DE102013219632A1

DE102013219632A1 - Lifting system and method for electrical testing

Info

Publication number: DE102013219632A1
Application number: DE201310219632
Authority: DE
Inventors: Georg Bachmaier; Gerit Ebelsberger; Detlef Gerhard; Andreas Gödecke; Wolfgang Zöls
Original assignee: Siemens AG; Siemens Corp
Current assignee: Siemens AG; Siemens Corp
Priority date: 2013-09-27
Filing date: 2013-09-27
Publication date: 2015-04-23

Abstract

Das Hubsystem weist einen Piezosteller, eine Auflage sowie einen hydraulischen Wegübersetzer mit einer Eingangs- und einer Ausgangsseite auf, wobei der hydraulische Wegübersetzer mit seiner Eingangsseite an den Piezosteller und mit seiner Ausgangsseite an die Auflage angebunden ist. Bei dem Verfahren zur elektrischen Prüfung einer elektronischen Komponente wird die Komponente auf die Auflage eines solchen Hubsystems aufgelegt und zur Positionierung relativ zu einem Prüfkontakt gehoben.The lifting system has a piezoelectric actuator, a support and a hydraulic travel translator with an input and an output side, wherein the hydraulic travel translator is connected with its input side to the piezoelectric actuator and with its output side to the support. In the method for electrical testing of an electronic component, the component is placed on the support of such a lifting system and lifted for positioning relative to a test contact.

Description

Die Erfindung betrifft ein Hubsystem sowie ein Verfahren zur elektrischen Prüfung. The invention relates to a lifting system and a method for electrical testing.

Bei der elektrischen Prüfung elektronischer Komponenten, insbesondere beim Testen von LEDs, werden häufig Hubsysteme benötigt, welche die elektronische Komponente auf einer Auflage anheben. Beim Anheben der elektronischen Komponente wird ein Kontakt an diese angelegt, sodass die elektronische Komponente mit einer Messspannung für die elektrische Prüfung beaufschlagt werden kann. In the electrical testing of electronic components, particularly in the testing of LEDs, lifting systems are often needed which lift the electronic component on a support. When lifting the electronic component, a contact is applied to it, so that the electronic component can be subjected to a measurement voltage for the electrical test.

Für die hierzu notwendigen Hubsysteme sind Aktorkonzepte erforderlich, welche sowohl eine hohe Dynamik als auch eine hohe Positioniergenauigkeit aufweisen. Piezoaktoren vereinen typischerweise diese beiden Eigenschaften. Nachteilig haben Piezoaktoren jedoch lediglich einen Hubbereich von ca. 1,5% in Bezug auf ihre Länge in Hubrichtung; dies bedeutet, für gängige Piezoaktoren beträgt der Hubbereich lediglich etwa 40 bis 50 µm. For the necessary lifting systems actuator concepts are required, which have both high dynamics and high positioning accuracy. Piezoactuators typically combine these two properties. However, disadvantageous piezoactuators only have a stroke range of about 1.5% with respect to their length in the stroke direction; This means that for common piezo actuators the stroke range is only about 40 to 50 μm.

Vor diesem Hintergrund des Standes der Technik ist es daher Aufgabe der Erfindung, ein verbessertes Hubsystem zu schaffen, mittels welchem eine elektrische Prüfung elektronischer Komponenten geeignet erfolgen kann. Ferner ist es Aufgabe der Erfindung, ein verbessertes Verfahren zur elektrischen Prüfung einer elektronischen Komponente anzugeben. Against this background of the prior art, it is therefore an object of the invention to provide an improved lifting system, by means of which an electrical testing of electronic components can be carried out suitably. It is another object of the invention to provide an improved method for electrical testing of an electronic component.

Diese Aufgabe wird mit einem Hubsystem mit den in Anspruch 1 angegebenen Merkmalen sowie mit einem Verfahren zur elektrischen Prüfung einer elektronischen Komponente mit den in Anspruch 7 angegebenen Merkmalen gelöst. Bevorzugte Weiterbildungen der Erfindung sind in den zugehörigen Unteransprüchen, der nachfolgenden Beschreibung und der Zeichnung angegeben. This object is achieved with a lifting system with the features specified in claim 1 and with a method for electrical testing of an electronic component having the features specified in claim 7. Preferred embodiments of the invention are set forth in the appended subclaims, the following description and the drawing.

