DE10014133A1

DE10014133A1 - Dreiwegeventil

Info

Publication number: DE10014133A1
Application number: DE10014133A
Authority: DE
Inventors: John A Leys; Michael A Stoick
Original assignee: Fluoroware Inc
Current assignee: Entegris Inc
Priority date: 1999-03-23
Filing date: 2000-03-22
Publication date: 2000-11-09
Also published as: FR2791408B1; GB2348268A; US6575187B2; FR2791408A1; GB2348268B; JP2000297865A; US20020036017A1; GB0007128D0

Abstract

Dreiwegeventil zum Steuern der Strömung zwischen ersten und zweiten Anschlüssen und einem gemeinsamen Anschluß. Das Dreiwegeventil umfaßt einen Ventilkörper mit einem einteiligen Strömungsabschnitt und einem Ventilschaft mit einem ersten und einem zweiten Ventilelement. Der Ventilschaft ist in den Strömungsabschnitt des Ventilkörpers eingepreßt, wobei das erste ventilelement und/oder der Strömungsabschnitt vorübergehend verformt werden. Der Ventilschaft arbeitet zwischen einer ersten Position, in der Fluid zwischen dem gemeinsamen Anschluß und dem zweiten Anschluß strömen kann, und einer zweiten Position, in der Fluid zwischen dem gemeinsamen Anschluß und dem ersten Anschluß strömen kann.

Description

Die Erfindung betrifft ein Dreiwegeventil gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.

In der Halbleiterindustrie werden verschiedene Typen von Ventilen verwendet, um Fluide einschließlich hochgradig kaustischer Fluide zu transportieren. Es ist wesentlich, daß diese Ventile keine Stillstands- oder Tot- Stellen im Fluidströmungsweg hervorrufen, die bewirken könnten, daß das Fluid stillsteht und sich verschlechtert oder Festkörper einfängt, was eine Verschmutzung des Fluids zur Folge hätte. Weiterhin ist es wegen der hochgradig kaustischen Fluide, die in der Halbleiterindustrie oftmals verwendet werden, wichtig, daß die Anzahl möglicher Leckquellen oder Verschlüsse minimal gehalten wird.

Diese Ventile müssen aus Materialien hergestellt sein, die gegenüber den kaustischen Fluiden hochgradig beständig sind. Ein Kontakt mit Metallteilen ist im allgemeinen zu vermeiden. Die Komponenten, die mit den Fluiden in Kontakt sind, sind typischerweise aus Fluorpolymeren wie etwa Perfluoralkoxy (PFA), Polyvinyliden (PVDF) oder Polytetrafluorethylen (PTFE) gebildet.

Ein bekanntes Dreiwegeventil verwendet einen Ventilschaft, der in einem Strömungskanalabschnitt eines Ventilkörpers arbeitet, um die Fluidströmung zwischen einem gemeinsamen Anschluß und zwei anderen Anschlüssen zu steuern. Der Ventilschaft besitzt mehrere Teile, damit der Ventilschaft im Strömungskanalabschnitt des Ventilkörpers zusammengefügt werden kann. Daher sind die Konstruktion und die Herstellung eines solchen Dreiwegeventils teuer.

Aufgabe der Erfindung ist es, ein Dreiwegeventil gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 zu schaffen, das einen Ventilschaft mit einer verringerten oder minimalen Anzahl nicht einteilig ausgebildeter Komponenten verwendet, der schnell und einfach hergestellt und im Strömungskanalabschnitt bei einer minimalen Anzahl von Schritten zusammengefügt werden kann.

Diese Aufgabe wird gelöst gemäß dem kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1.

Ein solches Dreiwegeventil, das einen gegossenen Kunststoffventilkörper und einen Ventilschaft mit einteilig ausgebildeten Abschnitten besitzt, kann einfach hergestellt werden und ist für die Verwendung mit kaustischen Fluiden wie etwa jenen, die in Halbleiterverarbeitungsanwendungen verwendet werden, sehr gut geeignet. Hauptabschnitte des Ventilschafts und des Ventilkörpers sind einteilig aus Kunststoff gebildet und durch Preßpassung zusammengefügt, wodurch die Anzahl der Komponenten, die Anzahl der Verbindungen zwischen den Komponenten und die Anzahl der für die Zusammenfügung des Ventils erforderlichen Schritte minimiert werden.

