auswertung des Messsignals erfolgt durch phasenrichtige Gleichrichtung der ersten Schwingungsamplituden, bevorzugt der zweiten bis achten Schwingungsamplitude. Die Schwingungsamplituden werden dabei aufintegriert und in einer Sample & Hold-Schaltung zwischengespeichert. Danach ist ein Messzyklus abgeschlossen und der Schwingkreis wird erneut z. B. beim 10-ten Impuls phasenrichtig angestoßen. Die Aktualisierung des Messwertes erfolgt auf diese Weise mit einer Frequenz von 5 bis 10 kHz.

Bei Vorliegen eines den Träger U-förmig umschließenden Messkopfes ist der passive Schwingkreis bevorzugt durch auf beiden Seiten des Trägers jeweils wenigstens eine Leiterschleife gebildet, wodurch gewährleistet ist, dass bei auf beiden Seiten des Trägers angeordneten Schleifen die Einkopplung zwischen dem Schwingkreis und diesen Schleifen in ihrer Wirkung maximiert wird. In einer Ausführungsform weist der Schwingkreis auf jeder Seite des Trägers wenigstens zwei Leiterschleifen auf.

Die vorgeschlagene Messanordnung besitzt die weiteren Vorteile, dass die Anordnung einer Referenzschleife auf dem Träger zu dem eingangs beschriebenen Zweck nicht mehr erforderlich ist. Es kann eine niedrigere Schwingungsfrequenz für die Erregerspannung gewählt werden, bspw. 100 kHz im Gegensatz zu den im Stand der Technik üblichen 5-10 MHz. Dadurch wird die Auswertung des Messsignals technisch erheblich vereinfacht.

Es ist hervorzuheben, dass der erfindungsgemäße Wegmessaufnehmer mit den genannten Vorteilen rein prinzipiell bei Messanordnungen mit oder ohne Referenzschleife sowie bei Messanordnungen, bei denen nicht induktiv, sondern kapazitiv eingekoppelt wird, einsetzbar ist.

Der erfindungsgemäße Wegmessaufnehmer wird mittels einer externen Steuer- und Auswerteschaltung betrieben, welche Schaltelemente aufweist, mittels derer bevorzugt die ersten 5 bis 10 Halbwellen gleicher Polarität über einen phasengesteuerten Schalter einem Integrator zugeführt und die so integrierten Signale durch eine Sample gespeichert werden. Der Vorteil dieser Schaltungsanordnung liegt darin, dass die Gleichrichtung einen geringen oder sogar fehlenden Temperaturgang bewirkt sowie am Ausgang des Integrators relativ große Signalamplituden vorliegen. Ferner beträgt die Aktualisierungsfrequenz des Ausgangswertes der gesamten Schaltungsanordnung etwa 5 kHz.

In einer weiteren Ausführungsform des Wegmessaufnehmers sind zwei spiegelbildlich (symmetrisch) angeordnete V- förmige Messschleifen bevorzugt zu beiden Seiten des Trägers angeordnet. Hierdurch wird ermöglicht, dass die Summenspannung der beiden antiparallel auf beiden Seiten des Trägers angeordneten V-förmigen Messschleifen als Referenz verwendet und über eine Regelschaltung ständig konstant gehalten werden kann. Die Differenzspannung stellt dann den positionsabhängigen Messwert dar.

Aufgrund dieser Maßnahme wird eine nahezu vollständige Kompensation des Temperaturganges der Auswerteelektronik, insbesondere der Gleichrichter und des Integrators, erzielt. Zusätzlich werden etwa auftretende mechanische Veränderungen der Messwertgeber, bspw. der gedruckten Schaltung und/oder des Ferrits, wirksam kompensiert.

Weiterhin verringert sich der Einfluss einer Abstandsänderung des Messkopfes senkrecht und waagerecht zur gedruckten Schaltung erheblich. Auch die Linearität insbesondere an den Endpunkten des Trägers wird aufgrund der genannten Ausregelung der Randeffekte entscheidend verbessert.

Die Erfindung wird nachfolgend, unter Bezugnahme auf die Zeichnung, anhand von Ausführungsbeispielen eingehender erläutert, aus denen sich weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben.