Das erfindungsgemäße Hubsystem weist einen Piezosteller auf. Ferner weist das Hubsystem eine Auflage sowie einen hydraulischen Wegübersetzer mit einer Eingangs- und einer Ausgangsseite auf, wobei der hydraulische Wegübersetzer mit seiner Eingangsseite an den Piezosteller und mit seiner Ausgangsseite an die Auflage angebunden ist. Das erfindungsgemäße Hubsystem vereint somit vorteilhaft zum einen die hohe Dynamik sowie die hohe Positioniergenauigkeit eines Piezostellers als auch zum anderen die Möglichkeit, mittels hydraulischer Wegübersetzer große Hubwege zu erreichen. Gegenüber herkömmlichen Piezostellern können auf diese Weise deutlich längere Hubwege gestellt werden. Gleichzeitig weist das erfindungsgemäße Hubsystem eine sehr hohe Systemsteifigkeit auf, welche deutlich höher ist als bei Hubsystemen, bei welchen Piezostellwege mittels Festkörpergelenken übersetzt werden. Der notwendige Hub des erfindungsgemäßen Hubsystems lässt sich folglich besonders schnell und zuverlässig erreichen. Insbesondere bei zeitkritischen Anwendungen lässt sich das erfindungsgemäße Hubsystem daher besonders vorteilhaft einsetzen. Ferner ist das erfindungsgemäße Hubsystem kaum resonant zu mechanischen Eigenresonanzen anregbar. Auch in dieser Hinsicht ist das erfindungsgemäße Hubsystem weitgehend unanfällig. The lifting system according to the invention has a piezo actuator. Furthermore, the lifting system has a support and a hydraulic path translator with an input and an output side, wherein the hydraulic path translator is connected with its input side to the piezoelectric actuator and with its output side to the support. The lifting system according to the invention thus advantageously combines, on the one hand, the high dynamics and the high positioning accuracy of a piezoelectric actuator as well as, on the other hand, the possibility of achieving long stroke distances by means of hydraulic displacement transducers. Compared to conventional piezo actuators significantly longer stroke distances can be made in this way. At the same time, the lifting system according to the invention has a very high system rigidity, which is significantly higher than in lifting systems in which piezo-actuator paths are translated by means of solid-body joints. The necessary stroke of the lifting system according to the invention can consequently be achieved particularly quickly and reliably. Especially in time-critical applications, the lifting system according to the invention can therefore be used particularly advantageously. Furthermore, the lifting system according to the invention is hardly resonant to mechanical self-resonances excitable. Also in this regard, the lifting system according to the invention is largely unaffected.

Bevorzugt ist bei dem erfindungsgemäßen Hubsystem der Piezosteller ein Piezosteller mit einer Stellrichtung. Zweckmäßig ist bei dem erfindungsgemäßen Hubsystem der hydraulische Wegübersetzer mit seiner Eingangsseite in Stellrichtung an den Piezosteller angebunden. In the case of the lifting system according to the invention, the piezoelectric actuator is preferably a piezoelectric actuator with a setting direction. Suitably, in the lifting system according to the invention, the hydraulic path translator is connected with its input side in the direction of adjustment to the piezoelectric actuator.

Vorteilhaft ist die Auflage mit einer, sich insbesondere mit ihrer flächigen Erstreckung quer zur Stellrichtung erstreckenden, Platte gebildet, wobei das erfindungsgemäße Hubsystem bevorzugt einen Hubtisch bildet. Advantageously, the support is formed with a, in particular with its areal extent extending transversely to the actuating direction, plate, wherein the lifting system according to the invention preferably forms a lifting table.

Zweckmäßig umfasst bei dem erfindungsgemäßen Hubsystem der hydraulische Wegübersetzer ein- und ausgangsseitig jeweils eine Kolbenkammer mit einem darin geführten Kolben. Dabei weichen die Querschnitte der eingangsseitigen Kolbenkammer und der ausgangsseitigen Kolbenkammer voneinander ab. Es versteht sich, dass unter einem Querschnitt der Kolbenkammer ein Schnitt der Kolbenkammer quer, d.h. senkrecht, zu einer Führungsrichtung des in der Kolbenkammer jeweils geführten Kolbens zu verstehen ist. Expediently, in the case of the lifting system according to the invention, the hydraulic travel translator comprises on the input side and on the output side respectively a piston chamber with a piston guided therein. The cross sections of the input-side piston chamber and the output-side piston chamber differ from each other. It will be understood that, below a cross-section of the piston chamber, a section of the piston chamber is transverse, i. perpendicular to a guide direction of each piston guided in the piston chamber is to be understood.