Der Ventilkörper besitzt einen gemeinsamen Anschluß, einen ersten Anschluß, einen zweiten Anschluß, die zueinander sämtlich koplanar sind, und einen Strömungsabschnitt mit einem Strömungskanal. Der Strömungsabschnitt besitzt einen gemeinsamen Anschluß, der mit dem Strömungskanal in einer Strömungsverbindung steht, einen ersten Anschluß, der mit dem Strömungskanal durch den ersten Ventilsitz in einer Strömungsverbindung steht, und einen zweiten Anschluß, der mit dem Strömungskanal durch den zweiten Ventilsitz in einer Strömungsverbindung steht. Der Ventilschaft umfaßt einen einteilig ausgebildeten Fluidsteuerabschnitt mit einem ersten Ventilelement, das mit dem ersten Ventilsitz in dichtem Eingriff ist, einem zweiten Ventilelement, das mit dem zweiten Ventilsitz in dichtem Eingriff ist, und einem Kanalschaftabschnitt, der sich zwischen dem ersten und dem zweiten Ventilelement erstreckt. Die ersten und zweiten Ventilelemente besitzen jeweils eine Breite, die größer als der Innendurchmesser des Strömungskanals ist. Das zweite Ventilelement des Ventilschafts wird durch den ersten Ventilsitz, den Strömungskanal und den zweiten Ventilsitz eingepreßt, wobei wenigstens einer der Strömungsabschnitte des Körperabschnitts und des zweiten Ventilelements vorübergehend verformt werden, mit der Folge, daß das erste Ventilelement in der Nähe des ersten Ventilsitzes funktionsfähig angeordnet wird, das zweite Ventilelement in der Nähe des zweiten Ventilsitzes funktionsfähig angeordnet wird und der Kanalschaftabschnitt durch den Strömungskanal verläuft.

Der Ventilschaft ist zwischen einer ersten Position und einer zweiten Position beweglich. In der ersten Position ist das erste Ventilelement mit dem ersten Ventilsitz in dichtem Eingriff und ist das zweite Ventilelement vom zweiten Ventilsitz verschoben, wodurch verhindert wird, daß Fluid zwischen dem Strömungskanal und dem ersten Anschluß strömt, während zugelassen wird, daß Fluid zwischen dem Strömungskanal und dem zweiten Anschluß strömt. In der zweiten Position ist das zweite Ventilelement mit dem zweiten Ventilsitz in dichtem Eingriff und ist das erste Ventilelement vom ersten Ventilsitz verschoben, wodurch verhindert wird, daß Fluid zwischen dem Strömungskanal und dem zweiten Anschluß strömt, während zugelassen wird, daß Fluid zwischen dem Strömungskanal und dem ersten Anschluß strömt.

Vorzugsweise wird der Ventilschaft im Ventilkörper mittels Preßpassung zusammengefügt, so daß das Dreiwegeventil schnell und effizient zusammengefügt werden kann.

Der Ventilschaft kann eine Ventilschaftführung verwenden, um die richtige Ausrichtung des Ventilschafts und des Kanalabschnitts sicherzustellen.

Für die Steuerung des Ventils kann eine einzige Membran verwendet werden, wodurch die Anzahl der Komponenten verringert wird, die Montage vereinfacht wird und das Ventil kleiner ausgebildet werden kann.

Der Ventilkörper kann, statt maschinell bearbeitet zu werden, gegossen werden.

Der Ventilschaft kann schnell und einfach aus dem Strömungskanal entnommen und ersetzt werden.

Weitere Ausführungsformen der Erfindung können der nachfolgenden Beschreibung und den Unteransprüchen entnommen werden.

Die Erfindung wird nachstehend anhand von in den beigefügten Abbildungen gezeigten Ausführungsformen erläutert.

Fig. 1 ist eine perspektivische Ansicht eines Dreiwegeventils.

Fig. 2 ist eine perspektivische Explosionsansicht des Dreiwegeventils von Fig. 1.

Fig. 3 ist eine seitliche Querschnittsansicht des Dreiwegeventils der Fig. 1 und 2.

Fig. 4a-e sind seitliche Querschnittsansichten eines Ventilschafts des Dreiwegeventils in verschiedenen Positionen.

Fig. 5 ist eine seitliche Querschnittsansicht des Ventilschafts in einer weiteren Position.

Fig. 6 ist eine seitliche Querschnittsansicht eines Ventilschafts einer weiteren Ausführungsform des Dreiwegeventils.

In den Fig. 1-3 ist ein Dreiwegeventil 10 zum Steuern der Fluidströmung zwischen einem gemeinsamen Anschluß 12 und zwei anderen Anschlüssen gezeigt. Das Ventil 10 umfaßt im allgemeinen einen Ventilkörper 14, einen Ventilschaft 16 und einen Ventilbetätiger 18.

