DE102005004793B4

DE102005004793B4 - Drucksensor und Verfahren zum Herstellen eines Drucksensors

Info

Publication number: DE102005004793B4
Application number: DE102005004793A
Authority: DE
Inventors: Satoshi Musashino Kato; Toshiyuki Musashino Saruya
Original assignee: Yokogawa Electric Corp
Current assignee: Yokogawa Electric Corp
Priority date: 2004-02-05
Filing date: 2005-02-02
Publication date: 2011-02-10
Anticipated expiration: 2025-02-03
Also published as: JP2005221351A; DE102005004793A1; CN1651886A; CN100462702C; US7131337B2; US20050172723A1; JP4511844B2

Abstract

Drucksensor umfassend:
eine Basis (9), die ein Loch (6) aufweist, auf das ein Druck anwendbar ist, und die zur elektrischen und mechanischen Isolierung dient; und
einen Sensor (1), der eine mit dem Loch (6) verbundene Membran (2) und einen Dehnungsmessstreifen (3) zum Umwandeln einer in der Membran (2) auftretenden Dehnung in ein elektrisches Signal aufweist, wobei der Sensor (1) an der Basis (9) befestigt ist;
wobei das Elastizitätsmodul E_Glas der Basis, die Dicke t_Glas der Basis, das Elastizitätsmodul E_Si des Sensors und die Dicke t_Si des Sensors im Wesentlichen die folgende Gleichung erfüllen:

E_Glas × t_Glas ~ E_Si × t_Si.

Description

Diese Erfindung bezieht sich auf einen Drucksensor und insbesondere auf einen kostengünstigen und einfachen Drucksensor mit guten statischen Druckeigenschaften.
Ein herkömmlicher Drucksensor hat eine Siliziumbasis 9 und einen Vorsprung 10 (siehe beispielsweise JP-UM-A-50335 ). Der herkömmliche Drucksensor wird nun ausführlich mit Bezug auf 1 beschrieben. 1 ist eine Schnittansicht des herkömmlichen Drucksensors.
In 1 hat ein Metall 5, das eine Metallbasis ist, ein Loch 6, auf das ein Druck angewendet wird. Ein Glas 4, das eine Basis ist, umfasst ebenfalls ein Loch 6, auf das ein Druck angewendet wird. Das Glas 4 und das Metall 5 sind aneinander durch eine eutektische Au-Bindung oder dergleichen befestigt. Das Glas 4 dient zur elektrischen und mechanischen Isolierung.
Die Siliziumbasis 9 umfasst ebenfalls das Loch 6, auf das ein Druck angewendet wird. Die Siliziumbasis 9 und das Glas 4 sind aneinander befestigt. Der Vorsprung 10 wird zwischen der Siliziumbasis 9 und dem Glas 4 bereitgestellt.
Ein Siliziumsensor 1 weist eine mit dem Loch 6 verbundene Membran 2 auf. Der Siliziumsensor 1 umfasst einen Dehnungsmessstreifen 3 zum Umwandeln einer in der Membran 2 auftretenden Dehnung (Strain) in ein elektrisches Signal. Eine Seite des Siliziumsensors 1 ist an der Siliziumbasis 9 befestigt.
Die andere Seite des Siliziumsensors 1 kontaktiert einen Raum B. Das Loch 6 und die Membran 2 bilden einen Raum A.
Ein statischer Druck wird auf den Siliziumsensor 1, die Siliziumbasis 9, das Glas 4 und die anderen Teile bei dem herkömmlichen Beispiel von 1 angewendet.
Bei dem herkömmlichen Beispiel von 1, das wie oben beschrieben aufgebaut ist, wird der auf das Loch 6 angewendete Druck in ein elektrisches Signal umgewandelt. Der Dehnungsmessstreifen 3 bei dem herkömmlichen Beispiel von 1 erzeugt ein elektrisches Signal basierend auf dem Differenzialdruck zwischen dem Raum A und dem Raum B und dem statischen Druck.