Alternativ und ebenfalls bevorzugt umfasst bei dem erfindungsgemäßen Hubsystem der hydraulische Wegübersetzer ein- und ausgangsseitig jeweils einen Faltenbalg, wobei die Querschnitte des ein- und ausgangsseitigen Faltenbalgs voneinander abweichen. Unter einem Querschnitt eines Faltenbalgs ist vorliegend jeweils ein Schnitt quer, d.h. senkrecht, zu einer Faltrichtung des Faltenbalges, d.i. eine Richtung, entlang welcher der Faltenbalg zusammenlegbar ist, zu verstehen. Insbesondere verläuft der Querschnitt parallel zu einer bevorzugt vorgesehenen Falt- oder Knicklinie oder entlang eines umfänglich verlaufenden Wellenberges eines alternativ und ebenfalls bevorzugt vorgesehenen Wellenprofils des Faltenbalgs. Alternatively and also preferably, in the lifting system according to the invention the hydraulic path translator on the input and output side each comprise a bellows, the cross sections of the inlet and outlet side bellows differing from each other. In the present case, a section of a bellows is in each case a section transversely, i. perpendicular, to a folding direction of the bellows, d.i. a direction along which the bellows is collapsible to understand. In particular, the cross section runs parallel to a preferably provided fold or crease line or along a circumferentially extending wave crest of an alternative and also preferably provided wave profile of the bellows.

In einer bevorzugten Weiterbildung des erfindungsgemäßen Hubsystems sind eingangs- und ausgangsseitige Kolbenkammer miteinander, insbesondere hydraulisch, verbunden oder es sind ein- und ausgangsseitiger Faltenbalg miteinander, insbesondere hydraulisch, verbunden. Insbesondere sind ein- und ausgangsseitige Kolbenkammer und/oder ein- und ausgangsseitiger Faltenbalg miteinander mittels einer hydraulischen Drossel verbunden. In a preferred embodiment of the lifting system according to the invention input and output side piston chamber are connected to each other, in particular hydraulically, or there are on and output side bellows with each other, in particular hydraulically connected. In particular, the inlet and outlet side piston chamber and / or inlet and outlet side bellows are connected to each other by means of a hydraulic throttle.

Die eingangsseitige sowie die ausgangsseitige Kolbenkammer, zusammenwirkend mit den jeweils darin geführten Kolben oder aber der eingangsseitige Faltenbalg und der ausgangsseitige Faltenbalg bilden jeweils zweckmäßig Fluidvolumina, wobei die Fluidvolumina miteinander gekoppelt, vorzugsweise verbunden, sind. Geeigneterweise sind die Fluidvolumina mit inkompressiblem Fluid, insbesondere einer Hydraulikflüssigkeit, gefüllt. The input side and the output side piston chamber, cooperating with the respectively guided therein piston or the input side bellows and the output side bellows each suitably form fluid volumes, wherein the fluid volumes coupled to each other, preferably connected, are. Suitably, the fluid volumes are filled with incompressible fluid, in particular a hydraulic fluid.

Gemäß den zuvor genannten Weiterbildungen der Erfindung wird die hydraulische Übersetzung des hydraulischen Wegübersetzers mittels der ein- und ausgangsseitigen Kolbenkammern oder mittels des eingangsseitigen Faltenbalgs und des ausgangsseitigen Faltenbalgs realisiert, die unterschiedliche hydraulische Querschnitte aufweisen und fluidisch miteinander verbunden sind. Aufgrund der Forderung, dass das hydraulische Volumen innerhalb des Wegübersetzers des erfindungsgemäßen Hubsystems konstant bleiben muss, ergibt sich die Wegübersetzung des hydraulischen Wegübersetzers als das Verhältnis jeweils der beiden Querschnitte quer zur jeweiligen Führungsrichtung des Kolbens oder quer zur Faltrichtung. Auf diese Weise können durch die eingangsseitige Kolbenbewegung erfolgende Volumenänderungen der eingangsseitigen Kolbenkammer oder durch eingangsseitige Faltung des Faltenbalgs erfolgende Volumenänderungen des eingangsseitigen Faltenbalgs über die hydraulische Verbindung entsprechende Volumenänderungen der ausgangsseitigen Kolbenkammer oder des ausgangsseitigen Faltenbalges bewirken. Folglich resultiert eine besonders präzise Kopplung von Ein- und Ausgangsseite des hydraulischen Wegübersetzers des erfindungsgemäßen Hubsystems. According to the aforementioned developments of the invention, the hydraulic transmission of the hydraulic path translator by means of the input and output side piston chambers or by means of the input side bellows and the output side bellows is realized, which have different hydraulic cross sections and are fluidly interconnected. Due to the requirement that the hydraulic volume must remain constant within the path translator of the lifting system according to the invention, the path translation of the hydraulic path translator as the ratio of the two cross-sections results transversely to the respective guide direction of the piston or transversely to the folding direction. In this way, by the input-side piston movement occurring volume changes of the input side piston chamber or by input side folding of the bellows occurring volume changes of the input side bellows via the hydraulic connection corresponding volume changes of the output side piston chamber or the output side bellows can cause. Consequently results in a particularly precise coupling of the input and output side of the hydraulic path translator of the lifting system according to the invention.