Der Ventilkörper 14 ist vorzugsweise aus Kunststoff wie etwa PFA durch einen Druckgießprozeß gebildet und umfaßt im allgemeinen den gemeinsamen Anschluß 12, einen ersten Anschluß 20, einen zweiten Anschluß 22, eine Oberseite 24 und eine Unterseite 26, wie in den Fig. 1 und 2 gezeigt ist. Anschlußstücke 28 werden verwendet, um die Anschlüsse 20, 22 des Ventilkörpers 14 mit Rohrleitungen und anderen Komponenten (nicht gezeigt) zu verbinden. Der Ventilkörper 14 enthält ferner einen einteiligen Strömungsabschnitt 30, in Fig. 3 gezeigt, der einen Strömungsweg für eine Fluidverbindung zwischen dem gemeinsamen Anschluß 12 und den ersten und zweiten Anschlüssen 20, 22 schafft. Der Strömungsabschnitt 30 definiert einen Strömungskanal 32 mit einem minimalen Innendurchmesser "D" (Fig. 4a). Der Strömungsabschnitt 30 umfaßt einen ersten Einlaß 34, der mit dem ersten Anschluß 20 in einer Fluidverbindung steht, einen zweiten Einlaß 26, der mit dem zweiten Anschluß 22 in einer Fluidverbindung steht, und einen gemeinsamen Einlaß (nicht gezeigt), der zwischen den ersten und zweiten Einlässen 34, 36 angeordnet ist und mit dem gemeinsamen Anschluß 12 in einer Fluidverbindung steht. An den ersten und zweiten Einlässen 34, 36 ist ein erster bzw. ein zweiter Ventilsitz 38, 40 angeordnet. Ein Bodenelement 42 dichtet die Unterseite 26 des Ventilkörpers 14 ab, wie in Fig. 3 gezeigt ist.

Der Ventilschaft 16, der in den Fig. 2 und 3 gezeigt ist, umfaßt im allgemeinen eine benetzte Membran, die als Ventilschafteinfassung 44 konfiguriert ist, einen Fluidsteuerabschnitt 46 und eine Steuerstange 48, die aus rostfreiem Stahl oder PEEK hergestellt ist. Der Fluidströmungsabschnitt 30 besitzt ein Paar Ventilteller 45, 47. Die Ventilschafteinfassung 44 ist vorzugsweise einteilig mit dem Fluidsteuerabschnitt 46 ausgebildet und so konfiguriert, daß sie die Oberseite 24 des Ventilkörpers 14 abdichtet und den Ventilschaft 16 in einer axial ausgerichteten Richtung führt, wenn die Position des Ventilschafts 16 eingestellt wird.

Der Fluidsteuerabschnitt 46 des Ventilschafts 16 ist ein sanduhrförmiger Abschnitt, der vorzugsweise aus modifiziertem PTFE (NXT70 von Dupont®) gebildet ist. Der Fluidsteuerabschnitt 46 steuert das Öffnen und Schließen der ersten und zweiten Einlässe 34, 36, wodurch die Fluidverbindung zwischen dem gemeinsamen Einlaß und den ersten und zweiten Einlässen 34, 36 gesteuert wird. Der Fluidsteuerabschnitt 46 kann eine Steuerstangenaufnahme 50 für die Aufnahme der Steuerstange 48, ein erstes Ventilelement 52, ein zweites Ventilelement 54 und einen Kanalschaftabschnitt 56, der zwischen den ersten und zweiten Ventilelementen 52, 54 verläuft, umfassen. Die ersten und zweiten Ventilelemente 52, 54 besitzen jeweils Sitzeingriffabschnitte 58, 60 zum Abdichten der jeweiligen Ventilsitze 38, 40. Die ersten und zweiten Ventilelemente 52, 54 besitzen ferner Außendurchmesser, die größer als die Innendurchmesser der ersten bzw. zweiten Ventilsitze 38, 40 sind. Das erste Ventilelement 52, das als Ventilteller 45 konfiguriert ist, besitzt einen Durchmesser D2, wie in Fig. 4a gezeigt ist.

