DE102014007522A1

DE102014007522A1 - Carrier arrangement for an evaporator source

Info

Publication number: DE102014007522A1
Application number: DE102014007522.2A
Authority: DE
Inventors: Georg Voorwinden; Erwin Gross; Ulrich Englert; Armin Sorg; Axel Straub; Philipp von Bismarck; Michael Pisch; Lioudmila Knoth; Alexander Marienfeld
Original assignee: Zentrum fuer Sonnenenergie und Wasserstoff Forschung Baden Wuerttemberg; Manz AG
Current assignee: Zentrum fur Sonnenenergie- und Wasserstoff-Fo De; NICE Solar Energy GmbH
Priority date: 2014-05-23
Filing date: 2014-05-23
Publication date: 2015-11-26
Also published as: CN109609904A; CN106414790B; WO2015177219A1; CN106414790A

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine selbsttragende Trägeranordnung für eine Verdampferquelle (10) zur Oberflächenbehandlung zumindest eines Substrates, wobei die Trägeranordnung einen Boden (82) und eine mit dem Boden (82) verbundene Seitenwandstruktur (84) aufweist, wobei der Boden (82) und die Seitenwandstruktur (84) eine Aufnahme (85) bilden, in welche die Verdampferquelle (10) einsetzbar ist und wobei der Boden (82) und die Seitenwandstruktur (84) aus einem Graphitfaserwerkstoff gebildet sind. Des Weiteren betrifft die Erfindung eine Verdampferanordnung mit einer solchen Trägeranordnung und einer darin angeordneten Verdampferquelle (10).The present invention relates to a self-supporting carrier arrangement for an evaporator source (10) for surface treatment of at least one substrate, the carrier arrangement having a bottom (82) and a side wall structure (84) connected to the bottom (82), the bottom (82) and the Sidewall structure (84) form a receptacle (85) into which the evaporator source (10) is insertable and wherein the bottom (82) and the side wall structure (84) are formed of a graphite fiber material. Furthermore, the invention relates to an evaporator arrangement with such a carrier arrangement and an evaporator source (10) arranged therein.

Description

Technisches GebietTechnical area

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Trägeranordnung für eine Verdampferquelle für die Oberflächenbehandlung zumindest eines Substrats. Die Verdampferquelle ist insbesondere zum Verdampfen von Metallen, wie zum Beispiel Kupfer ausgebildet und ist für einen Oberflächenbeschichtungsprozess eines oder mehrerer Substrate ausgelegt. Des Weiteren betrifft die Erfindung eine Verdampferanordnung, die eine Trägeranordnung und eine hierin angeordnete Verdampferquelle aufweist.The present invention relates to a carrier arrangement for an evaporator source for the surface treatment of at least one substrate. The evaporator source is designed in particular for evaporating metals, such as copper, and is designed for a surface coating process of one or more substrates. Furthermore, the invention relates to an evaporator assembly having a carrier assembly and an evaporator source disposed therein.

Hintergrundbackground

Thermische Verdampfungsquellen zur Bereitstellung dampfförmiger Materie etwa in einem Oberflächenbeschichtungs- oder Oberflächenbehandlungsprozess sind aus dem Stand der Technik in vielfältigsten Ausgestaltungen bekannt. So zeigt die US 2010/0285218 A1 beispielsweise einen Verdampfer mit einem mehrere Tiegel aufnehmenden Gehäuse, welches mit einem mehrere Ausströmdüsen aufweisenden Dampfverteiler in Strömungsverbindung steht. In konstruktiver Hinsicht muss hierbei eine die Tiegel aufnehmende Gehäuseeinheit mit zum Beispiel einem längserstreckten Dampfverteiler verbunden werden.Thermal vaporization sources for providing vaporous matter, such as in a surface coating or surface treatment process, are known in the art in a variety of configurations. That's how it shows US 2010/0285218 A1 For example, an evaporator with a multi-pot housing receiving, which communicates with a plurality of exhaust nozzles having vapor distributor in flow communication. In terms of design, a housing unit receiving the crucible must be connected to, for example, an elongated steam distributor.

Es ist hierbei zu gewährleisten, dass eine sich vom Tiegel bis zu den einzelnen Ausströmdüsen erstreckende Ausströmstrecke ausreichend beheizt ist, damit der von den Tiegeln austretende Dampf nicht an der Innenwand des Tiegelgehäuses oder des Dampfverteilergehäuses kondensiert, wodurch das Ausströmverhalten beeinträchtigt werden könnte. Für die Verdampfung von bestimmten Metallen, wie zum Beispiel Kupfer, mit einem vergleichsweise hohen Siedepunkt oberhalb von 2000°C unter Normalbedingungen, erweist es sich als schwierig, eine Verdampferquelle zu konstruieren, die über eine möglichst große Fläche eine homogene räumliche Dampfverteilung bereitstellt. Das Material für die Verdampferquelle muss hochtemperaturbeständig sein und eine geeignete thermische Leitfähigkeit aufweisen. Zudem gilt es, etwaige thermische Brücken innerhalb der Konstruktion der Verdampferquelle möglichst zu vermeiden und insoweit Verbindungs- oder Schnittstellen zwischen einzelnen Abschnitten oder Bereichen der Verdampferquelle zu minimieren.It is hereby to ensure that an outflow path extending from the crucible to the individual discharge nozzles is sufficiently heated so that the steam exiting from the crucibles does not condense on the inner wall of the crucible housing or of the steam distributor housing, whereby the outflow behavior could be impaired. For the evaporation of certain metals, such as copper, with a comparatively high boiling point above 2000 ° C under normal conditions, it is difficult to construct an evaporator source which provides a homogeneous spatial vapor distribution over as large an area as possible. The material for the evaporator source must be high temperature resistant and have a suitable thermal conductivity. In addition, it is necessary to avoid possible thermal bridges within the construction of the evaporator source as much as possible and to minimize connections or interfaces between individual sections or regions of the evaporator source.

Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine möglichst gute und einfache thermisch entkoppelnde Anordnung einer Verdampferquelle in einem Prozessraum für einen Oberflächenbehandlungsprozess bereitzustellen. Zudem soll die Verdampferquelle, ggf. auch ein mit ihr strömungstechnische gekoppelter Dampfverteiler mit möglichst geringem apparativem Aufwand im Prozessraum anordenbar sowie gegen mechanische Beanspruchungen, insbesondere gegen Stöße, Vibrationen oder Schwingungen geschützt sein.It is therefore an object of the present invention to provide a very good and simple thermally decoupled arrangement of an evaporator source in a process space for a surface treatment process. In addition, the evaporator source, possibly also a fluidic with her coupled steam distributor with the least possible expenditure on equipment in the process chamber can be arranged and protected against mechanical stresses, in particular against shocks, vibrations or vibrations.

Erfindung und vorteilhafte AusgestaltungenInvention and advantageous embodiments

Diese Aufgabe wird mit einer selbsttragenden Trägeranordnung für eine Verdampferquelle gemäß Patentanspruch 1 sowie mit einer Verdampferanordnung gemäß Patentanspruch 9 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind hierbei jeweils Gegenstand abhängiger Patentansprüche.This object is achieved with a self-supporting support arrangement for an evaporator source according to claim 1 and with an evaporator arrangement according to claim 9. Advantageous embodiments are in each case the subject of dependent claims.

In einem ersten Aspekt ist insoweit eine selbsttragende Trägeranordnung oder Tragstruktur für eine Verdampferquelle vorgesehen, welche Verdampferquelle insbesondere zur Oberflächenbehandlung zumindest eines Substrats ausgebildet ist. Die Trägeranordnung weist einen Boden und eine mit dem Boden verbundene Seitenwandstruktur auf. Der Boden und die Seitenwandstruktur bilden dabei eine Aufnahme, in welche die Verdampferquelle einsetzbar bzw. in welcher die Verdampferquelle aufnehmbar ist. Der Boden und die Seitenwandstruktur sind ferner aus einem Graphitfaserwerkstoff gebildet.In a first aspect, a self-supporting carrier arrangement or support structure for an evaporator source is provided insofar as the evaporator source is designed in particular for the surface treatment of at least one substrate. The carrier assembly has a bottom and a sidewall structure connected to the bottom. The bottom and the side wall structure form a receptacle into which the evaporator source can be inserted or in which the evaporator source can be received. The bottom and the sidewall structure are further formed of a graphite fiber material.

Die Trägeranordnung bzw. die Tragstruktur für die Verdampferquelle ermöglicht ein Aufstellen der Verdampferquelle auf dem Boden der Trägeranordnung. Der Boden stellt insoweit eine Aufstandsfläche für die Verdampferquelle bereit. Die Gewichtskraft der Verdampferquelle kann somit vollständig vom Boden aufgenommen und in die hiermit verbundene Seitenwandstruktur übertragen werden. Dies ermöglicht es, eine hängende Anordnung für die Verdampferquelle bereitzustellen, ohne an der Verdampferquelle etwaige Befestigungsmittel für eine hängende Anordnung anbringen zu müssen. Anstelle dessen kann durch Positionieren der Verdampferquelle in der Aufnahme der Trägeranordnung eine hängende Aufnahme für die Verdampferquelle realisiert werden, bei welcher etwaige Befestigungsmittel nicht an der Verdampferquelle selbst, sondern an der Trägeranordnung, insbesondere an einem oberen, dem Boden abgewandten Abschnitt der Seitenwandstruktur angeordnet oder angebracht sind.The carrier arrangement or the support structure for the evaporator source allows the evaporator source to be set up on the floor of the carrier arrangement. The soil provides so far a footprint for the evaporator source ready. The weight of the evaporator source can thus be completely absorbed by the ground and transferred to the sidewall structure connected thereto. This makes it possible to provide a hanging arrangement for the evaporator source without having to attach any fastening means for a hanging arrangement to the evaporator source. Instead, by positioning the evaporator source in the receptacle of the carrier assembly, a hanging receptacle for the evaporator source can be realized in which any fastener is not disposed or attached to the evaporator source itself, but to the support assembly, particularly at an upper, secant portion of the sidewall structure are.

Zudem kann die Trägeranordnung eine mechanische Schutzfunktion für die Verdampferquelle bereitstellen. Insbesondere wenn die Verdampferquelle zum Beispiel ein monolithisches Graphitgehäuse aufweist, kann die Verdampferquelle vergleichsweise stoßempfindlich sein. Durch Einsetzen der gesamten Verdampferquelle in der von Boden und Seitenwandstruktur gebildeten Aufnahme kann die Verdampferquelle weitreichend gegen äußere Einflüsse, insbesondere gegen mechanische Beanspruchungen wie z. B. Stöße und Vibrationen geschützt werden.In addition, the carrier arrangement can provide a mechanical protection function for the evaporator source. In particular, if the evaporator source has, for example, a monolithic graphite housing, the evaporator source can be comparatively shock-sensitive. By inserting the entire evaporator source in the recording formed by the bottom and side wall structure, the evaporator source can be widely used against external influences, especially against mechanical stresses such. B. shocks and vibrations are protected.

Die Ausgestaltung von Boden und Seitenwandstruktur aus einem Graphitfaserwerkstoff ist hinsichtlich der thermischen Belastbarkeit der Trägeranordnung, aber auch aus Gewichts- und Stabilitätsgründen von Vorteil. The design of the bottom and side wall structure of a graphite fiber material is in terms of thermal stability of the support assembly, but also for reasons of weight and stability advantageous.

Nach einer Weiterbildung weist der Boden der Trägeranordnung eine Durchgangsöffnung auf, durch welche eine strömungstechnische Verbindung zwischen der in der Aufnahme der Trägeranordnung angeordneten Verdampferquelle und einem außerhalb der Trägeranordnung vorzusehenden Dampfverteiler hindurchführbar ist. Die Durchgangsöffnung ist insbesondere zentrisch bzw. in einem zentralen oder mittigen Bereich des Bodens ausgebildet.According to a development, the base of the carrier arrangement has a through opening, through which a fluidic connection between the evaporator source arranged in the receptacle of the carrier arrangement and a steam distributor to be provided outside the carrier arrangement can be passed. The passage opening is in particular formed centrally or in a central or central region of the floor.

Über die durch die Durchgangsöffnung hindurchragende strömungstechnische Verbindung zwischen Verdampferquelle und Dampfverteiler kann auch eine, ggf. sogar die einzige mechanische Verbindung von Verdampferquelle und Dampfverteiler verwirklicht werden. Die im Boden der Trägeranordnung vorgesehene Durchgangsöffnung ermöglicht sowohl eine strömungstechnische als auch eine mechanische, lastübertragende Kopplung zwischen der Verdampferquelle und dem Dampfverteiler.About the through-hole projecting through the fluidic connection between the evaporator source and steam distributor can also one, possibly even the only mechanical connection of the evaporator source and steam distributor can be realized. The passage opening provided in the base of the carrier arrangement permits both a fluidic and a mechanical, load-transmitting coupling between the evaporator source and the steam distributor.

Die Durchgangsöffnung grenzt hierbei nicht an die Seitenwandstruktur an, sondern befindet sich vollständig im Boden der Trägeranordnung. Da sowohl die Verdampferquelle als auch der Dampfverteiler eine geometrische Ausdehnung aufweisen, die größer ist als die Durchgangsöffnung des Bodens, ist es in montagetechnischer Hinsicht von Vorteil, wenn eine mechanische und strömungstechnische Verbindung von Verdampferquelle und Dampfverteiler erst gebildet wird, wenn sich zumindest die Verdampferquelle bereits in der Aufnahme der Trägeranordnung befindet.The passage opening is not adjacent to the side wall structure, but is located completely in the bottom of the carrier arrangement. Since both the evaporator source and the steam distributor have a geometric extension which is greater than the passage opening of the bottom, it is advantageous in terms of assembly technology, if a mechanical and fluidic connection of the evaporator source and steam distributor is formed only when at least the evaporator source already located in the receptacle of the carrier assembly.

Nach einer weiteren Ausgestaltung ist zumindest einer von Boden und Seitenwandstruktur der selbsttragenden Trägeranordnung aus einem karbonfaserverstärkten Verbundmaterial gefertigt. Derartige Verbundmaterialien weisen einzelne Karbon- oder Graphitfasern auf, die typischerweise in eine Matrix aus einem weiteren Material, etwa einem temperaturbeständigen Material oder Materialgemisch eingebettet sind.According to a further embodiment, at least one of the bottom and side wall structure of the self-supporting support structure is made of a carbon fiber reinforced composite material. Such composites include individual carbon or graphite fibers, typically embedded in a matrix of another material, such as a temperature-resistant material or mixture of materials.

