[go: up one dir, main page]

DE10212631B4 - Speicherungssysteme mit atomarer Auflösung mit verbessertem Magnetfeldschutz - Google Patents

Speicherungssysteme mit atomarer Auflösung mit verbessertem Magnetfeldschutz Download PDF

Info

Publication number
DE10212631B4
DE10212631B4 DE10212631A DE10212631A DE10212631B4 DE 10212631 B4 DE10212631 B4 DE 10212631B4 DE 10212631 A DE10212631 A DE 10212631A DE 10212631 A DE10212631 A DE 10212631A DE 10212631 B4 DE10212631 B4 DE 10212631B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
storage medium
shield
emitters
memory device
storage
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE10212631A
Other languages
English (en)
Other versions
DE10212631A1 (de
Inventor
Robert J. Boise Davidson
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hewlett Packard Development Co LP
Original Assignee
Hewlett Packard Development Co LP
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hewlett Packard Development Co LP filed Critical Hewlett Packard Development Co LP
Publication of DE10212631A1 publication Critical patent/DE10212631A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE10212631B4 publication Critical patent/DE10212631B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B9/00Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor
    • G11B9/10Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor using electron beam; Record carriers therefor
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y10/00Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B9/00Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor
    • G11B9/12Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor using near-field interactions; Record carriers therefor
    • G11B9/14Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor using near-field interactions; Record carriers therefor using microscopic probe means, i.e. recording or reproducing by means directly associated with the tip of a microscopic electrical probe as used in Scanning Tunneling Microscopy [STM] or Atomic Force Microscopy [AFM] for inducing physical or electrical perturbations in a recording medium; Record carriers or media specially adapted for such transducing of information
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B9/00Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor
    • G11B9/12Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor using near-field interactions; Record carriers therefor
    • G11B9/14Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor using near-field interactions; Record carriers therefor using microscopic probe means, i.e. recording or reproducing by means directly associated with the tip of a microscopic electrical probe as used in Scanning Tunneling Microscopy [STM] or Atomic Force Microscopy [AFM] for inducing physical or electrical perturbations in a recording medium; Record carriers or media specially adapted for such transducing of information
    • G11B9/1409Heads
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B9/00Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor
    • G11B9/12Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor using near-field interactions; Record carriers therefor
    • G11B9/14Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor using near-field interactions; Record carriers therefor using microscopic probe means, i.e. recording or reproducing by means directly associated with the tip of a microscopic electrical probe as used in Scanning Tunneling Microscopy [STM] or Atomic Force Microscopy [AFM] for inducing physical or electrical perturbations in a recording medium; Record carriers or media specially adapted for such transducing of information
    • G11B9/1418Disposition or mounting of heads or record carriers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Semiconductor Memories (AREA)

Abstract

Speichervorrichtung (100) mit folgenden Merkmalen:
einem Speichermedium (106), das eine Mehrzahl von Speicherbereichen (206, 208) aufweist, wobei jeder der Speicherbereiche (206, 208) in einem einer Mehrzahl von Strukturzuständen konfigurierbar ist, um Informationen darzustellen, die in dem Speicherbereich (206, 208) gespeichert sind;
einer Mehrzahl von Elektronenstrahlemittern (202, 204), die konfiguriert sind, um elektrisch mit dem Speichermedium (106) zu kommunizieren, wobei das Speichermedium (106) und die Mehrzahl von Emittern (202, 204) konfiguriert sind, um sich derart bezüglich einander zu bewegen, daß jeder der Emitter (202, 204) in der Lage ist, einen Strahl von Elektronen zu einem jeweiligen der Speicherbereiche (206, 208) des Speichermediums (106) zu liefern;
einer ersten Stromquelle (102), die konfiguriert ist, um es zumindest einem der Emitter (202, 204) zu ermöglichen, einen Strahl von Elektronen zu einem jeweiligen der Speicherbereiche (206, 208) zu liefern;
einer Abschirmung (108; 902, 904; 1002), die in der Nähe der Mehrzahl...

Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich allgemein auf das Speichern von Daten und insbesondere auf ein System zum Reduzieren eines möglichen Effektes, den Magnetfelder, z. B. extern erzeugte Magnetfelder, auf Speichervorrichtungen haben können, die Techniken der Speicherung mit atomarer Auflösung (ARS; ARS = atomic resolution storage) verwenden.
  • Die offensichtliche Unersättlichkeit von Verbrauchern nach Speichervorrichtungen mit höherer Kapazität und höherer Geschwindigkeit hat zu der Entwicklung von Speichertechniken, wie z. B. der Speicherung mit atomarer Auflösung (ARS), geführt. Wie bekannt ist, umfaßt eine Speichervorrichtung, die eine ARS-Technologie verwendet, eine Zahl von Elektronenemittern, wie z. B. Feldemittern, die angepaßt sind, um Daten in verschiedene Speicherbereiche eines Speichermediums zu schreiben und von denselben zu lesen.
  • Während des Betriebs wird ein Elektronenstrahlstrom von einem Emitter in Richtung eines entsprechenden Speicherbereichs extrahiert. Ein Schreiben von Daten von einem Emitter in einen Speicherbereich wird durch ein zeitweiliges Erhöhen der Leistungsdichte des Elektronenstrahlstroms erzielt, um den Strukturzustand der Oberfläche des Speicherbereichs zu modifizieren. Im Gegensatz dazu wird ein Lesen von Daten von dem Speicherbereich erzielt, indem der Effekt des Speicherbereichs auf den Elektronenstrahl des Emitters oder der Effekt des Elektronenstrahls auf den Speicherbereich beobachtet wird. Insbesondere wird ein Lesen üblicherweise erzielt, indem sekundäre und/oder rückgestreute Elektronen gesammelt werden, wenn ein Elektronenstrahl, d. h. ein Elektronenstrahl mit einer niedrigeren Leistungsdichte als der des Elektronenstrahls, der zum Schreiben von Daten in den Speicherbereich verwendet wird, an das Speichermedium angelegt wird.
  • Ein ARS-Speichermedium ist aus einem Material gebildet, das durch einen Strukturzustand charakterisiert ist, der durch einen Strahl von Elektronen von kristallin zu amorph verändert werden kann. Da der amorphe Zustand einen anderen Sekundärelektronenemissionskoeffizienten (SEEC; SEEC = secondary electron emission coefficient) und Rückstreuelektronenkoeffizienten (BEC; BEC = backscattered electron coefficient) als der kristalline Zustand aufweist, wird ansprechend auf einen Elektronenstrahl abhängig von dem gegenwärtigen Strukturzustand dieses Speicherbereichs eine unterschiedliche Zahl sekundärer oder rückgestreuter Elektronen aus jedem Speicherbereich emittiert. So können durch ein Messen der Zahl von sekundären und rückgestreuten Elektronen der Strukturzustand des Speicherbereichs und deshalb die Daten, die durch den Speicherbereich gespeichert sind, bestimmt werden.
  • Damit eine ARS-Speichervorrichtung ordnungsgemäß funktioniert, sollte ein Strahl von Elektronen, die von einem bestimmten Emitter emittiert werden, so gerichtet sein, um die Elektronen zu einem zugeordneten Speicherbereich zu liefern. Da die Elektronen eines Strahls von Elektronen, die von einem Emitter geliefert werden, aufgrund von Magnetfeldern, wie z. B. einem extern erzeugten Magnetfeld, anfällig für Veränderungen der Bahn sein können, kann ein derartiges Magnetfeld Fehler bei der Fähigkeit einer ARS-Speichervorrichtung, Daten von einem Speichermedium zu lesen und/oder Daten in dasselbe zu schreiben, bewirken. Ein Magnetfeld kann z. B. die Bahn eines Strahls von Elektronen so beeinflussen, daß der Strahl nicht ordnungsgemäß mit dem zugeordneten Speicherbereich ausgerichtet ist.
  • Deshalb besteht ein Bedarf nach verbesserten Vorrichtungen, Systemen und Verfahren, die diese und/oder anderen Nachteilen des Stands der Technik angehen.
  • Die EP 0 734 017 A1 beschreibt eine bekannte Speichervorrichtung, die die ARS-Technologie verwendet.
  • Die DE 43 35 082 A1 beschreibt ein Informationsaufnahmegerät, bei dem auf eine Platte mittels eines Elektronenstrahls Informationen geschrieben werden, wobei die Platte durch einen Elektromotor drehbar antreibbar ist. Der Motor ist in einem Schirmmittel eingeschlossen, um dessen magnetische Felder daran zu hindern, den Elektronenstrahl zu beeinflussen.
  • Die DE 44 18 439 A1 beschreibt eine Rasterelektronenmikroskop, bei dem eine Probenkassette und ein Kopfabschnitt eines elektrooptischen Systems die Probe umgeben und aus einem Material mit hoher magnetischer Permeabilität zur Bildung einer magnetischen Abschirmung hergestellt sind.
  • Die US 58 38 521 A beschreibt einen magnetoresistiven Lesekopf zum Schreiben/Lesen von Daten von einem magnetischen Speichermedium. Der Lesekopf umfasst zwei magnetische Schilde, zwischen denen ein Wandler angeordnet ist, die dazu dienen, einen magnetischen Fluss beim Lesen von Daten auf den Wandler zu richten. Die magnetischen Schilde sind jeweils mehrlagig aufgebaut und umfassen zumindest zwei magnetische Schichten, zwischen denen eine nicht-magnetische Schicht angeordnet ist.
  • Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine verbesserte Speichervorrichtung zum Reduzieren eines Einflusses eines Magnetfeldes zu schaffen.
  • Diese Aufgabe wird durch eine Speichervorrichtung gemäß Anspruch 1 gelöst.
