DE10036209C1

DE10036209C1 - X-ray image amplifier for providing high intensity visible image has aluminum (alloy) carrier provided with intermetallic compound coating layer and X-ray luminescent layer

Info

Publication number: DE10036209C1
Application number: DE2000136209
Authority: DE
Inventors: Eberhard Lenz
Original assignee: Siemens Corp
Current assignee: Siemens Corp
Priority date: 2000-07-25
Filing date: 2000-07-25
Publication date: 2002-02-07
Anticipated expiration: 2020-07-26

Abstract

Die Erfindung betrifft einen Röntgenbildverstärker (RB 1, RB 2, RB 3, RB 4) mit einem Eingangsleuchtschirm (3, 3'), welcher einen aus einem Aluminium oder aus einem wenigstens eine Aluminiumlegierung umfassenden Material ausgebildeten Träger (4, 4') aufweist, wobei der Träger (4, 4') auf einer Oberfläche mit einer wenigstens im Wesentlichen homogenen Schicht (5, 5', 5'', 12) versehen ist, die wiederum mit einer Röntgenleuchtstoffschicht (6, 6') versehen ist.The invention relates to an X-ray image intensifier (RB 1, RB 2, RB 3, RB 4) with an entrance fluorescent screen (3, 3 ') which has a carrier (4, 4') made of aluminum or of a material comprising at least one aluminum alloy The support (4, 4 ') is provided on one surface with an at least substantially homogeneous layer (5, 5', 5 '', 12), which in turn is provided with an X-ray phosphor layer (6, 6 ').

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Röntgenbildverstärker mit einem Eingangsleuchtschirm.The invention relates to an X-ray image intensifier with an entrance screen.

Die Aufgabe eines Röntgenbildverstärkers besteht im Wesent lichen darin, auf den Eingangsleuchtschirm treffende Röntgen strahlung in ein sichtbares Bild hoher Leuchtdichte umzuwan deln. Von einer Röntgenstrahlenquelle ausgehende und beim Durchtritt durch ein Untersuchungsobjekt geschwächte Röntgen strahlung durchdringt dabei ein Eingangsfenster des ein Vaku umgehäuse umfassenden Röntgenbildverstärkers und trifft auf den Eingangsleuchtschirm innerhalb des Vakuumgehäuses auf. Der Eingangsleuchtschirm umfasst im Wesentlichen einen bei spielsweise aus Aluminium ausgebildeten und im Allgemeinen eine gewölbte Oberfläche aufweisenden Träger, auf dem eine im Wesentlichen Cäsiumjodid umfassende Röntgenleuchtstoffschicht aufgetragen ist. Ein Röntgenleuchtstoff ist eine Substanz, die unter dem Einfluss von Röntgenstrahlung das Phänomen der Lumineszenz zeigt. Insbesondere Einblatt-Leuchtstofffolien sind in der DE 695 02 832 T2 offenbart. Der Eingangsleucht schirm kann demnach auf ihn treffende Röntgenstrahlung in ein optisches Bild umwandeln.The main task of an X-ray image intensifier is X-rays hitting the entrance screen to convert radiation into a visible image of high luminance spindles. Starting from an x-ray source and at Weak x-ray passing through an object under examination radiation penetrates an entrance window of a vacuum surrounding housing X-ray image intensifier and hits the entrance fluorescent screen inside the vacuum housing. The entrance fluorescent screen essentially comprises a for example made of aluminum and in general a curved surface carrier on which an im X-ray phosphor layer essentially comprising cesium iodide is applied. An X-ray phosphor is a substance which, under the influence of X-rays, the phenomenon of Luminescence shows. In particular single-sheet fluorescent films are disclosed in DE 695 02 832 T2. The entrance light This means that the screen can have X-rays striking it convert optical image.

Aus der DE 43 42 219 C2 ist es bekannt, dass der Träger des Eingangsleuchtschirmes gleichzeitig das Eingangsfenster des Röntgenbildverstärkers bilden kann. Bei dieser Ausführung ist die Röntgenleuchtstoffschicht direkt auf einer Oberfläche des Eingangsfensters, die in das Innere des Vakuumgehäuses zeigt, aufgetragen.From DE 43 42 219 C2 it is known that the carrier of the Entrance screen at the same time the entrance window of the X-ray image intensifier can form. In this version is the x-ray phosphor layer directly on a surface of the Entrance window that points into the interior of the vacuum housing applied.

Die Eigenschaften des Eingangsleuchtschirmes bestimmen maß geblich die Bildqualität des gesamten Röntgenbildverstärkers. The properties of the entrance screen determine measured the image quality of the entire X-ray image intensifier.