Wenn der statische Druck angewendet wird, werden der Siliziumsensor 1, die Siliziumbasis 9 bzw. das Glas 4 verformt. Da der Siliziumsensor 1 und die Siliziumbasis 9 ein großes Elastizitätsmodul aufweisen, werden sie gering verformt. Da das Glas ein kleines Elastizitätsmodul aufweist, wird es erheblich verformt.
Die Siliziumbasis 9 und der Vorsprung 10 bei dem herkömmlichen Beispiel von 1 hemmen die Übertragung des Einflusses der Verformung des Glases 4 auf den Dehnungsmessstreifen 3 des Siliziumsensors 1. Der Vorsprung 10 verringert die Bindungsfläche zwischen der Siliziumbasis 9 und dem Glas 4.
Außerdem weisen einige herkömmliche Drucksensoren (Halbleiterdruckumwandlungsvorrichtung) von einander getrennt eine Struktur zum Erfassen eines Differenzialdrucks und eine Struktur zum Erfassen eines statischen Drucks auf, und weisen ebenfalls eine Struktur zum Verringern der Beeinflussung eines Differenzialdrucksignals auf, wenn die Ausgabe eines statischen Drucksignals steigt (siehe beispielsweise das japanische Patent Nr. 2 656 566 ).
Das herkömmliche Beispiel von 1 weist jedoch ein Problem auf, dass ein Fehler bei der Anwendung des statischen Drucks (statische Druckeigenschaften) auftritt.
Genauer gesagt unterscheidet sich, da das Elastizitätsmodul von Silizium sich von dem Elastizitätsmodul von Glas unterscheidet, wenn der statische Druck angewendet wird, die Verformung des Siliziumsensors 1 und der Siliziumbasis 9 von der Verformung des Glases 4, und eine Dehnung bzw. mechanische Spannung (strain) basierend auf der Verformung des Glases wird in dem Dehnungsmessstreifen 3 erzeugt.
Da das Glas 4 außerdem Eigenschaften aufweist, wie beispielsweise verzögerte Elastizität und Viskoelastizität, verursacht es eine Dehnung in der Membran 2 und somit eine Dehnung in den Dehnungsmessstreifen 3. Dies verursacht einen Fehler bei dem Beispiel von 1.
Die Siliziumbasis 9 und der Vorsprung 10 bei dem Beispiel von 1 weisen ebenfalls Probleme eines Anstiegs in der Anzahl von Bauteilen, eines Anstiegs in der Anzahl von Verarbeitungsschritten und hohe Kosten auf.
Außerdem weist die Bildung des Vorsprungs 10 ein Problem der Verschlechterung der Bindungsausbeute auf. Die Bildung des Vorsprungs 10 weist ebenfalls ein Problem eines Absenkens des Bruchdrucks auf, da die Verbindungsfläche verringert ist.
Andererseits weist das Beispiel des japanischen Patents Nr. 2 656 566 ein Problem auf, dass es das Auftreten eines Fehlers in den statischen Druckeigenschaften nicht verhindert und somit keine guten statischen Druckeigenschaften erzielt werden können.
Weitere Drucksensoren – ähnlich zu jenem aus 1 – sind beispielsweise aus DE 34 36 440 A1 , DE 26 18 399 A1 , DE 31 28 188 A1 und aus DE 199 39 118 C2 bekannt.
Es ist eine Aufgabe dieser Erfindung, die oben beschriebenen Probleme zu lösen und einen kostengünstigen und einfachen Drucksensor mit guten statischen Druckeigenschaften bereitzustellen.
Diese Aufgabe wird durch einen Drucksensor nach Anspruch 1 und ein Verfahren nach Anspruch 6 gelöst. Die abhängigen Ansprüche betreffen weitere vorteilhafte Aspekte der Erfindung.