Von Vorteil ist nach einer weiteren Ausgestaltung vorgesehen, dass zumindest einer von Boden und Seitenwandstruktur aus einem CFC-Verbundmaterial, nämlich einem kohlenstofffaserverstärktem Kohlenstoff gefertigt ist. Insoweit kann der Boden und/oder zumindest ein Bereich der Seitenwandstruktur aus einem CFC-Verbundmaterial bestehen. CFC-Verbundmaterialien oder CFC-Werkstoffe bestehen aus Kohlenstoff- oder Graphitfasern, die in einer Matrix aus reinem Kohlenstoff eingebettet sind.It is advantageous according to a further embodiment that at least one of the bottom and side wall structure of a CFC composite material, namely a carbon fiber reinforced carbon is made. In that regard, the bottom and / or at least a portion of the sidewall structure may be made of a CFC composite material. CFC composites or CFC materials are made of carbon or graphite fibers embedded in a matrix of pure carbon.

Die Fasern verleihen dem Verbundwerkstoff eine hohe mechanische Stabilität, während die Matrix aus Kohlenstoff von außen einwirkende Kräfte aufnehmen und im Gefüge verteilen kann. CFC-Verbundmaterialien sind extrem temperaturbeständig als auch temperaturschockbeständig. Ferner können solche Verbundmaterialien mechanische Belastungen aufnehmen, sodass die in der Trägeranordnung angeordnete Verdampferquelle weitreichend gegen extern einwirkenden mechanische Einflüsse, etwa gegen Stöße und Vibrationen, wirksam geschützt werden kann.The fibers give the composite a high mechanical stability, while the matrix of carbon from outside acting forces can absorb and distribute in the structure. CFC composites are extremely temperature resistant as well as temperature shock resistant. Furthermore, such composite materials can absorb mechanical loads, so that the evaporator source arranged in the carrier arrangement can be effectively protected against externally acting mechanical influences, for example against shocks and vibrations.

Das für die selbsttragende Trägeranordnung vorzusehende CFC-Verbundmaterial als auch eine typischerweise aus Graphit gefertigte oder bestehende Verdampferquelle sind hochtemperaturbeständig, sodass mit einer derartigen Verdampferquelle bzw. einer entsprechenden Verdampferanordnung Metalldämpfe, wie zum Beispiel auch Kupferdämpfe, für einen Oberflächenbehandlungsprozess von Substraten erzeugt werden können. Das Material soll ferner eine für den jeweiligen Einsatz- und Verwendungszweck geeignete thermische Leitfähigkeit aufweisen.The CFC composite material to be provided for the self-supporting carrier arrangement as well as an evaporator source typically made of graphite are resistant to high temperatures, so that with such an evaporator source or a corresponding evaporator arrangement metal vapors, such as copper vapors for a surface treatment process of substrates can be produced. The material should also have a suitable for the particular application and use thermal conductivity.

Nach einer weiteren Ausgestaltung weist der Boden die Form einer ebenen rechteckigen Bodenplatte auf. Die Seitenwandstruktur ist dabei mit den Seitenrändern des Bodens verbunden. Typischerweise weist die Seitenwandstruktur der Geometrie der Bodenplatte entsprechende Seitenwandplatten auf. Bei einer rechteckigen Ausgestaltung der Bodenplatte sind insbesondere vier Seitenwandplatten vorgesehen, welche paarweise, insbesondere in Montageposition gegenüberliegend, in etwa ähnliche oder sogar identische Geometrien aufweisen können. Auch die Seitenwandplatten können eine im Wesentlichen rechteckige Geometrie aufweisen. Durch ihre Verbindung mit den Seitenrändern der Bodenplatte kann eine lastübertragende Verbindung zwischen Bodenplatte und Seitenwandstruktur gebildet werden, sodass die von der in der Aufnahme angeordneten Quelle auf die Bodenplatte übertragene Gewichtskraft an die Seitenwandplatten und somit an die Seitenwandstruktur abgeleitet werden können.According to a further embodiment, the bottom has the shape of a flat rectangular bottom plate. The side wall structure is connected to the side edges of the soil. Typically, the sidewall structure of the geometry of the bottom panel has corresponding sidewall panels. In a rectangular embodiment of the bottom plate, in particular four side wall plates are provided, which in pairs, in particular in the assembly position opposite, can have approximately similar or even identical geometries. The side wall panels may also have a substantially rectangular geometry. By their connection to the side edges of the bottom plate, a load transferring connection between bottom plate and side wall structure can be formed so that the weight force transferred from the source located in the receptacle to the bottom plate can be dissipated to the side wall plates and thus to the side wall structure.

Es ist ferner denkbar, dass auch die Seitenwandplatten nicht nur jeweils mit der Bodenplatte, sondern auch untereinander miteinander verbunden sind. Dies betrifft insbesondere die in Umfangsrichtung der Seitenwandstruktur aneinander angrenzenden Seitenwandplatten.It is also conceivable that the side wall panels are not only connected to each other with the bottom plate, but also with each other. This relates in particular to the side wall panels adjoining one another in the circumferential direction of the side wall structure.

Typischerweise sind die Bodenplatte und sämtliche Seitenwandplatten aus ein und demselben Material, insbesondere einem CFC-Verbundmaterial gefertigt.Typically, the bottom plate and all sidewall plates are made of one and the same material, in particular a CFC composite material.

Nach einer weiteren Ausgestaltung sind am Boden und an der Seitenwandstruktur miteinander korrespondierende und miteinander in Eingriff bringbare sowie voneinander beabstandete Fortsätze und Durchgänge ausgebildet. Mittels Fortsätzen und Durchgängen ist der Boden über eine Steckverbindung mit der Seitenwandstruktur verbindbar. Ferner können auch einzelne und aneinander angrenzende Seitenwandplatten der Seitenwandstruktur über eine entsprechende Steckverbindung miteinander verbunden sein.According to a further embodiment are on the ground and on the side wall structure formed mutually corresponding and engageable with each other and spaced apart extensions and passages. By means of extensions and passages, the floor can be connected to the side wall structure via a plug connection. Furthermore, individual and adjoining side wall panels of the side wall structure can be connected to one another via a corresponding plug connection.

So weist beispielsweise die Bodenplatte entlang zumindest eines Seitenrandes nach außen, etwa senkrecht zur Randerstreckung ragende, aber in Fortsetzung der Bodenebene liegende Fortsätze auf. Die mit jenem Seitenrand verbindbare Seitenwandplatte der Seitenwandstruktur weist entsprechend der Position und der Geometrie der Fortsätze jeweils einzelne Durchgänge auf, in welche die Fortsätze einsteckbar sind.Thus, for example, the bottom plate along at least one side edge to the outside, approximately perpendicular to the ridge extension projecting, but lying in continuation of the ground plane extensions on. The connectable to that side edge side wall plate of the side wall structure has according to the position and the geometry of the extensions each have individual passages, in which the extensions are inserted.

Auch können jene Fortsätze die Durchgänge der Seitenwandstruktur vollständig durchsetzen, sodass sie an der Außenseite der Seitenwandstruktur bzw. der jeweiligen Seitenwandplatte hervorstehen. Das vollständige Durchsetzen der Durchgänge mit Fortsätzen ermöglicht es ferner, ein oder mehrere Sicherungsmittel vorzusehen. Weisen die Fortsätze beispielsweise eine Öse oder eine Durchgangsöffnung auf, die in Endmontageposition an der Außenseite der Seitenwandstruktur zu liegen kommt, so können zum Beispiel einzelne Befestigungsbolzen, typischerweise aus einem hochtemperaturbeständigen Material, wie zum Beispiel Graphit oder aus einem CFC-Verbundwerkmaterial in jene Durchgangsöffnungen oder Ösen eingesetzt werden. Ein Zurückziehen der Fortsätze durch die Durchgänge kann hierdurch verhindert werden und ein selbsttätiges Lösen des Bodens von der Seitenwandstruktur kann auf diese Art und Weise effektiv verhindert werden.Also, those extensions can completely pass through the passages of the sidewall structure so that they protrude on the outside of the sidewall structure or the respective sidewall plate. Full penetration of the passageways with extensions also makes it possible to provide one or more securing means. For example, if the extensions have an eyelet or through-hole that comes to rest on the outside of the sidewall structure in the final assembly position, then individual mounting bolts, typically of a high temperature resistant material such as graphite or CFC composite material, may be inserted into those through holes Eyelets are used. Retraction of the projections through the passages can thereby be prevented and an automatic release of the bottom of the side wall structure can be effectively prevented in this way.

Miteinander korrespondierende Fortsätze und Durchgänge können beliebig an aneinander angrenzenden Seitenrändern von Boden und Seitenwandplatten der Seitenwandstruktur vorgesehen bzw. ausgebildet sein. Es ist insbesondere denkbar, dass etwa bei einer rechteckigen Ausgestaltung der Bodenplatte, lediglich zwei Seitenwandplatten, die sich entlang der Längsseiten der Bodenplatte erstrecken, jeweils mit der Bodenplatte verbunden sind, während stirnwandseitige Wandplatten, die sich entlang der kurzen Seitenränder der Bodenplatte erstrecken, lediglich mit den längeren Seitenwandplatten verbunden sind. Dies kann sich in montagetechnischer Hinsicht als vorteilhaft erweisen. So können zum Beispiel die eine Stirnwand bildenden Seitenwandplatten der Seitenwandstruktur nach außen abragende Fortsätze aufweisen, die in entsprechende Durchgänge der mit der Bodenplatte verbindbaren längeren Seitenwandplatten einsteckbar sind.Mutually corresponding extensions and passages may be provided or formed as desired on adjoining side edges of the bottom and side wall panels of the side wall structure. It is particularly conceivable that approximately in a rectangular configuration of the bottom plate, only two side wall panels extending along the longitudinal sides of the bottom plate are each connected to the bottom plate, while end wall side wall plates extending along the short side edges of the bottom plate, only with the longer side wall panels are connected. This may prove to be advantageous from a montagetechnical point of view. Thus, for example, the side wall structure forming an end wall of the side wall structure may have outwardly projecting extensions which can be inserted into corresponding passages of the longer side wall plates which can be connected to the bottom plate.

Die mittels Fortsätzen und Durchgängen realisierbare Steckverbindung von ebener Bodenplatte und ebenen Seitenwandplatten ermöglicht eine werkzeugfreie Montage sowie Demontage der gesamten Trägeranordnung. Die die Steckverbindung bildenden Fortsätze und Durchgänge sind jeweils sowohl in die Bodenplatte als auch in die Seitenwandplatten integriert. Zur wechselseitigen Befestigung von Bodenplatte und Seitenwandplatten sind keine gesonderten Fixier- oder Befestigungsmittel erforderlich. Die Bauteilanzahl zur Bildung der Trägeranordnung kann insoweit reduziert werden, was sich vorteilhaft auf die thermischen Eigenschaften der Trägeranordnung auswirken kann.The realizable by means of extensions and passages plug connection of flat bottom plate and flat side wall plates allows a tool-free installation and disassembly of the entire carrier assembly. The projections and passages forming the plug-in connection are respectively integrated in the base plate and in the side wall plates. For mutual attachment of base plate and side wall panels no separate fixing or fastening means are required. The number of components for forming the carrier arrangement can be reduced insofar, which can have an advantageous effect on the thermal properties of the carrier arrangement.

Nach einer weiteren Ausgestaltung weist die Seitenwandstruktur zumindest zwei nach außen und/oder nach oben von der Seitenwandstruktur abragende Halteabschnitte für eine aufhängende Anordnung der Trägeranordnung auf. Die Halteabschnitte können sich typischerweise in der Ebene einer oder mehrerer Seitenwandplatten erstrecken. Auch können die Halteabschnitte mit Durchgangsöffnungen versehen sein, die als eine Art Befestigungsöse fungieren können. An jenen Halteabschnitten, insbesondere an deren Durchgangsöffnungen, können zum Beispiel gesonderte Halterungen befestigt werden, die zum Beispiel schwenkbar an den Halteabschnitten anordenbar sind. Alternativ wäre sogar die Anordnung von geeigneten Schlaufen an den Halteabschnitten denkbar.According to a further embodiment, the side wall structure has at least two holding sections projecting outwardly and / or upwardly from the side wall structure for a suspended arrangement of the carrier arrangement. The retention portions may typically extend in the plane of one or more sidewall panels. Also, the holding portions may be provided with through holes, which may act as a kind of fastening loop. At those holding portions, in particular at the through-openings, for example, separate holders can be attached, which can be arranged, for example, pivotally on the holding portions. Alternatively, even the arrangement of suitable loops on the holding sections would be conceivable.

Die Halteabschnitte können insbesondere an einer der Bodenplatte abgewandten Oberseite der Seitenwandstruktur angeordnet sein, sodass eine hängende Anordnung der gesamten selbsttragenden Trägeranordnung mitsamt der darin befindlichen Verdampferquelle in einem Prozessraum, etwa einer Beschichtungsvorrichtung, problemlos möglich ist.The holding sections may in particular be arranged on an upper side of the side wall structure facing away from the bottom plate, so that a suspended arrangement of the entire self-supporting carrier arrangement together with the evaporator source located therein in a process space, for example a coating device, is possible without difficulty.

Nach einer weiteren Ausgestaltung weist die Seitenwandstruktur zumindest eine Durchgangsöffnung zum Hindurchführen eines von der Verdampferquelle abnehmbaren Verschlussdeckels auf. Der Verschlussdeckel der Verdampferquelle verschließt typischerweise eine Zuführöffnung der Verdampferquelle, über welche zumindest ein Verdampfungsgutbehälter aus einem Dampfraum der Verdampferquelle entnommen und nach einer Befüllung wieder eingeführt werden kann.According to a further embodiment, the side wall structure has at least one passage opening for passing a closure lid which can be removed from the evaporator source. The closure lid of the evaporator source typically closes a feed opening of the evaporator source, via which at least one Evampfungsgutbehälter can be removed from a vapor space of the evaporator source and reintroduced after filling.

Dadurch, dass die Seitenwandstruktur eine hinreichend große Durchgangsöffnung für den Verschlussdeckel der Verdampferquelle aufweist, kann der zum Beispiel in einer Stirnfläche des Verdampferquellengehäuses befindliche Verschlussdeckel, welcher bei einer in der Aufnahme befindlichen Verdampferquelle der Seitenwandstruktur unmittelbar zugewandt ist, auch ohne Herausnehmen der gesamten Verdampferquelle aus der Aufnahme der Trägeranordnung zugänglich gemacht werden.Due to the fact that the side wall structure has a sufficiently large passage opening for the closure lid of the evaporator source, the closure lid located, for example, in an end face of the evaporator source housing, which directly faces the side wall structure when the evaporator source is in the receptacle, can also be removed without removing the entire evaporator source can be made accessible from the recording of the carrier assembly.