In denjenigen Weiterbildungen des erfindungsgemäßen Hubsystems, bei welchen die jeweiligen Fluidvolumina mittels ein- und ausgangsseitiger Faltenbälge realisiert sind, sind die jeweiligen Fluidvolumina überdies metallisch abgedichtet. Dichtigkeitsprobleme solcher Fluidvolumina sind daher von vornherein vermieden. Eine Wegübersetzung wird in diesen Weiterbildungen durch flexible Wellen in den Bälgen und der damit verbundenen geringen axialen Steifigkeit erreicht. Das Fluidvolumen ist dabei bevorzugt so gering wie möglich realisiert, sodass die Steifigkeit des erfindungsgemäßen Hubsystems maximiert ist. Vorteilhaft sind die Fluidvolumina abgeschlossen und unterliegen folglich keiner Verschmutzung. Das erfindungsgemäße Hubsystem lässt sich folglich besonders haltbar und wartungsarm ausbilden. In those developments of the lifting system according to the invention, in which the respective fluid volumes are realized by means of inlet and outlet side bellows, the respective fluid volumes are also metallically sealed. Leakage problems such fluid volumes are therefore avoided from the outset. A path translation is achieved in these developments by flexible waves in the bellows and the associated low axial stiffness. The fluid volume is preferably realized as low as possible, so that the rigidity of the lifting system according to the invention is maximized. Advantageously, the fluid volumes are completed and are therefore not contaminated. Consequently, the lifting system according to the invention can be designed to be particularly durable and low-maintenance.

Zweckmäßig ist bei dem erfindungsgemäßen Hubsystem der Querschnitt der Kolbenkammer an der Eingangsseite größer als der Querschnitt der Kolbenkammer an der Ausgangsseite oder aber der Querschnitt des Faltenbalgs an der Eingangsseite ist größer als der Querschnitt des Faltenbalgs an der Ausgangsseite. In dieser Weiterbildung ist eine Übersetzung von Stellwegen des Piezostellers in verglichen mit diesen größere Stellwege des erfindungsgemäßen Hubsystems gewährleistet. Suitably, in the lifting system according to the invention, the cross section of the piston chamber on the input side is greater than the cross section of the piston chamber on the output side or the cross section of the bellows on the input side is greater than the cross section of the bellows on the output side. In this development, a translation of travel ranges of the piezoelectric actuator is guaranteed in comparison with these larger travel ranges of the lifting system according to the invention.

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zur elektrischen Prüfung einer elektronischen Komponente wird die Komponente auf die Auflage eines erfindungsgemäßen Hubsystems wie zuvor beschrieben aufgelegt und zur Positionierung relativ zu einem Prüfkontakt geeignet gehoben oder gesenkt. Mittels des erfindungsgemäßen Hubsystems wie zuvor beschrieben wird gleichzeitig eine sehr hohe Systemsteifigkeit erreicht als auch ein erforderlicher Hub sehr schnell bewerkstelligt. Mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens lässt sich folglich eine Testzeit einer elektronischen Komponente deutlich verkürzen, da sowohl die Zeit als auch die Zuverlässigkeit des zur Prüfung erforderlichen Hubs verbessert ist. Ferner ist durch die Hydraulik das erfindungsgemäße Hubsystem stark gedämpft und es entsteht eine "weiche" Hubkurve, mittels welcher die elektronische Komponente besonders behutsam gehoben oder gesenkt werden kann. Eine Positionierung einer elektronischen Komponente relativ zu einem Prüfkontakt ist folglich mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens besonders bedarfsangepasst möglich. Idealerweise wird das erfindungsgemäße Verfahren zur Prüfung einer elektronischen Komponente in Gestalt einer Leuchtdiode (LED) durchgeführt. In the method according to the invention for the electrical testing of an electronic component, the component is placed on the support of a lifting system according to the invention as described above and suitably raised or lowered for positioning relative to a test contact. By means of the lifting system according to the invention as described above, a very high system rigidity is simultaneously achieved and a required stroke is accomplished very quickly. Consequently, a test time of an electronic component can be considerably shortened by means of the method according to the invention, since both the time and the reliability of the stroke required for testing are improved. Furthermore, the hydraulic system, the lifting system according to the invention is greatly attenuated and there is a "soft" stroke curve, by means of which the electronic component can be lifted or lowered particularly gently. Positioning of an electronic component relative to a test contact is thus possible by means of the method according to the invention particularly adapted to the needs. Ideally, the inventive method for testing an electronic component in the form of a light emitting diode (LED) is performed.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand eines in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiels näher erläutert: The invention will be explained in more detail with reference to an embodiment shown in the drawing:

