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DE10112731A1 - Coating of substrates - Google Patents

Coating of substrates

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Publication number
DE10112731A1
DE10112731A1 DE2001112731 DE10112731A DE10112731A1 DE 10112731 A1 DE10112731 A1 DE 10112731A1 DE 2001112731 DE2001112731 DE 2001112731 DE 10112731 A DE10112731 A DE 10112731A DE 10112731 A1 DE10112731 A1 DE 10112731A1
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DE
Germany
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coating
substrates
vapor deposition
substrate
chamber
Prior art date
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Application number
DE2001112731
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German (de)
Inventor
Christoph Moelle
Rolf Meyer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Schott AG
Original Assignee
Schott Glaswerke AG
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Publication date
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    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren für die Beschichtung von Substraten, zum Beispiel Glassubstraten, gekennzeichnet durch die folgenden Arbeitsschritte: DOLLAR A - Schritt 1: Die Substrate werden vorgeheizt, zum Beispiel in einer Vorheizkammer; DOLLAR A - Schritt 2: Die Substrate werden in eine Beschichtungskammer eingebracht; DOLLAR A - Schritt 3: Die Substrate werden in der Beschichtungskammer beschichtet.The invention relates to a method for the coating of substrates, for example glass substrates, characterized by the following working steps: DOLLAR A - Step 1: The substrates are preheated, for example in a preheating chamber; DOLLAR A - Step 2: The substrates are placed in a coating chamber; DOLLAR A - Step 3: The substrates are coated in the coating chamber.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung für die Beschichtung von Substraten, z. B. Glassubstraten. Weiterhin betrifft die Erfindung einen Gegenstand mit einem Substrat und einer Beschichtung. Ein solcher Gegenstand kann beispielsweise ein Reflektor eines Scheinwerfers sein.The invention relates to a method and an apparatus for the Coating of substrates, e.g. B. glass substrates. Furthermore, the Invention an object with a substrate and a coating. Such an object can be, for example, a reflector Headlights.

Die Beschichtung von Substraten ist auf verschiedenen technischen Gebieten erforderlich. Beispielsweise sei die Beschichtung von Reflektoren genannt. Solche Reflektoren werden z. B. in der Automobilbranche für die Scheinwerfer genutzt. Wesentlich größere Reflektoren sind für Bühnenscheinwerfer erforderlich. Ein solcher Reflektor besteht im wesentlichen aus einem meist trichterähnlichen Grundkörper, der auf seiner Innenfläche reflektierend beschichtet ist. Dieser Grundkörper, auch Substrat genannt, besteht aus den Materialien Glas, Metall oder Kunststoff. Generell sind auch andere Werkstoffe denkbar. Die Substrate sind mit einer Beschichtung versehen, die auch mehrere Schichten umfassen kann. Die Anzahl der Schichten bzw. die Auswahl der Beschichtungsmaterialien bestimmt sich anhand der jeweils geforderten Reflextionseigenschaften.The coating of substrates is based on various technical Areas required. For example, the coating of reflectors called. Such reflectors are e.g. B. in the automotive industry for Headlights used. Much larger reflectors are for Stage lights required. Such a reflector consists in essentially from a mostly funnel-like body that is based on its inner surface is coated reflective. This main body, too Called substrate, it consists of the materials glass, metal or plastic. In general, other materials are also conceivable. The substrates are with a Provide coating, which can also comprise several layers. The Number of layers or the choice of coating materials is determined on the basis of the required reflection properties.

So finden sich heute unter anderem im Allgemeinbeleuchtungsbereich oder im Theaterbeleuchtungsbereich kaltlichtbeschichtete Reflektoren aus Glassubstraten. Die Kaltlichtbeschichtung reflektiert dabei nur die sichtbare Strahlung und transmittiert die Wärmestrahlung.So you can find them today in the general lighting area or reflectors coated with cold light in the theater lighting area Glass substrates. The cold light coating only reflects the visible one Radiation and transmits heat radiation.