Es ist insbesondere denkbar, dass mehrere Seitenwandplatten der Seitenwandstruktur eine Durchgangsöffnung zum Hindurchführen jeweils eines Verschlussdeckels der Verdampferquelle aufweisen. Ist die Verdampferquelle zum Beispiel zylindrisch ausgestaltet, sodass sie mit ihrer Zylindermantelfläche auf dem Boden der Trägeranordnung weitgehend aufliegt, können Zuführöffnungen etwa an gegenüberliegenden Stirnflächen der Verdampferquelle vorgesehen sein. Da die Trägeranordnung mit ihrem Boden und ihrer Seitenwandstruktur typischerweise an die Außengeometrie der Verdampferquelle angepasst ist, kann durch Vorsehen einer Durchgangsöffnung in einer der Stirnwand der Verdampferquelle zugewandten Seitenwandplatte der Trägeranordnung eine unmittelbare Zugangsmöglichkeit zum abnehmbaren Verschlussdeckel der Verdampferquelle bereitgestellt werden.In particular, it is conceivable that a plurality of side wall panels of the side wall structure have a through opening for passing in each case a closure lid of the evaporator source. If, for example, the evaporator source is of cylindrical design, so that it largely rests with its cylinder jacket surface on the bottom of the carrier arrangement, feed openings can be provided approximately at opposite end faces of the evaporator source. Since the support structure with its bottom and its sidewall structure is typically adapted to the external geometry of the evaporator source, by providing a passage opening in a sidewall plate of the support assembly facing the end wall of the evaporator source, an immediate access to the removable closure lid of the evaporator source can be provided.

In einem weiteren Aspekt ist schließlich eine Verdampferanordnung mit einer zuvor beschriebenen Trägeranordnung sowie mit einem Dampfverteiler und einer Verdampferquelle vorgesehen. Die Verdampferquelle ist hierbei in der Aufnahme der Trägeranordnung angeordnet und steht ferner über die im Boden der Trägeranordnung ausgebildete Durchgangsöffnung mit dem Dampfverteiler in Strömungsverbindung. Über die Durchgangsöffnung ist der Dampfverteiler nicht nur strömungstechnisch, sondern auch mechanisch mit der Verdampferquelle verbunden.In a further aspect, finally, an evaporator arrangement with a previously described carrier arrangement and with a steam distributor and an evaporator source is provided. The evaporator source is in this case arranged in the receptacle of the carrier arrangement and is also in fluid communication with the steam distributor via the passage opening formed in the bottom of the carrier arrangement. About the passage opening of the steam distributor is not only fluidically, but also mechanically connected to the evaporator source.

Insbesondere kann vorgesehen sein, den Dampfverteiler außerhalb und unterhalb des Bodens der Trägeranordnung vorzusehen, wobei der Dampfverteiler ausschließlich durch die Durchgangsöffnung des Bodens hindurch mit der Verdampferquelle mechanisch verbunden ist. Die Gewichtskraft des Dampfverteilers kann insoweit vollständig auf die Verdampferquelle übertragen werden und die Verdampferquelle kann durch ihre Positionierung auf dem Boden der Trägeranordnung die gemeinsame Gewichtskraft von Verdampferquelle und Dampfverteiler an die Trägeranordnung übertragen.In particular, it can be provided to provide the steam distributor outside and below the bottom of the carrier arrangement, wherein the steam distributor is mechanically connected exclusively through the passage opening of the bottom through to the evaporator source. The weight of the steam distributor can in this respect be completely transferred to the evaporator source and the evaporator source can transmit by their positioning on the bottom of the carrier assembly, the common weight of the evaporator source and steam distributor to the carrier assembly.

Es ist hierbei von besonderem Vorteil, dass für eine Anordnung des Dampfverteilers an der Trägeranordnung keinerlei gesonderte Befestigungs- oder Verbindungsmittel erforderlich sind. Der Dampfverteiler kann ausschließlich über seine Kopplung mit der Verdampferquelle und durch die Aufnahme der Verdampferquelle in der Trägeranordnung an der Trägeranordnung befestigt sein. Insbesondere wenn die Trägeranordnung hängend im Prozessraum montiert ist, kann der Bereich unterhalb des Dampfverteilers vollkommen abschattungsfrei ausgestaltet sein, sodass vergleichsweise großflächige Substrate in geforderter Qualität mit dem aus dem Dampfverteiler austretenden Dampf beaufschlagbar bzw. behandelbar sind.It is of particular advantage that no separate fastening or connecting means are required for an arrangement of the steam distributor to the carrier assembly. The vapor distributor may be attached to the carrier assembly solely by its coupling to the vaporiser source and by the inclusion of the vaporiser source in the carrier assembly. In particular, when the carrier assembly is mounted suspended in the process space, the area below the steam distributor can be designed completely shading free, so that comparatively large-area substrates in required quality can be acted upon or treated with the emerging from the steam distributor steam.

Nach einer weiteren Ausgestaltung steht der Dampfverteiler über einen Verbindungsstutzen der Verdampferquelle in Strömungsverbindung. Die von dem Verbindungsstutzen gebildete strömungstechnische Verbindung zwischen Verdampferquelle und Dampfverteiler erstreckt sich dabei durch die Durchgangsöffnung des Bodens. Es ist hierbei denkbar, dass lediglich einer der beiden Verbindungsstutzen von Dampfverteiler und Verdampferquelle durch die Durchgangsöffnung des Bodens hindurchragt. Auch ist denkbar, dass lediglich der Dampfverteiler oder die Verdampferquelle einen Verbindungsstutzen aufweist, der in einer hiermit korrespondierenden Aufnahme der jeweils anderen Komponente zu liegen kommt.According to a further embodiment, the steam distributor is in flow connection via a connection piece of the evaporator source. The fluidic connection between the evaporator source and the steam distributor formed by the connecting piece extends through the passage opening of the base. It is conceivable here that only one of the two connecting pieces of steam distributor and evaporator source protrudes through the passage opening of the bottom. It is also conceivable that only the steam distributor or the evaporator source has a connection piece, which comes to rest in a corresponding thereto receiving the respective other component.

Weist beispielsweise einzig die Verdampferquelle einen von ihrer Außenwand nach unten ragenden Verbindungsstutzen auf, so kann der Dampfverteiler eine hiermit korrespondierende Aufnahme aufweisen. Umgekehrt ist natürlich auch denkbar, dass der Dampfverteiler einen nach oben, durch die Durchgangsöffnung hindurchragenden Verbindungsstutzen aufweist, der in einer hiermit korrespondierenden Aufnahme der Verdampferquelle einführbar und hiermit strömungstechnisch als auch mechanisch verbindbar ist.If, for example, only the evaporator source has a connecting piece protruding downwards from its outer wall, then the steam distributor can have a receptacle corresponding thereto. Conversely, of course, it is also conceivable that the steam distributor has an upwardly projecting through the through-opening connecting piece, which is insertable in a hereby corresponding recording of the evaporator source and hereby fluidically and mechanically connectable.

Nach einer weiteren Ausgestaltung sind die Zwischenräume zwischen der Trägeranordnung und der Verdampferquelle zumindest partiell mit einer thermischen Isolierung ausgefüllt. Typischerweise sind sämtliche Zwischenräume zwischen der Trägeranordnung und der Verdampferquelle mit einer thermischen Isolierung verfüllt. Entsprechende thermische Isoliermaterialien können hierbei passgenau an die Außengeometrie der Verdampferquelle als auch an die Innengeometrie der Aufnahme der Trägeranordnung angepasst bzw. dementsprechend zugeschnitten sein.According to a further embodiment, the spaces between the carrier assembly and the evaporator source are at least partially filled with a thermal insulation. Typically, all gaps between the carrier assembly and the evaporator source are filled with thermal insulation. Corresponding thermal insulating materials can in this case be adapted to the outer geometry of the evaporator source as well as to the internal geometry of the receptacle of the carrier arrangement, or cut accordingly.

Das Vorsehen einer thermischen Isolierung verringert die thermische Abstrahlung der Verdampferquelle im Prozessraum, die ansonsten den Oberflächenbehandlungsprozess für das Substrate oder für mehrere Substrate beeinträchtigen könnte. Die thermische Isolierung ist typischerweise eigensteif bzw. eigenstabil ausgestaltet. Durch Anordnung der thermischen Isolierung im Zwischenraum zwischen Trägeranordnung und Verdampferquelle, insbesondere durch eine zumindest punktuelle oder nahezu vollflächige Anlagestellung von thermischer Isolierung an der Trägeranordnung einerseits und an der Verdampferquelle andererseits ist eine gesonderte Fixierung und Montage der Isolierung innerhalb der Aufnahme der Trägeranordnung entbehrlich.The provision of thermal insulation reduces the thermal radiation of the evaporator source in the process space, which could otherwise interfere with the surface treatment process for the substrate or for multiple substrates. The thermal insulation is typically made inherently rigid or inherently stable. By arranging the thermal insulation in the intermediate space between the carrier arrangement and the evaporator source, in particular by an at least punctual or nearly full-surface contact position of thermal insulation on the carrier assembly on the one hand and on the evaporator source on the other hand, a separate fixing and mounting of the insulation within the recording of the carrier assembly is unnecessary.

Nach einer weiteren Ausgestaltung kann auch die Außenseite der Trägeranordnung wenigstens abschnittsweise mit einer thermischen Isolierung verkleidet sein. Die thermische Isolierung der gesamten Verdampferanordnung kann hierdurch nochmals verbessert werden. Zudem kann die Wärmeemission der gesamten Verdampferanordnung innerhalb des Prozessraums hierdurch weiter reduziert werden. According to a further embodiment, the outside of the carrier assembly may be at least partially disguised with a thermal insulation. The thermal insulation of the entire evaporator arrangement can thereby be further improved. In addition, the heat emission of the entire evaporator arrangement within the process space can be further reduced thereby.

Nach einer weiteren Ausgestaltung ist zumindest auch eine Außenseite des Dampfverteilers zumindest abschnittsweise mit einer thermischen Isolierung verkleidet. Es kann sogar vorgesehen sein, den gesamten Dampfverteiler vollständig mit einer thermischen Isolierung zu versehen, mithin den Dampfverteiler weitgehend vollständig in eine derartige thermische Isolierung einzubetten. Auf diese Art und Weise kann auch die thermische Emission des Dampfverteilers reduziert werden.According to a further embodiment, at least one outer side of the steam distributor is at least partially lined with a thermal insulation. It may even be provided to provide the entire steam distributor completely with a thermal insulation, thus to embed the steam distributor largely completely in such thermal insulation. In this way, the thermal emission of the steam distributor can be reduced.

Nach einer weiteren Ausgestaltung weist die thermische Isolierung einen Graphitfilz, einen Graphitschaum, einen Quarzfilz, ein oder mehrere Strahlungsbleche oder hieraus gebildete Kombinationen auf. Graphitfilze, insbesondere Graphit-Hartfilze oder Graphit-Weichfilze können zum Beispiel zur Auskleidung oder zum Verfüllen von Zwischenräumen zwischen Verdampferquelle und Trägeranordnung Verwendung finden. Selbst bei einem direkten Kontakt der Verdampferquelle mit der Isolierung ist bei Verwendung von Graphitfilzen, insbesondere von Graphit-Hartfilzen, nach wie vor eine gute thermische Isolierung gegeben. Zudem sind derartige Graphitfilze aufgrund ihrer Eigensteifigkeit oder Eigenstabilität nicht zwingend an der Trägeranordnung oder an der Verdampferquelle zu befestigen. Es kann ausreichend sein, entsprechende zugeschnittene Isolierfilze, Filzlagen oder Filzmatten in den Zwischenräumen zu positionieren.In accordance with a further embodiment, the thermal insulation has a graphite felt, a graphite foam, a quartz felt, one or more radiation sheets or combinations formed therefrom. Graphite felts, in particular graphite hard felts or graphite soft felts, can be used, for example, for lining or filling gaps between the evaporator source and the support arrangement. Even with a direct contact of the evaporator source with the insulation is still given when using graphite felts, especially graphite hard felts, a good thermal insulation. In addition, due to their inherent rigidity or intrinsic stability, such graphite felts are not necessarily to be fastened to the carrier arrangement or to the evaporator source. It may be sufficient to position corresponding cut insulation felts, felt layers or felt mats in the interstices.

Als Strahlungsbleche kommen insbesondere hochtemperaturbeständige Bleche, wie zum Beispiel Bleche aus Molybdän, Tantal oder Wolfram infrage. Typischerweise sind bei Verwendung von Strahlungsblechen Strahlungsblechanordnungen in Sandwichbauweise vorgesehen. Hierbei sind mehrere in einem vorgegebenen Abstand und parallel zueinander angeordnete Strahlungsbleche vorgesehen, an welchen jeweils weitere Isoliermaterialien, wie zum Beispiel Graphitfilz, Graphitschaum oder Quarzfilz angeordnet sind. Strahlungsbleche aus geeigneten Materialien oder Legierungen können die von der Verdampferquelle und/oder von dem Dampfverteiler emittierte Wärmestrahlung reflektieren. Die von einem ersten Strahlungsblech transmittierte Wärmestrahlung kann alsdann von einem zweiten Strahlungsblech der Strahlungsblechanordnung reflektiert werden usw. Typischerweise sind mehrere voneinander beabstandete Lagen von Strahlungsblechen vorgesehen, deren Zwischenräume frei von Füllmaterialien sind. Die Blechlagen sind punktuell oder mittels linienförmigen Abstandshaltern untereinander verbunden. Die Verbindung der Blechlagen ist von Vorteil dergestalt, dass sich die einzelnen Blechlagen unterschiedlich in der jeweiligen Ebene des Strahlungsbleches bewegen, respektive thermisch ausdehnen können. Etwaige Abstandshalter sorgen dann lediglich für eine Fixierung in einer Richtung senkrecht zur Blechebene.In particular, high-temperature-resistant sheets, such as sheets of molybdenum, tantalum or tungsten, are suitable as radiation sheets. Typically, when using radiant panels, radiant panel assemblies are provided in sandwich construction. In this case, a plurality of arranged in a predetermined distance and mutually parallel radiant panels are provided, on which in each case further insulating materials, such as graphite felt, graphite foam or quartz felt are arranged. Radiant sheets of suitable materials or alloys may reflect the thermal radiation emitted by the evaporator source and / or by the steam manifold. The heat radiation transmitted by a first radiation plate can then be reflected by a second radiation plate of the radiation plate arrangement, etc. Typically, a plurality of spaced-apart layers of radiation plates are provided, whose interstices are free of filling materials. The sheet metal layers are selectively or interconnected by means of linear spacers. The connection of the metal layers is advantageous in such a way that the individual sheet metal layers move differently in the respective plane of the radiant panel, or can thermally expand. Any spacers then provide only for a fixation in a direction perpendicular to the sheet plane.