Die einzige Zeichnungsfigur 1 zeigt ein erfindungsgemäßes Hubsystem, welches einen hydraulischen Wegübersetzer mit hydraulisch miteinander verbundenen Kolbenkammern aufweist, in einer Prinzipskizze im Längsschnitt. The only drawing figure 1 shows a lifting system according to the invention, which has a hydraulic travel translator with hydraulically interconnected piston chambers, in a schematic diagram in longitudinal section.

Das in 1 dargestellte erfindungsgemäße Hubsystem weist einen Piezosteller 5 auf, der zur Stellung eines Stellwegs in Richtung einer Stellrichtung S ausgebildet ist. Dazu ist der Piezosteller 5 an einer Seite R fix eingespannt. Von dieser Seite R streckt sich der Piezosteller 5 in Stellrichtung S mit elektrisch beeinflussbarem Längsmaß in Längsrichtung fort. Der Piezosteller 5 weist somit von seiner eingespannten Seite R abgewandt ein freies Ende M auf, welches von der eingespannten Seite R in Längsrichtung variabel beabstandet ist. Das freie Ende M des Piezostellers 5 ist an eine Eingangsseite E eines hydraulischen Wegübersetzers 10 angebunden. This in 1 illustrated lifting system according to the invention has a piezo actuator 5 on, which is designed to position a travel in the direction of a positioning direction S. This is the piezo plate 5 clamped on one side R fix. From this side R stretches the piezo plate 5 in the direction S with electrically influenced longitudinal dimension in the longitudinal direction. The piezo plate 5 Thus, facing away from its clamped side R, has a free end M, which is variably spaced from the clamped side R in the longitudinal direction. The free end M of the piezo actuator 5 is to an input side E of a hydraulic path translator 10 tethered.

Der Wegübersetzer 10 weist eine Ausgangsseite A auf, welche an eine Auflage in Gestalt einer Hubtischplatte 15 angebunden ist. Die Hubtischplatte 15 ist in 1 lediglich angedeutet (als gestrichelte, vertikale Linie). The path translator 10 has an output side A, which on a support in the form of a Hubtischplatte 15 is connected. The lifting table plate 15 is in 1 merely indicated (as dashed, vertical line).

Der hydraulische Wegübersetzer 10 umfasst eine eingangsseitige Kolbenkammer 20 und mit dieser hydraulisch gekoppelt eine ausgangsseitige Kolbenkammer 25. In der eingangsseitigen Kolbenkammer 20 ist ein Kolben 30 eingangsseitig betätigbar geführt, d.h. eine Handhabe 32 ist aus der Kolbenkammer 20 eingangsseitig herausgeführt. In der ausgangsseitigen Kolbenkammer 25 ist ebenfalls ein Kolben 35 geführt. Der Kolben 35 weist eine Handhabe 37 auf, welche ausgangsseitig aus der Kolbenkammer 25 ausgeführt ist. Sowohl der Kolben 30 der eingangsseitigen Kolbenkammer 20 als auch der Kolben 35 in der ausgangsseitigen Kolbenkammer 25 sind jeweils in und entgegengesetzt zur Stellrichtung S in der jeweiligen Kolbenkammer 20, 25 beweglich geführt. The hydraulic distance translator 10 includes an input side piston chamber 20 and with this hydraulically coupled to an output side piston chamber 25 , In the input side piston chamber 20 is a piston 30 on the input side operable guided, ie a handle 32 is from the piston chamber 20 led out on the input side. In the output side piston chamber 25 is also a piston 35 guided. The piston 35 has a handle 37 on which output side of the piston chamber 25 is executed. Both the piston 30 the input side piston chamber 20 as well as the piston 35 in the output side piston chamber 25 are respectively in and opposite to the direction S in the respective piston chamber 20 . 25 movably guided.