Nachteilig an bekannten Röntgenbildverstärkern ist, dass durch den Herstellungsprozess der im Allgemeinen gewölbten Oberfläche des Trägers eine Textur im Aluminium auftritt. Diese Textur, d. h. eine bevorzugte krisallographische Lage der Oberflächengitterebenen, bewirkt, dass ein epitaktisches Aufwachsen der im Wesentlichen Cäsiumjodid aufweisenden Rönt genleuchtstoffschicht nicht isotrop und daher auch nicht ho mogen geschieht. Eine homogene Röntgenleuchtstoffschicht ist jedoch maßgeblich entscheidend für eine gute Bildqualität.A disadvantage of known X-ray image intensifiers is that through the manufacturing process of the generally domed Surface of the support has a texture in the aluminum. This texture, i.e. H. a preferred crisis situation of the surface lattice planes, causes an epitaxial Growing up the X-ray, which essentially contains cesium iodide fluorescent layer not isotropic and therefore not ho may happen. There is a homogeneous X-ray phosphor layer however crucial for good image quality.

In der DE 198 41 772 A1 ist deshalb vorgeschlagen, auf dem Substrat für die Röntgenleuchtstoffschicht eine die Oberflä che des Substrates glättende Zwischenschicht aufzubringen.DE 198 41 772 A1 therefore proposes on the Substrate for the X-ray phosphor layer, the surface surface of the substrate to apply smoothing intermediate layer.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen Rönt genbildverstärker der eingangs genannten Art derart auszufüh ren, dass seine Röntgenleuchtstoffschicht möglichst homogen ausgebildet ist.The invention is therefore based on the object of an x-ray gene image intensifier of the type mentioned in such a way ren that its X-ray fluorescent layer as homogeneous as possible is trained.

Nach der Erfindung wird diese Aufgabe gelöst durch einen Röntgenbildverstärker mit einem Eingangsleuchtschirm, welcher einen aus einem Aluminium oder aus einem wenigstens eine Alu miniumlegierung umfassenden Material ausgebildeten Träger aufweist, wobei der Träger auf einer Oberfläche mit einer we nigstens im Wesentlichen homogenen Schicht versehen ist, die wenigstens eine intermetallische Verbindung aufweist und mit einer Röntgenleuchtstoffschicht versehen ist. Durch das Auf tragen der homogenen Schicht wird der Einfluss der Textur kompensiert. Aufgrund der wenigstens im Wesentlichen homoge nen Struktur der homogenen Schicht wird ein möglichtst i sotropes und homogenes Aufwachsen der Röntgenleuchtstoff schicht ermöglicht. Des Weiteren kann diejenige Oberfläche der homogenen Schicht, auf die die Röntgenleuchtstoffschicht aufgetragen wird, insbesondere relativ glatt ausgebildet wer den, was sich ebenfalls positiv auf die homogene und istrope Struktur der Röntgenleuchtstoffschicht auswirken kann. According to the invention, this object is achieved by a X-ray image intensifier with an input fluorescent screen, which one made of aluminum or at least one aluminum minium alloy material material trained carrier has, the carrier on a surface with a white at least essentially homogeneous layer is provided, which has at least one intermetallic compound and with an X-ray phosphor layer is provided. By opening wearing the homogeneous layer will influence the texture compensated. Because of the at least essentially homogeneous The structure of the homogeneous layer is as far as possible i Sotropic and homogeneous growth of the X-ray phosphor layer enables. Furthermore, that surface the homogeneous layer on which the X-ray phosphor layer is applied, in particular who is relatively smooth what is also positive on the homogeneous and istrope Structure of the X-ray phosphor layer can impact.

Nach Varianten der Erfindung weist die intermetallische Ver bindung wenigstens eines der Elemente Ti, N, C, Nb, Ta, Cr, Ni, Au, Zr, Cu, V, Mn, Fe, Co, Ge, Mo, Pd, Ag, Sb, Hf, W, Pt oder Hartchrom oder Ni-Cr-Verbundschichten umfasst. Die in termetallische Verbindung ist nach Ausführungsformen der Er findung in vorteilhafter Weise durch ein PVD (Physical Vapor Deposition) Verfahren oder durch ein CVD (Chemical Vapor De position) Verfahren oder durch Bedampfen oder durch elektro lytisches Beschichten herstellbar.According to variants of the invention, the intermetallic Ver bond at least one of the elements Ti, N, C, Nb, Ta, Cr, Ni, Au, Zr, Cu, V, Mn, Fe, Co, Ge, Mo, Pd, Ag, Sb, Hf, W, Pt or hard chrome or Ni-Cr composite layers. The in According to embodiments, the metal connection is Er invention advantageously by a PVD (Physical Vapor Deposition) process or by a CVD (Chemical Vapor De position) method or by vapor deposition or by electro lytic coating can be produced.