  • Die vorliegende Erfindung schafft eine Speichervorrichtung mit einem Speichermedium, das eine Mehrzahl von Speicherbereichen aufweist, wobei jeder der Speicherbereiche in einem einer Mehrzahl von Strukturzuständen konfigurierbar ist, um Informationen darzustellen, die in dem Speicherbereich gespeichert sind; einer Mehrzahl von Elektronenstrahlemittern, die konfiguriert sind, um elektrisch mit dem Speichermedium zu kommunizieren, wobei das Speichermedium und die Mehrzahl von Emittern konfiguriert sind, um sich derart bezüglich einander zu bewegen, daß jeder der Emitter in der Lage ist, einen Strahl von Elektronen zu einem jeweiligen der Speicherbereiche des Speichermediums zu liefern; einer ersten Stromquelle, die konfiguriert ist, um es zumindest einem der Emitter zu ermöglichen, einen Strahl von Elektronen zu einem jeweiligen der Speicherbereiche zu liefern; einer Abschirmung, die in der Nähe der Mehrzahl von Emittern angeordnet ist, wobei die Abschirmung konfiguriert ist, um einen Einfluß eines Magnetfeldes derart zu reduzieren, daß eine Tendenz eines Elektrons, das von einem der Emitter emittiert wird, von einer beabsichtigten Bahn verschoben zu werden, reduziert wird; und einer Einrichtung zum Reduzieren einer Tendenz der Abschirmung, mehrere magnetische Domänen aufzuweisen.
  • Die Erfindung kann Bezug nehmend auf die folgenden Zeichnungen besser verstanden werden. Die Komponenten in den Zeichnungen sind nicht notwendigerweise maßstabsgetreu, wobei statt dessen eine klare Darstellung der Prinzipien der vorliegenden Erfindung hervorgehoben wird.
  • Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend Bezug nehmend auf die beigefügten Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
  • 1 ein schematisches Diagramm eines bevorzugten Ausführungsbeispiels einer Speichervorrichtung der vorliegenden Erfindung;
  • 2 ein schematisches Diagramm, das ein Ausführungsbeispiel der Speichervorrichtung aus 1 darstellt, wobei die Emitter von dem Speichermedium lesen;
  • 3 ein schematisches Diagramm, das die Bahn eines repräsentativen Elektrons darstellt, das durch ein Magnetfeld beeinflußt wird;
  • 4 ein schematisches Diagramm, das ein Ausführungsbeispiel der Speichervorrichtung aus 1 darstellt, wobei die Emitter von dem Speichermedium lesen;
  • 5 ein schematisches Diagramm, das ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Speichervorrichtung aus 1 darstellt;
  • 6 ein schematisches Diagramm, das die Speichervorrichtung aus 5, wie dasselbe entlang einer Abschnittslinie A-A betrachtet wird, darstellt;
  • 7 ein schematisches Diagramm, das ein Ausführungsbeispiel der Speichervorrichtung aus 1 darstellt;
  • 8 ein schematisches Diagramm, das ein Ausführungsbeispiel der Speichervorrichtung aus 1 darstellt;
  • 9 ein schematisches Diagramm, das ein Ausführungsbeispiel der Speichervorrichtung aus 1 dar stellt; und
  • 10 ein schematisches Diagramm, das ein Ausführungsbeispiel der Speichervorrichtung aus 1 darstellt.
  • Im Folgenden wird Bezug auf die Zeichnungen genommen, in denen gleiche Bezugszeichen in den mehreren Ansichten entsprechende Teile bezeichnen. Wie in 1 gezeigt ist, umfaßt ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Speichervorrichtung 100 der vorliegenden Erfindung eine Stromquelle 102. Die Stromquelle 102 liefert einen Strom an Lesen/Schreiben-Komponenten 104, um so ein Lesen von Daten von und/oder ein Schreiben von Daten in ein Speichermedium 106 zu ermöglichen. Die Speichervorrichtung 100 umfaßt auch eine Abschirmung 108, die in verschiedenen Konfigurationen vorgesehen sein kann, wie im folgendem detailliert beschrieben wird. Zusätzlich verwendet die Speichervorrichtung 100 eine ARS-Technologie für die Speicherung und Wiedergewinnung von Daten.
  • 2 stellt schematisch ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Speichervorrichtung 100 dar, die eine ARS-Technologie verwendet. In 2 sind repräsentative Emitter 202 und 204, z. B. Feldemitter, gezeigt, die von dem Speichermedium 106 lesen. Insbesondere liest der Emitter 202 von einem Speicherbereich 206, wobei der Emitter 204 von einem Speicherbereich 208 liest. Die Speicherbereiche 206 und 208 sind mit unterschiedlichen Strukturzuständen, die hierin bereits beschrieben wurden, versehen. Derart vorgesehen kann, wenn Elektronen, die von einer Quelle, z. B. der Stromquelle 102, bereitgestellt werden, aus den Emittern und in die jeweiligen Speicherbereiche extrahiert werden, eine unterschiedliche Zahl von sekundären Elektronen und/oder rückgestreuten Elektronen bezüglich jedes Speicherbereichs erfaßt werden. Die Erfassung der sekundären und/oder rückgestreuten Elektronen kann durch Elektronenkollektoren, z. B. Kollektoren 210 und 212, erzielt werden. Wie der Ausdruck „Lesen/Schreiben-Komponenten” hierin verwendet wird, kann er verwendet werden, um sich auf einen oder mehrere Emitter und/oder einen oder mehrere Emitter und seinen zugeordneten Kollektor oder seine zugeordneten Kollektoren zu beziehen. Zusätzlich wird der Ausdruck „Emitter” hierin verwendet, um sich auf jede Emitterkonfiguration zu beziehen, wie z. B. einen Feldemitter, einen ballistischen Emitter, einen quasi-ballistischen Emitter, einen Flachemitter, usw.