Der erste Ventilteller 45 des Fluidsteuerabschnitts 46 ist durch den ersten Ventilsitz 38 hindurch im Strömungskanal 32 des Ventilkörpers 14 mittels Preßpassung zusammengefügt, wodurch das erste Ventilelement 52 in der Nähe des und gegenüber dem ersten Ventilsitz 38 positioniert ist, während das zweite Ventilelement 54 in der Nähe des und gegenüber dem zweiten Ventilsitz 40 positioniert ist und der Kanalschaftabschnitt 56 durch den Strömungskanal 32 verläuft, wie in Fig. 3 gezeigt ist. Wenn sich der Ventilschaft 16 in einer ersten Position befindet, ist der Sitzeingriffabschnitt 58 des ersten Ventilelements 52 mit dem ersten Ventilsitz 38 in dichtem Eingriff und ist das zweite Ventilelement 54 vom zweiten Ventilsitz 40 versetzt, wodurch der erste Einlaß 34 und der erste Anschluß 20 verschlossen sind, während die Fluidverbindung zwischen dem gemeinsamen Anschluß 12 und dem zweiten Anschluß 22 geöffnet ist, wie in den Fig. 3, 4e und 6 gezeigt ist. Wenn sich der Ventilschaft 16 in einer zweiten Position befindet, ist der Sitzeingriffabschnitt 60 des zweiten Ventilelements 54 mit dem zweiten Ventilsitz 40 in dichtem Eingriff und ist das erste Ventilelement 52 vom ersten Ventilsitz 38 versetzt, wodurch der zweite Einlaß 36 und der zweite Anschluß 22 geschlossen sind und die Fluidverbindung zwischen dem gemeinsamen Anschluß 12 und dem ersten Anschluß 20 geöffnet ist, wie in Fig. 5 gezeigt ist.

Das erste Ventilelement 52 ist als Ventilteller konfiguriert und ist ein knollenförmiger Abschnitt, der die Preßpassung durch den Strömungsabschnitt 30 des Ventilkörpers 14 hindurch erleichtert. Der Preßpaßprozeß ist in den Fig. 4a-4e gezeigt. In den Fig. 4a-4d wird das erste Ventilelement 52 in den Strömungskanal 32 gepreßt, wodurch aufgrund der gegenseitigen Passung zwischen dem ersten Ventilelement 52 und dem Strömungsabschnitt 30 das erste Ventilelement 52 und/oder der Strömungsabschnitt 30 vorübergehend verformt werden. Wenn sich das erste Ventilelement 52 über den ersten Ventilsitz 38 hinaus erstreckt, kehren sowohl das erste Ventilelement 52 als auch der Strömungsabschnitt 30 in ihre nicht verformten Zustände zurück, wie in Fig. 4e gezeigt ist. Im Ergebnis kann der Ventilschaft 16 schnell mit dem Strömungsabschnitt 30 des Ventilkörpers 14 zusammengefügt werden. Ebenso kann der Ventilschaft 16 schnell und einfach aus dem Strömungsabschnitt 30 entfernt werden, indem das erste Ventilelement 52 durch den Strömungsabschnitt 30 des Ventilkörpers 14 gezogen wird.

In der in Fig. 6 gezeigten Ausführungsform des Ventilschafts 16 besitzt das erste Ventilelement 52 einen Ventilschaft-Führungsabschnitt 66, der mit einem Ventilschaft-Führungsabschnitt 68 des Bodenelements 42 zusammenwirkt, um den Ventilschaft 16 geeignet auszurichten, wenn er sich in der zweiten Position befindet. Weiterhin ist die Steuerstangenaufnahme 50 im ersten Ventilelement 52 verlängert, wie in Fig. 6 gezeigt ist.

Die Steuerstange 48 kann einteilig mit dem Fluidsteuerabschnitt 46 ausgebildet sein.

Der Ventilbetätiger 18, der am besten in den Fig. 2 und 3 ersichtlich ist, bewegt wahlweise den Ventilschaft 16 zwischen der ersten und der zweiten Position. Der Ventilbetätiger 18 enthält im allgemeinen ein Betätigergehäuse 70, das vorzugsweise aus PFA hergestellt ist und einen mit Innendruck beaufschlagbaren Abschnitt 72 sowie einen Bodenabschnitt 74 besitzt. Der mit Innendruck beaufschlagbare Abschnitt 72 ist durch eine Aktuatormembran 76, die vorzugsweise aus doppeltbeschichtetem Viton® und Nomex® von Dupont® hergestellt ist, abgedichtet und besitzt einen einstellbaren Innendruck, der durch einen Drucksteueranschluß 78 zwischen einer Niederdruck-Einstellung und einer Hochdruck-Einstellung eingestellt werden kann. Der Bodenabschnitt 74 besitzt einen Basisabschnitt 84, einen Sockel 86, der sich vom Basisabschnitt 84 erstreckt, und einen offenen Innenraum 88. Der Basisabschnitt 84 besitzt einen konkaven Abschnitt 90, der die Aufwärtsbewegung des Ventilschafts 16 begrenzt. Der Sockel 86 besitzt eine Bohrung 92, die so bemessen ist, daß sie den Ventilschaft 16 aufnimmt. Ein Paar O-Ringe 94, die im Sockel 86 enthalten sind, sind so konfiguriert, daß sie zwischen dem Sockel 86 und dem Ventilschaft 16 eine Dichtung bilden.