Die Aufgabe wird auch gelöst durch einen Röntgenbildverstär ker mit einem Eingangsleuchtschirm, welcher einen aus einem Aluminium oder aus einem wenigstens eine Aluminiumlegierung umfassenden Material ausgebildeten Träger aufweist, wobei der Träger auf einer Oberfläche mit einer wenigstens im Wesentli chen homogenen Schicht versehen ist, die wenigstens eine nach dem Sol-Gel-Verfahren hergestellte Oxidschicht aufweist und mit einer Röntgenleuchtstoffschicht versehen ist. Nach Aus führungsformen der Erfindung kann die Oxidschicht wenigstens eines der Oxide TiO₂, Al₂O₃, ZrO₂, SiO₂, CaO, MgO oder Chrom oxide umfassen.The object is also achieved by an X-ray image intensifier having an entrance fluorescent screen which has a carrier formed from an aluminum or from a material comprising at least one aluminum alloy, the carrier being provided on a surface with an at least substantially homogeneous layer which has at least one Has oxide layer produced by the sol-gel process and is provided with an X-ray phosphor layer. According to embodiments of the invention, the oxide layer can comprise at least one of the oxides TiO ₂ , Al ₂ O ₃ , ZrO ₂ , SiO ₂ , CaO, MgO or chromium oxides.

Die Aufgabe wird auch gelöst durch einen Röntgenbildverstär ker mit einem Eingangsleuchtschirm, welcher einen aus einem Aluminium oder aus einem wenigstens eine Aluminiumlegierung umfassenden Material ausgebildeten Träger aufweist, wobei der Träger auf einer Oberfläche mit einer wenigstens im Wesentli chen homogenen Schicht versehen ist, die wenigstens eine a morphe und mittels eines Haftvermittlers an die Oberfläche des Trägers angeordnete Kohlenstoffschicht aufweist und mit einer Röntgenleuchtstoffschicht versehen ist. Nach Varianten der Erfindung umfasst der Haftvermittler Ti, Si, oder Ta.The task is also solved by an X-ray image intensifier ker with an entrance fluorescent screen, which one from one Aluminum or from at least one aluminum alloy comprising material formed carrier, the Carrier on a surface with an at least substantially Chen homogeneous layer is provided, the at least one a morph to the surface and by means of an adhesion promoter has arranged carbon layer and with an X-ray phosphor layer is provided. By variants the invention comprises the adhesion promoter Ti, Si, or Ta.

Wenn der aus einem Aluminium oder aus einem wenigstens eine Aluminiumlegierung umfassenden Material ausgebildete Träger des Eingangsleuteschirmes ein Eingangsfenster des Röntgen bildverstärkers bildet, können Material- und Fertigungsaufwand bei der Herstellung des Röntgenbildverstärkers vermin dert und somit die Fertigungskosten des Röntgenbildverstär kers reduziert werden.If it is made of aluminum or at least one Aluminum alloy material-trained carrier of the entrance people screen an entrance window of the X-ray image intensifier forms, material and manufacturing costs min in the manufacture of the X-ray image intensifier changed and thus the manufacturing costs of the X-ray image intensifier kers can be reduced.

Eine Variante der Erfindung sieht vor, dass die Röntgen leuchtstoffschicht des Röntgenbildverstärkers im Wesentlichen Cäsiumjodid aufweist.A variant of the invention provides that the X-ray phosphor layer of the X-ray image intensifier essentially Has cesium iodide.

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den beigelegten schematischen Zeichnungen dargestellt. Es zeigen: Embodiments of the invention are in the accompanying shown schematic drawings. Show it:

Fig. 1 in teilweise geschnittener Darstellung einen Rönt genbildverstärker, der ein Eingangsfenster und einen einen Träger umfassenden Eingangsleuchtschirm aufweist, Fig. 1 in a partially sectioned view of a Rönt genbildverstärker having an entrance window and a carrier comprising a input luminescent screen,

Fig. 2 in teilweise geschnittener Darstellung einen Rönt genbildverstärker, dessen Träger des Eingangs leuchtschirmes das Eingangsfenster des Röntgenbild verstärkers bildet, Fig. 2 in a partially sectioned view of a Rönt genbildverstärker whose carrier forms the input amplifier luminescent screen, the input window of the X-ray image,

Fig. 3 in teilweise geschnittener Darstellung einen Rönt genbildverstärker, dessen Träger mit einer Oxid schicht versehen ist, und Fig. 3 in a partially sectioned view an X-ray image intensifier, the support of which is provided with an oxide layer, and

Fig. 4 in teilweise geschnittener Darstellung einen Rönt genbildverstärker, dessen Träger mit einer amorphen Kohlenstoffschicht versehen ist. Fig. 4 in a partially sectioned view an X-ray image intensifier, the support of which is provided with an amorphous carbon layer.