Besonders aufgrund der hohen Temperaturbeanspruchung kommt es in der Praxis immer wieder zu einem Abblättern der Beschichtung nach einer nur relativ kurzen Betriebszeit. Das bedeutet, daß die Reflektoren häufig ausgetauscht werden müssen, was umso schwerer wiegt, da die Beschichtung der Substrate eine relativ lange Zeit in Anspruch nimmt und damit zu hohen Herstellungskosten führt.Especially due to the high temperature stress it comes in practice always to peel off the coating after a relatively short operating time. That means the reflectors are common need to be replaced, which is all the more serious since the  Coating of the substrates takes a relatively long time and thus leading to high manufacturing costs.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren bzw. eine Vorrichtung anzugeben, mit der eine besonders haltbare Beschichtung auf Substraten aufgebracht werden kann. Die Herstellung der Beschichtung soll dabei kostengünstig sein. Zudem soll ein Gegenstand mit einem Substrat angegeben werden, der eine besonders haltbare Beschichtung aufweist.The invention has for its object a method or a Specify device with which a particularly durable coating Substrates can be applied. The production of the coating should be inexpensive. In addition, an object with a Specified substrate, which is a particularly durable coating having.

Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren, eine Vorrichtung und einen Gegenstand mit den Merkmalen der Ansprüche 1, 6 und 10 gelöst. Die abhängigen Unteransprüche zeigen besonders vorteilhafte Ausführungen.This object is achieved by a method, a device and a Object with the features of claims 1, 6 and 10 solved. The dependent subclaims show particularly advantageous designs.

Die Erfinder haben nämlich erkannt, daß die Haltbarkeit der Schichten maßgeblich durch die Schichtdickenverteilung beeinflußt wird. Durch besonders gleichmäßige Schichtdickenverteilung kann eine besonders hohe Haltbarkeit der Schichten auf dem Substrat bzw. aufeinander erzielt werden. Weiterhin haben die Erfinder erkannt, daß die Schichtdickenverteilung wiederum von der Homogenität der Temperaturverteilung im Substrat beim Beschichten abhängig ist. Durch ein Vorheizen der Substrate kann eine besonders homogene Temperaturverteilung und damit eine große Uniformität der Beschichtung erreicht werden, da die Abscheideraten im Beschichtungsprozess temperaturabhängig sind. Dadurch wird eine besonders hohe Zuverlässigkeit der Beschichtung in Bezug auf die Schichthaftung erreicht.The inventors have recognized that the durability of the layers is significantly influenced by the layer thickness distribution. By A particularly uniform layer thickness distribution can be a special high durability of the layers on the substrate or on each other achieved become. Furthermore, the inventors recognized that the Layer thickness distribution in turn depends on the homogeneity of the Temperature distribution in the substrate during coating is dependent. Through a Preheating the substrates can be a particularly homogeneous Temperature distribution and thus a great uniformity of the coating can be achieved because the deposition rates in the coating process are temperature dependent. This makes it particularly high Reliability of the coating in terms of layer adhesion achieved.

Da das Vorheizen erfindungsgemäß außerhalb der Beschichtungskammer erfolgt, kann die Verweilzeit des Substrates in der Beschichtungskammer minimiert werden. Eine Taktzeit-Reduzierung bzw. eine Verringerung der Zykluszeiten ist möglich. Dadurch kann eine Verringerung der Herstellungskosten erzielt werden.Since the preheating according to the invention outside the coating chamber takes place, the residence time of the substrate in the coating chamber be minimized. A cycle time reduction or a reduction in  Cycle times are possible. This can reduce the Manufacturing costs can be achieved.

Durch externes Vorheizen läßt sich auch bei sehr großen Substratabmessungen, wie z. B. bei Reflektoren für Bühnenscheinwerfer, eine homogene Tempersaturverteilung erzielen. Dadurch wird auch hier eine uniforme Beschichtung der Substrate ermöglicht, was zu einer weit verbesserten Schichthaftung führt.External preheating can also be used for very large ones Substrate dimensions, such as. B. with reflectors for stage lights, achieve a homogeneous temperature distribution. This will also apply here a uniform coating of the substrates allows, which leads to a wide leads to improved layer adhesion.

Bei einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird durch ein zusätzliches Heizen der Substrate in der Beschichtungskammer vor der Beschichtung eine Substratreinigung erzielt. Das erfindungsgemäße Verfahren ist sowohl für die Beschichtung von Substraten mit einer Schicht als auch besonders vorteilhaft für die Beschichtung von Substraten mit mehreren Schichten anwendbar.In a particularly advantageous embodiment of the invention The process is carried out by an additional heating of the substrates in the Coating chamber achieved a substrate cleaning before coating. The inventive method is for both the coating of Substrates with a layer as well as particularly advantageous for that Coating of substrates with multiple layers applicable.