1 ist eine Schnittansicht eines herkömmlichen Drucksensors;
2 ist eine Schnittansicht einer Ausführungsform dieser Erfindung;
3 ist eine Schnittansicht zur Zeit des Anwendens eines statischen Drucks bei der Ausführungsform von 2;
4 ist eine graphische Darstellung, die die Dehnung (–ε_Si – Δε_Glas1 + Δε_Glas2) mit Bezug auf (ε_Glas × t_Glas)/(E_Si × t_Si) bei der Ausführungsform von 2 zeigt;
5 ist eine Schnittansicht einer weiteren Ausführungsform; und
6 ist eine Schnittansicht einer weiteren Ausführungsform.
Hier wird nachstehend diese Erfindung ausführlich mit Bezug auf 2 beschrieben. 2 ist eine Schnittansicht einer Ausführungsform dieser Erfindung. Die gleichen Elemente wie die bei dem herkömmlichen Beispiel von 1 werden durch die gleichen Ziffern bezeichnet.
Die Ausführungsform von 2 ist durch die Dicke t_Glas eines Glases 4, die eine Basis ist, gekennzeichnet.
In 2 hat ein Metall 5, das eine Metallbasis ist, ein Loch 6, auf das ein Druck angewendet wird. Das Glas 4, das eine Basis ist, hat ebenfalls ein Loch 6, auf das Druck angewendet wird. Das Glas 4 und das Metall 5 sind beispielsweise durch eine eutektische Au-Bindung oder dergleichen aneinander befestigt. Das Glas 4 dient zur elektrischen und mechanischen Isolierung.
Ein Siliziumsensor 1 hat eine mit dem Loch 6 verbundene Membran 2. Der Siliziumsensor 1 umfasst einen Dehnungsmessstreifen 3 zum Umwandeln der Verformung der Membran 2 in ein elektrisches Signal. Der Siliziumsensor 1 und das Glas 4 werden beispielsweise durch eine anodische Bindung oder dergleichen aneinander befestigt.
Das Glas 4 weist eine Dicke t_Glas und der Siliziumsensor 1 eine Dicke t_Si auf. Die Dicke t_Glas des Glases 4 ist, sodass sich eine in dem Dehnungsmessstreifen 3 zur Zeit des Anwendens eines statischen Drucks auftretende Dehnung nicht verändert.
Genauer gesagt ist die Dicke t_Glas des Glases 4 von einem Wert, der die folgende Gleichung (1) erfüllt: E_Glas × t_Glas ~ E_Si × t_Si (1)
Der Dehnungsmessstreifen 3 wird an einer Position ausgebildet, der in eine Richtung x von der Mitte der Membran 2 verschoben ist, wie es in 2 gezeigt ist.
Bei der Ausführungsform von 2, die wie oben beschrieben aufgebaut ist, wird der auf das Loch 6 angewendete Druck in ein elektrisches Signal umgewandelt, wie bei dem herkömmlichen Beispiel von 1. Der Dehnungsmessstreifen 3 bei der Ausführungsform von 2 erzeugt ein elektrisches Signal basierend auf dem Differenzialdruck und dem statischen Druck, ähnlich dem Dehnungsmessstreifen 3 bei dem herkömmlichen Beispiel von 1.
Zuerst werden Eigenschaften zur Zeit des Anwendens eines statischen Drucks bei der Ausführungsform von 2 ausführlich mit Bezug auf 3 erläutert. 3 ist eine Schnittansicht zur Zeit des Anwendens eines statischen Drucks bei der Ausführungsform von 2. Die Form bei der Schnittansicht von 3 ist übertrieben gezeigt. Die Beschreibung des Metalls 5 wird weggelassen.
Bei einer Struktur, die durch Eliminieren des Glases 4 von der Ausführungsform von 2 und 3 gebildet wird (die nur den Siliziumsensor und den Dehnungsmessstreifen aufweist), wird der Siliziumsensor 1 durch den statischen Druck in einer solchen Richtung verformt, dass sein Volumen abnimmt. In diesem Fall tritt eine Dehnung –ε_Si in der Richtung x in dem Dehnungsmessstreifen 3 auf. Die Dehnung –ε_Si ist äquivalent zu einer Dehnung, die in der Membran des Siliziumsensors auftritt, die nicht an dem Glas 4 befestigt ist.