Der in Fig. 1 dargestellte erfindungsgemäße Röntgenbildver stärker RB 1 weist ein in an sich bekannter Weise aus einem Aluminium oder Edelstahl umfassenden Material ausgebildetes Vakuumgehäuse 1 auf, das an seiner Stirnseite mit einem für Röntgenstrahlung transparenten Eingangsfenster 2 abgeschlos sen ist. Das Eingangsfenster 2 ist im Falle des vorliegenden Ausführungsbeispieles aus Aluminium ausgebildeten. Von einer in Fig. 1 nicht dargestellten Röntgenstrahlenquelle ausge hende und beim Durchtritt durch ein ebenfalls nicht darge stellten Untersuchungsobjekt geschwächte Röntgenstrahlung kann demnach das Eingangsfenster 2 durchdringen und auf einen Eingangsleuchtschirm 3 auftreffen, der hinter dem Eingangs fenster 2 im Inneren des Vakuumgehäuses 1 angeordnet ist und von nicht dargestellten Haltern getragen wird.The X-ray image intensifier RB 1 according to the invention shown in FIG. 1 has a vacuum housing 1 formed in a manner known per se from an aluminum or stainless steel material, which is closed at its end face with an input window 2 that is transparent to X-radiation. In the case of the present exemplary embodiment, the input window 2 is made of aluminum. From an extended in Fig. 1, not shown, x-ray source prompt and when passing through a likewise not easily Darge examination object weakened X-rays, therefore, the input window 2 can penetrate and incident on an input phosphor screen 3, the window behind the input 2 is arranged inside the vacuum housing 1, and is carried by holders, not shown.

Der Eingangsleuchtschirm 3 umfasst im Falle des vorliegenden Ausführungsbeispieles einen aus Aluminium ausgebildeten scheibenförmigen Träger 4, der auf einer dem Eingangsfenster 2 abgewandten Oberfläche mit einer wenigstens im Wesentlichen homogenen Schicht 5 versehen ist, die diese Oberfläche vor zugsweise vollständig überzieht. Im Falle des vorliegenden Ausführungsbeispieles umfasst die wenigstens im Wesentlichen homogene Schicht 5 wenigstens eine intermetallische Verbin dung, die wenigstens eines der Elemente Ti, N, C, Nb, Ta, Cr, Ni, Au, Zr, Cu, V, Mn, Fe, Co, Ge, Mo, Pd, Ag, Sb, Hf, W, Pt oder Hartchrom oder Ni-Cr-Verbundschichten aufweisen kann. Die wenigstens im Wesentlichen homogene Schicht 5 kann bei spielsweise durch ein PVD (Physical Vapor Deposition) Verfah ren, durch ein CVD (Chemical Vapor Deposition) Verfahren, durch Bedampfen oder durch elektrolytisches Beschichten her gestellt werden.In the case of the present exemplary embodiment, the entrance fluorescent screen 3 comprises a disk-shaped carrier 4 made of aluminum, which is provided on an surface facing away from the entrance window 2 with an at least substantially homogeneous layer 5 , which preferably completely covers this surface. In the case of the present exemplary embodiment, the at least substantially homogeneous layer 5 comprises at least one intermetallic compound which comprises at least one of the elements Ti, N, C, Nb, Ta, Cr, Ni, Au, Zr, Cu, V, Mn, Fe, Co, Ge, Mo, Pd, Ag, Sb, Hf, W, Pt or hard chrome or Ni-Cr composite layers. The at least substantially homogeneous layer 5 can be produced, for example, by a PVD (Physical Vapor Deposition) process, by a CVD (Chemical Vapor Deposition) process, by vapor deposition or by electrolytic coating.

Die wenigstens im Wesentlichen homogene Schicht 5 ist wie derum mit einer im Falle des vorliegenden Ausführungsbeispie les im Wesentlichen Cäsiumjodid umfassenden Röntgenleucht stoffschicht 6 versehen, die die auftreffende Röntgenstrah lung in ein optisches Bild umwandelt. Aufgrund der homogenen Schicht 5, deren der Röntgenleuchtstoffschicht 6 zugewandten Oberfläche insbesondere relativ glatt ausgeführt werden kann, kann eine relativ homogene Struktur der Röntgenleuchtstoff schicht 6 auf der homogenen Schicht 5 in an sich bekannter Weise erzeugt werden.The at least substantially homogeneous layer 5 is in turn provided with an x-ray phosphor layer 6 which essentially comprises cesium iodide in the case of the present exemplary embodiment and which converts the incident x-ray radiation into an optical image. Due to the homogeneous layer 5, of which the X-ray phosphor layer 6 facing surface can be carried out in particular relatively smooth, a relatively homogeneous structure of the X-ray phosphor may homogeneous layer 6 on the layer 5 in a known manner be produced.