  • Im Betrieb wird die Größe eines Signalstroms, der durch die Elektronenkollektoren gesammelt wird, überwacht. Basierend auf der bestimmten Größe können der Strukturzustand und deshalb die Daten, die in dem Speicherbereich gespeichert sind, identifiziert werden. Üblicherweise entsprechen die Daten, die in einem bestimmten Speicherbereich gespeichert sind, einem Bit. Es sei darauf hingewiesen, daß der Unterschied der Zahl von sekundären Elektronen und/oder rückgestreuten Elektronen, die von einem Speicherbereich gesammelt werden, verglichen mit einem Speicherbereich, der einen unterschiedlichen Strukturzustand aufweist, abhängig von dem Typ des Materials und/oder dem Typ der Modifizierung, die an dem Material vorgenommen wird, größer oder kleiner sein kann.
  • Operationstheorie
  • Die folgende Analyse soll zeigen, daß eine Feldaussetzung, z. B. eine Aussetzung einer Speichervorrichtung, die eine ARS-Technologie verwendet, gegenüber Magnetfeldern bei einer derartigen Vorrichtung einen Effekt erzeugen kann, es sei denn, es werden Vorkehrungen getroffen.
  • Die ursprüngliche Quelle von Interesse besteht darin, daß Magnetfelder mit Elektronen in Wechselwirkung stehen können, die von Emittern einer Speichervorrichtung emittiert werden, wenn sich das Elektron in das Speichermedium bewegt. Die Wechselwirkung ist auf die Lorentz-Kraft, F = qe(ν × B) zurückzuführen. Diese Kraft wirkt immer senkrecht zu der Bewegungsrichtung der Elektronen und verändert deshalb nur die Bewegungsrichtung, wobei z. B. die Energie und die Größe des Moments konstant bleiben. Die einzigen Komponenten von B, die von Bedeutung sind, sind die in einer Ebene mit dem Medium (x-, y-Komponenten). Eine Analyse der By-Komponente ist unten gegeben, wobei Bx gleich ist. Für diese Berechnung wird angenommen, daß die Elektronen den Emitter mit einer Energie von 300 ev verlassen, und daß der Spitze-Medien-Abstand 1 μm beträgt. Die Analyse des Effektes eines konstanten Magnetfeldes, By, zeigt, daß sich die Elektronen in Kreisen (helisch) mit einem Radius R (3) bewegen, der durch folgende Gleichung gegeben ist: R = pc/3 × 108 ByMeter, wobei pc in ev gegeben ist und B in w/m2. Eine Analyse der Geometrie ergibt dann: sinθ = d/R = Δx/d, was folgenden Versatz aufgrund der By-Komponente ergibt: Δx = d2/R = d23 × 108 By/pc
  • Ein Magnetfeld, das die Elektronenbahn um 4 nm von dem Nennwert an dem Medium (etwa 10% der Nominalpunktgröße) bewegen kann, ist dann folgendermaßen gegeben: By = pcΔx/3 × 108 d2 = 300(4 × 10–9)/3 × 108(1 × 10–6)2 = 4 × 10–3 W/m2 = 40 Oe.
  • Angesichts der Größe dieses Ergebnisses scheint es, daß Felder mit praktischen Größen (z. B. Felder, die häufig anzutreffen sind) einen Effekt auf die Leistung einer ARS-Vorrichtung haben könnten, wenn keine Abschirmung vorgesehen ist.
  • Repräsentative Beispiele
  • Bezug nehmend auf die 4 bis 6 werden weitere Ausführungsbeispiele von ARS-Systemen, die die vorliegende Erfindung implementieren können, detaillierter beschrieben. Es wird jedoch darauf hingewiesen, daß die hierin gezeigten und beschriebenen ARS-Systeme nicht die einzigen ARS-Systeme sind, die mit der vorliegenden Erfindung verwendet werden. Im Gegenteil kann die vorliegende Erfindung mit verschiedenen Typen und Konfigurationen von ARS-Systemen verwendet werden, unter der Voraussetzung, daß ein derartiges System in der Lage ist, Daten in ein Speichermedium zu schreiben und/oder Daten von demselben zu lesen.
  • 4 stellt schematisch eine Technik zum Schreiben von Daten in einen ARS-Speicherbereich und/oder Lesen von Daten von demselben dar. Wie in 4 gezeigt ist, basiert ein Speichermedium 400 auf einer Diodenstruktur, die ein PN-Übergang, eine Schottky-Barriere oder jeder andere Typ eines elektronischen Ventils sein kann. Daten werden gespeichert, indem die Oberfläche der Diode lokal auf eine derartige Weise verändert wird, daß sich die Sammelwirksamkeit für Minoritätsträger, die durch die veränderte Region erzeugt werden, von der einer unveränderten Region unterscheidet. Die Sammelwirksamkeit der Minoritätsträger ist als der Bruchteil von Minoritätsträgern definiert, der durch die augenblicklichen Elektronen, die über den Diodenübergang 402 gefegt werden, erzeugt wird, wenn er durch eine externe Schaltung 404 vorgespannt wird, um zu bewirken, daß ein Signalstrom 406 in der externen Schaltung fließt. Obwohl 4 eine bevorzugte externe Schaltung 404 darstellt, ist zu erkennen, daß diese Schaltung lediglich zu Beispielszwecken vorgesehen ist.
  • Im Betrieb emittieren die Emitter 408 und 410 schmale Strahlen von Elektronen auf die Oberfläche der Diode 400. Die einfallenden Elektronen regen Elektronenlochpaare nahe einer Oberfläche der Diode an. Da die Diode durch die externe Schaltung 404 in Sperrichtung vorgespannt ist, werden Minoritätsträger, die durch die einfallenden Elektronen erzeugt werden, in Richtung des Diodenübergangs 402 gefegt. Elektronen, die den Übergang 402 erreichen, werden dann über den Übergang gefegt. Folglich werden Minoritätsträger, die nicht mit Majoritätsträgern rekombinieren, bevor sie den Übergang erreichen, über den Übergang gefegt, was einen Stromfluß in der externen Schaltung 404 bewirkt.