Im Einzelnen zeigen

Fig. 1 in schematischer Darstellung, einen induktiven Wegmessaufnehmer gemäß dem Stand der Technik;

Fig. 2 eine perspektivische Ansicht eines bevorzugten Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen Wegmessaufnehmers;

Fig. 3 ein Blockdiagramm eines bevorzugten Ausführungsbeispiels einer Schaltungsanordnung zum Betrieb des in der Fig. 2 gezeigten Wegmessaufnehmers; und

Fig. 4 ein Schaltbild eines Ausführungsbeispieles des in der Fig. 3 gezeigten Synchrongleichrichters.

Der in der Fig. 1 gezeigte Wegmessaufnehmer weist einen Messkopf 10 (Positionsgeber) auf, der in der gezeigten x-Richtung entlang einer Anordnung von Leiterschleifen, und zwar einer Erregerschleife 20, einer Messschleife 30 sowie einer Referenzschleife 40, verschieblich ausgebildet ist. Es ist hierbei anzumerken, dass der linear verschiebliche Messkopf 10 nur ein Ausführungsbeispiel darstellt und prinzipiell jede beliebige Verschiebungskurve, beispielsweise eine kreisförmige oder elliptische Verschiebungskurve, beschreiben kann.

Der Messkopf 10 besteht aus einem magnetisch permeablen Werkstoff, im vorliegenden Beispiel aus Ferrit (Ferritkern), kann jedoch auch aus ferro- oder ferrimagnetischem Material gebildet sein. Beim Anlegen einer elektrischen Wechselspannung 50 an der Erregerschleife 20, bildet sich ein durch Magnetfeldlinien 60 angedeutetes Magnetfeld aus, dessen Flusslinien den Innenbereich der Erregerschleife 20 sowie die Innenbereiche der Messschleife 30 und der Referenzschleife 40 durchstoßen und im Bereich des Ferritkerns 10 aufgrund der Magnetisierbarkeit des Ferritmaterials in bekannter Weise gebündelt bzw. konzentriert werden. Die im Bereich des Ferritkerns 10 sich ausbildenden magnetischen Kreise durchstoßen daher die Messschleife 30 und die Referenzschleife 40 in diesem Bereich verstärkt. Da der Messkopf 10 lediglich passiv in Erscheinung tritt, handelt es sich hier somit um einen sogenannten "passiven Messkopf".

Die Messschleife 30 weist entlang der Wegmessstrecke x, im Gegensatz zur Referenzschleife 40, einen dreieckförmigen Verlauf auf. Daher variiert der Anteil der die Messschleife 30 in Höhe des Ferritkerns 10 durchstoßenden Magnetfeldlinien etwa linear mit der Wegstrecke x, wohingegen der Anteil im Falle der Referenzschleife 40 über die Wegstrecke x etwa konstant ist.

Aus der linearen Abweichung des in der Messschleife 30 induzierten Messstroms läßt sich nach vorheriger Kalibrierung somit die Position x berechnen. Durch Quotientenbildung des ermittelten Messstroms 12 in der Messschleife und des ermittelten Referenzstroms 13 in der Referenzschleife lassen sich in aus dem eingangs zitierten Stand der Technik bekannter Weise gleichzeitig in der Messschleife und der Referenzschleife auftretende Störeinflüsse weitgehend eliminieren.

Die Fig. 2 zeigt ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Wegmessaufnehmers. Der Wegmessaufnehmer weist ein Trägersubstrat 104 auf, auf dem zwei in entgegengesetzter Richtung angeordnete V- förmige Messschleifen 100, 102 sowie eine rechteckförmige Erregerschleife 106 aufgebracht sind. Die Leiterschleifen 100, 102 und 106 werden mittels einer in einem Gehäuse 108 befindlichen elektronischen Schaltung betrieben, welche anhand der Fig. 3 nachfolgend noch eingehend beschrieben wird. Ein entlang des Trägersubstrats 104 verschieblich angeordneter Messkopf 110 weist erfindungsgemäß eine zu einem Schwingkreis 112 zusammengeschaltete Anordnung aus Spule und Kondensator auf.