Die Röntgenleuchtstoffschicht 6 ist mit einer vorzugsweise im Wesentlichen Antimon und mehrere Alkalimetalle umfassenden dünnen Schicht, welche als Photokathode 7 dient, versehen. Die Photokathode 7 wandelt in an sich bekannter Weise das von der Röntgenleuchtstoffschicht 6 erzeugte optische Bild in eine Elektronenverteilung um.The x-ray phosphor layer 6 is provided with a thin layer which preferably comprises essentially antimony and a plurality of alkali metals and which serves as a photocathode 7 . The photocathode 7 converts the optical image generated by the X-ray phosphor layer 6 into an electron distribution in a manner known per se.

Der Photokathode 7 ist eine Elektroden umfassende Elektronen optik 8 nachgeschaltet, die von nicht dargestellten Haltern getragen wird und aufgrund einer an die Elektroden angelegte Spannung die von der Photokathode 7 erzeugten Elektronen der Elektronenverteilung in Richtung eines Ausgangsleuchtschirmes 9 beschleunigt. The photocathode 7 is an electron optics 8 connected downstream, which is carried by holders, not shown, and due to a voltage applied to the electrodes, the electrons generated by the photocathode 7 accelerate the electron distribution in the direction of an exit fluorescent screen 9 .

Der Ausgangsleuchtschirm 9 ist auf der Ausgangsseite des Röntgenbildverstärkers RB 1 angebracht. Er weist einen im Wesentlichen Glas umfassenden Träger 10 auf, der gleichzeitig ein Austrittsfenster des Röntgenbildverstärkers RB 1 dar stellt und auf einer in das Innere des Vakuumgehäuse 1 des Röntgenbildverstärkers RB 1 zeigenden Oberfläche mit einer vorzugsweise gleichmäßigen Leuchtstoffschicht 11, die bei spielsweise im Wesentlichen ZnCdS : AG aufweist, versehen ist. Die von der Elektrodenoptik 8 beschleunigten Elektronen tref fen auf den Ausgangsleuchtschirm 9 auf, wodurch ein optisches Bild auf dem Ausgangsleuchtschirm 9 entsteht.The output fluorescent screen 9 is attached to the output side of the X-ray image intensifier RB 1 . It has a carrier 10 essentially comprising glass, which at the same time represents an exit window of the X-ray image intensifier RB 1 and on a surface pointing into the interior of the vacuum housing 1 of the X-ray image intensifier RB 1 with a preferably uniform phosphor layer 11 which, for example, essentially ZnCdS: AG has, is provided. The accelerated electrons from the electrode optics 8 tref fen on the output fluorescent screen 9, is produced whereby an optical image on the output phosphor screen. 9

In Fig. 2 ist eine zweite Ausführungsform eines erfindungsge mäßen Röntgenbildverstärkers RB 2 schematisch dargestellt. Wenn folgend nicht anders beschrieben, sind Bestandteile des in Fig. 2 gezeigten Röntgenbildverstärkers RB 2, welche mit Bestandteilen des in Fig. 1 gezeigten Röntgenbildverstärkers RB 1 weitgehend bau- und funktionsgleich sind, mit denselben Bezugszeichen versehen.In Fig. 2, a second embodiment of an X-ray image intensifier RB 2 according to the invention is shown schematically. If following stated otherwise, components are the X-ray image intensifier shown in FIG. 2 RB 2, which largely construction with components of the X-ray image intensifier RB shown in Fig. 1 1 and are functionally the same are given the same reference numerals.