  • Ein Schreiben an die Diode 400 wird erzielt, indem die Leistungsdichte des Elektronenstrahls ausreichend erhöht wird, um die physischen Eigenschaften der Diode lokal zu verändern. Diese Veränderung beeinflußt die Zahl von Minoritätsträgern, die über den Übergang 402 gefegt werden, wenn der gleiche Bereich mit einem (Lesen-)Elektronenstrahl mit einer niedrigeren Leistungsdichte bestrahlt wird. Eine Rekombinationsrate in einem beschriebenen Bereich 412 könnte z. B. bezüglich eines nicht beschriebenen Bereiches 414 so erhöht werden, daß die Minoritätsträger, die in dem beschriebenen Bereich 412 erzeugt werden, eine erhöhte Wahrscheinlichkeit aufweisen, mit Minoritätsträger zu rekombinieren, bevor sie eine Möglichkeit haben, den Übergang 402 zu erreichen und zu kreuzen. So fließt ein kleinerer Strom in der externen Schaltung 404, wenn der Lesenelektronenstrahl auf einen beschriebenen Bereich 412 auffällt, als sann, wenn er auf einen unbeschriebenen Bereich 414 auftrifft. Umgekehrt ist es auch möglich, mit einer Diodenstruktur zu beginnen, die eine hohe Rekombinationsrate hat, und Bits zu schreiben, in dem die Rekombinationsrate lokal reduziert wird. Bei einem derartigen Ausführungsbeispiel hängt die Größe des Stroms, der aus den Minoritätsträgern resultiert, von dem Zustand des Speicherbereichs ab, wobei der Strom bewirkt, daß das Ausgangssignal durchgehend anzeigt, daß das Bit gespeichert ist.
  • Die 5 und 6 stellen ein Ausführungsbeispiel der Speichervorrichtung 100 dar. Diesbezüglich zeigt 5 eine Seitenquerschnittsansicht der Speichervorrichtung 100, die eine Zahl von Feldemittern 502, ein Speichermedium 504, das eine Zahl von Speicherbereichen 506 enthält, und eine Mikrobewegungseinrichtung 508, der das Speichermedium hinsichtlich der Feldemitter bewegt oder umgekehrt, umfaßt.
  • Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist jeder Speicherbereich 506 für das Speichern eines Bits an Informationen verantwortlich. Wie bereits erwähnt wurde, sind die Feldemitter für ein Lesen von Daten von und/oder ein Schreiben von Daten in die Speicherbereiche durch die Verwendung von Elektronenstrahl verantwortlich. So sind die Feldemitter, die für die vorliegende Erfindung geeignet sind, vorzugsweise von dem Typ, der Elektronenstrahlen erzeugt, die schmal genug sind, um die erwünschte Bitdichte des Speichermediums zu erzielen, und die die Leistungsdichte des Strahlenstroms liefern, der zum Lesen von und Schreiben in das Speichermedium erforderlich ist. Wie bereits erwähnt wurde, können jedoch bei anderen Anwendungen verschiedene andere Emittertypen verwendet werden.
  • Während des Betriebs wird ein vorbestimmter Potentialunterschied zwischen einen Feldemitter 502 und ein entsprechendes Gate, wie z. B. ein kreisförmiges Gate 510, das den Emitter umgibt, angelegt. Derart vorgesehen wird ein Elektronenstrahlstrom aus dem Emitter 502 in Richtung des Speicherbereichs 506 extrahiert. Abhängig von dem Abstand zwischen den Emittern 502 und dem Speichermedium 504, dem Typ von Emittern und der erforderlichen Punktgröße (z. B. Bitgröße) kann eine Elektronenoptik nützlich beim Fokussieren der Elektronenstrahlen sein. Eine Spannung kann auch an das Speichermedium 504 angelegt werden, um die emittierten Elektronen entweder zu beschleunigen oder zu verlangsamen oder um beim Fokussieren der emittierten Elektronen zu helfen. Ein Gehäuse 512 kann ebenfalls vorgesehen sein, das das Speichermedium 504 in einem Teilvakuum aufrechterhält.
  • 6 zeigt eine Draufsicht des Querschnittes A-A aus 5 und stellt das Speichermedium 504 dar, das durch zwei Sätze von dünnwandigen mikro-hergestellten Strahlen 614 und 616 und 618 und 620 gehalten wird. Obwohl eine Strahlen-Typ-Mikrobewegungseinrichtung hierin gezeigt und beschrieben ist, können verschiedene andere Typen und Konfigurationen von Mikrobewegungseinrichtungen von der vorliegenden Erfindung verwendet werden. Flächen des ersten Satzes dünnwandiger Strahlen, d. h. 614 und 616, sind in der X-Z-Ebene. Dieser Satz von Strahlen kann in der X-Richtung gebeugt werden, was es dem Speichermedium 504 erlaubt, sich bezüglich des Gehäuses 512 in der X-Richtung zu bewegen. Flächen des zweiten Satzes von dünnwandigen Strahlen, d. h. 618 und 620, sind in der X-Z-Ebene. Dieser Satz von Strahlen ermöglicht es dem Speichermedium 504, sich bezüglich des Gehäuses 512 in der Y-Richtung zu bewegen. Das Speichermedium wird durch den ersten Satz von Strahlen an einem Rahmen 622 gehalten. Der Rahmen wird durch den zweiten Satz von Strahlen an dem Gehäuse 512 gehalten. So können sich die Feldemitter in den X-Y-Richtungen durch elektrostatische, elektromagnetische, piezoelektrische oder andere geeignete Verfahren und/oder Mechanismen über das Speichermedium 504 bewegen, oder das Speichermedium kann sich über die Feldemitter bewegen.
  • Wie in 7 gezeigt ist, kann die Speichervorrichtung 100 eine Abschirmung 108 enthalten, die angepaßt ist, um das Potential für Magnetfelder zu reduzieren, eine Fehlausrichtung von Elektronen zu induzieren, die von einem oder mehreren Emittern geliefert werden, z. B. Emitter 202 und/oder 204. Insbesondere soll die Abschirmung 108 verhindern, daß eines oder mehrere Magnetfelder den Pfad von Elektronen verändern, die von einem oder mehreren der Emitter geliefert werden, so daß die Elektronen von dem Strahl zu einem geeigneten Teil des Speichermediums 106 geliefert werden können. Bei dem Ausführungsbeispiel der Abschirmung, das in 7 dargestellt ist, ist die Abschirmung an einer Seite des Speichermediums angeordnet, die den Emittern gegenüberliegt, obwohl verschiedene andere Anordnungen von Abschirmungen verwendet werden können.