In einer besonderen Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens erfolgt die Beschichtung des Substrates mittels eines reaktiven Beschichtungsverfahrens. In diesem Fall ist die Beschichtungskammer ein Beschichtungsreaktor. Vorteilhaft seien hier folgende reaktive Verfahren genannt:
In a particular embodiment of the method according to the invention, the substrate is coated by means of a reactive coating method. In this case the coating chamber is a coating reactor. The following reactive processes are advantageous:

  • - CVD (= Chemical-Vapor-Deposition)- CVD (= chemical vapor deposition)
  • - PVD (= Physical-Vapor-Deposition)- PVD (= physical vapor deposition)
  • - PECVD (= Plasma-Enhanced-Chemical-Vapor-Deposition)- PECVD (= Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)
  • - PICVD (= Plasma-Impulse-Chemical-Vapor-Deposition)- PICVD (= Plasma-Impulse-Chemical-Vapor-Deposition)
  • - LPCVD (= Low-Pressure-Chemical-Vapor-Deposition)- LPCVD (= low pressure chemical vapor deposition)
  • - TCVD (= Thermical-Chemical-Vapor-Deposition)- TCVD (= thermal chemical vapor deposition)

Die erfindungsgemäße Vorrichtung für die Beschichtung von Substraten umfaßt neben einer Beschichtungskammer eine Vorheizeinrichtung. Mittels der Vorheizeinrichtung können die Substrate vorgeheizt werden, bis eine homogene Temperaturverteilung in den Substraten erreicht ist. Besonders vorteilhaft kann die Beschichtungskammer als Beschichtungsreaktor ausgebildet sein, um das Aufbringen der Beschichtung in einem reaktiven Verfahren zu ermöglichen. Beispielsweise sei auch hier auf die oben genannten Verfahren verwiesen. Die Beschichtungskammer kann so ausgebildet sein, daß das Aufbringen mehrerer Schichten auf dem Substrat möglich ist.The device according to the invention for the coating of substrates includes a preheating device in addition to a coating chamber. through  the preheater, the substrates can be preheated until one homogeneous temperature distribution in the substrates is reached. Especially The coating chamber can advantageously be used as a coating reactor be designed to apply the coating in a reactive To allow procedures. For example, here is the one above referenced procedures. The coating chamber can do so be formed such that the application of several layers on the substrate is possible.

Die Erkenntnis der Erfinder, eine möglichst haltbare Beschichtung auf einem Substrat durch eine besonders große Uniformität der Beschichtung zu erzielen, und die weitere Erkenntnis, daß eine solche Uniformität der Beschichtung durch ein Vorheizen des Substrates erreichbar ist, haben zu einem erfindungsgemäßen Gegenstand geführt, der ein Substrat mit einer Beschichtung umfaßt, die eine besonders hohe Zuverlässigkeit hinsichtlich der Schichthaftung aufweist. Die Beschichtung kann vorteilhaft mehrere Schichten umfassen und besonders vorteilhaft in einem reaktiven Verfahren aufgebracht sein. Auch hier sei beispielsweise auf die oben genannten Verfahren verwiesen. Der Gegenstand kann vorteilhaft eine Kaltlichtverspiegelung umfassen, um so den Einsatz im Theaterbeleuchtungsbereich zu ermöglichen.The inventors' finding that the coating is as durable as possible a substrate due to a particularly high uniformity of the coating to achieve, and the further realization that such a uniformity of Coating can be achieved by preheating the substrate performed an object of the invention, the substrate with a Coating, which has a particularly high reliability in terms who has layer adhesion. The coating can advantageously have several Layers comprise and particularly advantageously in a reactive process be upset. Here too, for example, refer to the above Referenced procedure. The object can advantageously be a Cold light mirroring include, so as to use in Allow theater lighting area.

Die Erfindung eignet sich besonders für die Beschichtung von Glassubstraten. Generell können aber auch Substrate bestehend aus anderen Materialien erfindungsgemäß beschichtet werden. Beispielsweise seien hier Metall oder Kunststoff genannt.The invention is particularly suitable for the coating of Glass substrates. In general, substrates can also consist of other materials are coated according to the invention. For example Let me mention metal or plastic.

Nachfolgend soll die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen und den zugehörigen Figuren beschrieben werden.In the following, the invention is to be explained using exemplary embodiments and associated figures are described.