Die Membran 76 enthält einen Schulterabschnitt 96, der so wirkt, daß er den mit Innendruck beaufschlagbaren Abschnitt 72 abdichtet, einen ausfahrbaren ebenen Abschnitt 98 mit einer Oberseite 100 und einer Unterseite 102, einen flexiblen Ring 104, der den Schulterabschnitt 96 am ebenen Abschnitt 98 befestigt, und eine Öffnung 106 für die Aufnahme des Ventilschafts 16. Obere und untere starre Elemente 108, 110 befestigen die Oberseite 100 bzw. die Unterseite 102 des erweiterbaren ebenen Abschnitts 98 und werden verwendet, den oberen Abschnitt der Steuerstange 48 an der Membran 76 zu befestigen und die Öffnung 106 der Membran 76 abzudichten. Zusätzlich zu den gezeigten pneumatischen Mitteln können auch andere Betätigungsmittel verwendet werden.

Der Ventilschaft 16 verläuft durch den Bodenabschnitt 74 des Betätigergehäuses 70, das Paar O-Ringe 94, eine Feder 112, das untere starre Element 110 und die Öffnung 106 der Membran 76 und ist am oberen starren Element 108 mit dem freiliegenden Abschnitt der Steuerstange 48 befestigt. Eine Mutter 114, die an der Steuerstange 48 befestigt ist, wird verwendet, um die oberen und unteren starren Elemente 108, 110 am ebenen Abschnitt 98 der Membran 76 zu befestigen. Die Steuerstange 48 kann im Fluidsteuerabschnitt 46 mittels Gewinde 115 befestigt sein. Alternativ kann der Fluidsteuerabschnitt über die Stange gegossen sein. Alternativ kann anstelle der beiden Komponenten eine einzige Komponente verwendet werden. Die Feder 112, die im offenen Innenraum 88 des unteren Abschnitts 74 enthalten ist, ist mit dem unteren starren Element 110 und mit der Basis des Bodenabschnitts 74 in Kontakt und erzeugt eine Aufwärtskraft auf den ebenen Abschnitt 98.

Der Bewegungsbereich des Ventilschafts 16 ist typischerweise in Aufwärtsrichtung durch das erste Ventilelement 52 begrenzt, das mit dem ersten Ventilsitz 38 in Eingriff ist, und in Abwärtsrichtung durch das zweite Ventilelement 54 begrenzt, das mit dem zweiten Ventilsitz 40 in Eingriff ist. Wenn der Innendruck des mit Innendruck beaufschlagbaren Abschnitts 72 in einem Nichtbetätigungs- Niederdruckzustand ist, wie in Fig. 3 gezeigt ist, zwingt die Feder 112 die Membran 76 und den Ventilschaft 16 zu einer Bewegung in eine erste Position und bewirkt, daß der Ventilsitz-Eingriffabschnitt 58 des ersten Ventilelements 52 mit dem ersten Ventilsitz 38 des Strömungsabschnitts 30 in dichtem Eingriff ist. Der Ventilteller 45 und der Ventilsitz 38 sind relativ zueinander geeignet konfiguriert, so daß die durch die Feder 112 geschaffene Vorbelastung sowie die Kraft irgendeines Fluiddrucks auf den Ventilteller 45 nicht ausreichen, um den Ventilteller 45 oder das Ventilelement 52 zurück durch den Ventilsitz 38 zwingen. Darüber hinaus kann die Konfiguration des Betätigergehäuses 70 nach der Montage einen weiteren Anschlag bilden, um zu verhindern, daß der Ventilteller 45 unabsichtlich durch den Ventilsitz 38 zurückgezwungen wird. Wenn der Innendruck des mit Innendruck beaufschlagbaren Abschnitts 72 ein Betätigungszustand mit höherem Druck ist, bewegen sich die Membran 76 und der Ventilschaft in eine zweite Position, wie in Fig. 5 gezeigt ist, in der der Ventilsitz-Eingriffabschnitt 58 des ersten Ventilelements 52 auf dem zweiten Ventilsitz 40 sitzt und mit diesem in dichtem Eingriff ist, er reicht jedoch nicht aus, um das zweite Ventilelement 54 durch den zweiten Ventilsitz 40 oder in diesen zu zwingen.