Nach einer weiteren Ausgestaltung ist der Dampfverteiler zumindest abschnittsweise wenigstens partiell von einer Einhausung mit einem Boden, einer Decke und Seitenwänden umschlossen. Die Einhausung kann ähnlich wie auch die Trägeranordnung einzelne Platten, etwa eine Bodenplatte, Seitenwandplatten und eine Deckenplatte aufweisen, die jeweils aus einem karbonfaserverstärktem Verbundmaterial, insbesondere aus CFC-Verbundmaterial, gefertigt sein können.According to a further embodiment of the steam distributor is at least partially at least partially enclosed by an enclosure with a floor, a ceiling and side walls. The enclosure, similar to the support structure, may comprise individual panels, such as a floor panel, sidewall panels, and a ceiling panel, each of which may be made of a carbon fiber reinforced composite material, particularly CFC composite material.

Die Einhausung kann insbesondere derart groß bemessen sein, dass zwischen Einhausung und einer Außenseite des Dampfverteilers eine thermische Isolierung anordenbar ist. Die thermische Isolierung kann insbesondere hinreichend druckstabil ausgestaltet sein, sodass durch eine nahezu vollständige Auskleidung der Zwischenräume zwischen Einhausung und Dampfverteiler die Einhausung am Dampfverteiler gehalten werden kann, ohne dass hierfür etwaige zusätzliche oder gesonderte Verbindungs- oder Befestigungsmittel erforderlich wären. Gleichermaßen kann die Einhausung über die zwischen der Einhausung und dem Dampfverteilergehäuse angeordneten thermischen Isolierung vom Dampfverteiler getragen werden. Indem sich die Einhausung auch zumindest bereichsweise über die der Trägeranordnung abgewandte Unterseite des Dampfverteilers erstreckt, können auch die zum Beispiel seitlich eines nach unten ragenden Auslassabschnitts des Dampfverteilers angeordneten thermischen Isolierungen sicher am Dampfverteiler fixiert und gehalten werden.The enclosure can in particular be sized so large that thermal insulation can be arranged between the housing and an outside of the steam distributor. The thermal insulation can in particular be designed sufficiently stable in pressure, so that by an almost complete lining of the spaces between housing and steam distributor, the housing can be kept on the steam manifold, without the need for any additional or separate connection or fastening means would be required. Likewise, the enclosure may be carried by the steam manifold via the thermal insulation disposed between the enclosure and the steam manifold housing. By the housing also extends at least partially over the underside of the vapor distributor facing away from the carrier arrangement, the thermal insulation arranged, for example, laterally of a downwardly projecting outlet section of the vapor distributor can also be securely fixed and held on the vapor distributor.

Der Auslassabschnitt des Dampfverteilers, in welchem die in Ausströmdüsen mündenden Auslasskanäle des Dampfverteilers verlaufen, ist typischerweise von einer Strahlungsblechanordnung abgeschirmt. Die Strahlungsblechanordnung, das heißt die mehreren sandwichartig aufeinandergestapelten Strahlungsbleche weisen hierbei Durchgangsöffnungen auf, die untereinander, aber auch mit der am Dampfverteiler ausgebildeten Ausströmdüse fluchtend angeordnet sind. Der Dampfaustritt aus den Ausströmdüsen wird somit von der Strahlungsblechanordnung nicht behindert.The outlet section of the steam distributor, in which the outlet channels of the steam distributor opening into discharge nozzles, is typically shielded by a radiation plate arrangement. The radiation plate arrangement, that is to say the plurality of radiation plates stacked on top of one another in the form of a sandwich, have passage openings which are arranged in alignment with one another, but also with the discharge nozzle formed on the vapor distributor. The steam outlet from the discharge nozzles is thus not hindered by the radiation plate arrangement.

Nach einer weiteren Ausgestaltung weist zumindest die Verdampferquelle oder der Dampfverteiler ein monolithisches Gehäuse aus Graphit auf. Es ist hierbei insbesondere vorgesehen, dass sowohl die Verdampferquelle als auch der Dampfverteiler jeweils ein monolithisches Gehäuse aus Graphit aufweisen.According to a further embodiment, at least the evaporator source or the steam distributor to a monolithic housing made of graphite. In this case, it is provided in particular that both the evaporator source and the steam distributor each have a monolithic housing made of graphite.

Durch Vorsehen eines monolithischen, bzw. einstückigen Graphitkörpers zur Bildung von Verdampferquelle und/oder von Dampfverteiler weist die von Verdampferquelle und Dampfverteiler gebildete Verdampferanordnung eine etwa zum Verdampfen von Kupfer ausreichende thermische Stabilität sowie eine für das Beheizen einer Ausströmstrecke erforderliche thermische Leitfähigkeit auf.By providing a monolithic or one-piece graphite body for forming the evaporator source and / or steam distributor, the evaporator arrangement formed by the evaporator source and steam distributor has a thermal stability which is sufficient for the evaporation of copper and a thermal conductivity required for heating an outflow line.

Durch Ausgestaltung eines monolithischen Gehäuses können durch thermische Ausdehnung bedingte mechanische Spannungen im entsprechenden Gehäuse weitreichend minimiert werden. Das Gehäuse ist hochtemperaturbeständig und kann ferner eine hohe Thermoschockbeständigkeit aufweisen.By designing a monolithic housing, thermal expansion-induced mechanical stresses in the corresponding housing can be minimized to a great extent. The housing is resistant to high temperatures and can also have a high thermal shock resistance.

Herstellungstechnisch kann das Graphitgehäuse der Verdampferquelle aus einem Graphitblock gefräst sein. Sämtliche Hohl- und/oder Innenräume des Gehäuses können insoweit durch Materialausnehmungen gebildet sein, sodass lediglich Wandstrukturen des Gehäuses verbleiben und dementsprechend aus einem monolithischen Graphitblock herausgefräst sind.Manufacturing technology, the graphite housing of the evaporator source can be milled from a graphite block. All cavities and / or interiors of the housing can be formed so far by material recesses, so that only wall structures of the housing remain and are accordingly milled from a monolithic graphite block.

Das monolithische Gehäuse besteht typischerweise aus Graphit bzw. aus einem graphitierten Kohlenstoff. Das monolithische Graphitgehäuse weist typischerweise eine kristalline Graphitstruktur auf, in welcher die Kohlenstoffatome etwa sp²-hybridisiert sind.The monolithic housing is typically made of graphite or graphitized carbon. The monolithic graphite housing typically has a crystalline graphitic structure in which the carbon atoms are approximately sp ² -hybridized.

Kurzbeschreibung der FigurenBrief description of the figures

Weitere Ziele, Merkmale sowie vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung werden in der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnungen erläutert. Hierbei zeigen:Other objects, features and advantageous embodiments of the invention will be explained in the following description of embodiments with reference to the drawings. Hereby show:

1 eine Explosionsdarstellung der in einer Trägeranordnung anordenbaren Verdampferquelle in perspektivischer Ansicht, 1 an exploded view of the arrangeable in a carrier assembly evaporator source in perspective view,

2 eine perspektivische, teils geschnittene isolierte Darstellung der Verdampferquelle, 2 a perspective, partially cut isolated view of the evaporator source,

3 eine Außenansicht der in der Trägeranordnung angeordneten Verdampferquelle mit abgenommenem Verschlussdeckel, 3 an external view of the arranged in the carrier assembly evaporator source with removed cap,

4 eine weitere Explosionsdarstellung von Verdampferquelle und Trägeranordnung, 4 a further exploded view of the evaporator source and carrier arrangement,

5 die Darstellung gemäß 4 aus einer anderen Perspektive heraus betrachtet, 5 the representation according to 4 seen from a different perspective,

6 eine perspektivische Darstellung des Dampfverteilers von schräg unten betrachtet, 6 a perspective view of the steam distributor viewed obliquely from below,

7 eine perspektivische Darstellung einer schraubenden Verbindung von Verdampferquelle und Dampfverteiler, 7 a perspective view of a screw connection of the evaporator source and steam distributor,

8 einen Querschnitt durch die zusammengesetzte Verdampferanordnung in Längsrichtung des Dampfverteilers, 8th a cross section through the composite evaporator assembly in the longitudinal direction of the steam distributor,

9 einen Querschnitt durch den Dampfverteiler in Querrichtung, 9 a cross section through the steam distributor in the transverse direction,

10 eine perspektivische Querschnittsdarstellung durch den Dampfverteiler, 10 a perspective cross-sectional view through the steam distributor,

11 eine vergrößerte perspektivische Darstellung der Unterseite des Dampfverteilers, 11 an enlarged perspective view of the underside of the steam distributor,

12 einen vergrößerten Querschnitt durch eine Schraubverbindung zwischen Verdampferquelle und Dampfverteiler und 12 an enlarged cross section through a screw connection between the evaporator source and steam distributor and

13 eine mit korrespondierenden Dichtflächen versehene Verbindung von Verdampferquelle und Dampfverteiler und 13 a provided with corresponding sealing surfaces connection of the evaporator source and steam distributor and

14 einen vergrößerten Querschnitt durch eine weitere Ausgestaltung einer Schraubverbindung zwischen Verdampferquelle und Dampfverteiler. 14 an enlarged cross section through a further embodiment of a screw connection between the evaporator source and steam distributor.

Detaillierte BeschreibungDetailed description

In den 1, 4 und 5 ist eine Verdampferanordnung mit einer Verdampferquelle 10 gezeigt. Die in 2 isoliert dargestellte Verdampferquelle 10 weist ein monolithisches Gehäuse 12 aus Graphit auf. Das Gehäuse 12, welches vorliegend eine annähernd zylindrische Gestalt aufweist, verfügt über einen ersten Dampfraum 14 und einen zweiten, lediglich im Querschnitt gemäß 8 gezeigten Dampfraum 114. Der in 2 gezeigte Dampfraum 14 dient der Aufnahme eines zum Beispiel in den 1, 3, 4 und 5 gezeigten Verdampfungsgutbehälters 16, der typischerweise als Verdampfertiegel ausgestaltet ist.In the 1 . 4 and 5 is an evaporator arrangement with an evaporator source 10 shown. In the 2 isolated illustrated evaporator source 10 has a monolithic housing 12 made of graphite. The housing 12 , which in the present case has an approximately cylindrical shape, has a first vapor space 14 and a second, only in cross-section according to 8th shown steam room 114 , The in 2 shown steam room 14 serves to accommodate one, for example, in the 1 . 3 . 4 and 5 shown Verdampfungsgutbehälters 16 which is typically designed as an evaporator crucible.

Auch der Verdampfungsgutbehälter 16 kann monolithisch aus Graphit gefertigt sein. Die Verdampferquelle 10 bzw. ihr monolithisches Graphitgehäuse 12 weist neben den beiden Dampfräumen 14, 114 einen etwa zentrisch zwischen den Dampfräumen 14, 114 angeordneten dampfleitenden Kanal 20 auf. Der eine Axialrichtung definierende in etwa zylindrische Kanal 20 erstreckt sich in etwa senkrecht zu einer gedachten Verbindungslinie zwischen den beidseits des Kanals 20 angeordneten Dampfräumen 14, 114. Das Gehäuse 12 der Verdampferquelle 10 weist eine sich durchgehend zwischen den Dampfräumen 14, 114 erstreckende Außenwand 13 auf, die nahtlos in eine axial nach innen gerichtete Innenwand 15 übergeht.Also the Evaporative goods container 16 can be monolithic made of graphite. The evaporator source 10 or their monolithic graphite housing 12 points next to the two steam rooms 14 . 114 a roughly centric between the steam rooms 14 . 114 arranged vapor-conducting channel 20 on. The defining an axial direction approximately cylindrical channel 20 extends approximately perpendicular to an imaginary line connecting the two sides of the canal 20 arranged steam rooms 14 . 114 , The housing 12 the evaporator source 10 has a continuous between the steam rooms 14 . 114 extending outer wall 13 which fits seamlessly into an axially inward inner wall 15 passes.

Die Innenwand 15 bildet gleichzeitig einen Kanalwandungsabschnitt 21, welcher den dampfleitenden Kanal 20 in Umfangsrichtung begrenzt. Bezogen auf die Axialgeometrie des Kanals 20 ist der Dampfraum 14 durch die Innenwand 15 in Radialrichtung vom Kanal 20 getrennt. Lediglich in einem stromaufwärts liegenden oberen, an die Oberseite des Gehäuses 12 heranragenden Bereich geht der Dampfraum 14 in einen Auslass 18 über. Mit anderen Worten ist der erste Dampfraum 14 über den Auslass 18 mit dem Kanal 20 in Strömungsverbindung, während symmetrisch hierzu auch der zweite Dampfraum 114 über einen entsprechenden Auslass 118 am oberen Ende des Kanals 20 in den Kanal 20 mündet.The inner wall 15 at the same time forms a duct wall section 21 , which the steam-conducting channel 20 limited in the circumferential direction. Related to the axial geometry of the channel 20 is the steam room 14 through the inner wall 15 in the radial direction of the channel 20 separated. Only in an upstream upper, at the top of the housing 12 towering area is the steam room 14 into an outlet 18 above. In other words, the first steam room 14 over the outlet 18 with the channel 20 in flow communication, while symmetrically thereto also the second vapor space 114 via a corresponding outlet 118 at the top of the canal 20 in the channel 20 empties.

Die Dampfräume 14, 114 sind radial nach außen, das heißt vorliegend in Längsrichtung des Gehäuses 12 von einem abnehmbaren Verschlussdeckel 26, 126 begrenzt. Insoweit weist das Gehäuse 12 an gegenüberliegenden Stirnseiten 22 jeweils eine mittels des Verschlussdeckels 26 verschließbare Zuführöffnung 24 auf. Durch Abnehmen des Verschlussdeckels 26 von der Öffnungsberandung 29 des Gehäuses 12 ist der Dampfraum 14 unmittelbar von außen zugänglich. Der im Dampfraum befindliche Verdampfungsgutbehälter 16, 116 kann bei geöffnetem und entferntem Verschlussdeckel 26, 126 aus dem Dampfraum 14, 114 entnommen werden und erneut mit Verdampfungsgut befüllt werden.The steam rooms 14 . 114 are radially outward, that is present in the longitudinal direction of the housing 12 from a removable closure lid 26 . 126 limited. In that regard, the housing has 12 on opposite ends 22 one each by means of the closure lid 26 lockable feed opening 24 on. By removing the cap 26 from the opening boundary 29 of the housing 12 is the steam room 14 directly accessible from outside. The evaporation chamber located in the vapor space 16 . 116 can with opened and removed cap 26 . 126 from the steam room 14 . 114 are removed and filled again with evaporating material.