Es zeigen: Show it:  

Fig. 1 das Flußdiagramm eines erfindungsgemäßen Verfahrens; FIG. 1 is a flowchart of a method of the invention;

Fig. 2 eine Prinzipskizze eine erfindungsgemäßen Vorrichtung; Fig. 2 is a schematic diagram of a device according to the invention;

Fig. 3 eine Prinzipskizze eines erfindungsgemäßen Gegenstandes. Fig. 3 is a schematic diagram of an object according to the invention.

Fig. 1 zeigt ein Ablaufdiagramm des erfindungsgemäßen Verfahrens. Man erkennt die drei erfindungswesentlichen Schritte, das Vorheizen eines Substrates (Schritt 1), das Einbringen des Substrates in eine Beschichtungskammer (Schritt 2) und das Beschichten des Substrates in der Beschichtungskammer (Schritt 3). Das erfindungsgemäße Verfahren ist geeignet für die Beschichtung eines einzelnen Substrates und auch für die gleichzeitige Beschichtung von mehreren Substraten. Es können sowohl eine wie auch mehrere Schichten aufgebracht werden. Besonders vorteilhaft erfolgt das Vorheizen in einer speziellen Vorheizkammer und beispielsweise sei für den Werkstoff des Substrates Glas genannt. Fig. 1 shows a flowchart of the inventive method. One recognizes the three steps essential to the invention, the preheating of a substrate (step 1 ), the introduction of the substrate into a coating chamber (step 2 ) and the coating of the substrate in the coating chamber (step 3 ). The method according to the invention is suitable for the coating of a single substrate and also for the simultaneous coating of several substrates. Both one and several layers can be applied. Preheating is particularly advantageously carried out in a special preheating chamber and, for example, glass is mentioned for the material of the substrate.

Wie durch die gestrichelt dargestellte Box angedeutet, kann das Substrat vorteilhaft durch ein zusätzliches Heizen in der Beschichtungskammer gereinigt werden.As indicated by the dashed box, the substrate advantageous through additional heating in the coating chamber getting cleaned.

Fig. 2 zeigt eine erfindungsgemäß ausgebildete Vorrichtung zum Beschichten von Substraten. Man erkennt die Beschichtungskammer 1 und die Vorheizeinrichtung 2. In der Vorheizeinrichtung 2 kann das Substrat solange vorgeheizt werden, bis eine homogene Temperaturverteilung im Substrat erzielt ist. Fig. 2 shows an inventive device designed for coating substrates. The coating chamber 1 and the preheating device 2 can be seen . In the preheating device 2 , the substrate can be preheated until a homogeneous temperature distribution in the substrate is achieved.

Dabei ist die erfindungsgemäß ausgebildete Vorrichtung in zwei zeitlich versetzten Betriebszuständen dargestellt. Fig. 2a zeigt die erfindungsgemäße Vorrichtung in einem Betriebszustand, in dem gleichzeitig ein Substrat A1 mittels der Vorheizeinrichtung 2 vorgeheizt wird und ein zweites Substrat A2 in der Beschichtungskammer 1 beschichtet wird. Da diese beiden Vorgänge parallel ablaufen können, ist die Zykluszeit verringert. Fig. 2b zeigt die erfindungsgemäße Vorrichtung in einem Betriebszustand, bei dem das vorgeheizte Substrat A1 in die Beschichtungskammer eingeführt wird, das Substrat A2 fertig beschichtet ist und aus der Beschichtungskammer 1 herausgeführt wird und ein drittes Substrat A3 zur Vorheizeinrichtung 2 befördert wird.The device designed according to the invention is shown in two time-shifted operating states. Fig. 2a shows the device according to the invention in an operating state, at the same time, a substrate A 1 is preheated by the preheater 2 in the A and a second substrate is coated in the coating chamber 1 2. Because these two processes can run in parallel, the cycle time is reduced. FIG. 2b shows the device according to the invention in an operating condition in which the preheated substrate A is introduced into the coating chamber 1, the substrate A is coated complete 2 and is led out of the coating chamber 1 and a third substrate A 3 is conveyed to the preheater 2.