Wie in den Fig. 1 und 2 gezeigt ist, wird die Montage des Dreiwegeventils 10 unter Verwendung von vier Schraubbolzen 118 abgeschlossen, die jeweils durch eine Unterlegscheibe 120, eine Ventilbasis 122, den Ventilkörper 14, den unteren Abschnitt 74 des Betätigergehäuses 70, die Membran 76 und in eine (nicht gezeigte) Gewindeöffnung des mit Innendruck beaufschlagbaren Abschnitts 72 des Betätigergehäuses 70 geschoben werden. Das Festziehen der Schraubbolzen 118 bewirkt, daß das Bodenelement 42 die Unterseite 26 des Ventilkörpers 14 abdichtet, daß die Ventilschafteinfassung 44 die Oberseite 24 des Ventilkörpers 14 abdichtet und daß die Membran 76 den mit Innendruck beaufschlagbaren Abschnitt 72 und den Bodenabschnitt 74 des Betätigergehäuses 70 abdichtet.

Claims

1. Dreiwegeventil mit einem Ventilkörper (14), umfassend einen einteiligen Strömungsabschnitt mit einem ersten Ventilsitz (38), einem zweiten Ventilsitz (40) und einem Strömungskanal (32), der sich zwischen den Ventilsitzen (38, 40) erstreckt und einen minimalen Innendurchmesser besitzt, einen gemeinsamen Anschluß (12), der mit dem Strömungskanal (32) in einer Fluidverbindung steht, erste und zweite Anschlüsse (20, 22), die mit dem Strömungskanal (32) durch die ersten und zweiten Ventilsitze (38 bzw. 40) in einer Fluidverbindung stehen, und einen Ventilschaft (16), dadurch gekennzeichnet, daß der Ventilschaft (16) einen einteilig ausgebildeten Fluidsteuerabschnitt (46) aufweist, der sich durch den ersten Ventilsitz (38), den Strömungskanal (32) und den zweiten Ventilsitz (40) erstreckt, der Fluidsteuerabschnitt (46) ein erstes Ventilelement (52) für einen Eingriff mit dem ersten Ventilsitz (38), ein zweites Ventilelement (54) für einen Eingriff mit dem zweiten Ventilsitz (40) und einen Kanalschaftabschnitt (56), der sich zwischen dem ersten und dem zweiten Ventilelement (52, 54) und durch den Strömungskanal (32) erstreckt, umfaßt und die ersten und zweiten Ventilelemente (38, 40) einen ersten bzw. einen zweiten Außendurchmesser besitzen, die größer als der minimale Innendurchmesser des Strömungskanals (32) sind.

2. Dreiwegeventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein mit dem Ventilschaft (16) verbundener Ventilbetätiger (18) vorgesehen ist, der so konfiguriert ist, daß er den Fluidsteuerabschnitt (46) zwischen einer ersten Position und einer zweiten Position bewegt; das erste Ventilelement (52) mit dem ersten Ventilsitz (38) in dichtem Eingriff ist, wenn sich der Fluidsteuerabschnitt (46) in der ersten Position befindet, wodurch verhindert wird, daß Fluid zwischen dem Strömungskanal und dem ersten Anschluß strömt; und das zweite Ventilelement (54) mit dem zweiten Ventilsitz (40) in dichtem Eingriff ist, wenn sich der Fluidsteuerabschnitt (46) in der zweiten Position befindet, wodurch verhindert wird, daß Fluid zwischen dem Strömungskanal und dem zweiten Anschluß strömt.

3. Dreiwegeventil nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Ventilbetätiger (18) mit Druckluft betätigbar ist.

4. Dreiwegeventil nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das zweite Ventil (54) ein knollenförmiger Abschnitt ist, der durch den ersten Ventilsitz (38), den Strömungskanal (32) und den zweiten Ventilsitz (40) eingepreßt werden kann, wobei der Ventilkörper und/oder der knollenförmige Abschnitt vorübergehend verformbar sind, um das Einschieben des Ventilschafts (16) durch den ersten Ventilsitz (38), den Strömungskanal (32) und den zweiten Ventilsitz (40) zu erleichtern.