Die eingangsseitige Kolbenkammer 20 und die ausgangsseitige Kolbenkammer 25 sind über eine hydraulische Drossel 40 miteinander hydraulisch verbunden und somit gekoppelt. The input-side piston chamber 20 and the output side piston chamber 25 are via a hydraulic throttle 40 hydraulically connected to each other and thus coupled.

Das in 1 dargestellte erfindungsgemäße Hubsystem wird wie folgt betrieben:
Der Piezosteller 5 wird in an sich bekannter Weise mit einer Spannung beaufschlagt, sodass sich das freie Ende M des Piezostellers 5 in Stellrichtung S hin auslenkt. Das freie Ende M des Piezostellers 5 ist mit der Handhabe 32 des in der eingangsseitigen Kolbenkammer 20 geführten Kolbens 30 starr bewegungsgekoppelt. Infolgedessen wird bei der Auslenkung des freien Endes M des Piezostellers 5 der Kolben 30 in Stellrichtung S innerhalb der eingangsseitigen Kolbenkammer 20 bewegt. This in 1 illustrated lifting system according to the invention is operated as follows:
The piezo plate 5 is applied in a conventional manner with a voltage, so that the free end M of the piezoelectric actuator 5 in the direction of S out deflects. The free end M of the piezo actuator 5 is with the handle 32 in the input side piston chamber 20 guided piston 30 rigid motion coupled. As a result, at the deflection of the free end M of the piezoelectric actuator 5 The piston 30 in the direction S within the input-side piston chamber 20 emotional.

In der eingangsseitigen Kolbenkammer 20 ist an der vom Piezosteller 5 abgewandten Seite des Kolbens 30 ein Hydrauliköl befindlich. Der Kolben 30 begrenzt in der eingangsseitigen Kolbenkammer 20 folglich das Volumen, welches das Hydrauliköl in der eingangsseitigen Kolbenkammer 20 einnimmt. Bei der Bewegung des Kolbens 30 in der eingangsseitigen Kolbenkammer 20 in Stellrichtung S verringert sich folglich das für das Hydrauliköl innerhalb der eingangsseitigen Kolbenkammer 20 zur Verfügung stehende Volumen. Infolgedessen wird Hydrauliköl aus der eingangsseitigen Kolbenkammer 20 verdrängt und gelangt über die hydraulische Drossel 40 in die ausgangsseitige Kolbenkammer 25 des hydraulischen Wegübersetzers 10. Auch in der ausgangsseitigen Kolbenkammer 25 wird das für das Hydrauliköl zur Verfügung stehende Volumen durch einen Kolben, hier dem in der ausgangsseitigen Kolbenkammer 25 geführten Kolben 35, begrenzt. In Folge des in die ausgangsseitige Kolbenkammer 25, welche ebenfalls mit Hydrauliköl gefüllt ist, zusätzlich einfließenden Hydrauliköls wird folglich der in der ausgangsseitigen Kolbenkammer 25 geführte Kolben 35 in Stellrichtung S bewegt. In the input side piston chamber 20 is at the of the piezo plate 5 opposite side of the piston 30 a hydraulic oil is located. The piston 30 limited in the input side piston chamber 20 consequently, the volume containing the hydraulic oil in the input side piston chamber 20 occupies. At the movement of the piston 30 in the input side piston chamber 20 in the direction of adjustment S, consequently, that for the hydraulic oil within the input-side piston chamber is reduced 20 available volumes. As a result, hydraulic oil from the input side piston chamber 20 displaces and passes through the hydraulic throttle 40 in the output side piston chamber 25 of the hydraulic distance translator 10 , Also in the output side piston chamber 25 is the volume available for the hydraulic oil by a piston, here in the output side piston chamber 25 guided piston 35 , limited. As a result of in the output side piston chamber 25 , which is also filled with hydraulic oil, in addition inflowing hydraulic oil is consequently in the output side piston chamber 25 guided pistons 35 moved in the direction S.

An der Handhabe 37 des in der ausgangsseitigen Kolbenkammer 25 geführten Kolbens 35, welcher in Stellrichtung S bewegt wird, ist die Hubtischplatte 15 starr bewegungsgekoppelt und zwar im gezeigten Ausführungsbeispiel direkt befestigt. Folglich bewegt sich die Hubtischplatte 15 in Stellrichtung S. At the handle 37 in the output side piston chamber 25 guided piston 35 , which is moved in the direction S, is the lifting table plate 15 rigid motion coupled and indeed directly attached in the embodiment shown. As a result, the lift table plate moves 15 in direction S.