Fig. 3 zeigt einen erfindungsgemäßen Gegenstand mit einem Substrat, z. B. einem Glassubstrat A. Auf dem Glassubstrat A ist eine Beschichtung B aufgebracht. Die Beschichtung B weist eine besonders gleichmäßige Schichtdickenverteilung auf. Dies ist erfindungsgemäß dadurch erreicht, daß die Beschichtung B in einer Beschichtungskammer aufgebracht wurde, nachdem das Substrat vorher extern vorgeheizt wurde. Die besonders gleichmäßige Schichtdickenverteilung bedeutet eine besonders große Zuverlässigkeit der Beschichtung in Bezug auf die Schichthaftung. Fig. 3 shows an object of the invention with a substrate, for. B. a glass substrate A. A coating B is applied to the glass substrate A. The coating B has a particularly uniform layer thickness distribution. This is achieved according to the invention in that coating B was applied in a coating chamber after the substrate had previously been preheated externally. The particularly uniform layer thickness distribution means that the coating is particularly reliable with regard to layer adhesion.

Claims (13)

1. Verfahren für die Beschichtung von Substraten, zum Beispiel Glassubstraten, gekennzeichnet durch die folgenden Arbeitsschritte:
  • 1. 1.1 Schritt 1: Die Substrate werden vorgeheizt, zum Beispiel in einer Vorheizkammer;
  • 2. 1.2 Schritt 2: Die Substrate werden in eine Beschichtungskammer eingebracht;
  • 3. 1.3 Schritt 3: Die Substrate werden in der Beschichtungskammer beschichtet.
1. Process for the coating of substrates, for example glass substrates, characterized by the following steps:
  • 1. 1.1 Step 1 : The substrates are preheated, for example in a preheating chamber;
  • 2. 1.2 Step 2 : The substrates are placed in a coating chamber;
  • 3. 1.3 Step 3 : The substrates are coated in the coating chamber.
2. Verfahren gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Schritt 3 eine Substratreinigung durch zusätzliches Heizen der Substrate in der Beschichtungskammer vor der Beschichtung umfaßt.2. The method according to claim 1, characterized in that step 3 comprises a substrate cleaning by additional heating of the substrates in the coating chamber before coating. 3. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschichtung der Substrate das Aufbringen einer Mehrzahl von Schichten umfaßt.3. The method according to any one of claims 1 to 2, characterized characterized in that the coating of the substrates Application of a plurality of layers comprises. 4. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschichtung in einem reaktiven Beschichtungsverfahren aufgebracht und die Beschichtungskammer ein Beschichtungsreaktor ist.4. The method according to any one of claims 1 to 3, characterized characterized in that the coating in a reactive Coating process applied and the Coating chamber is a coating reactor. 5. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschichtung wenigstens eines der nachfolgenden Verfahren umfaßt:
  • - CVD (Chemical-Vapor-Deposition)
  • - PVD (Physical-Vapor-Deposition)
  • - PECVD (Plasma-Enhanced-Chemical-Vapor- Deposition)
  • - PICVD (Plasma-Impulse-Chemical-Vapor-Deposition)
  • - LPCVD (Low-Pressure-Chemical-Vapor-Deposition)
  • - TCVD (Thermical-Chemical-Vapor-Deposition)
5. The method according to any one of claims 1 to 4, characterized in that the coating comprises at least one of the following methods:
  • - CVD (Chemical Vapor Deposition)
  • - PVD (physical vapor deposition)
  • - PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)
  • - PICVD (Plasma-Impulse-Chemical-Vapor-Deposition)
  • - LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition)
  • - TCVD (Thermical Chemical Vapor Deposition)
6. Vorrichtung für die Beschichtung von Substraten, zum Beispiel Glassubstraten;
  • 1. 6.1 mit einer Beschichtungskammer (1) dadurch gekennzeichnet, daß
  • 2. 6.2 die Vorrichtung mit einer Vorheizeinrichtung (2) zum Vorheizen der Substrate versehen ist.
6. Device for coating substrates, for example glass substrates;
  • 1. 6.1 with a coating chamber ( 1 ), characterized in that
  • 2. 6.2 the device is provided with a preheating device ( 2 ) for preheating the substrates.
7. Vorrichtung gemäß Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschichtungskammer (1) ein Beschichtungsreaktor ist, zum Aufbringen der Beschichtung in einem reaktiven Verfahren.7. The device according to claim 6, characterized in that the coating chamber ( 1 ) is a coating reactor for applying the coating in a reactive process. 8. Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 6 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschichtungskammer (1) derart ausgebildet ist, daß das Aufbringen mehrerer Schichten auf den Substrat möglich ist.8. Device according to one of claims 6 to 7, characterized in that the coating chamber ( 1 ) is designed such that the application of a plurality of layers on the substrate is possible. 9. Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschichtungskammer (2) derart ausgebildet ist, daß die Beschichtung in einem der folgenden Verfahren erfolgen kann:
  • - CVD (Chemical-Vapor-Deposition)
  • - PVD (Physical-Vapor-Deposition)
  • - PECVD (Plasma-Enhanced-Chemical-Vapor- Deposition)
  • - PICVD (Plasma-Impulse-Chemical-Vapor-Deposition)
  • - LPCVD (Low-Pressure-Chemical-Vapor-Deposition)
  • - TCVD (Thermical-Chemical-Vapor-Deposition)
9. Device according to one of claims 6 to 8, characterized in that the coating chamber ( 2 ) is designed such that the coating can be carried out in one of the following methods:
  • - CVD (Chemical Vapor Deposition)
  • - PVD (physical vapor deposition)
  • - PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)
  • - PICVD (Plasma-Impulse-Chemical-Vapor-Deposition)
  • - LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition)
  • - TCVD (Thermical Chemical Vapor Deposition)
10. Gegenstand
  • 1. 10.1 mit einem Substrat (A), z. B. einem Glassubstrat;
  • 2. 10.2 mit einer Beschichtung (B);
  • 3. 10.3 die Beschichtung (B) ist in einer Beschichtungskammer aufgebracht;
dadurch gekennzeichnet, daß
  • 1. 10.4 das Substrat außerhalb der Beschichtungskammer vorgeheizt worden ist.
10. Subject
  • 1. 10.1 with a substrate (A), for. B. a glass substrate;
  • 2. 10.2 with a coating (B);
  • 3. 10.3 the coating (B) is applied in a coating chamber;
characterized in that
  • 1. 10.4 the substrate has been preheated outside the coating chamber.
11. Gegenstand gemäß Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschichtung (B) mehrere Schichten umfaßt.11. Object according to claim 10, characterized in that the coating (B) comprises several layers. 12. Gegenstand gemäß einem der Ansprüche 10 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschichtung (B) eine Kaltlichtverspiegelung umfaßt.12. Object according to one of claims 10 to 11, characterized characterized in that the coating (B) a Cold light mirroring includes. 13. Gegenstand gemäß einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschichtung (B) in einem reaktivem Verfahren aufgebracht ist.13. Object according to one of claims 10 to 12, characterized characterized in that the coating (B) in a reactive Procedure is applied.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10242752A1 (en) * 2002-09-13 2004-03-25 Schott Glas Device for automatically charging machines e.g. reactors, chambers and coating units comprises units for transporting, introducing and removing objects