5. Ventil nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Ventilbetätiger (18)

a) ein Betätigergehäuse (70), das mit dem Ventilkörper (14) verbunden ist, wobei das Betätigergehäuse (70) einen mit Innendruck beaufschlagbaren Abschnitt besitzt; und
b) eine Membran (76), die im Betätigergehäuse (70) enthalten ist und mit dem Ventilschaft (16) verbunden ist, wobei die Membran (76) den mit Innendruck beaufschlagbaren Abschnitt des Betätigergehäuses (70) definiert und zwischen einer der ersten Position des Ventilschafts (16) entsprechenden ersten Position und einer der zweiten Position des Ventilschafts (16) entsprechenden zweiten Position beweglich ist, wenn der mit Innendruck beaufschlagbare Abschnitt mit Druck beaufschlagt wird, umfaßt.

6. Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Fluidsteuerabschnitt (32) eine Steuerstangenaufnahme (50) besitzt und der Ventilschaft (16) ferner eine Steuerstange (48) aufweist, die in die Steuerstangenaufnahme (50) des Fluidsteuerabschnitts (46) eingesetzt ist.

7. Ventil nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuerstange (48) mit dem Ventilbetätiger (18) verbunden ist.

8. Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Ventilkörper (14) und das zweite Ventilelement (54) zusammenwirkende Ventilschaft-Führungsabschnitte zum Ausrichten des Ventilschafts (16) umfassen.

9. Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Fluidsteuerabschnitt (46) des Ventilschafts (16) sanduhrförmig ist.

10. Dreiwegeventil mit

a) einem Ventilkörper mit einem offenen Innenraum, einem gemeinsamen Anschluß, einem ersten Anschluß, einem zweiten Anschluß und einem Strömungsabschnitt, der im offenen Innenraum enthalten ist und erste und zweite Ventilsitze und einen Strömungskanal besitzt; wobei der erste Ventilsitz an den ersten Anschluß angrenzt und der zweite Ventilsitz an den zweiten Anschluß angrenzt; wobei jeder Ventilsitz einen Innendurchmesser besitzt;
b) einem einteilig ausgebildeten Ventilschaft, der durch den Strömungskanal eingepreßt ist, wobei der Ventilschaft einen Fluidsteuerabschnitt mit einem ersten Ventilelement, das an den ersten Ventilsitz angrenzt, einem zweiten Ventilelement, das an den zweiten Ventilsitz angrenzt, und einem Kanalschaftabschnitt, der die ersten und zweiten Ventilelemente verbindet und sich durch den Kanalabschnitt erstreckt, umfaßt; wobei die ersten und zweiten Ventilelemente Außendurchmesser besitzen, die größer als die Innendurchmesser der jeweiligen Ventilsitze sind, wobei die ersten und zweiten Ventilelemente wahlweise vorbelastet werden können, um mit dem jeweiligen Ventilsitz in dichten Eingriff zu gelangen.

11. Dreiwegeventil nach Anspruch 10, ferner mit einem Ventilbetätiger, der mit dem Ventilschaft in Eingriff ist und so konfiguriert ist, daß er den Fluidsteuerabschnitt zwischen einer ersten Position und einer zweiten Position bewegt; wobei das erste Ventilelement mit dem ersten Ventilsitz in dichtem Eingriff ist, wenn sich der Fluidsteuerabschnitt in der ersten Position befindet, wodurch verhindert wird, daß Fluid zwischen dem Strömungskanal und dem ersten Anschluß strömt; wobei das zweite Ventilelement mit dem zweiten Ventilsitz in dichten Eingriff gelangt, wenn sich der Fluidsteuerabschnitt in der zweiten Position befindet, wodurch verhindert wird, daß Fluid zwischen dem Strömungskanal und dem zweiten Anschluß strömt.

12. Kunststoffventil für die Verwendung mit kaustischen Fluiden mit

a) einem Kunststoffventilkörper mit einem einteiligen Ventilsitz;
b) einem Ventilschaft mit einem Kunststoffventilteller, wobei der Ventil teller mit dem Ventilkörper am Ventilsitz in einer Preßsitzverbindung steht, wobei der Ventilteller durch den Ventilsitz des Ventilkörpers durch Ablenken des Ventilkörpers und/oder wenigstens eines der Ventilteller einschiebbar ist, um das Ventil zusammenzufügen.