Die in 2 gezeigte Ausrichtung der Verdampferquelle 10 entspricht in etwa ihrer Ausrichtung in Gebrauchsstellung. Die beiden Dampfräume 14, 114 sind in etwa horizontal zueinander beabstandet, während sich der Kanal 20 nach unten erstreckt. Wie in 2 ferner gezeigt, geht der Kanal 20 in einen Verbindungsstutzen 32 über, der von der Außenwand 13 des Gehäuses 12 der Verdampferquelle 10 axial, d. h. in Kanallängsrichtung hervorsteht. Bezogen auf die Zylindergeometrie des Gehäuses 12 ragt der Verbindungsstutzen 32 von der Zylindermantelfläche radial nach außen hervor.In the 2 shown orientation of the evaporator source 10 roughly corresponds to their orientation in the position of use. The two steam rooms 14 . 114 are approximately horizontally spaced apart while the channel 20 extends downwards. As in 2 further shown, the channel goes 20 in a connecting piece 32 over, from the outside wall 13 of the housing 12 the evaporator source 10 axially, ie protruding in the channel longitudinal direction. Based on the cylinder geometry of the housing 12 protrudes the connection piece 32 from the cylinder jacket surface radially outward.

Der Verbindungsstutzen 32 dient der Anbindung der Verdampferquelle 10 mit dem in den 6 bis 8 in unterschiedlichen Ansichten und Schnitten gezeigten längserstreckten Dampfverteiler 50. Der einstückig in den Verbindungsstutzen 32 übergehende Kanalwandabschnitt 21 der Verdampferquelle 10 ist ferner mit zumindest einer Bohrung 38 versehen, welche zumindest eine Außenseite des Gehäuses 12 durchsetzt. In jede Bohrung 38 ist zumindest ein Heizelement 40, wie zum Beispiel in den 10 und 11 am Dampfverteiler 50 gezeigt, einführbar. Die in 2 nicht gesondert gezeigten Heizelemente 40, welche typischerweise Graphit aufweisen oder aus Graphit bestehen und zur Erzeugung von elektrischer Verlustwärme mit elektrischem Strom beaufschlagbar sind, können den Kanalwandabschnitt 21 des Gehäuses 12 gesondert aufheizen. Auf diese Art und Weise kann effektiv vermieden werden, dass der etwa vom Dampfraum 14 über den Auslass 18 in den Kanal 20 einströmende Dampf an der Kanalinnenwand kondensiert.The connection piece 32 serves to connect the evaporator source 10 with the in the 6 to 8th elongated steam distributors shown in different views and sections 50 , The one-piece in the connection piece 32 passing channel wall section 21 the evaporator source 10 is further with at least one bore 38 provided, which at least one outer side of the housing 12 interspersed. In every hole 38 is at least one heating element 40 , such as in the 10 and 11 at the steam distributor 50 shown, insertable. In the 2 not shown separately heating elements 40 , which typically comprise graphite or consist of graphite and can be acted upon to generate electrical heat loss with electric current, the channel wall portion 21 of the housing 12 heat up separately. In this way, it can be effectively avoided that of about the steam room 14 over the outlet 18 in the channel 20 inflowing steam condenses on the channel inner wall.

Der Verschlussdeckel 26 ist typischerweise mit der Öffnungsberandung 29 der Zuführöffnung 24 verschraubbar. Zu diesem Zweck ist innenseitig an der Öffnungsberandung ein Gewinde 28 ausgebildet, insbesondere eingeschnitten, welches mit einem hierzu korrespondierenden Gewinde 30 an der Außenseite des Verschlussdeckels 26 verschraubbar ist. Der gesamte Verschlussdeckel 26 ist über den Gewindeeingriff der Gewinde 28, 30 abdichtend und abnehmbar an der Zuführöffnung 24 anbringbar. Insbesondere wenn das Gewinde 28 der Zuführöffnung 24 und das Gewinde 30 des Verschlussdeckels 26 als Feingewinde ausgestaltet sind, kann eine verbesserte Dichtwirkung des Gewindeeingriffs realisiert werden.The cap 26 is typically with the opening boundary 29 the feed opening 24 screwed. For this purpose, a thread is on the inside of the opening boundary 28 formed, in particular cut, which with a corresponding thread 30 on the outside of the cap 26 is screwed. The entire cap 26 is about the thread engagement of the threads 28 . 30 sealing and removable at the feed opening 24 mountable. Especially if the thread 28 the feed opening 24 and the thread 30 the closure lid 26 As a fine thread, an improved sealing effect of the threaded engagement can be realized.

Wie in 3 angedeutet, kann der Verschlussdeckel 26 in etwa mittig an seiner Außenseite ein Loch- oder Griffmuster 27 aufweisen. Durch Einsetzen eines geeigneten Werkzeugs in jenes Loch- oder Griffmuster 27 kann der ansonsten flächenbündig mit der Außenwand 13 des Gehäuses 12 abschließende Verschlussdeckel 26 gegenüber dem Gehäuse 12 gedreht bzw. mit dem Gehäuse 12 verschraubt werden.As in 3 indicated, the cap can 26 approximately in the middle of its outside a hole or handle pattern 27 exhibit. By inserting a suitable tool into that hole or handle pattern 27 otherwise it can be flush with the outside wall 13 of the housing 12 final closure lid 26 opposite the housing 12 rotated or with the housing 12 be screwed.

Am Verbindungsstutzen 32 kann, wie in 2 und 13 angedeutet, eine axiale Dichtfläche 30 ausgestaltet sein, die axial mit einer hierzu korrespondierenden Dichtfläche 56 eines Verbindungsstutzens 52 eines Gehäuses 60 eines Dampfverteilers 50 abdichtend zur Anlage bringbar ist. Die weitgehend vollflächig, bzw stumpf aneinander zur Anlage bringbaren Dichtflächen 36, 56 der beiden Verbindungsstutzen 32, 52 können mittels der in 13 angedeuteten Schrauben 44 axial zueinander gehalten und axial abdichtend aneinander gepresst werden.At the connection pipe 32 can, as in 2 and 13 indicated, an axial sealing surface 30 be configured, the axially with a corresponding sealing surface 56 a connecting piece 52 a housing 60 a steam distributor 50 can be brought sealingly to the plant. The largely full-surface, or dull together can be brought to the plant sealing surfaces 36 . 56 the two connecting pieces 32 . 52 can by means of in 13 indicated screws 44 held axially to each other and axially sealingly pressed together.

Gegebenenfalls und von Vorteil ist zwischen den aneinander angrenzenden Dichtflächen 36, 56 eine Dichtung 42, typischerweise in Form einer flexiblen Graphitfolie, angeordnet. Die Verschraubung der axialen Dichtflächen 36, 56 kann mittels Graphitschrauben 44 realisiert werden, wobei in der Dichtfläche 56 Gewindebohrungen 46 vorgesehen sind und korrespondierend hierzu in der Dichtfläche 36 des Verbindungsstutzens 32 Schraubenlöcher 45 zum Hindurchführen von Graphitschrauben 44 ausgebildet sein können.Optionally and advantageous is between the adjacent sealing surfaces 36 . 56 a seal 42 typically in the form of a flexible graphite foil. The screwing of the axial sealing surfaces 36 . 56 can by means of graphite screws 44 be realized, wherein in the sealing surface 56 threaded holes 46 are provided and corresponding thereto in the sealing surface 36 of the connecting piece 32 screw holes 45 to the Passing graphite screws 44 can be trained.

Alternativ kann, wie in 7 angedeutet und in 12, aber auch vorgesehen sein, dass die Verbindungsstutzen 32, 52 von Verdampferquelle 10 und Dampfverteiler 50 miteinander korrespondierende Gewinde 34, 54 aufweisen. Hierdurch kann eine Verbindung zwischen Dampfverteiler 50 und Verdampferquelle 10 durch unmittelbares Anschrauben des Dampfverteilers 50 an der Verdampferquelle 10 verwirklicht werden. Im Ausführungsbeispiel gemäß der 12 weist der nach oben ragende Verbindungsstutzen 52 des Dampfverteilers 50 ein Außengewinde 54 auf, welches in ein am Verbindungsstutzen 32 der Verdampferquelle 10 ausgebildetes Innengewinde 34 einschraubbar ist.Alternatively, as in 7 indicated and in 12 , but also be provided that the connecting piece 32 . 52 from evaporator source 10 and steam distributor 50 mutually corresponding threads 34 . 54 exhibit. This allows a connection between steam distributor 50 and evaporator source 10 by directly screwing on the steam distributor 50 at the evaporator source 10 be realized. In the embodiment according to the 12 has the upstanding connecting piece 52 of the steam distributor 50 an external thread 54 on which one in on the connecting piece 32 the evaporator source 10 trained internal thread 34 can be screwed.

Die beiden Gewinde 34, 54 können insbesondere als sogenanntes Feingewinde ausgestaltet sein, sodass bereits mit Herstellung der Schraubverbindung von Dampfverteiler 50 und Verdampferquelle 10 eine weitgehend dampf- bzw. gasdichte sowie dampfleitende Verbindung bereitgestellt werden kann. Es ist hierbei ergänzend denkbar, dass auch bei der geschraubten Verbindung von Dampfverteiler 50 und Verdampferquelle 10 miteinander korrespondierende Dichtflächen 36, 56, wie in 13 gezeigt, axial aneinander zur Anlage kommen.The two threads 34 . 54 can be configured in particular as a so-called fine thread, so even with the preparation of the screw of steam distributor 50 and evaporator source 10 a largely vapor or gas-tight and vapor-conducting compound can be provided. It is additionally conceivable that even with the screwed connection of steam distributor 50 and evaporator source 10 mutually corresponding sealing surfaces 36 . 56 , as in 13 shown, axially abut each other.

Der Dampfverteiler 50 weist im vorliegenden Ausführungsbeispiel ein monolithisches längserstrecktes Verteilergehäuse 60 aus Graphit auf. Ähnlich wie die Verdampferquelle 10 ist auch der Dampfverteiler aus einem Graphitblock ausgefräst. Er ist insoweit naht- und fügestellenfrei ausgestaltet. Der Dampfverteiler 50 weist angrenzend an seinen Verbindungsstutzen 52 einen längserstreckten Verteilerkanal 58 auf, über welchen sich der über den Verbindungsstutzen 52 bzw. über den Kanal 20 zugeführte Dampf in Kanallängsrichtung verteilt.The steam distributor 50 has in the present embodiment, a monolithic elongated distributor housing 60 made of graphite. Similar to the evaporator source 10 the steam distributor is also milled out of a graphite block. He is designed so far seamless and joint-free. The steam distributor 50 has adjacent to its connection piece 52 an elongated distribution channel 58 on, over which the over the connecting piece 52 or over the channel 20 supplied steam distributed in the channel longitudinal direction.

Vom Verteilerkanal 58 gehen nach unten, dem Verbindungsstutzen 52 abgewandt, einzelne Auslassöffnungen, bzw. dementsprechende Auslasskanäle 62 ab, die an ihrem dem Verteilerkanal 58 abgewandten Außenende eine Ausströmdüse 63 aufweisen oder eine derartige Ausströmdüse 63 bilden. In Längsrichtung des Verteilerkanals 58 des Dampfverteilers 50 sind mehrere in Längsrichtung voneinander beabstandete Auslasskanäle 62 vorgesehen, wie dies aus der Querschnittsdarstellung gemäß 8 hervorgeht. Der Dampfverteiler 50 weist entlang eines den Verteilerkanal 58 begrenzenden Kanalwandabschnitts 59 mehrere Bohrungen 64 auf, die sich parallel zum Verteilerkanal 58 erstrecken und typischerweise den gesamten Dampfverteiler 50 durchsetzen.From the distribution channel 58 go down, the connecting piece 52 facing away, individual outlet openings, or corresponding outlet channels 62 off at her the distribution channel 58 opposite outer end of a discharge nozzle 63 or have such a discharge nozzle 63 form. In the longitudinal direction of the distribution channel 58 of the steam distributor 50 are a plurality of longitudinally spaced outlet channels 62 provided, as is apparent from the cross-sectional view according to 8th evident. The steam distributor 50 points along a distribution channel 58 delimiting duct wall section 59 several holes 64 on, which are parallel to the distribution channel 58 extend and typically the entire steam distributor 50 push through.

In jene auch als Tiefbohrungen zu bezeichnende Bohrungen 64 sind Heizelemente, typischerweise aus Graphit, einführbar, um den Kanalwandabschnitt 59 und den hiervon gebildeten, bzw. daran angrenzenden Verteilerkanal 58 auf einer geforderten Temperatur zu halten. Wie insbesondere in den 9 und 10 ersichtlich, weist der Dampfverteiler 50 einen die Auslasskanäle 62 begrenzenden Auslassabschnitt 65 auf. Auch im Auslassabschnitt 65 sind mehrere Bohrungen 64 beidseits der Auslasskanäle 62 vorgesehen, um auch die Auslasskanäle 62 auf einer geforderten Temperatur zu halten.In those wells to be called deep wells holes 64 For example, heating elements, typically graphite, are insertable around the channel wall section 59 and the distribution channel formed therefrom or adjacent thereto 58 to keep at a required temperature. As in particular in the 9 and 10 can be seen, the steam distributor 50 one the outlet channels 62 limiting outlet section 65 on. Also in the outlet section 65 are several holes 64 on both sides of the outlet channels 62 provided to also the exhaust ducts 62 to keep at a required temperature.