  • In 7 kann die Abschirmung 108 als eine planare Schicht aus einem Material konfiguriert sein, das an einer Komponente der Speichervorrichtung befestigt, z. B. festgeklebt, ist. Beispielhaft kann die Abschirmung 108 direkt an dem Speichermedium 106 befestigt sein, wobei die Abschirmung bei anderen Ausführungsbeispielen an Komponenten befestigt sein kann, die zwischen dem Speichermedium und der Abschirmung angeordnet sind.
  • Da die Abschirmung 108 durch einen effektiven Bereich charakterisiert ist, z. B. einen Abstand, bei dem, falls er überschritten wird, die Abschirmung nicht den erwünschten Effekt liefert, ist es oft erwünscht, die Abschirmung in unmittelbarer Nähe des Elektronenstrahls oder der Elektronenstrahlen zu plazieren, die abgeschirmt werden sollen. Durch ein Plazieren der Abschirmung nahe an dem oder den Elektronenstrahlen können auch andere Vorteile erzielt werden. Ein Reduzieren der Beabstandung zwischen der Abschirmung und dem Elektronenstrahl kann es z. B. ermöglichen, daß eine Abschirmung mit reduzierter Größe verwendet wird. Die reduzierte Größe wiederum kann eine Reduzierung der Materialverwendung zum Bilden der Abschirmung ergeben, und kann ein reduziertes Gewicht liefern, wodurch potentiell die Bildung von kleineren, billigeren und/oder leichteren Speichervorrichtungen ermöglicht wird.
  • Verschiedene Materialien können zur Verwendung als eine Abschirmung geeignet sein. Beispielhaft kann es bei einigen Ausführungsbeispielen wünschenswert sein, ein Material zu verwenden, das eine relative magnetische Permeabilität von mehr als etwa 100 bis 200 (cgs) besitzt. Aufgrund der vorweggenommen Anordnung von Emittern bezüglich eines Speichermediums kann eine niedrigere relative magnetische Permeabilität zu einer geschwächten Abschirmung führen, wohingegen eine sehr viel größere relative magnetische Permeabilität unter Umständen keine wesentliche relative Verbesserung der Abschirmfähigkeit liefern kann. Einige repräsentative Beispiele geeigneter Materialien zum Bilden der Abschirmung umfassen z. B. Mumetall, Nickeleisen und CZT, sind jedoch nicht auf dieselben beschränkt.
  • Wie bereits kurz erwähnt wurde, können eine oder mehrere Abschirmungen in zahlreichen Konfigurationen vorgesehen sein, einschließlich einer oder mehrerer dünner Lagen aus einem Material, das an einem oder mehreren Komponenten der Speichervorrichtung befestigt ist, siehe z. B. 7, 8 und 9, sowie eine Einhüllung, die aus einem Abschirmmaterial gebildet ist, und die vorgesehen ist, um einen oder mehrere Elektronenstrahlen, siehe z. B. 10, zu umgeben.
  • Hinsichtlich der Verwendung von Materialien, die in der Form eines Films vorgesehen sind, können die Materialien eine Tendenz aufweisen, magnetische Domänen zu bilden. Von besonderem Interesse ist das Potential, daß die magnetischen Domänen unterschiedliche magnetische Eigenschaften besitzen und dadurch potentiell selbst Magnetfelder erzeugen. Da diese selbsterzeugten Magnetfelder eine Tendenz aufweisen können, Fehlausrichtungseffekte hinsichtlich der Elektronenstrahlen der Speichervorrichtung zu bewirken, kann eine Stabilisierungsschicht 110 (7) vorgesehen sein. Eine derartige Stabilisierungsschicht sollte, wenn sie verwendet wird, angepaßt sein, um eine Austauschkopplung mit dem Material der Abschirmung zu bilden, um eine bestimmte Magnetkonfiguration in der Abschirmung zu sperren. Bei einigen Ausführungsbeispielen kann eine schwache Austauschkopplung vorzugsweise so sein, um es zu ermöglichen, daß das Material der Abschirmung auf externe Magnetfelder reagiert. Obwohl verschiedene Materialien zum Bilden einer oder mehrerer Stabilisierungsschichten verwendet werden können, werden antiferromagnetische Materialien und Kobaltnickel als repräsentative Beispiele von Materialien, die verwendet werden können, betrachtet.
  • Bezug nehmend auf das Ausführungsbeispiel, das in 9 dargestellt ist, ist gezeigt, daß mehrere Abschirmungskomponenten, z. B. Abschirmungskomponenten 902 und 904, vorgesehen sein können. Insbesondere ist bei dem Ausführungsbeispiel, das in 9 dargestellt ist, die Abschirmungskomponente 902 auf einer Seite des Speichermediums 106 angeordnet, die Emittern 202 und 204 gegenüberliegt, wobei die Abschirmungskomponente 904 so angeordnet ist, daß die Emitter zwischen dem Speichermedium und der Abschirmungskomponente 904 angeordnet sind. Bei einigen Ausführungsbeispielen können Abschirmungskomponenten 902 und 904 als allgemein planare Struktur vorgesehen sein. Theoretisch kann, wenn die Abschirmungskomponenten eine geeignete Größe aufweisen, wie Fachleute wissen, ein relativ hoher Grad der Abschirmung für Elektronenstrahlen geschaffen werden, vorausgesetzt, daß derartige Strahlen nicht in unmittelbarer Nähe der Peripherie des Speichermediums angeordnet sind.
  • Wie in dem repräsentativen Ausführungsbeispiel aus 10 gezeigt ist, kann für die Ausführungsbeispiele, die einen höheren Grad von Abschirmung erfordern können, eine Abschirmung 1002 vorgesehen sein, um die Elektronenstrahlen der Speichervorrichtung 100 vollständig zu umgeben. Eine derartige Abschirmung kann in einem oder mehreren verschiedenen Orten bezüglich der Elektronenstrahlen einer derartigen Vorrichtung vorgesehen sein. Beispielhaft kann die Abschirmung nur um die Emitter und das Speichermedium angeordnet sein, wohingegen die Abschirmung bei anderen Ausführungsbeispielen mehr Komponenten der Vorrichtung/en umschließen kann.