Es ist hervorzuheben, dass die gezeigte einseitige Anordnung der rechteckförmigen Erregerschleife 106 und der zwei gegeneinander gerichteten, V-förmigen Messschleifen 100, 102 nur eine von möglichen Ausführungsformen ist und die bevorzugte Ausführungsform eine doppelseitige rechteckförmige Erregerschleife 106 und doppelseitig, antiparallel angeordnete V-förmige Messschleifen 100, 102 aufweist. Diese Anordnung ergibt die vierfache Ausgangsspannung (doppelte Erregerspannung plus doppelte Messspannung) und verringert bereits dadurch erheblich die parasitäre Positionsabhängigkeit des verschiebbaren Messkopfes 110.

Die Fig. 3 zeigt ein Ausführungsbeispiel einer Schaltungsanordnung zum Betrieb des in Fig. 2 gezeigten Wegmessaufnehmers sowie zur Auswertung des Messsignals. Ein Logikbaustein 201 steuert über eine Steuerleitung 203 einerseits einen zur Erzeugung eines Erregerimpulses dienenden Erregergenerator 200 sowie andererseits über Steuerleitungen 205, 207 einen Synchrongleichrichter 206, 208. Mit dem Ausgang des Erregergenerators 200 ist die in der Fig. 2 gezeigte rechteckförmige Erregerschleife 106 verbunden. An den Eingängen der beiden identisch ausgebildeten Synchrongleichrichter 206, 208 sind die in der Fig. 2 gezeigten V-förmigen Messschleifen 100 und 102 angeschlossen.

Den inneren Schaltungsaufbau der hier gezeigten Synchrongleichrichter-Einheit 206, 208 zeigt die Fig. 4. Die Einheit 206, 208 besteht aus einem Vorverstärker 300 und elektronischen Schaltern 301, 302 und 303. Weiterhin weist die Einheit 206, 208 einen Integrator 304 und eine Sample 305 auf.

Zu Beginn eines Messzyklus' gibt der Erregergenerator 200 einen kurzen Impuls an die Erregerschleife 106 ab und regt damit den Schwingkreis 112 (Fig. 2) zum Schwingen an. Während des Anliegens des Erregerimpulses sind die in der Fig. 4 gezeigten Schalter 301 und 303 geöffnet und der Schalter 302 geschlossen. Das während dieser Zeit in den Messschleifen 100, 102 induzierte Spannungssignal wird von dem Vorverstärker 300 nicht weitergegeben. Nach Abklingen des Erregerimpulses werden über den Schwingkreis 112 sinusförmige Spannungen in den Messschleifen 100 und 102 induziert. Der Schalter 301 wird nun phasenrichtig, für jeweils eine Halbwelle der ersten ca. 8 Sinusschwingungen geöffnet und das am Ausgang des Vorverstärkers 300 anliegende Signal mittels des Integrators 304 aufintegriert.

Nach Ablauf des Messzyklus' wird der Schalter 303 kurz geschlossen und der genannte aufintegrierte Signalwert an die Sample 305 übertragen. Danach wird über den Schalter 302 der Integrationskondensator des Integrators 304 entladen und dadurch die Schaltung für den nächsten Messzyklus initiiert. Daraufhin wird der Schwingkreis 112 phasenrichtig durch einen kurzen Erregerimpuls erneut angestoßen und der Messzyklus beginnt von neuem.

Die Ausgangssignale der beiden Synchrongleichrichter- Einheiten 206, 208 werden mittels eines Operationsverstärkers 210 addiert bzw. aufsummiert und mittels eines Operationsverstärkers 212 voneinander subtrahiert. Da die arithmetische Summe der in den beiden gegenläufigen V-förmigen Messschleifen 100, 102 induzierten Spannung unabhängig von der Position des Messkopfes 110 entlang des Trägersubstrats 104 konstant bleibt - denn die geometrische Summe der Innenflächen der Messschleifen ist wegen der Gegenläufigkeit der Messschleifen 100, 102 an jedem Punkt des Verschiebeweges des Messkopfes 110 gleich - kann die arithmetische Summe als Referenz-Ausgang (Referenzspannung) verwendet werden.

Über einen PI-Regler, beispielsweise einen Verstärker 216, wird die Referenzspannung mit einer stabilen Spannungsquelle 214 verglichen. Anhand der Differenzspannung regelt der Erregergenerator 200 die genannte arithmetische Summe auf konstante Amplitude. Unabhängig von der Temperatur des Wegmessaufnehmers sowie der genannten elektronischen Komponenten und unabhängig von mechanischen Einflüssen und Spannungsschwankungen bleibt somit die Größe des Messsignals gleich und damit auch mittels Subtraktion gewonnene wegabhängige Ausgangsspannung 218 des Ausgangsverstärkers 212.