Andererseits wird bei einer Struktur, die durch Eliminieren des Siliziumsensors 1 von der Ausführungsform von 2 und 3 (die nur das Glas und den Dehnungsmessstreifen aufweist) gebildet wird, das Glas 4 durch den statischen Druck in einer solchen Richtung verformt, dass sein Volumen abnimmt. Da das Glas ein kleineres Elastizitätsmodul als das Silizium aufweist, wird das Glas erheblicher verformt. In diesem Fall tritt eine Dehnung –Δε_Glas1 in der Richtung x in dem Dehnungsmessstreifen 3 auf.
Bei der Ausführungsform von 2 und 3 verziehen und verformen sich der Siliziumsensor 1 und das Glas 4 in eine konvexe Form, wie es in 3 gezeigt ist. Dann tritt eine Zugverformung –Δε_Glas2 in der Richtung x basierend auf dieser konvexen Verformung in dem Dehnungsmessstreifen 3 auf.
Daher tritt bei dem Dehnungsmessstreifen 3 bei der Ausführungsform von 2 und 3 die Dehnung –ε_Si, die Dehnung –Δε_Glas1 und die Dehnung Δε_Glas2 auf. D. h., dass bei dem Dehnungsmessstreifen 3 bei der Ausführungsform von 2 und 3 eine Dehnung (–ε_si – Δε_Glas1 + Δε_Glas2) auftritt.
Wenn die Dicke t_Glas des Glases 4 groß ist, erhöht sich die auf das Glas 4 angewendete Kraft und daher nimmt der Absolutwert der Dehnung –Δε_Glas1 zu. Da die konvexe Verformung abnimmt, nimmt ebenfalls der Absolutwert der Zugverformung Δε_Glas2 ab.
Wenn die Dicke t_Glas klein ist, nimmt andererseits die auf das Glas 4 angewendete Kraft ab, und daher nimmt der Absolutwert der Dehnung –Δε_Glas1 ab. Da die konvexe Verformung zunimmt, nimmt der Absolutwert der Zugverformung Δε_Glas2 ebenfalls zu.
Daher sind, wenn die Dicke t_Glas des Glases 4 einen vorbestimmten Wert aufweist, die auf der Verformung des Glases 4 basierende Dehnung Δε_Glas1 und die auf der konvexen Verformung basierende Zugverformung Δε_Glas2, die in dem Dehnungsmessstreifen 3 auftreten, ausgeglichen und miteinander versetzt.
Somit tritt in diesem Fall nur die Dehnung –Δε_Si in dem Dehnungsmessstreifen 3 bei der Ausführungsform von 2 und 3 auf. D. h., dass die durch den statischen Druck bei der Ausführungsform von 2 und 3 erzeugte Dehnung (Δε_Si – Δε_Glas1 + Δε_Glas2) gleich der Dehnung –ε_Si ist, die durch den statischen Druck bei der Struktur erzeugt wird, die durch Eliminieren des Glases von der Ausführungsform von 2 und 3 gebildet wird.
Wie aus der obigen Beschreibung ersichtlich ist, tritt bei der Ausführungsform von 2 kein Fehler auf, wenn der statische Druck angewendet wird.
Ein Verfahren zum Herstellen einer derartigen Struktur bei der Ausführungsform von 2 wird nun beschrieben.
Zuerst wird neben der Ausführungsform von 2 ein Schritt eines Bildens der Struktur der Ausführungsform von 2, von der das Glas 3 eliminiert wurde, ausgeführt.