Claims (12)

  1. Speichervorrichtung (100) mit folgenden Merkmalen: einem Speichermedium (106), das eine Mehrzahl von Speicherbereichen (206, 208) aufweist, wobei jeder der Speicherbereiche (206, 208) in einem einer Mehrzahl von Strukturzuständen konfigurierbar ist, um Informationen darzustellen, die in dem Speicherbereich (206, 208) gespeichert sind; einer Mehrzahl von Elektronenstrahlemittern (202, 204), die konfiguriert sind, um elektrisch mit dem Speichermedium (106) zu kommunizieren, wobei das Speichermedium (106) und die Mehrzahl von Emittern (202, 204) konfiguriert sind, um sich derart bezüglich einander zu bewegen, daß jeder der Emitter (202, 204) in der Lage ist, einen Strahl von Elektronen zu einem jeweiligen der Speicherbereiche (206, 208) des Speichermediums (106) zu liefern; einer ersten Stromquelle (102), die konfiguriert ist, um es zumindest einem der Emitter (202, 204) zu ermöglichen, einen Strahl von Elektronen zu einem jeweiligen der Speicherbereiche (206, 208) zu liefern; einer Abschirmung (108; 902, 904; 1002), die in der Nähe der Mehrzahl von Emittern (202, 204) angeordnet ist, wobei die Abschirmung (108; 902, 904; 1002) konfiguriert ist, um einen Einfluß eines Magnetfeldes derart zu reduzieren, daß eine Tendenz eines Elektrons, das von einem der Emitter (202, 204) emittiert wird, von einer beabsichtigten Bahn verschoben zu werden, reduziert wird, wobei die Abschirmung (108; 902, 904; 1002) aus einem Material gebildet ist, das eine relative magnetische Permeabilität zwischen etwa 100 (cgs) und etwa 200 (cgs) aufweist; und einer Stabilisierungsschicht (110), die neben zumindest einem Teil der Abschirmung (108; 902, 904; 1002) angeordnet ist, wobei die Stabilisierungsschicht (110) konfiguriert ist, um eine Austauschkopplung mit der Abschirmung (108; 902, 904; 1002) zu bilden, derart, daß die Austauschkopplung dazu neigt, eine Tendenz der Abschirmung (108; 902, 904; 1002) zu reduzieren, mehrere magnetische Domänen aufzuweisen, wobei die Stabilisierungsschicht (110) ein antiferromagnetisches Material aufweist.
  2. Speichervorrichtung gemäß Anspruch 1, bei der die Abschirmung (108) auf einer Seite des Speichermediums (106), die den Emittern (202, 204) gegenüberliegt, angeordnet ist.
  3. Speichervorrichtung gemäß Anspruch 1 oder 2, bei der die Abschirmung eine erste Abschirmungskomponente (902) und eine zweite Abschirmungskomponente (904) aufweist, und bei der die Emitter (202, 204) und das Speichermedium (106) zwischen der ersten Abschirmungskomponente (902) und der zweiten Abschirmungskomponente (904) angeordnet sind.
  4. Speichervorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, bei der die Abschirmung (108; 902, 904) als ein im wesentlichen planares Bauglied konfiguriert ist.
  5. Speichervorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, bei der die Abschirmung (1002) als eine Einhüllung zum Umgeben der Emitter (202, 204) und des Speichermediums (106) konfiguriert ist.
  6. Speichervorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, bei der zumindest einer der Emitter (202, 204) ein Feldemitter ist.
  7. Speichervorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, bei der das Magnetfeld außerhalb der Speichervorrichtung (100) entsteht.
  8. Speichervorrichtung gemäß Anspruch 2, bei der die Abschirmung (108) an dem Speichermedium (106) angebracht ist.
  9. Speichervorrichtung gemäß Anspruch 3, bei der die erste Abschirmungskomponente (902) an dem Speichermedium (106) angebracht ist.
  10. Speichervorrichtung gemäß Anspruch 1, bei der die Abschirmung (108; 902, 904; 1002) Mumetall aufweist.
  11. Speichervorrichtung gemäß Anspruch 8, die ferner folgendes Merkmal aufweist: eine Schicht aus einem Haftmittel, die zwischen der Abschirmung (108) und dem Speichermedium (106) angeordnet ist.
  12. Speichervorrichtung gemäß Anspruch 8, die ferner folgendes Merkmal aufweist: eine Einrichtung zum Anheften der Abschirmung (108) an dem Speichermedium (106).
DE10212631A 2001-03-23 2002-03-21 Speicherungssysteme mit atomarer Auflösung mit verbessertem Magnetfeldschutz Expired - Fee Related DE10212631B4 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US09/815,785 2001-03-23
US09/815,785 US6704267B2 (en) 2001-03-23 2001-03-23 Atomic resolution storage systems with enhanced magnetic field protection