In Folge des deutlich größeren Querschnitts senkrecht zur Stellrichtung S der eingangsseitigen Kolbenkammer 20 im Vergleich zur ausgangsseitigen Kolbenkammer 25 bewegt sich die Hubtischplatte 15 nicht etwa um denjenigen Stellweg, um welchen sich das freie Ende M des Piezostellers 5 in Stellrichtung S bewegt (im dargestellten Ausführungsbeispiel ca. 50 µm). Vielmehr weist der hydraulische Wegübersetzer 10 eine deutlich größere Übersetzung auf. Infolgedessen bewegt sich die Hubtischplatte 15 um einen Weg in Stellrichtung S, welcher aus dem Stellweg des freien Endes M des Piezostellers 5 durch Multiplikation mit einem Übersetzungsfaktor > 1 hervorgeht, im dargestellten Ausführungsbeispiel ein Faktor von 100 (die Dimensionen der in 1 gezeigten Kolbenkammern 20, 25 sind nicht maßstabsgerecht dargestellt). Auf diese Weise lässt sich durch entsprechende Ansteuerung des Piezostellers 5 ein entsprechender Stellweg der Hubtischplatte 15, im dargestellten Ausführungsbeispiel 5 Millimeter, erreichen. As a result of the significantly larger cross-section perpendicular to the direction of adjustment S of the input-side piston chamber 20 in comparison to the output side piston chamber 25 the lift table plate moves 15 not about the travel around which the free end M of the piezo actuator 5 moved in the direction S (in the illustrated embodiment, approximately 50 microns). Rather, the hydraulic path translator points 10 a much larger translation. As a result, the lift table plate moves 15 to a path in the direction S, which from the travel of the free end M of the piezoelectric actuator 5 by multiplication with a translation factor> 1, in the illustrated embodiment, a factor of 100 (the dimensions of in 1 shown piston chambers 20 . 25 are not drawn to scale). In this way, by appropriate control of the piezo actuator 5 a corresponding travel of the lifting table plate 15 , in the illustrated embodiment 5 millimeters reach.

Wird hingegen das freie Ende M des Piezostellers 5 entgegen der Stellrichtung S bewegt, so bewegt sich auch die Hubtischplatte 15 um diesen mit dem Übersetzungsfaktor 100 skalierten Stellweg entgegen der Stellrichtung S. If, however, the free end M of the piezo actuator 5 moved counter to the direction of adjustment S, so also moves the Hubtischplatte 15 about this with the translation factor 100 scaled travel against the direction of S.

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zur elektrischen Prüfung einer Leuchtdiode ist das in 1 dargestellte Hubsystem derart positioniert, dass die Stellrichtung S parallel oder antiparallel zu derjenigen Richtung, entlang welcher die Gewichtskraft wirkt, orientiert ist. D.h. das in 1 dargestellte Hubsystem ist mit seiner Stellrichtung S vertikal orientiert, beispielsweise derart, dass die Hubtischplatte 15 oberhalb des Piezostellers 5 gelegen ist. In the method according to the invention for the electrical testing of a light emitting diode, the in 1 Positioning system shown positioned so that the adjustment direction S parallel or anti-parallel to the direction along which the weight acts, is oriented. That is in the 1 shown lifting system is oriented vertically with its adjustment direction S, for example, such that the lifting table plate 15 above the piezo plate 5 is located.

Zur Prüfung der Leuchtdiode wird die Leuchtdiode auf die Hubtischplatte 15 aufgelegt. Zur elektrischen Prüfung der Leuchtdiode wird ein in 1 nicht explizit gezeigter Prüfkontakt, welcher starr zum eingespannten Ende R des Piezostellers 5 angeordnet ist, herangezogen. Die in 1 nicht explizit gezeigte Leuchtdiode wird zur Positionierung relativ zu diesem Prüfkontakt mittels der Hubtischplatte 15 geeignet angehoben oder gesenkt. Auf diese Weise wird die Leuchtdiode mit dem Prüfkontakt in Kontakt gebracht und dabei mit einer Prüfspannung beaufschlagt. Nachfolgend kann eine elektrische Prüfung der Leuchtdiode erfolgen. To test the LED, the LED is on the Hubtischplatte 15 hung up. For electrical testing of the LED is a in 1 not explicitly shown test contact, which rigidly to the clamped end R of the piezoelectric actuator 5 is arranged, used. In the 1 not explicitly shown light emitting diode is used for positioning relative to this test contact by means of the lifting table plate 15 suitable raised or lowered. In this way, the light emitting diode is brought into contact with the test contact and thereby acted upon with a test voltage. Subsequently, an electrical test of the LED can be done.