Wie insbesondere in 9 gezeigt, ist der Abstand der im Auslassabschnitt 65 angeordneten Bohrungen 64 kleiner als im darüberliegenden Kanalwandabschnitt 59. Auf diese Art und Weise kann bei einer gleichmäßigen Bestückung und Bestromung der einzelnen Bohrungen 64 mit Heizelementen 40, insbesondere im Bereich der Auslasskanäle 62, sogar eine höhere Temperatur erreicht werden als im Bereich des Verteilerkanals 58 selbst. Auch können bei einer ungleichmäßigen Beaufschlagung der Heizelemente 40 mit elektrischem Strom die Ausströmdüsen 63 und die Auslasskanäle 62 gesondert beheizt und aufgeheizt werden, sollte sich einmal kondensierte Materie in einem Auslasskanal 62 bzw. in einer Ausströmdüse 63 befinden.As in particular in 9 shown is the distance in the outlet section 65 arranged holes 64 smaller than in the overlying channel wall section 59 , In this way, with a uniform assembly and energization of the individual holes 64 with heating elements 40 , in particular in the area of the outlet channels 62 , even a higher temperature can be achieved than in the region of the distribution channel 58 yourself. Also can cause uneven exposure to the heating elements 40 with electric current the exhaust nozzles 63 and the outlet channels 62 should be heated and heated separately, should once condensed matter in an outlet 62 or in a discharge nozzle 63 are located.

Insbesondere in 10 ist ferner ein seitlich und von außen zugänglicher Schlitz 166 am Verteilergehäuse 60 gezeigt. Jener Schlitz 166 durchsetzt die zur Aufnahme eines Heizelements 40 vorgesehene Bohrung 64, sodass eine in 10 schematisch dargestellte Halterung 160 in den Schlitz 166 von außen einführbar ist. Die nach Art eines quadratischen oder rechteckigen Blättchens ausgestaltete Halterung 160 weist eine Durchgangsöffnung 164 auf, welche mit Erreichen einer in 9 lediglich schematisch skizzierten Einführposition in etwa mittig innerhalb der Bohrung 64 zu liegen kommt. Die Durchgangsöffnung 164 der Halterung 160 weist einen geringeren Innendurchmesser als die Bohrung 64 auf.In particular in 10 is also a laterally and externally accessible slot 166 on the distributor housing 60 shown. That slot 166 passes through the for receiving a heating element 40 provided hole 64 , so an in 10 schematically illustrated bracket 160 in the slot 166 is insertable from the outside. The designed in the manner of a square or rectangular leaflet holder 160 has a passage opening 164 on which with reaching an in 9 only schematically sketched insertion position approximately centrally within the bore 64 to come to rest. The passage opening 164 the holder 160 has a smaller inner diameter than the bore 64 on.

Der Innendurchmesser der Durchgangsöffnung 164 ist passgenau an die Geometrie des jeweiligen Heizelements 40 angepasst. Das etwa rechteckig oder mit quadratischem Querschnitt ausgestaltete Heizelement 40 ist beispielsweise in eine kreisrund ausgestaltete Durchgangsöffnung 164 einführbar. Die Breite des Schlitzes 166 ist derart bemessen, dass die Halterung 160 passgenau und axial möglichst spielfrei in den Schlitz 166 von außen einführbar ist. Es sind insbesondere mehrere in Längsrichtung der Bohrung 64 voneinander beabstandete Schlitze 166 am Verteilergehäuse 60 vorgesehen. Nachdem jeder oder zumindest einige der Schlitze 166 mit den entsprechenden Halterungen 160 versehen sind, kann das Heizelement 40 in Längsrichtung in die Bohrung 64 eingeführt und dabei die fluchtend zueinander zu liegen kommenden Durchgangsöffnungen 164 mehrerer hintereinander liegender Halterungen 160 durchsetzen.The inner diameter of the passage opening 164 is precisely fitting to the geometry of the respective heating element 40 customized. The roughly rectangular or with square cross-section configured heating element 40 is, for example, in a circular configured passage opening 164 insertable. The width of the slot 166 is sized so that the bracket 160 fit exactly and axially as possible without play in the slot 166 is insertable from the outside. In particular, there are several in the longitudinal direction of the bore 64 spaced apart slots 166 on the distributor housing 60 intended. After everyone or at least some of the slots 166 with the appropriate brackets 160 are provided, the heating element 40 in Longitudinal direction in the hole 64 introduced while the aligned to each other coming through holes 164 several successive brackets 160 push through.

Die nach Art eines in etwa nur einen oder einige Millimeter dicken Blättchens 162 ausgestalteten Halterungen sind typischerweise aus einem elektrisch isolierenden keramischen Werkstoff gefertigt, sodass die typischerweise aus Graphit gefertigten und Heizstäbe bildenden Heizelemente 40 elektrisch isoliert gegenüber dem Verteilergehäuse 60 in den entsprechenden Bohrungen 64 anordenbar sind. Typischerweise sind die Halterungen 160 aus pyrolytischem Bornitrid gefertigt. Der Schlitz 166 und die zugehörige Halterung 160 sind derart bemessen, dass eine in den Schlitz 166 vollständig eingeführte Halterung 160 mit einer Außenseite 165 zumindest geringfügig von der Außenseite des Verteilergehäuses 60 hervorsteht.The type of a leaflet about one or a few millimeters thick 162 designed mounts are typically made of an electrically insulating ceramic material, so that typically made of graphite and heating elements forming heating elements 40 electrically isolated from the distributor housing 60 in the corresponding holes 64 can be arranged. Typically, the brackets are 160 made of pyrolytic boron nitride. The slot 166 and the associated bracket 160 are sized so that one in the slot 166 fully inserted bracket 160 with an outside 165 at least slightly from the outside of the distributor housing 60 protrudes.

Dies ermöglicht im Bedarfsfall nicht nur ein vergleichsweise einfaches Ergreifen und Herausziehen der jeweiligen Halterung 160 aus dem Schlitz 166. Es kann hiermit ferner ein Abstandshalter gebildet werden, mittels dem etwaige, das Verteilergehäuse 60 zumindest bereichsweise umschließende oder einfassende Strahlungsbleche 124 in einem vorgegebenen Abstand zur Außenseite des Verteilergehäuses 60 gehalten werden können. Ein derartiges Hervorstehen der Außenseite 165 der Halterung 160 ist insoweit insbesondere für solche Halterungen vorgesehen, deren Einführschlitze in einer Endmontagekonfiguration von Strahlungsblechen 124 überdeckt bzw. abgeschirmt werden. Insoweit sind solche mit ihrer Außenseite 165 vom Verteilergehäuse 60 hervorstehende Halterungen 160 insbesondere im Bereich oder angrenzend zu den nach unten ragenden Auslasskanälen 62 des Dampfverteilers 50 vorzusehen.This allows not only a comparatively simple gripping and pulling out of the respective holder in case of need 160 out of the slot 166 , It can hereby also a spacer are formed by means of which, the distributor housing 60 At least partially enclosing or enclosing radiant panels 124 at a predetermined distance to the outside of the distributor housing 60 can be kept. Such protrusion of the outside 165 the holder 160 is provided in this regard, in particular, for such holders whose insertion slots in a final assembly configuration of radiation plates 124 covered or shielded. As far as those are with their outside 165 from the distributor housing 60 protruding brackets 160 especially in the area or adjacent to the downwardly extending outlet channels 62 of the steam distributor 50 provided.

Zum mechanischen Schutz, aber insbesondere auch zur Positionierung und Ausrichtung der Verdampferanordnung 1 in einem vorliegend nicht gezeigten Prozessraum, ist ferner eine in 4 in Explosionsdarstellung gezeigte selbsttragende Trägeranordnung 80 für die Verdampferquelle 10 vorgesehen. Die Trägeranordnung 80 weist einen Boden 82 und eine mit dem Boden 82 verbundene Seitenwandstruktur 84 auf. Seitenwandstruktur 84 und Boden 82 bilden eine von oben her zugängliche Aufnahme 85, in welche die Verdampferquelle 10 von oben einsetzbar ist.For mechanical protection, but in particular also for positioning and alignment of the evaporator arrangement 1 in a process space, not shown here, is also an in 4 in an exploded view self-supporting support assembly 80 for the evaporator source 10 intended. The carrier arrangement 80 has a floor 82 and one with the ground 82 connected sidewall structure 84 on. Sidewall structure 84 and soil 82 form a receptacle accessible from above 85 into which the evaporator source 10 can be used from above.

Der Boden 82 und die Seitenwandstruktur 84 sind aus einem Graphitfaserwerkstoff gebildet. Boden 82 und Seitenwandstruktur 84 können insbesondere aus karbonfaserverstärktem Verbundmaterial gefertigt sein. Insbesondere können der Boden 82 und die Seitenwandstruktur 84 aus einem CFC-Verbundmaterial, das heißt einem karbonfaserverstärktem Kohlenstoff gefertigt sein. Hierbei sind Kohlenstoff- oder Graphitfasern in einer Matrix aus reinem Kohlenstoff eingebettet. CFC-Verbundmaterialien weisen eine außerordentlich hohe Temperaturbeständigkeit auf und sind extrem temperaturschockbeständig.The floor 82 and the sidewall structure 84 are made of a graphite fiber material. ground 82 and sidewall structure 84 may in particular be made of carbon fiber reinforced composite material. In particular, the soil can 82 and the sidewall structure 84 made of a CFC composite, that is a carbon fiber reinforced carbon. Carbon or graphite fibers are embedded in a matrix of pure carbon. CFC composites have extremely high temperature resistance and are extremely temperature shock resistant.

Während die in der Trägeranordnung 80 einsetzbare Verdampferquelle aus Graphit vergleichsweise stoßempfindlich ist, kann das Verbundmaterial der Trägeranordnung 80 etwaige auf die Trägeranordnung 80 einwirkenden mechanischen Belastungen dämpfen und insoweit einen mechanischen Schutz sowie Kollisionsschutz für die Verdampferquelle 10 bereitstellen. Die Trägeranordnung 80, welche dazu ausgebildet ist, das Gewicht der Verdampferquelle 10 als auch des hiermit verbindbaren Dampfverteilers 50 zu tragen, weist gemäß der Darstellung nach 4 eine im Wesentlichen ebene rechteckige Bodenplatte mit Seitenrändern 82a, 82b, 82c, 82d auf. An die Seitenränder der Bodenplatte 82 angrenzend sind Seitenwandplatten 84a, 84b, 84c, 84d angeordnet. Auch die Seitenwandplatten 84a, 84b, 84c, 84d weisen eine im Wesentlichen ebene und rechteckige Grundgeometrie auf. Vorliegend ist die Seitenwandstruktur 84 von den genannten vier Seitenwandplatten 84a, 84b, 84c, 84d gebildet. Die Seitenwandstruktur 84 und der Boden 82 bilden insoweit einen im Wesentlichen kubischen und rechteckigen Kasten, in welchem die Verdampferquelle 10 positionierbar ist.While in the carrier assembly 80 usable evaporator source of graphite is comparatively shock-sensitive, the composite material of the carrier assembly 80 Anyone on the carrier assembly 80 dampening mechanical loads and insofar as a mechanical protection and collision protection for the evaporator source 10 provide. The carrier arrangement 80 , which is adapted to the weight of the evaporator source 10 as well as the herewith connectable steam distributor 50 to wear, according to the illustration after 4 a substantially flat rectangular bottom plate with side edges 82a . 82b . 82c . 82d on. To the side edges of the bottom plate 82 adjacent are side wall panels 84a . 84b . 84c . 84d arranged. Also the side wall plates 84a . 84b . 84c . 84d have a substantially planar and rectangular basic geometry. The present is the sidewall structure 84 from the four sidewall plates mentioned 84a . 84b . 84c . 84d educated. The sidewall structure 84 and the ground 82 form a substantially cubic and rectangular box, in which the source of the evaporator 10 is positionable.

Der Boden 82 der Trägeranordnung 80 weist eine Durchgangsöffnung 86 auf, durch welche eine strömungstechnische Verbindung 68 zwischen der Verdampferquelle 10 und einem Dampfverteiler hindurchführbar ist. Die strömungstechnische Verbindung 68 ist beispielsweise in den 12 und 13 gezeigt. Sie ergibt sich ferner aus der Querschnittsdarstellung gemäß 8. Der Verbindungsstutzen 52 des Dampfverteilers 50 ragt von unten durch die bodenseitige Durchgangsöffnung 86 nach oben, während der nach unten vom Gehäuse 12 der Verdampferquelle 10 ragende Verbindungsstutzen 32 die Durchgangsöffnung 86 von oben durchsetzt.The floor 82 the carrier assembly 80 has a passage opening 86 on, through which a fluidic connection 68 between the evaporator source 10 and a steam distributor can be passed. The fluidic connection 68 is for example in the 12 and 13 shown. It also results from the cross-sectional view according to 8th , The connection piece 52 of the steam distributor 50 protrudes from below through the bottom-side passage opening 86 upwards, while down from the case 12 the evaporator source 10 protruding connecting pieces 32 the passage opening 86 interspersed from above.

Da die Verdampferquelle 10 und der Dampfverteiler 50 über die beiden miteinander in Eingriff stehenden Verbindungsstutzen 32, 52 unmittelbar mechanisch als auch dampfleitend miteinander verbunden sind, kann durch das Anhängen des Dampfverteilers 50 an die bereits in der Trägeranordnung 80 befindliche Verdampferquelle 10 auch der Dampfverteiler 50 sein Gewicht über die Verdampferquelle 10 auf den Boden 82 der selbsttragenden Trägeranordnung 80 übertragen.Because the evaporator source 10 and the steam distributor 50 over the two mutually engaging connection 32 . 52 can be connected directly mechanically and vapor-conducting, by attaching the steam distributor 50 to those already in the carrier assembly 80 located evaporator source 10 also the steam distributor 50 its weight over the evaporator source 10 on the ground 82 the self-supporting carrier assembly 80 transfer.

Die wechselseitige Verbindung und das Zusammenfügen der Seitenwandstruktur 84 mit dem Boden 82 der Trägeranordnung 80 kann auf vielerlei Art und Weise erfolgen. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel ist exemplarisch vorgesehen, dass von den Seitenrändern 82a und 82c jeweils in der Bodenebene liegende Fortsätze 83 nach außen abstehen. Jene Fortsätze 83 sind durch hiermit korrespondierende Durchgänge 87 angrenzender Seitenwandplatten 84a, 84c hindurchführbar. Insoweit ermöglichen die miteinander korrespondierenden Fortsätze 83 und Durchgänge 87 eine Steckverbindung des Bodens 82 mit der Seitenwandstruktur 84. Auch können auf diese Art und Weise zum Beispiel die stirnseitig vorgesehenen Seitenwandplatten 84b, 84d mit den längserstreckten Seitenwandplatten 84a, 84c verbunden, mithin zusammengesteckt werden.The mutual connection and the joining of the sidewall structure 84 with the ground 82 the carrier assembly 80 can on done in many ways. In the present embodiment, it is provided by way of example that of the side edges 82a and 82c each lying in the ground plane extensions 83 stand out. Those extensions 83 are by corresponding passages 87 adjacent side wall panels 84a . 84c passed. In that regard, allow the corresponding extensions 83 and passages 87 a plug connection of the floor 82 with the sidewall structure 84 , Also, in this way, for example, the front side provided side wall panels 84b . 84d with the elongated sidewall panels 84a . 84c connected, thus be put together.