13. Verfahren zum Herstellen eines Dreiwegeventils, das die folgenden Schritte umfaßt:

a) Vorsehen eines Ventilkörpers, der umfaßt:
b) einen einteiligen Strömungsabschnitt mit einem ersten Ventilsitz, einem zweiten Ventilsitz und einem Strömungskanal, der sich zwischen den Ventilsitzen erstreckt und einen minimalen Innendurchmesser besitzt;
c) einen gemeinsamen Anschluß, der mit dem Strömungskanal in einer Strömungsverbindung steht;
d) einen ersten Anschluß, der mit dem Strömungskanal durch den ersten Ventilsitz in einer Strömungsverbindung steht; und
e) einen zweiten Anschluß, der mit dem Strömungskanal durch den zweiten Ventilsitz in einer Strömungsverbindung steht; und
f) Ausbilden eines Ventilschafts, der einen einteilig ausgebildeten Fluid steuerabschnitt mit einem ersten Ventilelement, einem zweiten Ventilelement und einem Kanalschaftabschnitt, der sich zwischen dem ersten und dem zweiten Ventilelement erstreckt, umfaßt; wobei die ersten und zweiten Ventilelemente einen ersten bzw. einen zweiten Außendurchmesser besitzen, die größer als der minimale Innendurchmesser des Strömungskanals sind;
g) Einpressen des Fluidsteuerabschnitts durch den ersten Ventilsitz, den Strömungskanal und den zweiten Ventilsitz, wobei der Strömungsabschnitt des Körperabschnitts und/oder das zweite Ventilelement vorübergehend verformt werden, so daß das erste Ventilelement angrenzend am ersten Ventilsitz funktionsfähig positioniert wird, das zweite Ventilelement angrenzend an den zweiten Ventilsitz funktionsfähig positioniert wird und der Kanalschaftabschnitt sich durch den Strömungskanal erstreckt.

14. Verfahren nach Anspruch 10, bei dem der Ventilkörper ferner einen Ventilbetätiger aufweist, der mit dem Ventilschaft verbunden ist, wobei der Ventilbetätiger so konfiguriert ist, daß er den Fluidsteuerabschnitt zwischen einer ersten Position und einer zweiten Position bewegt; wobei das erste Ventilelement mit dem ersten Ventilsitz in dichtem Eingriff ist, wenn sich der Fluidsteuerabschnitt in der ersten Position befindet, wodurch verhindert wird, daß Fluid zwischen dem Strömungskanal und dem ersten Anschluß strömt; wobei das zweite Ventilelement mit dem zweiten Ventilsitz in dichtem Eingriff ist, wenn sich der Fluidsteuerabschnitt in der zweiten Position befindet, wodurch verhindert wird, daß Fluid zwischen dem Strömungskanal und dem zweiten Anschluß strömt.

15. Verfahren nach Anspruch 10, bei dem der Fluidsteuerabschnitt des Ventilschafts ferner einen Schaftaufnahmeabschnitt aufweist und bei dem der Ventilschaft ferner einen starren Schaftabschnitt aufweist, der in den Schaftaufnahmeabschnitt eingeschoben ist.

16. In einem Verfahren zum Zusammenfügen eines Dreiwegeventils des Typs, bei dem ein Ventilschaft mit einem Fluidsteuerabschnitt in einem Strömungskanal eines Ventilkörpers zusammengefügt wird, indem der Fluidsteuerabschnitt in wenigstens zwei Komponenten getrennt wird, wovon eine ein erstes Ventilelement ist und die andere ein zweites Ventilelement ist, das an einem Kanalschaftabschnitt befestigt ist; der Kanalschaftabschnitt durch den Strömungskanal eingeschoben wird; und das erste Ventilelement am Kanalschaftabschnitt befestigt wird; wobei die Verbesserung umfaßt:

a) Bilden eines Ventilschafts mit einem einteilig ausgebildeten Fluidsteuerabschnitt mit einem ersten Ventilelement, einem zweiten Ventilelement und einem Kanalschaftabschnitt, der sich zwischen dem ersten und dem zweiten Ventilelement erstreckt; wobei die ersten und zweiten Ventilelemente einen ersten bzw. einen zweiten Außendurchmesser besitzen, die größer als der minimale Innendurchmesser des Strömungskanals sind; und
b) Einpressen des Fluidsteuerabschnitts durch den Strömungskanal, wobei der Ventilkörper und/oder das zweite Ventilelement vorübergehend verformt werden, um die Zusammenfügung des Fluidsteuerabschnitts im Strömungskanal zu erleichtern.