Claims (12)

1. Induktiver Wegmessaufnehmer mit einem verschieblichen oder drehbaren, magnetisch permeablen Messkopf (10, 110), mit wenigstens einer Messschleife (30, 100, 102), deren geometrische Gestalt sich in Abhängigkeit vom Verschiebungs-/Drehweg des Messkopfes (10, 110) ändert, mit wenigstens einer Erregerschleife (20, 106), mittels der in dem Messkopf (10, 110) ein magnetischer Fluß (60) erzeugbar ist, der die wenigstens eine Messschleife (30, 100, 102) an jedem Punkt des Verschiebungs-/Drehweges, im Wesentlichen im Bereich des Messkopfes (10, 110), durchsetzt und ein elektrisches Messsignal (12) induziert, dadurch gekennzeichnet, dass an dem Messkopf (10, 110) ein nach außen elektrisch entkoppelter Schwingkreis (112) angeordnet ist, der durch einen kurzen Spannungsimpuls nach einer Anzahl freier Schwingungen phasenrichtig angeregt wird.

2. Wegmessaufnehmer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswertung des Messsignals (12) zur Vermeidung luftgekoppelter, das Messsignal (12) beeinflussender Induktionen frühestens dann erfolgt, wenn der Spannungsimpuls abgeklungen ist.

3. Wegmessaufnehmer nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Anzahl der freien Schwingungen 10-20 beträgt.

4. Wegmessaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Schwingkreis (112) auf beiden Seiten der wenigstens einen Messschleife (30, 100, 102) und der wenigstens eine Erregerschleife (20, 106) jeweils wenigstens eine Leiterschleife aufweist.

5. Wegmessaufnehmer nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Schwingkreis (112) auf den beiden Seiten der wenigstens einen Messschleife (30, 100, 102) und der wenigstens einen Erregerschleife (20, 106) jeweils zwei Leiterschleifen aufweist.

6. Wegmessaufnehmer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Schwingkreis (112) sowie die wenigstens eine Messschleife (30, 100, 102) und die wenigstens eine Erregerschleife (20, 106) mit einer externen Steuer- und Auswerteschaltung verbunden sind, die einen phasengesteuerten Schalter (206, 208) aufweist, mittels dessen die ersten Halbwellen, bevorzugt die ersten 5 bis 10 Halbwellen gleicher Polarität eines von dem Schwingkreis (112) in die wenigstens eine Messschleife (30, 100, 102) eingekoppelten Signals einem Integrator (210, 212) zugeführt werden.

7. Wegmessaufnehmer nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die durch den Integrator (210, 212) integrierten Signale mittels einer Sample & Hold-Schaltung zwischengespeichert werden.

8. Wegmessaufnehmer nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswertung des Messsignals durch phasenrichtige Gleichrichtung der ersten Schwingungsamplituden, bevorzugt der 2- ten bis 8-ten Schwingungsamplitude, erfolgt.

9. Wegmessaufnehmer nach einem der Ansprüche 5 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Aktualisierungsfrequenz des Ausgangswertes der Steuer- und Auswerteschaltung (Fig. 3) im Bereich von 1-10 kHz, bevorzugt 5 kHz, liegt.

10. Wegmessaufnehmer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch zwei in Richtung des Verschiebungsweges des Messkopfes (10, 110) gegenläufig angeordnete, ortsabhängig sich ändernde, insbesondere V-förmige Messschleifen (30, 100, 102).

11. Wegmessaufnehmer nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die externe Steuer- und Auswerteschaltung (Fig. 3) ein logisches Addierglied (210), mittels dessen die Summe der Ausgangsspannungen aus den beiden Messschleifen (30, 100, 102) als Referenzwert bereitgestellt wird sowie ein logisches Subtrahierglied (212), mittels dessen ein Ausgangssignal bereitgestellt wird, aufweist.

12. Wegmessaufnehmer nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass das Ausgangssignal des Addierglieds (210) mit einem von einer Spannungsquelle (214) ausgegebenen Referenzwert verglichen wird und den Spannungsimpuls mittels eines PI-Reglers (216) konstant hält.