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8128549B2 (en) 2007-02-20 2012-03-06 Neuronetics, Inc. Capacitor failure detection
PT2251454E (en) 2009-05-13 2014-10-01 Sio2 Medical Products Inc Vessel coating and inspection
US9458536B2 (en) 2009-07-02 2016-10-04 Sio2 Medical Products, Inc. PECVD coating methods for capped syringes, cartridges and other articles
US11624115B2 (en) 2010-05-12 2023-04-11 Sio2 Medical Products, Inc. Syringe with PECVD lubrication
US9878101B2 (en) 2010-11-12 2018-01-30 Sio2 Medical Products, Inc. Cyclic olefin polymer vessels and vessel coating methods
US9272095B2 (en) 2011-04-01 2016-03-01 Sio2 Medical Products, Inc. Vessels, contact surfaces, and coating and inspection apparatus and methods
US11116695B2 (en) 2011-11-11 2021-09-14 Sio2 Medical Products, Inc. Blood sample collection tube
WO2013071138A1 (en) 2011-11-11 2013-05-16 Sio2 Medical Products, Inc. PASSIVATION, pH PROTECTIVE OR LUBRICITY COATING FOR PHARMACEUTICAL PACKAGE, COATING PROCESS AND APPARATUS
EP2846755A1 (en) 2012-05-09 2015-03-18 SiO2 Medical Products, Inc. Saccharide protective coating for pharmaceutical package
US20150297800A1 (en) 2012-07-03 2015-10-22 Sio2 Medical Products, Inc. SiOx BARRIER FOR PHARMACEUTICAL PACKAGE AND COATING PROCESS
US9664626B2 (en) 2012-11-01 2017-05-30 Sio2 Medical Products, Inc. Coating inspection method
EP2920567B1 (en) 2012-11-16 2020-08-19 SiO2 Medical Products, Inc. Method and apparatus for detecting rapid barrier coating integrity characteristics
CN105705676B (en) 2012-11-30 2018-09-07 Sio2医药产品公司 Control the uniformity of the PECVD depositions on injector for medical purpose, cylindrantherae etc.
US9764093B2 (en) 2012-11-30 2017-09-19 Sio2 Medical Products, Inc. Controlling the uniformity of PECVD deposition
WO2014134577A1 (en) 2013-03-01 2014-09-04 Sio2 Medical Products, Inc. Plasma or cvd pre-treatment for lubricated pharmaceutical package, coating process and apparatus
US9937099B2 (en) 2013-03-11 2018-04-10 Sio2 Medical Products, Inc. Trilayer coated pharmaceutical packaging with low oxygen transmission rate
KR102167557B1 (en) 2013-03-11 2020-10-20 에스아이오2 메디컬 프로덕츠, 인크. Coated Packaging
US9863042B2 (en) 2013-03-15 2018-01-09 Sio2 Medical Products, Inc. PECVD lubricity vessel coating, coating process and apparatus providing different power levels in two phases
EP3122917B1 (en) 2014-03-28 2020-05-06 SiO2 Medical Products, Inc. Antistatic coatings for plastic vessels
CA2995225C (en) 2015-08-18 2023-08-29 Sio2 Medical Products, Inc. Pharmaceutical and other packaging with low oxygen transmission rate
CN108950514B (en) * 2018-08-28 2020-05-12 洛阳尚德太阳能电力有限公司 Tubular PECVD preheating boat storage device of crystalline silicon solar cell and film coating method