Im Unterschied zu dem in Fig. 1 gezeigten und vorstehend be schriebenen Röntgenbildverstärker RB 1, ist die in das Innere des Röntgenbildverstärker RB 2 zeigende Oberfläche des im Falle des vorliegenden Ausführungsbeispieles aus Aluminium ausgebildeten Eingangsfensters 2' mit einer wenigstens im Wesentlichen homogenen Schicht 5' versehen. Die homogene Schicht 5' umfasst wenigstens eine intermetallische Verbin dungen, die wenigstens eines der Elemente Ti, N, C, Nb, Ta, Cr, Ni, Au, Zr, Cu, V, Mn, Fe, Co, Ge, Mo, Pd, Ag, Sb, Hf, W, Pt oder Hartchrom oder Ni-Cr-Verbundschichten aufweisen kann. Wie bereits zuvor beschrieben, kann die homogenen Schicht 5' beispielsweise durch ein PVD (Physical Vapor Deposition) Ver fahren, durch ein CVD (Chemical Vapor Deposition) Verfahren, durch Bedampfen oder durch elektrolytisches Beschichten her gestellt werden. In contrast to the example shown in Fig. 1 and above be registered X-ray image intensifier RB 1, the side facing the interior of the X-ray image intensifier RB 2 surface of the entrance window 2 in the case of the present embodiment formed of aluminum 'is provided with an at least substantially homogeneous layer 5' , The homogeneous layer 5 'comprises at least one intermetallic compound which comprises at least one of the elements Ti, N, C, Nb, Ta, Cr, Ni, Au, Zr, Cu, V, Mn, Fe, Co, Ge, Mo, Pd , Ag, Sb, Hf, W, Pt or hard chrome or Ni-Cr composite layers. As already described above, the homogeneous layer 5 'can be produced, for example, by a PVD (Physical Vapor Deposition) method, by a CVD (Chemical Vapor Deposition) method, by vapor deposition or by electrolytic coating.

Die homogene Schicht 5' ist wiederum mit einer im Falle des vorliegenden Ausführungsbeispieles im Wesentlichen Cäsium jodid umfassenden Röntgenleuchtstoffschicht 6' versehen, die die auftreffende Röntgenstrahlung in ein optisches Bild um wandelt. Das Eingangsfenster 2' ist also gleichzeitig der Träger 4' des Eingangsleuteschirmes 3' des Röntgenbildver stärkers RB 2.The homogeneous layer 5 'is in turn provided with an X-ray phosphor layer 6 ' which essentially comprises cesium iodide in the case of the present exemplary embodiment and which converts the incident X-radiation into an optical image. The input window 2 'is thus also the carrier 4 ' of the input people screen 3 'of the X-ray image intensifier RB 2 .

Da das Eingangsfenster 2' gleichzeitig den Träger 4' des Ein gangsleuchtschirmes 3' darstellt, werden die Fertigungskosten des in Fig. 2 dargestellten Röntgenbildverstärkers RB 2 im Vergleich zu dem in Fig. 1 gezeigten Röntgenbildverstärker RB 1, bei dem das Eingangsfenster 2 nicht gleichzeitig den Trä ger 4 des Eingangsleuchtschirm 3 darstellt, reduziert, da z. B. Material eingespart werden kann. Aufgrund der homogenen Schicht 5', deren der Röntgenleuchtstoffschicht 6' zugewand ten Oberfläche insbesondere relativ glatt ausgeführt werden kann, kann eine relativ homogene Struktur der Röntgenleucht stoffschicht 6' auf der homogenen Schicht 5' in an sich be kannter Weise erzeugt werden.Since the input window 2 'also represents the carrier 4 ' of the input fluorescent screen 3 ', the manufacturing costs of the X-ray image intensifier RB 2 shown in FIG. 2 are compared to the X-ray image intensifier RB 1 shown in FIG. 1 , in which the input window 2 does not simultaneously Trä ger 4 of the input screen 3 represents reduced because z. B. material can be saved. Due to the homogeneous layer 5 ', the surface of the X-ray phosphor layer 6 ' facing th can be made particularly smooth, a relatively homogeneous structure of the X-ray phosphor layer 6 'on the homogeneous layer 5 ' can be generated in a manner known per se.

Die Röntgenleuchtstoffschicht 6' des in Fig. 2 dargestellten Röntgenbildverstärkers RB 2 ist mit einer im Wesentlichen Antimon und mehrere Alkalimetalle umfassenden dünnen Schicht, welche als Photokathode 7' dient, versehen.The X-ray phosphor layer 6 'of the X-ray image intensifier RB 2 shown in Fig. 2 is provided with a substantially antimony and more alkali metals comprehensive thin layer as a photocathode 7' provided is used.

In Fig. 3 ist eine weitere Ausführungsform eines erfindungs gemäßen Röntgenbildverstärkers RB 3 schematisch dargestellt. Wenn folgend nicht anders beschrieben, sind Bestandteile des in Fig. 3 gezeigten Röntgenbildverstärkers RB 3, welche mit Bestandteilen des in Fig. 1 gezeigten Röntgenbildverstärkers RB 1 weitgehend bau- und funktionsgleich sind, mit denselben Bezugszeichen versehen.In Fig. 3 a further embodiment of an X-ray image intensifier RB 3 according to the Invention is shown schematically. If following stated otherwise, components are the X-ray image intensifier shown in FIG. 3 RB 3, which largely construction with components of the X-ray image intensifier RB 1 shown in Fig. 1 and are functionally the same are given the same reference numerals.