Es versteht sich, dass anstelle der eingangsseitigen Kolbenkammer 20 mit dem darin geführten Kolben 30 und der ausgangsseitigen Kolbenkammer 25 mit dem darin geführten Kolben 35 auch ein eingangsseitiger Faltenbalg sowie ein ausgangsseitiger Faltenbalg, die vergleichbar mit der in 1 dargestellten Anordnung über eine hydraulische Drossel 40 miteinander hydraulisch gekoppelt sind, vorhanden sein können. Anstelle der Ankopplung des freien Endes M des Piezostellers 5 an die Handhabe 32 des in der eingangsseitigen Kolbenkammer 20 geführten Kolbens 30 ist das freie Ende des Piezostellers 5 stattdessen an das dem freien Ende des Piezostellers 5 zugewandte Ende des eingangsseitigen Faltenbalgs gekoppelt. Der eingangsseitige Faltenbalg weist dabei eine Faltrichtung auf, welche entlang der Stellrichtung S gem. 1 verläuft. Entsprechend ist ein der Hubtischplatte 15 zugewandtes Ende des ausgangsseitigen Faltenbalgs an diese angebunden. Die Faltrichtung des ausgangsseitigen Faltenbalges verläuft dabei entgegengesetzt der Stellrichtung S gem. 1. Es versteht sich ferner, dass bei dem zuvor erläuterten erfindungsgemäßen Verfahren anstelle einer Leuchtdiode auch andere elektronische Komponenten elektrisch geprüft werden können. It is understood that instead of the input side piston chamber 20 with the piston guided in it 30 and the output side piston chamber 25 with the piston guided in it 35 also an inlet-side bellows and an output-side bellows, which are comparable to the in 1 illustrated arrangement via a hydraulic throttle 40 coupled to each other hydraulically can be present. Instead of the coupling of the free end M of the piezo actuator 5 to the handle 32 in the input side piston chamber 20 guided piston 30 is the free end of the piezo plate 5 instead to the free end of the piezo plate 5 coupled end facing the input side bellows. The inlet-side bellows has a folding direction, which along the direction of adjustment S gem. 1 runs. Accordingly, one of the lifting table plate 15 facing end of the output side bellows connected to this. The folding direction of the output side bellows runs opposite to the direction of adjustment S gem. 1 , It is further understood that in the above-described inventive method instead of a light-emitting diode and other electronic components can be electrically tested.

Claims

Lifting system, comprising a piezo plate ( 5 ), an edition ( 15 ) as well as a hydraulic distance translator ( 10 ) with an input side and an output side, which with its input side to the piezoelectric actuator ( 5 ) and with its output side to the support ( 15 ) is attached.

Lifting system according to Claim 1, in which the hydraulic distance translator ( 10 ) on each input and output side a piston chamber ( 20 . 25 ) and a piston guided therein ( 30 . 35 ), wherein the cross sections of the input and the output side piston chamber ( 30 . 35 ) differ from each other.

Lifting system according to one of the preceding claims, in which the hydraulic distance translator ( 10 ) on the input and output side each comprises a bellows, wherein the cross sections of the input and the output side bellows differ from each other.

Lifting system according to one of the preceding claims, wherein the input and output side piston chamber ( 20 . 25 ) or inlet and outlet side bellows are hydraulically connected to each other.

Lifting system according to one of the preceding claims, in which inlet and outlet side bellows or inlet and outlet side piston chamber ( 20 . 25 ) with each other by means of a hydraulic throttle ( 40 ) are connected.

Lifting system according to one of the preceding claims, in which the cross-section of the input-side piston chamber ( 20 ) is greater than the cross section of the output side piston chamber ( 25 ) or in which the cross section of the input side bellows is greater than the cross section of the output side bellows.

Method for electrical testing of an electronic component, in which the component is placed on the support ( 15 ) is applied to a lifting system according to one of the preceding claims and is raised or lowered for positioning relative to a test contact.

Method for electrical testing according to the preceding claim, which is carried out for testing an electronic component in the form of a light-emitting diode (LED).