DD276914A1

DD276914A1 - SUCTION HOOD FOR PREVENTING PROCESS CONTAMINATION

Info

Publication number: DD276914A1
Application number: DD32167588A
Authority: DD
Inventors: Walther Adler; Peter Adler
Original assignee: Elektromat Veb
Priority date: 1988-11-11
Filing date: 1988-11-11
Publication date: 1990-03-14

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Absaughaube zur Verhinderung von Prozesskontaminationen. Sie bezieht sich auf die Ausgestaltung von lufttechnischen Anlagen fuer die Halbleiterindustrie, in medizinischen Einrichtungen und fuer Grosskuechen. Die erfindungsgemaesse Absaughaube besteht aus einem nach unten offenen U-foermigen Korpus, in dessen Inneren an den Aussenseiten je ein Absaugkanal mit einer schraegen Innenwand angeordnet ist. In den Innenwaenden befinden sich rechteckige Oeffnungen zur Aufnahme von Filterplatten. Zwischen den beiden Absaugkanaelen sind schraege Leitbleche vorgesehen, die sich unten auf einer Auflage abstuetzen und oben an einer Anlegekante anlehnen. Die Auflage ist als Rinne zum Auffangen von Kondensaten ausgebildet. Zum Auffangen von Kondensaten sind unter den Filterplatten zusaetzliche Auffangrinnen vorgesehen. Fig. 1The invention relates to a suction hood for the prevention of process contamination. It refers to the design of ventilation systems for the semiconductor industry, medical facilities and large kitchens. The suction hood according to the invention consists of a downwardly open U-shaped body, in the interior of which a suction duct with a slanted inner wall is arranged on each of the outer sides. In the inner walls are rectangular openings for receiving filter plates. Between the two Absaugkanaelen schraege baffles are provided, which support the bottom of a support and lean against the top of a contact edge. The support is designed as a channel for collecting condensates. To collect condensates, additional collecting channels are provided under the filter plates. Fig. 1

Description

Hierzu 1 Seite ZeichnungenFor this 1 page drawings

Field of application of the invention

Das Anwendungsgebiet der Erfindung ist auf all den Gebieten der Technik zu sehen, wo Arbeitsplätze gezielt entlüftet werden sollen und Verunreinigungen der auf den Arbeitsplätzen stattfindenden Prozesse weitestgehend vermieden werden müssen. Derartige Verunreinigungen können durch abfallende Partikel einerseits und Entwicklung von Bakterienkulturen innerhalb des Abluftsystems andererseits entstehen.The field of application of the invention is to be seen in all the fields of technology, where workplaces are to be vented in a targeted manner and impurities of the processes taking place at the workstations must be avoided as far as possible. Such contaminants can be caused by falling particles on the one hand and development of bacterial cultures within the exhaust air system on the other hand.

Vorzusweise ist die Erfindung für eine Anwendung Lui Herstellungsprozessen der Halbleiterindustrie, in medizinischen Einrichtungen und zur Einhaltung hygienischer Bedingungen für Großküchen zugeschnitten.Vorzusweise the invention is tailored for an application Lui manufacturing processes of the semiconductor industry, in medical facilities and to comply with hygienic conditions for commercial kitchens.

Charakteristik des bekannten Standes der TechnikCharacteristic of the known state of the art

Mit der EP 0121800 ist ein Dunstabzugshaube bekannt, die auf dem Aufbau der DE 3011101A1 basiert.With the EP 0121800 an extractor hood is known, which is based on the structure of DE 3011101A1.

Dabei ist der Grundkörper ein nach unten offener U-förmiger Korpus, der im Inneren eine mittige Auflage in einem Abstand zur Decke dos Korpus aufweist. Auf dieser Auflage liegen Filterplatten, die sich seitlich an den Wänden anlehnen. Damit wird ein Kanal mit trapezförmigem Querschnitt gebildet, an dem Absaugkanäle angeschlossen sind.In this case, the base body is a downwardly open U-shaped body, which has a central support at a distance to the ceiling dos body inside. On this edition are filter plates, which lean laterally against the walls. Thus, a channel is formed with a trapezoidal cross-section, are connected to the suction ducts.