Im Gegensatz zu der wenigsten im Wesentlichen homogenen Schicht 5 des in Fig. 1 dargestellten Röntgenbildverstärkers RB 1 umfasst die wenigstens im Wesentlichen homogene Schicht 5" des in Fig. 3 gezeigten Röntgenbildverstärker RB 3 wenigstens eine Oxidschicht. Diese Oxidschicht kann wenigstens eines der Oxide TiO₂, Al₂O₃, ZrO₂, SiO₂, CaO, MgO oder Chromoxide umfassen. Des weiteren ist diese Oxidschicht beispielsweise durch ein PVD (Physical Vapor Deposition) Verfahren oder durch ein CVD (Chemical Vapor Deposition) Verfahren oder durch Aufdampfen oder durch ein galvanisches Anodisierverfahren oder insbesondere durch das Sol-Gel- Verfahren herstellbar.In contrast to the at least substantially homogeneous layer 5 of the X-ray image intensifier RB 1 shown in Fig. 1, the at least substantially homogeneous layer comprises at least 5 "of the X-ray image intensifier RB shown in Fig. 3 3 an oxide layer. This oxide layer a can be at least of the oxides TiO ₂ , Al ₂ O ₃ , ZrO ₂ , SiO ₂ , CaO, MgO or chromium oxides Furthermore, this oxide layer is, for example, by a PVD (Physical Vapor Deposition) process or by a CVD (Chemical Vapor Deposition) process or by vapor deposition or by a galvanic anodizing process or in particular by the sol-gel process.

Analog zu dem in Fig. 2 gezeigten Röntgenbildverstärker RB 2 kann auch das Eingangsfenster 2 des in Fig. 3 gezeigten Rönt genbildverstärkers RB 3 gleichzeitig der Träger 4 des Ein gangsleuchtschirms 3 sein.Analogous to that shown in Fig. 2 the X-ray image intensifier RB 2 and the entrance window 2 of the Rönt genbildverstärkers RB shown in Fig. 3 can be 3, the carrier 4 at the same time of a gear phosphor screen 3.

In Fig. 4 ist eine weitere Ausführungsform eines erfindungs gemäßen Röntgenbildverstärkers RB 4 schematisch dargestellt. Wenn folgend nicht anders beschrieben, sind Bestandteile des in Fig. 4 gezeigten Röntgenbildverstärkers RB 4, welche mit Bestandteilen des in Fig. 1 gezeigten Röntgenbildverstärkers RB 1 weitgehend bau- und funktionsgleich sind, mit denselben Bezugszeichen versehen.In FIG. 4, a further embodiment of a fiction, modern x-ray image intensifier RB 4 is shown schematically. If following stated otherwise, components are the X-ray image intensifier shown in FIG. 4 RB 4, which largely construction with components of the X-ray image intensifier RB 1 shown in Fig. 1 and are functionally the same are given the same reference numerals.

Im Gegensatz zu der wenigstens im Wesentlichen homogenen Schicht 5 des in Fig. 1 dargestellten Röntgenbildverstärkers RB 1 kann die homogene Schicht 12 des in Fig. 4 gezeigten Röntgenbildverstärkers RB 4 wenigstens eine amorphe Kohlen stoffschicht aufweisen, welche mittels eines vorzugsweise relativ dünnen, beispielsweise eine Dicke im nm-Bereich auf weisenden Haftvermittlers 13 an der in das Innere des Rönt genbildverstärkers RB 4 zugewandten Oberfläche des Trägers 4 angeordnet ist. Der Haftvermittler 13 kann beispielsweise Ti, Si, oder Ta umfassen. Der Bindungscharakter in der Kohlen stoffschicht kann zwischen den Bindungscharakteren von Gra phit und Diamant liegen. In contrast to the at least substantially homogeneous layer 5 of the X-ray image intensifier RB 1 shown in Fig. 1, the homogeneous layer 12 of the exhibit in Fig. X-ray image intensifier shown 4 RB 4 at least material layer, an amorphous carbon having relatively thin preferably by means of, for example, a thickness in the nm range pointing adhesive 13 is arranged on the inside of the X-ray image intensifier RB 4 facing surface of the carrier 4 . The adhesion promoter 13 can comprise, for example, Ti, Si, or Ta. The bond character in the carbon layer can lie between the bond characters of graphite and diamond.