Zweitens wird ein Schritt eines Vergleichens der Dehnung (–ε_Si – Δε_Glas1 + Δε_Glas2), die in dem Dehnungsmessstreifen 3 in der Ausführungsform von 2 auftritt, mit der Dehnung –ε_si, die in dem Dehnungsmessstreifen 3 bei der Struktur der Ausführungsform von 2 auftritt, von der das Glas 4 eliminiert wurde, ausgeführt.
Wenn die Dehnung (–ε_Si – Δε_Glas1 + Δε_Glas2) von der Dehnung –ε_Si unterschiedlich ist, wird die Dicke t_Glas des Glases 4 geändert.
Wenn die Dehnung (–ε_Si – Δε_Glas1 + Δε_Glas2) größer als die Dehnung –ε_Si ist, wird die Dicke t_Glas des Glases 4 erhöht. Wenn die Dehnung (–ε_Si – Δε_Glas1 + Δε_Glas2) kleiner als die Dehnung –ε_Si ist, wird die Dicke t_Glas des Glases 4 verringert.
Als nächstes werden die Eigenschaften zur Zeit des Anwendens des statischen Drucks bei der Ausführungsform von 2 erneut ausführlich mit Bezug auf 4 beschrieben. 4 ist eine graphische Darstellung, die die Dehnung (–ε_Si – Δε_Glas1 + Δε_Glas2) zeigt, die in dem Dehnungsmessstreifen 3 mit Bezug auf (E_Glas × t_Glas)/(E_Si × t_Si) bei der Ausführungsform von 2 auftritt. Als ein Parameter wird die Dicke t_Glas des Glases 4 verwendet. 4 zeigt das Ergebnis der Berechnung mit FEM.
In 4 nimmt die Dehnung ab, wenn (E_Glas × t_Glas)/(E_Si × t_Si) zunimmt. Wenn (E_Glas × t_Glas)/(E_Si × t_Si) ungefähr 1 ist, d. h. an einem Punkt Z in 4, ist der Wert der Dehnung (–ε_Si – Δε_Glas1 + Δε_Glas2) gleich –ε_Si.
D. h., es wird neu herausgefunden, dass, wenn die Dicke t_Glas des Glases 4 klein ist, nicht nur die Dehnung (–ε_Si – Δε_Glas1 + Δε_Glas2) abnimmt, sondern ebenfalls der Wert der Dehnung (–ε_Si – Δε_Glas1 + Δε_Glas2) gleich –ε_Si ist. Daher werden bei der Ausführungsform von 2, bei der das Glas 4 eine solche Dicke t_Glas aufweist, dass die Dehnung (–ε_si – Δε_Glas1 + –Δε_Glas2) gleich –ε_Si ist, bevorzugte Eigenschaften bereitgestellt. Wenn die Dicke t_Glas des Glases 4 weiter verringert wird, nimmt die Dehnung (–ε_Si – Δε_Glas1 + –Δε_Glas2) zu.
Bei der Ausführungsform von 2 können, da die Bindungsfläche zwischen dem Siliziumsensor 1 und dem Glas 4 groß ist, ein hoher Bruchdruck und stabile Eigenschaften ebenfalls erzielt werden.
Außerdem wird bei der Ausführungsform von 2 eine kleine Anzahl von Bauteilen verwendet. Bei der Ausführungsform von 2 ist die Form der Struktur einfach und der Verarbeitungsschritt vereinfacht. Somit werden bei der Ausführungsform von 2 niedrige Kosten erzielt.
Bei der Ausführungsform von 2 werden nicht nur bevorzugte statische Druckeigenschaften sondern ebenfalls bevorzugte Temperatureigenschaften erzielt.
5 ist eine Schnittansicht einer weiteren Ausführungsform dieser Erfindung. Die gleichen Elemente wie die bei der Ausführungsform von 2 werden durch die gleichen Ziffern bezeichnet und nicht weiter ausführlich beschrieben.
Die Ausführungsform von 5 wird durch einen Vorsprung (boss) 7 gekennzeichnet.