Da diese Lösung vorzugsweise für einen onergieökonomischen Wärmeaustausch konzipiert ist, ist es dabei nachteilig, daß nur oin gemeinsamer Kanal gobildet wird, der eine unterschiedliche Einstellung der Saugleistung beider Seiten nicht zuläßt. Zu- oder Umluft muß in gesonderton Kanälen (z. B. auf der Oberseite der Abzugshaube) goführt werden, was einen erheblichen Platzbedarf hervorruft und turnusmäßige Reinigungsarbeiten erschwert. Außerdem kann Kondenswasser, das sich an den Außonwändon niederschlägt, ungehindert nach unten laufon und auf die Arbeitsplätze tropfen, was zu einer Prozeßkontamination führen kann.Since this solution is preferably designed for an onergieökonomischen heat exchange, it is disadvantageous that gobildet only oin common channel, which does not allow a different adjustment of the suction power of both sides. Supply or circulating air must be goführt in separate channels (eg., On the top of the hood), which causes a considerable footprint and makes regular cleaning difficult. In addition, condensation that condenses on the outer wall can flow freely downwards and drip on the workplaces, which can lead to process contamination.

Da bei dieser Lösung koino Möglichkeit besteht, dio Filter außerhalb des Bereiches der Arbeitsfläche anzuordnen, können Partikel, dio nicht fost genug im Filter haften, auf die Arbeitsfläche fallen und damit ebenfalls zu Verunreinigungen führen.Since this solution koino possibility to arrange the filter outside the area of the work surface, particles that do not adhere enough enough in the filter, fall on the work surface and thus also lead to contamination.

Mit dor DE 3519169A1 ist eino Randabsaughaube bekannt, die einon ähnlichen Grundaufbau wie die o.g. Lösung aufweist, woboi dio gloichen Nachteilo sichtbar worden.With the DE 3519169A1 eino edge suction hood is known, the einon similar basic structure as the o.g. Solution, woo dioiche disadvantage has been visible.

Object of the invention

Es ist Ziel der Erfindung, mit einer Absaughaube zur Verhinderung von Prozeßkontaminationen die Generierung von organischen"und anorganischen Partikeln, die in aller Regel zu einer Verunreinigung von unter der Absaugvorrichtung stattfindender Arbeitsprozessen führen, mit einfachen konstruktiven Mitteln weitestgehend auszuschließen. Damit kann der Herstellungsaufwand von Belüftungssystemen unter Beibehaltung der Prozeßqualität gesenkt werden.It is an object of the invention, with a suction hood to prevent process contamination, to largely exclude the generation of organic and inorganic particles, which as a rule lead to contamination of work processes taking place under the suction device, using simple structural means be lowered while maintaining the process quality.

Explanation of the essence of the invention

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Lösung für eine Ablaufhaube anzugeben, die zusätzliche Kanäle durch eine interne Luftführung vermeidet und eine örtliche Variation d jr Saugleistung zuläßt. Des weiteren ist es Aufgabe der Erfindung, das Abtropfen ν jn Kondensaten oder das Abfallen gefilterter Partikel auf die unter der Absaughaube befindliche Arbeitsfläche zu "c-rnindernThe invention has for its object to provide the solution for a drain hood, which avoids additional channels through an internal air duct and allows a local variation d jr suction. It is a further object of the invention to reduce the dripping of condensates or the falling off of filtered particles onto the work surface located under the suction hood

Zur Lösung der Aufgabenstellung wird davon ausgegangen, daß Absaughauben als Grundkörper einen langgestreckten Korpus besitzen, der einen nach unten geöffneten U-förmigen Querschnitt mit einer Decke und zwei Seitenwänden aufweist. In einem Abstand zur Decke ist eine mittig in der Längserstreckung verlaufende Auflage vorgesehen, auf der sich luftleitende Elemente abstützen.To solve the task, it is assumed that suction hoods have a long body as a base body having a downwardly open U-shaped cross-section with a ceiling and two side walls. At a distance from the ceiling, a run centrally in the longitudinal extension support is provided, supported on the air-conducting elements.