Analog zu dem in Fig. 2 gezeigten Röntgenbildverstärker RB 2 kann auch das Eingangsfenster 2 des in Fig. 4 gezeigten Rönt genbildverstärkers RB 4 gleichzeitig der Träger 4 des Ein gangsleuchtschirms 3 sein.Analogous to that shown in Fig. 2 the X-ray image intensifier RB 2 and the entrance window 2 can be of the in Fig. Rönt genbildverstärkers RB shown 4 4, the carrier 4 may be the same of the one gear fluorescent screen 3.

Alternativ zu den Eingangsleuchtschirmen 3 der in Fig. 1, Fig. 3 und Fig. 4 gezeigten Röntgenbildverstärker RB 1, RB 3, RB 4 können die aus Aluminium ausgebildeten Träger 4 auch aus einem Aluminium, aus einer Aluminiumlegierung oder aus einem wenigstens eine Aluminiumlegierung umfassenden Material aus gebildet sein. Ebenfalls kann das Eingangsfenster 2' bzw. der Träger 4' des in Fig. 2 dargestellten Röntgenbildverstärkers RB 2 aus einem Aluminium, aus einer Aluminiumlegierung oder aus einem wenigstens eine Aluminiumlegierung umfassenden Material ausgebildet sein.Alternatively to the input phosphor screens 3 of the X-ray image intensifier shown in FIG. 1, FIG. 3 and FIG. 4 RB 1, RB 3 RB 4, the carrier 4 formed of aluminum can also consist of an aluminum, an aluminum alloy or an at least comprising an aluminum alloy Made of material. Also, the entrance window 2 'and the carrier 4' of the X-ray image intensifier shown in FIG. 2 RB 2 made of an aluminum, be formed from an aluminum alloy or from an aluminum alloy comprising at least one material.

Die Ausführungsbeispiele sind im übrigen nur exemplarisch zu verstehen.The exemplary embodiments are otherwise only exemplary understand.

Claims

1. X-ray image intensifier (RB 1 , RB 2 ) with an input luminescent screen ( 3 , 3 ') which has a carrier ( 4 , 4 ') formed from an aluminum or from a material comprising at least one aluminum alloy, the carrier ( 4 , 4 ') is provided on one surface with an at least essentially homogeneous layer ( 5 , 5 ') which has at least one intermetallic compound and is provided with an X-ray phosphor layer ( 6 , 6 ').

2. X-ray image intensifier (RB 1 , RB 2 ) according to claim 1, wherein the intermetallic compound of at least one of the elements Ti, N, C, Nb, Ta, Cr, Ni, Au, Zr, Cu, V, Mn, Fe, Co , Ge, Mo, Pd, Ag, Sb, Hf, W, Pt.

3. X-ray image intensifier (RB 1 , RB 2 ) according to claim 1, wherein the intermetallic compound comprises hard chrome or Ni-Cr composite layers.

4. X-ray image intensifier (RB 1 , RB 2 ) according to one of claims 1 to 3, in which the intermetallic compound by a PVD (Physical Vapor Deposition) process or by a CVD (Chemical Vapor Deposition) process or by vapor deposition or by electrolytic coating is manufacturable.

5. X-ray image intensifier (RB 3 ) with an input luminescent screen ( 3 ,), which has an aluminum or an at least one aluminum alloy material formed from carrier ( 4 ), the carrier ( 4 ) on a surface with at least one essentially homogeneous layer ( 5 ") is provided which has at least one oxide layer produced by the sol-gel process and is provided with an X-ray phosphor layer ( 6 ).

6. X-ray image intensifier (RB 3 ) according to claim 5, wherein the oxide layer comprises at least one of the oxides TiO ₂ , Al ₂ O ₃ , ZrO ₂ , SiO ₂ , CaO, MgO or chromium oxides.

7. X-ray image intensifier (RB 4 ) with an input fluorescent screen ( 3 ), which has an aluminum or an at least one aluminum alloy material formed from carrier ( 4 ), the carrier ( 4 ) on a surface with at least one Essentially homogeneous layer ( 12 ) is provided, which has at least one amorphous and by means of an adhesion promoter ( 13 ) arranged on the surface of the carrier ( 4 ) carbon layer and is provided with an X-ray phosphor layer ( 6 ).

8. X-ray image intensifier (RB 4 ) according to claim 7, wherein the adhesion promoter ( 13 ) comprises Ti, Si, or Ta.

9. X-ray image intensifier (RB 2 ) according to one of claims 1 to 8, in which the carrier ( 4 ') of the input fluorescent screen ( 3 ') forms an input window ( 2 ') of the X-ray image intensifier (RB 2 ).

10. X-ray image intensifier (RB 1 , RB 2 , RB 3 , RB 4 ) according to one of claims 1 to 9, in which the X-ray phosphor layer ( 6 , 6 ') essentially comprises cesium iodide (CsJ).