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE10212631A1 DE10212631A1 (de) 2002-10-02
DE10212631B4 true DE10212631B4 (de) 2011-06-16

Family

ID=25218814

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10212631A Expired - Fee Related DE10212631B4 (de) 2001-03-23 2002-03-21 Speicherungssysteme mit atomarer Auflösung mit verbessertem Magnetfeldschutz

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6704267B2 (de)
JP (1) JP3866124B2 (de)
DE (1) DE10212631B4 (de)
FR (1) FR2822579B1 (de)
TW (1) TW565831B (de)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7260051B1 (en) 1998-12-18 2007-08-21 Nanochip, Inc. Molecular memory medium and molecular memory integrated circuit
US6775223B2 (en) * 2002-01-17 2004-08-10 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Systems for controlling storage device emitters
US7233517B2 (en) 2002-10-15 2007-06-19 Nanochip, Inc. Atomic probes and media for high density data storage
US6985377B2 (en) 2002-10-15 2006-01-10 Nanochip, Inc. Phase change media for high density data storage
US6982898B2 (en) 2002-10-15 2006-01-03 Nanochip, Inc. Molecular memory integrated circuit utilizing non-vibrating cantilevers
US20050232061A1 (en) 2004-04-16 2005-10-20 Rust Thomas F Systems for writing and reading highly resolved domains for high density data storage
US7301887B2 (en) 2004-04-16 2007-11-27 Nanochip, Inc. Methods for erasing bit cells in a high density data storage device
US7379412B2 (en) 2004-04-16 2008-05-27 Nanochip, Inc. Methods for writing and reading highly resolved domains for high density data storage
US7463573B2 (en) 2005-06-24 2008-12-09 Nanochip, Inc. Patterned media for a high density data storage device
US7367119B2 (en) 2005-06-24 2008-05-06 Nanochip, Inc. Method for forming a reinforced tip for a probe storage device
US7309630B2 (en) 2005-07-08 2007-12-18 Nanochip, Inc. Method for forming patterned media for a high density data storage device
US7454221B1 (en) 2005-07-12 2008-11-18 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Electron tube amplification
US20090129246A1 (en) * 2007-11-21 2009-05-21 Nanochip, Inc. Environmental management of a probe storage device
US20100039729A1 (en) * 2008-08-14 2010-02-18 Nanochip, Inc. Package with integrated magnets for electromagnetically-actuated probe-storage device

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4418439A1 (de) * 1993-05-27 1994-12-01 Hitachi Ltd Rasterelektronenmikroskop
EP0734017A1 (de) * 1995-03-20 1996-09-25 Hewlett-Packard Company Speichervorrichtung
DE4335082C2 (de) * 1992-10-14 1996-10-24 Pioneer Electronic Corp Informationsaufzeichnungsgerät
US5838521A (en) * 1995-04-17 1998-11-17 Read-Rite Corporation Magnetoresistive transducer having laminated magnetic shields

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3351731A (en) * 1962-10-23 1967-11-07 Jeol Ltd Method and apparatus for treating material with a charged beam
US4268750A (en) * 1979-03-22 1981-05-19 The University Of Texas System Realtime radiation exposure monitor and control apparatus
JP2739485B2 (ja) * 1988-11-05 1998-04-15 セイコーインスツルメンツ株式会社 走査型電子線装置
US5185530A (en) * 1990-11-05 1993-02-09 Jeol Ltd. Electron beam instrument
US6402692B1 (en) * 2000-09-19 2002-06-11 Hewlett-Packard Co. Apparatus and method for detecting and storing information relating to an animal

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4335082C2 (de) * 1992-10-14 1996-10-24 Pioneer Electronic Corp Informationsaufzeichnungsgerät
DE4418439A1 (de) * 1993-05-27 1994-12-01 Hitachi Ltd Rasterelektronenmikroskop
EP0734017A1 (de) * 1995-03-20 1996-09-25 Hewlett-Packard Company Speichervorrichtung
US5838521A (en) * 1995-04-17 1998-11-17 Read-Rite Corporation Magnetoresistive transducer having laminated magnetic shields

Also Published As

Publication number Publication date
JP3866124B2 (ja) 2007-01-10
FR2822579B1 (fr) 2005-11-11
TW565831B (en) 2003-12-11
JP2002324341A (ja) 2002-11-08
US20020135917A1 (en) 2002-09-26
FR2822579A1 (fr) 2002-09-27
DE10212631A1 (de) 2002-10-02
US6704267B2 (en) 2004-03-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE10212631B4 (de) Speicherungssysteme mit atomarer Auflösung mit verbessertem Magnetfeldschutz
DE2621790C2 (de)
EP0674770B1 (de) Magnetowiderstands-sensor mit verkürzten messschichten
DE69835410T2 (de) Magnetoresistiver Lesekopf mit abgeschirmtem magnetischem Tunnelübergang
DE69125669T2 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Informationsverarbeitung
EP0674769B1 (de) Magnetowiderstands-sensor mit künstlichem antiferromagneten und verfahren zu seiner herstellung
DE69117634T2 (de) Magnetkopf mit dem Effekt der Widerstandsänderung im Magnetfeld
DE69823578T2 (de) Sonde für ein Magnetkraftmikroskop
DE69523348T2 (de) Magnetischer Sensor mit einem Bauteil mit anisotroper Kontur
DE69218711T2 (de) Magnetowiderstandseffekt-Dünnfilmmagnetkopf
DE102018113641A1 (de) Magnetsensor und Kameramodul
DE19807361A1 (de) Abschirmung gegen magnetische Streustrahlung für einen nichtflüchtigen MRAM
DE69319933T2 (de) Methode und gerät zur wiedergewinnung digitaler daten von einem magnetischen speichermedium
DE112007003025T5 (de) Magnetsensor und Magnetkodierer, der ihn nutzt
DE4232244C2 (de) Magnetowiderstands-Sensor
EP0028585B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Korpuskularbestrahlung
WO2000072387A1 (de) Magnetische koppeleinrichtung und deren verwendung
DE60023835T2 (de) Magnetwiderstandssensor oder speicherelement mit vermindertem magnetischen schaltfeld
EP1576381A1 (de) Magnetoresistives schichtsystem und sensorelement mit diesem schichtsystem
DE69510210T2 (de) Verfahren und gerät zum speichern von spinpolarisierte elektronen gebrauchenden daten
DE69723963T2 (de) Seitliche magento-elektronische vorrichtung unter ausnutzung eines quasi zwei-dimensionalen elektrogases
DE69123656T2 (de) Gerät zum Auslesen und/oder Eingeben von Information
DE69032306T2 (de) Magneto-optischer Wiedergabekopf mit hoher Auflösung
DE69311051T2 (de) Transmissions-Elektronen-Mikroskop und dessen Anwendung
DE102021203973A1 (de) Magnetische Positionsmesseinrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8125 Change of the main classification

Ipc: G11C 11/00

8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: HEWLETT-PACKARD DEVELOPMENT CO., L.P., HOUSTON, TE

R020 Patent grant now final

Effective date: 20110917

R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee

Effective date: 20111001