Gemäß der Erfindung wird die Aufgabe durch eine Absaughaube zur Verhinderung von Prozeßkontaminationen gelöst, bei der auf der Auflage nach beiden Seiten schräg nach oben zur Decke gerichtete plane Leitbleche mit einer ersten Seite aufliegen. Die Auflage besteht aus zwei gegeneinander befestigten Winkelschienen, die über eine senkrecht nach oben gerichtete Halterung an der Decke gehalten werden. Der Winkel, den das Profil der Winkelschienen einschließt, ist kleiner als 90° jedoch größer als der halbe Winkel, der von den beiden schrägen Leitblechen eingeschlossen wird.According to the invention, the object is achieved by a suction hood for the prevention of process contamination, in which rest on the support on both sides obliquely upwards to the ceiling directed baffles with a first side. The support consists of two mutually fixed angle rails, which are held by a vertically upwardly directed bracket to the ceiling. The angle included in the profile of the angle rails is less than 90 ° but greater than half the angle enclosed by the two inclined baffles.

Zwischen dem Befestigungspunkt der Halterung an der Decke und den Seitenwänden ist je eine längs verlaufende Anlegekante vorgesehen, an der die Leitbleche mit ihrer, der ersten Seite gegenüberliegenden Seite angelegt sind.Between the attachment point of the bracket to the ceiling and the side walls each have a longitudinal contact edge is provided on which the baffles are created with their, the first side opposite side.

Von der Anlegekante bis zur Seitenwand ist beiderseits der Halterung je ein längserstreckter Absaugkanal angeordnet. Jeder der beiden Absaugkenäle weist eine außen liegende senkrechte Wand, eine oben liegende waagerechte Oberseite und eine innen liegende schräge Wand auf. Die schräge Innenwand liegt der senkrechten Außenwand gegenüber. Ihre Schräge ist derart ausgeführt, daß der obere Abstand zur Außenwand größer als der untere Abstand ist. An dieser schrägen Innenwand sind Öffnungen vorgesehen, in die Filterplatten eingehängt sind.From the contact edge to the side wall is arranged on either side of the holder depending on a longitudinally extending suction. Each of the two Absaugkenäle has an outer vertical wall, an overhead horizontal top and an inside inclined wall. The sloping inner wall is opposite the vertical outer wall. Your slope is designed such that the upper distance to the outer wall is greater than the lower distance. At this inclined inner wall openings are provided, are suspended in the filter plates.

Unter der Unterkante der Filterplatten sind längserstreckte Auffangrinnen angeordnet.Under the lower edge of the filter plates longitudinally extending gutters are arranged.

Eine besonders günstige Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Absaughaube wird dadurch erreicht, daß die Seitenwände des Korpus aus den senkrecht verlaufenden geraden Außenwänden der Absaugkanäle gebildet werden. Dabei besteht die Decke des Korpus aus abstandsweise angeordneten Trägern, die quer zur Längserstreckung mit den waagerechten Flächen der Absaugkanäle verbunden sind.A particularly favorable embodiment of the suction hood according to the invention is achieved in that the side walls of the body are formed from the vertically extending straight outer walls of the suction channels. In this case, the ceiling of the body consists of spacers arranged carriers which are connected transversely to the longitudinal extent of the horizontal surfaces of the suction channels.

Die Anlegekante verläuft entlang der Kante zwischen der waagerechten Oberseite und der schrägen Innenwand.The contact edge runs along the edge between the horizontal upper side and the inclined inner wall.

Damit übernehmen die Funktionalelamente der Absaughaube zugleich die Funktion des Korpus, so daß ein als Korpus dienender Grundkörper entfällt.Thus, the Funktionsalelamente the suction hood at the same time take over the function of the body, so that serving as a body body omitted.

Eine weitere günstige Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Absaughaube sieht vor, daß die Öffnungen im Inneren der Absaugkanäle zumindest teilweise mit Platten, die einen Abstand zur schrägen Innenwand besitzen, abgedeckt sind.A further advantageous embodiment of the suction hood according to the invention provides that the openings in the interior of the suction ducts are at least partially covered with plates which have a distance from the inclined inner wall.

Die Funktion der erfindungsgemäßen Absaughaube ist darin zu sehen, daß die Abluft des Arbeitsplatzes durch einen Unterdruck unter der Absaughaube angesaugt wird. Unterstützt wird dieser Vorgang durch die Thermik der Abluft, die zumeist durch Wärmeentwicklung bei den Arbeitsprozessen hervorgerufen wird. Durch die Leitbleche unterstützt, gelangt diese Abluft durch die Filterplatten in den Absaugkanal zu einer Weiterbehandlung als Fort- oder Umluft.The function of the extraction hood according to the invention is to be seen in that the exhaust air of the workplace is sucked by a negative pressure under the hood. This process is supported by the thermal of the exhaust air, which is usually caused by heat development in the work processes. Supported by the baffles, this exhaust air passes through the filter plates in the suction to a further treatment as a continuous or circulating air.