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3568632A (en) * 1969-03-24 1971-03-09 Gary F Cawthon Lens coating apparatus
DE1446199B2 (en) * 1958-07-02 1971-07-01 Libbey Owens-Ford Glass Co., Toledo, Ohio(V,St.A.) CONTINUOUS PROCEDURE FOR COVERING AGAINST STANDS, IN PARTICULAR GLASS PANELS, BY VACUUM EVAPORATION AND DEVICE TO PERFORM THE PROCESS
DE3317349C2 (en) * 1982-05-13 1991-03-07 Canon K.K., Tokio/Tokyo, Jp
DE4008405C1 (en) * 1990-03-16 1991-07-11 Schott Glaswerke, 6500 Mainz, De
US5976258A (en) * 1998-02-05 1999-11-02 Semiconductor Equipment Group, Llc High temperature substrate transfer module

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5412274A (en) * 1992-12-17 1995-05-02 General Electric Company Diffusely reflecting optical interference filters and articles including lamps reflectors and lenses
US6193506B1 (en) * 1995-05-24 2001-02-27 Brooks Automation, Inc. Apparatus and method for batch thermal conditioning of substrates
JPH113861A (en) * 1997-06-12 1999-01-06 Sony Corp Semiconductor device manufacturing method and device
US6294219B1 (en) * 1998-03-03 2001-09-25 Applied Komatsu Technology, Inc. Method of annealing large area glass substrates
DE60022191D1 (en) * 1999-07-02 2005-09-29 Ngimat Co METHOD OF COATING CERAMICS BY CCVD

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1446199B2 (en) * 1958-07-02 1971-07-01 Libbey Owens-Ford Glass Co., Toledo, Ohio(V,St.A.) CONTINUOUS PROCEDURE FOR COVERING AGAINST STANDS, IN PARTICULAR GLASS PANELS, BY VACUUM EVAPORATION AND DEVICE TO PERFORM THE PROCESS
US3568632A (en) * 1969-03-24 1971-03-09 Gary F Cawthon Lens coating apparatus
DE3317349C2 (en) * 1982-05-13 1991-03-07 Canon K.K., Tokio/Tokyo, Jp
DE4008405C1 (en) * 1990-03-16 1991-07-11 Schott Glaswerke, 6500 Mainz, De
US5976258A (en) * 1998-02-05 1999-11-02 Semiconductor Equipment Group, Llc High temperature substrate transfer module

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10242752A1 (en) * 2002-09-13 2004-03-25 Schott Glas Device for automatically charging machines e.g. reactors, chambers and coating units comprises units for transporting, introducing and removing objects
DE10242752B4 (en) * 2002-09-13 2005-01-13 Schott Glas Apparatus and method for automatically feeding a plurality of processing stations and coating equipment with such a device

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Publication number Publication date
WO2002072914A1 (en) 2002-09-19

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