In 5 ist der Vorsprung 7 zwischen einem Glas 4 und einem Siliziumsensor 1 ausgebildet. Der Vorsprung 7 verringert die Bindungsfläche zwischen dem Glas 4 und dem Siliziumsensor 1.
Die Dicke t_Glas des Glases 4 bei der Ausführungsform von 5 ist so, dass sich eine in einem Dehnungsmessstreifen 3 zur Zeit des Anwendens eines statischen Drucks auftretenden Dehnung nicht verändert, wie bei dem Fall der Ausführungsform von 2.
Bei der Ausführungsform von 5, die wie oben beschrieben aufgebaut ist, wird, wenn die Dicke t_Glas des Glases 4 einen vorbestimmten Wert aufweist, die in dem Dehnungsmessstreifen 3 zur Zeit des Anwendens des statischen Drucks auftretende Spannung kompensiert, und daher tritt kein Fehler auf, wie bei der Ausführungsform von 2.
Außerdem hemmt der Vorsprung 7 die Übertragung der Verformung des Glases 4 auf den Siliziumsensor 1. Eine derartige Wirkung des Vorsprungs 7 ist mit einer Verformungsausgleichswirkung der Dicke t_Glas des Glases 4 kompatibel. Daher können bei der Ausführungsform von 5 bevorzugtere Eigenschaften erzielt werden.
Da der Vorsprung 7 bei der Ausführungsform von 5 kleiner als der Vorsprung 7 bei dem herkömmlichen Beispiel von 1 ausgeführt werden kann, werden die Ausbeute der Bindung und der Bruchdruck bei der Ausführungsform von 5 verglichen mit dem herkömmlichen Beispiel von 1 verbessert.
6 ist eine Schnittansicht einer weiteren Ausführungsform dieser Erfindung. Die gleichen Elemente wie diejenigen bei der Ausführungsform von 2 werden durch die gleichen Ziffern bezeichnet und nicht weiter ausführlich beschrieben.
Die Ausführungsform von 6 wird durch ein Metall 5 und eine Rille 8 gekennzeichnet.
In 5 wird die Rille 8 zwischen einem Glas 4 und dem Metall 5 gebildet. Die Rille 8 verringert die Bindungsfläche zwischen dem Glas 4 und dem Metall 5.
Die Dicke t_Glas des Glases 4 bei der Ausführungsform von 6 ist eine Dicke, sodass sich eine in einem Dehnungsmessstreifen 3 zur Zeit des Anwendens eines statischen Drucks auftretende Dehnung nicht verändert, wie in dem Fall der Ausführungsform von 2.
Bei der Ausführungsform von 6, die wie oben beschrieben und aufgebaut ist, wird, wenn die Dicke t_Glas des Glases 4 von einem vorbestimmten Wert ist, die in dem Dehnungsmessstreifen 3 zur Zeit des Anwendens des statischen Drucks auftretende Spannung kompensiert, und daher tritt kein Fehler auf, wie bei der Ausführungsform von 2.
Außerdem hemmt die Rille 8 die Übertragung der Verformung des Metalls 5 auf den Siliziumsensor 1. Eine derartige Wirkung der Rille 8 ist mit einer Verformungsausgleichwirkung der Dicke t_Glas des Glases 4 kompatibel. Daher können bei der Ausführungsform von 6 bevorzugtere Eigenschaften erzielt werden.
Bei der Ausführungsform von 6 können ebenfalls, wenn die Dicke t_Glas des Glases 4 unter Berücksichtigung der Verformung des Metalls 5 eingestellt wird, die Verformung des Siliziumsensors 1, die Verformung des Glases 4 und die Verformung des Metalls ebenfalls ausgeglichen werden. Bei der wie oben beschriebenen Ausführungsform von 6 können nicht nur der Einfluss der Verformung der Siliziumsensors 1 und Einfluss der Verformung des Glases 4 sondern ebenfalls der Einfluss der Verformung des Metalls 5 kompensiert und daher bevorzugtere Eigenschaften erzielt werden.