Durch Temperaturdifferenzen zwischen der Abluft vn J den Leitblechen kann es naturgemäß zu einer Kondensatbildung an diesen kommen. Diese Kondensate können an den schrägen Leitblechen nach unten laufen und gelangen durch den Spalt zwischen den Leitblechen und den Winkelschienen, der durch die Winkeldifferenz entsteht, in die Winkelschienen. In diesen wird somit das Kondensat gesammelt und kann i> jnmehr gezielt abgeführt werden, wodurch ein Abtropfen desselben verhindertBy temperature differences between the exhaust vn J the baffles it can naturally come to a condensation on this. These condensates can run down the sloping baffles and pass through the gap between the baffles and the angle rails, which results from the angular difference, in the angle rails. In these, the condensate is thus collected and can i> jn more targeted be removed, thereby preventing dripping of the same

Bilden sich aus denselben Gründen an den schrägen Wänden der Absaugkanäle Kondensate, so können diese in die Auffangrinnen tropfen und werden darüber abgeleitet.If condensates form on the sloping walls of the extraction channels for the same reasons, they can drip into the collecting channels and are drained away.

An den Filtürplatten werden die durch die Abluft mitgeführten Partikel herausgefikert. Die schräge Anordnung dieser Filterplatten bewirkt, daß nur ein Teil der Schwerkraft auf die anhaftenden Partikel in Saugrichtung entfällt, so daß ein Loslösen dieser durch die Saugkraft, auch bei geringen Saugleistungen, nahezu vollständig verhindert wird. Dadurch, daß die Filterplatten in den äußeren Bereichen der Absaughaube liegen, kann gewährleistet werden, daß dennoch herabfallende Partikel nicht auf die Arbeitsfläche gelangen.At the Filtürplatten the entrained by the exhaust air particles are herausgefikert. The oblique arrangement of these filter plates causes only a part of the gravity on the adhering particles in the suction direction is omitted, so that a detachment of these by the suction force, even at low suction, is almost completely prevented. The fact that the filter plates are located in the outer regions of the suction hood, it can be ensured that still falling particles do not reach the work surface.

Die günstige Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Absaughaube mit der zumindest teilweisen kanalseitigon Abdeckung mittels Abdeckplatte, die oinen Abstand zu der schrägen Innenwand des Absaugkaneles aufweisen, gewährleistet, daß die Saugloistung an den Filterflächon, auch wenn diese bereits partiell mit Partikeln versetzt sind, konstant bleibt. Damit wird oinorsoits eine optimale Filtorstandzeit erreicht und andererseits die Saugkraft im noch nicht zugesetzten Filterbereich konstant gohalton. Somit wird zusätzlich oinor Partikelgenorierung vorgebeugt.The favorable configuration of the suction hood according to the invention with the at least partial kanalseitigon cover by means of cover, the oinen distance to the oblique inner wall of Absaugkaneles, ensures that the Saugloistung to the Filterflächon, even if they are already partially offset with particles, remains constant. Thus oinorsoits an optimal Filtorstandzeit is achieved and on the other hand, the suction force in the not yet added filter area constant gohalton. Thus, in addition oinor particlegeneration is prevented.

embodiment

DIo Erfindung soll nachstehend nnlnnd oinos Ausführungsboispioles näher erläutert werden. In don zugehörigen Zeichnungen zoigtThe invention will be explained below nnlnnd oinos Ausführungsboispioles. In the accompanying drawings zoigt

Fig. 1: oinon Querschnitt durch eine erfindungsgemäßo Absaughaube, Fig. 2: eino Unteransicht dor orfindungsgemäßon Absaughaube und Fig.3: eine Einzoltoildarstollung einer orfindungsgemäßen Abdeckplatte.1: oinon cross-section through a suction hood according to the invention, FIG. 2: a bottom view of the suction hood according to the invention and FIG. 3: a single-blind setting of a cover plate in accordance with the invention.