Die gesteckte Verbindung von Boden 82 bzw. Bodenplatte und Seitenwandplatten 84a, 84c ist insoweit von Vorteil, als dass sie ohne Zuhilfenahme von Verbindungswerkzeugen oder gesonderten Verbindungsmitteln erfolgen kann. Insoweit kann hierdurch eine rein gesteckte Verbindung auf Graphitbasis realisiert werden, die sich hinsichtlich der thermischen Belastbarkeit der selbsttragenden Trägeranordnung 80 als vorteilhaft erweist.The mated connection of ground 82 or bottom plate and side wall plates 84a . 84c is advantageous in that it can be done without the aid of connection tools or separate connection means. In that regard, a purely mated graphite-based connection can be realized in this way, which in terms of the thermal load capacity of the self-supporting support assembly 80 proves to be advantageous.

Wie ferner in den 4 und 5 gezeigt, weisen die beiden längserstreckten Seitenwandplatten 84a, 84c der Seitenwandstruktur 84 jeweils nach außen und nach oben abragende Halteabschnitte 88 mit je einer Durchgangsöffnung 89 auf. Die ösenartig ausgestaltete Durchgangsöffnung 89 ermöglicht eine hängende und somit weitgehend thermisch entkoppelnde Anordnung der gesamten Verdampferanordnung im Prozessraum, etwa im Prozessraum einer Beschichtungsanlage. Wie zum Beispiel in 3 gezeigt, können an jenen Durchgangsöffnungen 89 schwenkbare Halterungen 94 angeordnet sein, mittels derer die Trägeranordnung 80 mitsamt der darin aufgenommenen Verdampferquelle 10 und dem hiermit verbundenen Dampfverteiler 50 frei hängend im Prozessraum anordenbar ist.As further in the 4 and 5 shown, the two have elongated side wall panels 84a . 84c the sidewall structure 84 each outwardly and upwardly projecting holding sections 88 each with a passage opening 89 on. The loop-shaped passage opening 89 allows a hanging and thus largely thermally decoupled arrangement of the entire evaporator assembly in the process room, such as in the process room of a coating system. Like in 3 shown at those passages 89 swivel brackets 94 be arranged, by means of which the carrier assembly 80 together with the included evaporation source 10 and the associated steam distributor 50 freely hanging in the process room can be arranged.

Die stirnseitigen Seitenwandplatten 84b, 84d der Seitenwandstruktur 84 weisen je eine Durchgangsöffnung 90 auf, die jeweils an die Größe der Verschlussdeckel 26, 126 der Verdampferquelle 10 angepasst ist. Die Durchgangsöffnungen 90 in der Seitenwandstruktur 84 ermöglichen das Öffnen der Zuführöffnung 24 der Verdampferquelle 10 ohne die gesamte Verdampferquelle 10 aus der Aufnahme 85 der Trägeranordnung 80 entnehmen oder anheben zu müssen.The front side wall panels 84b . 84d the sidewall structure 84 each have a passage opening 90 depending on the size of the cap 26 . 126 the evaporator source 10 is adjusted. The passage openings 90 in the sidewall structure 84 allow opening of the feed opening 24 the evaporator source 10 without the entire evaporator source 10 from the recording 85 the carrier assembly 80 remove or raise.

Die Zwischenräume zwischen der Trägeranordnung 80 und der darin aufgenommenen Verdampferquelle 10 sind insbesondere mit einer thermischen Isolierung 100 versehen. Als thermisches Isoliermaterial kommen insbesondere Matten auf Graphitbasis, wie zum Beispiel ein Graphitfilz 102 infrage. Entsprechende Graphitfilzmatten 102 weisen den Durchgangsöffnungen 86, 90 entsprechende Aussparungen auf. Alternativ oder ergänzend und wie zum Beispiel in 5 gezeigt, können zwischen der Trägeranordnung 80 und der Verdampferquelle 10 auch mehrere Strahlungsbleche 124 angeordnet sein. Mittels Strahlungsblechen aus geeigneten Wärmestrahlung reflektierenden Materialien, die insbesondere auch in Sandwichbauweise mit dazwischen befindlichen thermischen Isoliermaterialien ausgebildet sein können, kann die Wärmeabstrahlung der Verdampferquelle 10 nach außen reduziert werden.The spaces between the carrier assembly 80 and the vaporiser source received therein 10 are in particular with a thermal insulation 100 Mistake. As a thermal insulating material in particular mats are based on graphite, such as a graphite felt 102 question. Corresponding graphite felt mats 102 have the passage openings 86 . 90 corresponding recesses on. Alternatively or in addition and as for example in 5 can be shown between the carrier assembly 80 and the evaporator source 10 also several radiant panels 124 be arranged. By means of radiation sheets of suitable heat radiation reflecting materials, which may be formed in particular in sandwich construction with thermal insulating materials therebetween, the heat radiation of the evaporator source 10 be reduced to the outside.

Wie ferner in den 4, 5 und 8 gezeigt, erstreckt sich oberhalb der gesamten Verdampferquelle 10 eine durchgehende Heizung 48, welche typischerweise eine Vielzahl graphitbasierter Heizelemente aufweist. In 8 sind ferner die für die Beaufschlagung der Heizung 48 mit Strom vorgesehenen Strombolzen 49 gezeigt.As further in the 4 . 5 and 8th shown extends above the entire evaporator source 10 a continuous heating 48 which typically has a plurality of graphite-based heating elements. In 8th are also for the application of heating 48 with electricity provided power bolt 49 shown.

Die gesamte Trägeranordnung 80 kann ferner auch mit einer äußeren thermischen Isolierung 130 versehen sein. Auch hierfür sind insbesondere isoliermatten aus Graphitfilz 132 vorgesehen. Diese können typischerweise nahezu die gesamte Außenseite 92 zumindest der Seitenwandstruktur 84 verkleiden und lediglich etwa im Bereich der stirnseitigen Seitenwandplatten 84b, 84d eine der Durchgangsöffnung 90 der Seitenwandstruktur 80 korrespondierende Ausnehmung oder einen dementsprechenden Ausschnitt 134 aufweisen. Im Betrieb können derartige Ausschnitte 134 der äußeren thermischen Isolierung 130 zum Beispiel mit in den 3 und 4 gezeigten abnehmbaren Isolierstücken 136 passgenau verschlossen werden.The entire carrier arrangement 80 can also be equipped with an external thermal insulation 130 be provided. Also for this purpose, in particular insulating mats made of graphite felt 132 intended. These can typically cover almost the entire outside 92 at least the sidewall structure 84 dress up and only approximately in the area of the front side panels 84b . 84d one of the passage opening 90 the sidewall structure 80 corresponding recess or a corresponding cutout 134 exhibit. In operation, such cutouts 134 the outer thermal insulation 130 for example, in the 3 and 4 shown removable insulating pieces 136 be closed accurately.

Die thermische Isolierung 100 kann ferner einen rahmenartig ausgeschnittenen Graphitfilz 102 aufweisen, der auf die Oberseite bzw. auf die obere Kante der Seitenwandstruktur 84 auflegbar ist. Der Ausschnitt 104 des rahmenartigen Graphitfilzes 102 ermöglicht eine gute Zugänglichkeit zur Heizung 48. Der Ausschnitt 104 ist im Betrieb der Verdampferquelle 10 mit einem in 4 gezeigten Deckelzuschnitt 106 passgenau verschließbar.The thermal insulation 100 Further, a frame-like cut graphite felt 102 have on the top or on the upper edge of the side wall structure 84 can be placed. The cutout 104 of the frame-like graphite felt 102 allows easy access to the heater 48 , The cutout 104 is in operation of the evaporator source 10 with an in 4 shown cover blank 106 accurately lockable.

An Isoliermaterialien kommen insbesondere Graphitfilze, wie zum Beispiel Graphit-Weichfilz als auch Graphit-Hartfilz zum Einsatz. Ferner ist denkbar, anstelle oder ergänzend zu Graphitfilzen auch Quarzfilze oder dergleichen thermische Isoliermaterialien zu verwenden. Für die thermische Isolierung kommt ferner ein geschäumtes Graphit, bzw. ein Graphitschaum infrage. Für die Strahlungsbleche sind insbesondere Molybdän-, Tantal- oder Wolframbleche vorgesehen.In particular, graphite felts, such as, for example, graphite soft felt and graphite hard felt, are used on insulating materials. Furthermore, it is conceivable to use quartz felts or the like thermal insulating materials instead of or in addition to graphite felts. For the thermal insulation is also a foamed graphite, or a graphite foam in question. Molybdenum, tantalum or tungsten sheets are in particular provided for the radiation sheets.

Es ist insbesondere vorgesehen, dass nicht nur die Verdampferquelle 10, sondern auch der Dampfverteiler 50 in einer Einhausung 140 angeordnet ist. Die in der 9 im Querschnitt gezeigte Einhausung 140 für den Dampfverteiler 50 weist einen geschlitzten Boden 142 und hiermit verbundene Seitenwände 144 auf. Die dem Boden 142 abgewandten oberen Enden der Seitenwände 144 sind ferner zumindest abschnittsweise mit einer Decke 146 miteinander verbunden. Ähnlich wie der Boden 82 und die Seitenwandstruktur 84 der Trägeranordnung 80 sind auch der Boden 142, die Seitenwände 144 und die Decke 146 aus karbonfaserverstärktem Verbundmaterial, insbesondere aus CFC-Verbundmaterial gefertigt.It is especially contemplated that not only the source of the evaporator 10 but also the steam distributor 50 in an enclosure 140 is arranged. The in the 9 Housing shown in cross-section 140 for the steam distributor 50 has a slotted bottom 142 and associated side walls 144 on. The the ground 142 facing away from upper ends of the side walls 144 are also at least partially with a blanket 146 connected with each other. Similar to the ground 82 and the sidewall structure 84 the carrier assembly 80 are also the soil 142 , the side walls 144 and the ceiling 146 Made of carbon fiber reinforced composite material, especially CFC composite material.

Der Zwischenraum zwischen der den Dampfverteiler 50 zumindest bereichsweise umschließenden Einhausung 150 und dem Dampfverteiler 50 ist mit einer thermischen Isolierung 150 versehen, insbesondere mit einer thermischen Isolierung 120 weitreichend ausgefüllt. Auch hier kommen insbesondere Graphitfilze 122, wie in 9 dargestellt, zum Einsatz. Wie insbesondere in 9 gezeigt, weist der Boden 142 der Einhausung 140 einen zentralen, sich in Längsrichtung des Bodens 142 erstreckenden Schlitz 143 auf. In jenem Schlitz kommt ein nach unten ragender Auslassabschnitt 65 des Dampfverteilers 50 zu liegen.The space between the steam distributor 50 At least partially enclosing housing 150 and the steam distributor 50 is with a thermal insulation 150 provided, in particular with a thermal insulation 120 farfilled. Again, in particular graphite felts 122 , as in 9 shown, used. As in particular in 9 shown, the ground points 142 the enclosure 140 a central, in the longitudinal direction of the soil 142 extending slot 143 on. In that slot comes a downwardly projecting outlet section 65 of the steam distributor 50 to lie.

Der im Betreib besonders heiße Bereich des Auslassabschnitts 65 ist hierbei ferner mit in etwa U-förmig um den Auslassabschnitt 65 gebogenen Strahlungsblechen 124 versehen, die typischerweise in Sandwichstruktur mit dazwischen befindlichem thermischen Isoliermaterial entweder gesondert an der angrenzenden thermischen Isolierung 120 oder aber auch unmittelbar, etwa mittels Klammern oder Schrauben, am Verteilergehäuse 60 befestigbar sind. Wie in der Darstellung gemäß 11 gezeigt, weisen die Strahlungsbleche 124 im Bereich der Ausströmdüsen 63 sich nach unten erweiternde Durchgangsöffnung 138 auf, die das Dampfausströmverhalten aus dem Dampfverteiler 50 beeinflussen können.The area of the outlet section which is particularly hot in operation 65 is hereby also approximately U-shaped around the outlet section 65 curved radiation sheets 124 typically sandwiched with thermal insulating material therebetween, either separate from the adjacent thermal insulation 120 or else directly, for example by means of clamps or screws, on the distributor housing 60 are fastened. As in the illustration according to 11 shown have the radiant panels 124 in the area of the discharge nozzles 63 downwardly extending passage opening 138 on the the steam outflow behavior from the steam distributor 50 can influence.

Da das Verteilergehäuse 60 nahezu vollständig von einer thermischen Isolierung 120 umschlossen und zusammen mit der thermischen Isolierung 20 innerhalb der Einhausung 140 angeordnet ist, erübrigt sich eine gesonderte Montage und Befestigung der Einhausung 140 am Dampfverteiler 50. Da der Dampfverteiler 50 mit seinem Verbindungsstutzen 52 unmittelbar an der Verdampferquelle 10 befestigt ist, kann das Gewicht der Einhausung 140 und der zwischen Einhausung 140 und Dampfverteiler 50 befindlichen thermischen Isolierung 120 über den Boden 142, die Seitenwände 144 und letztlich die Decke 146 der Einhausung 140 getragen und insoweit an der dem Verdampfer 10 zugewandten Oberseite des Dampfverteilers 50 abgestützt werden.Because the distributor housing 60 almost completely from a thermal insulation 120 enclosed and together with the thermal insulation 20 within the enclosure 140 is arranged, a separate installation and attachment of the housing is unnecessary 140 at the steam distributor 50 , As the steam distributor 50 with his connection piece 52 directly at the evaporator source 10 fixed, the weight of the enclosure 140 and the between enclosure 140 and steam distributor 50 located thermal insulation 120 over the ground 142 , the side walls 144 and finally the ceiling 146 the enclosure 140 worn and so far at the evaporator 10 facing top of the steam distributor 50 be supported.