Bei den oben beschriebenen Ausführungsformen ist der Sensor aus Silizium und die Basis aus Glas hergestellt. Ähnliche Wirkungen und Vorteile können jedoch durch Bilden des Sensors, der aus anderen Materialien als Silizium hergestellt ist, und Bilden der Basis, die aus anderen Materialien als Glas hergestellt ist, erzielt werden.
Wie es aus der obigen Beschreibung ersichtlich ist, ist diese Erfindung nicht auf die oben beschriebenen Ausführungsformen begrenzt und umfasst verschiedene Änderungen und Modifikationen, ohne von dem Schutzumfang der Erfindung abzuweichen.
Diese Erfindung umfasst die folgenden Wirkungen.
Gemäß dieser Erfindung kann ein Drucksensor mit guten statischen Druckeigenschaften bereitgestellt werden. Ein kostengünstiger Drucksensor kann ebenfalls bereitgestellt werden. Außerdem kann ein einfacher Drucksensor bereitgestellt werden.

Claims

Drucksensor umfassend: eine Basis (9), die ein Loch (6) aufweist, auf das ein Druck anwendbar ist, und die zur elektrischen und mechanischen Isolierung dient; und einen Sensor (1), der eine mit dem Loch (6) verbundene Membran (2) und einen Dehnungsmessstreifen (3) zum Umwandeln einer in der Membran (2) auftretenden Dehnung in ein elektrisches Signal aufweist, wobei der Sensor (1) an der Basis (9) befestigt ist; wobei das Elastizitätsmodul E_Glas der Basis, die Dicke t_Glas der Basis, das Elastizitätsmodul E_Si des Sensors und die Dicke t_Si des Sensors im Wesentlichen die folgende Gleichung erfüllen: E_Glas × t_Glas ~ E_Si × t_Si.
Drucksensor gemäß Anspruch 1, bei dem der Sensor (1) aus Silizium ist.
Drucksensor gemäß Anspruch 1 oder Anspruch 2, bei dem die Basis (9) aus Glas hergestellt ist.
Drucksensor gemäß Anspruch 3 umfassend einen zwischen der Basis (9) und dem Sensor (1) ausgebildeten Vorsprung (7).
Drucksensor gemäß Anspruch 3 umfassend eine Metallbasis (5), die ein Loch (6) aufweist und an der Basis (9) befestigt ist, und eine zwischen der Basis (9) und der Metallbasis (15) ausgebildete Rille (8).
Verfahren zum Herstellen eines Drucksensors nach einem der Ansprüche 1 bis 5 umfassend: Bilden einer ersten Drucksensorstruktur durch: Bereitstellen einer Basis (9), die ein Loch (6) aufweist, auf das ein Druck anwendbar ist, und die zur elektrischen und mechanischen Isolierung dient; und Bereitstellen eines Sensors (1), der eine mit dem Loch (6) verbundene Membran (2) und einen Dehnungsmessstreifen (3) zum Umwandeln einer in der Membran (2) auftretenden Dehnung in ein elektrisches Signal aufweist, wobei der Sensor (1) an der Basis (9) befestigt ist; wobei das Verfahren weiterhin umfasst: Bilden einer Vergleichsstruktur mit einem Drucksensor (1) ohne die Basis (9); Vergleichen einer in dem Dehnungsmessstreifen der Drucksensorstruktur auftretenden ersten Dehnung mit einer in einem Dehnungsmessstreifen der Vergleichsstruktur auftretenden zweiten Dehnung; und Anpassen der Dicke der Basis, wenn die erste Dehnung von der zweiten Dehnung unterschiedlich ist.
Verfahren zum Herstellen eines Drucksensors gemäß Anspruch 6, bei dem bei dem Anpassen der Dicke der Basis (9) die Dicke der Basis erhöht wird, wenn die erste Dehnung größer als die zweite Dehnung ist, und die Dicke der Basis verringert wird, wenn die erste Dehnung kleiner als die zweite Dehnung ist.