Es ist schließlich noch anzumerken, dass die Anordnung von thermischer Isolierung 130, 100, 120 in Kombination mit Strahlungsblechen 124 verschiedenartigst konfigurierbar ist. Es ist insbesondere denkbar, einzelne Strahlungsbleche 124 zwischen Seitenwandstruktur 84 und Verdampferquelle 10 anzuordnen. Gleichermaßen ist denkbar, jenen Zwischenraum ausschließlich mit thermischer Isolierung 130 zu versehen und evtl. Strahlungsbleche außerhalb, an der Außenseite 92 der Trägeranordnung 80, ggf. in Kombination mit anderen oder ergänzenden thermischen Isolierungen 130 anzuordnen.Finally, it should be noted that the arrangement of thermal insulation 130 . 100 . 120 in combination with radiant panels 124 is highly configurable. It is particularly conceivable, individual radiation sheets 124 between sidewall structure 84 and evaporator source 10 to arrange. Similarly, it is conceivable that space exclusively with thermal insulation 130 to provide and possibly radiant panels outside, on the outside 92 the carrier assembly 80 , if necessary in combination with other or supplementary thermal insulation 130 to arrange.

In 14 ist schließlich eine alternative Verbindung zwischen dem Gehäuse 12 der Verdampferquelle 10 und dem Dampfverteilergehäuse 60 gezeigt. Hierbei weist der nach unten ragende Verbindungsstutze 32 des Gehäuses 12 des Dampfverteilers 50 einen nach innen ragenden Befestigungsabschnitt 33 mit zwei axial gegenüberliegenden Dichtflächen 33a, 33b auf. Der Befestigungsabschnitt 33 kann hierbei als ein radial nach innen in den Kanal 20 hineinragender Flansch oder ringartiger Fortsatz ausgestaltet sein, welcher eine obere Dichtfläche 33a und gegenüberliegend, das heißt dem Dampfverteiler 50 zugewandt, eine untere Dichtfläche 33b aufweist.In 14 Finally, this is an alternative connection between the housing 12 the evaporator source 10 and the vapor distributor housing 60 shown. Here, the downwardly projecting connection support 32 of the housing 12 of the steam distributor 50 an inwardly projecting attachment portion 33 with two axially opposite sealing surfaces 33a . 33b on. The attachment section 33 can be considered as a radially inward channel 20 protruding flange or ring-like extension be configured, which has an upper sealing surface 33a and opposite, that is the steam distributor 50 facing, a lower sealing surface 33b having.

Der nach oben ragende Verbindungsstutzen 52 des Dampfverteilers 50, respektive des Verteilergehäuses 60 weist, wie auch schon unter Bezugnahme auf die Ausgestaltung gemäß 13 beschrieben, eine Dichtfläche 56 auf, mittels derer der Verbindungsstutzen 52 abdichtend am Befestigungsabschnitt 33 zur Anlage bringbar ist. Der Verbindungsstutzen 52 des Verteilergehäuses 60 ist hierbei in den Verbindungsstutzen 32 des Gehäuses 12 der Verdampferquelle 10 axial nach oben einführbar. An der Innenwandung oder Innenseite des Verbindungsstutzens 52 ist ferner ein Gewinde 53 ausgebildet, welches mit einer Verbindungsschraube 150 in Eingriff bringbar ist.The upstanding connecting piece 52 of the steam distributor 50 , respectively of the distributor housing 60 indicates, as already with reference to the embodiment according to 13 described, a sealing surface 56 on, by means of which the connecting piece 52 sealing at the attachment section 33 can be brought to the plant. The connection piece 52 of the distributor housing 60 is here in the connection piece 32 of the housing 12 the evaporator source 10 axially insertable upwards. On the inner wall or inside of the connecting piece 52 is also a thread 53 formed, which with a connecting screw 150 can be brought into engagement.

Die Verbindungsschraube ist von oben, so etwa durch eine vorliegend nicht explizit gezeigte Revisionsöffnung des Gehäuses 12 der Verdampferquelle 10 in den Kanal 20 einführbar. Die Verbindungsschraube 150 weist einen radial verbreiterten Kopf 152 auf, an dessen Unterseite eine Dichtfläche 153 ausgebildet ist, welche in der in 14 gezeigten Montageposition axial abdichtend an der oberen Dichtfläche 33a des Befestigungsabschnitts 33 zu liegen kommt. Ein an den Kopf 152 angrenzender und axial nach unten ragender Schaft 154 der Verbindungsschraube 150 ist mit einem Außengewinde 156 versehen, welches mit dem Innengewinde 53 des Verbindungsstutzens 52 in Eingriff bringbar ist.The connecting screw is from above, such as by a not explicitly shown in this case revision opening of the housing 12 the evaporator source 10 in the channel 20 insertable. The connecting screw 150 has a radially broadened head 152 on, on the underside of a sealing surface 153 is formed, which in the in 14 shown mounting position axially sealing on the upper sealing surface 33a of the attachment section 33 to come to rest. One to the head 152 adjacent and axially downwardly projecting shaft 154 the connecting screw 150 is with an external thread 156 provided, which with the internal thread 53 of the connecting piece 52 can be brought into engagement.

Durch Anziehen der Verbindungsschraube 150 kann der radial nach innen ragende Befestigungsabschnitt 33 axial zwischen der stirnseitig liegenden Dichtfläche 56 des Verbindungsstutzens 52 und der Dichtfläche 153 des Kopfs 152 der Schraube 150 geklemmt werden. Zwischen den aneinander anliegenden Dichtflächen 153, 33a, 33b, 56 sind im Bedarfsfall auch gesonderte Dichtelemente, etwa in Form einer Graphitfolie, anordenbar.By tightening the connecting screw 150 may be the radially inwardly projecting attachment portion 33 axially between the front side lying sealing surface 56 of the connecting piece 52 and the sealing surface 153 of the head 152 the screw 150 be clamped. Between the adjoining sealing surfaces 153 . 33a . 33b . 56 If necessary, separate sealing elements, such as in the form of a graphite foil, can be arranged.

Die Verbindungsschraube 150 weist ferner eine sich in Axialrichtung erstreckende Durchgangsbohrung 158 auf. Die Verbindungsschraube 150 ist somit in Axialrichtung von Dampf durchströmbar. Sie kann insoweit eine dampfleitende Struktur und eine Strömungsverbindung zwischen den Verbindungsstutzen 32, 52 von Verdampferquelle 10 und Dampfverteiler 50 bereitstellen. Zum Betätigen, mithin zum Verschrauben der Verbindungsschraube 150, kann der Kopf 152 entweder eine radial außenliegende Schlüsselfläche 151 oder aber im Bereich einer oberen Stirnfläche anderweitige Schlüssel- oder Schraubflächen, wie zum Beispiel einen Innensechskant oder einen Innentorx zur Aufnahme eines Schraubwerkzeugs aufweisenThe connecting screw 150 also has an axially extending through bore 158 on. The connecting screw 150 is thus flowed through in the axial direction of steam. It can insofar a vapor-conducting structure and a flow connection between the connecting piece 32 . 52 from evaporator source 10 and steam distributor 50 provide. For actuating, thus for screwing the connecting screw 150 , the head can 152 either a radially outer key surface 151 or else have in the region of an upper end face other key or screw surfaces, such as a hexagon socket or an inner torx for receiving a screwing tool

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11: Verdampferanordnungevaporator assembly
1010: Verdampferquelleevaporation source
1212: Gehäusecasing
1313: Außenwandouter wall
1414: Dampfraumsteam room
1515: Innenwandinner wall
1616: VerdampfungsgutbehälterVerdampfungsgutbehälter
1818: Auslassoutlet
2020: Kanalchannel
2121: KanalwandabschnittChannel wall section
2222: Stirnseitefront
2424: Zuführöffnungfeed
2626: Verschlussdeckelcap
2727: Griffmusterhandle pattern
2828: Gewindethread
2929: ÖffnungsberandungOpening boundary
3030: Gewindethread
3232: Verbindungsstutzenconnecting pieces
3333: Befestigungsabschnittattachment section
33a33a: Dichtflächesealing surface
33b33b: Dichtflächesealing surface
3434: Gewindethread
3636: Dichtflächesealing surface
3838: Bohrungdrilling
4040: Heizelementheating element
4242: Dichtungpoetry
4444: Schraubescrew
4545: Schraubenlochscrew hole
4646: Gewindebohrungthreaded hole
4848: Heizungheater
4949: Strombolzencurrent pin
5050: Dampfverteilersteam distribution
5252: Verbindungsstutzenconnecting pieces
5353: Gewindethread
5454: Gewindethread
5656: Dichtflächesealing surface
5858: Verteilerkanaldistribution channel
5959: KanalwandabschnittChannel wall section
6060: Verteilergehäusedistributor housing
6262: Auslasskanalexhaust port
6363: Ausströmdüseexhaust nozzle
6464: Bohrungdrilling
6565: Auslassabschnittoutlet
6666: Außenseiteoutside
6868: Strömungstechnische VerbindungFluidic connection
8080: Trägeranordnungcarrier assembly
8282: Bodenground
82a, 82b, 82c, 82d82a, 82b, 82c, 82d: Seitenrandmargin
8383: Fortsatzextension
8484: SeitenwandstrukturSidewall structure
84a, 84b, 84c, 84d84a, 84b, 84c, 84d: SeitenwandplatteSidewall panel
8585: Aufnahmeadmission
8686: DurchgangsöffnungThrough opening
8787: Durchgangpassage
8888: Halteabschnittholding section
8989: DurchgangsöffnungThrough opening
9090: DurchgangsöffnungThrough opening
9292: Außenseiteoutside
9494: Halterungbracket
100100: Thermische IsolierungThermal insulation
102102: Graphitfilzgraphite
104104: Ausschnittneckline
106106: Deckelzuschnittlid blank
114114: Dampfraumsteam room
116116: VerdampfungsgutbehälterVerdampfungsgutbehälter
118118: Auslassoutlet
120120: Thermische IsolierungThermal insulation
122122: Graphitfilzgraphite
124124: Strahlungsblechradiation sheet
126126: Verschlussdeckelcap
130130: Thermische IsolierungThermal insulation
132132: Graphitfilzgraphite
134134: Ausschnittneckline
136136: Isolierstückinsulating
138138: Öffnungopening
140140: Einhausunghousing
142142: Bodenground
143143: Schlitzslot
144144: SeitenwandSide wall
146146: Deckelcover
150150: Verbindungsschraubeconnecting screw
151151: Schlüsselflächekey area
152152: Kopfhead
153153: Dichtflächesealing surface
154154: Schaftshaft
156156: Gewindethread
158158: DurchgangsbohrungThrough Hole
160160: Halterungbracket
162162: Blättchenleaflet
164164: DurchgangsöffnungThrough opening
165165: Außenseiteoutside
166166: Schlitzslot

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

US 2010/0285218 A1 [0002]

Claims

Self-supporting carrier arrangement for an evaporator source ( 10 ) for the surface treatment of at least one substrate, wherein the carrier arrangement has a bottom ( 82 ) and one with the ground ( 82 ) connected sidewall structure ( 84 ), the soil ( 82 ) and the sidewall structure ( 84 ) a recording ( 85 ) into which the evaporator source ( 10 ) and wherein the soil ( 82 ) and the sidewall structure ( 84 ) are formed of a graphite fiber material.

A support arrangement according to claim 1, wherein the floor ( 82 ) a passage opening ( 86 ), through which a fluidic connection ( 68 ) between the evaporator source ( 10 ) and a steam distributor ( 50 ) can be passed.

Carrier assembly according to one of the preceding claims, wherein at least one of floor ( 82 ) and sidewall structure ( 84 ) are made of a carbon fiber reinforced composite material.

Carrier assembly according to one of the preceding claims, wherein at least one of floor ( 82 ) and sidewall structure ( 84 ) is made of a CFC composite material.

Carrier assembly according to one of the preceding claims, wherein the bottom ( 82 ) is formed in the form of a flat rectangular bottom plate and the side wall structure to the side edges ( 82a . 82b . 82c . 82d ) of the bottom plate adjacent and connectable side wall panels ( 84a . 84b . 84c . 84d ) having.

Support arrangement according to one of the preceding claims, wherein on the ground ( 82 ) and on the sidewall structure ( 84 ) corresponding to each other and can be brought into engagement and spaced apart extensions ( 83 ) and passages ( 87 ) are formed, by means of which the soil ( 82 ) and the sidewall structure ( 84 ) are connectable to each other via a plug connection.

Carrier assembly according to one of the preceding claims, wherein the side wall structure ( 84 ) at least two outwardly and / or upwardly from the sidewall structure ( 84 ) projecting holding sections ( 88 ) for a suspended arrangement of the carrier assembly.

Carrier assembly according to one of the preceding claims, wherein the side wall structure ( 84 ) at least one passage opening ( 90 ) for passing one of the evaporator source ( 10 ) removable closure lid ( 26 ) having.

Evaporator arrangement with a carrier arrangement ( 80 ) according to one of the preceding claims, and with one in the receptacle ( 85 ) of the carrier assembly ( 80 ) arranged evaporator source ( 10 ), which over one in the soil ( 82 ) of the carrier assembly ( 80 ) formed passage opening ( 86 ) with a steam distributor ( 50 ) is in flow communication.

Evaporator arrangement according to claim 9, wherein the steam distributor ( 50 ) via a connecting piece ( 52 ) with a connecting piece ( 32 ) of the evaporator source ( 10 ) is in flow communication and wherein the of the connecting piece ( 32 . 52 ) formed fluidic connection between the evaporator source ( 10 ) and steam distributor ( 50 ) through the passage opening ( 86 ) of the soil ( 82 ).

Evaporator arrangement according to one of the preceding claims 9 or 10, wherein intermediate spaces between the carrier arrangement ( 80 ) and the evaporator source ( 10 ) at least partially with a thermal insulation ( 100 ) are filled out.

Evaporator arrangement according to one of the preceding claims, 9 to 11, wherein at least one outer side ( 92 ) of the carrier assembly ( 80 ) with a thermal insulation ( 130 ) is clad at least in sections.

Evaporator arrangement according to one of the preceding claims 9 to 12, wherein at least one outer side ( 66 ) of the steam distributor ( 50 ) at least in sections with a thermal insulation ( 120 ) is disguised.

Evaporator arrangement according to one of the preceding claims 11 to 13, wherein the thermal insulation ( 100 . 120 . 130 ) a graphite felt ( 102 . 122 . 132 ), a graphite foam, a quartz felt, one or more radiant panels ( 124 ) or combinations formed therefrom.

Evaporator arrangement according to one of the preceding claims 11 to 14, wherein the steam distributor ( 50 ) at least partially at least partially from an enclosure ( 140 ) with a floor ( 142 ), a blanket ( 146 ) and side walls ( 144 ) is enclosed.

Evaporator arrangement according to one of the preceding claims 11 to 15, wherein at least the evaporation source ( 10 ) or the steam distributor ( 50 ) a monolithic housing ( 12 . 52 ) of graphite.