Der Korpus der erfindungsgemäßen Absaughaube wird aus Trägern gebildet, die als U-Profilstäbe 1 ausgeführt sind und mit denen Absaugkanäle 2 verschraubt sind. Die U-Profilstäbe 1 liegen dabei quer zur Längserstreckung 3 in einem Abstand zueinander. Die U-Profilstäbe 1 stehen hochkant, d. h. der eine Schenkel des U-Profiles liegt unten und dient der Verschraubung mit den Absaugkanälen 2 und der andere Schenkel zeigt nach oben und dient in erster Linie der zumindest mittelbaren Befestigung mit der Decke des zu entlüftenden Raumes.The body of the suction hood according to the invention is formed from carriers, which are designed as U-profile bars 1 and with which suction channels 2 are screwed. The U-profile bars 1 lie transverse to the longitudinal extent 3 at a distance from each other. The U-profile bars 1 are upright, ie the one leg of the U-profile is below and is used to screw with the suction 2 and the other leg is pointing upwards and serves primarily the at least indirect attachment to the ceiling of the room to be vented.

Die Absaugkanäle 2 weisen im Querschnitt die Form eines ungleichschenkligen Trapezes auf, d. h. die Oberseite 4 und Außenwand 5 stehen senkrecht zueinander und die der Oberseite 4 und Außenwand 5 stehen senkrecht zueinander und die der Oberseite 4 gegenüberliegende Bodenwand 6 ist schmaler, als die Oberseite 4. Dementsprechend liegt die Innenwand 7 zwischen der Oberseite 4 und der Bodenwand 6 schräg zur Senkrechten.The suction channels 2 have the shape of a non-isosceles trapezoid in cross-section, d. H. the upper side 4 and outer wall 5 are perpendicular to each other and the upper side 4 and outer wall 5 are perpendicular to each other and the top 4 opposite bottom wall 6 is narrower than the top 4. Accordingly, the inner wall 7 between the top 4 and the bottom wall 6 is inclined to the vertical.

In die Innenwand 7 sind rechteckige Öffnungen eingebracht, in die Filterplatten 8 formschlüssig eingehängt sind. Innerhalb des Absaugkanales 2 sind die Öffnungen in einem Abstand mit Abdeckplatten 9 teilweise verdeckt. Diese Abdeckplatten 9 bestehen aus einem an zwei gegenüberliegenden Seiten abgewinkeltem Blech. Die Verbindung mit der Innenwand 7 erfolgt an diesen abgewinkelten Seiten. Dabei sind die Abdeckplatten 9 so angeordnet, daß die abgewinkelten Seiten quer zur Längserstreckung 3 liegen. So entstehen an den nicht abgewinkelten Seiten der Abdeckplatten 9 Öffnungen zwischen den Innenwänden 7 und den Abdeckplatten 9. Damit werden die Filterplatten 8 nicht mehr über die gesamte Fläche gleichmäßig durchströmt, wodurch sich die Filterplatte 8 kontinuierlich zusetzen würde, sondern die Filterflächen, die am nächsten zu der öffnung der Abdeckplatten 9 liegen, werden am meisten durchströmt und setzen sich somit am ehesten zu. Der Filterverschieiß tritt also von außen nach innen ein, wodurch eine gleichmäßige Saugwirkung und eine optimale Filterausnutzung erreicht wird.In the inner wall 7 rectangular openings are introduced, are mounted in a form-fitting manner in the filter plates 8. Within the suction channel 2, the openings are partially covered at a distance with cover plates 9. These cover plates 9 consist of an angled on two opposite sides of sheet metal. The connection with the inner wall 7 takes place at these angled sides. The cover plates 9 are arranged so that the angled sides are transverse to the longitudinal extension 3. Thus arise at the non-angled sides of the cover plates 9 openings between the inner walls 7 and the cover plates 9. Thus, the filter plates 8 are no longer flowed through evenly over the entire surface, which would enforce the filter plate 8 continuously, but the filter surfaces, the next lie to the opening of the cover plates 9, are flowed through the most and are thus most likely to. The filter wear thus occurs from the outside inwards, whereby a uniform suction and optimum filter utilization is achieved.

Entlang eines jeden Absaugkanales 2 nimmt die Breite der Abdeckplatten 9 zwischen den beiden nicht abgewinkelten Seiten zur Absaugseite hin ab. Damit wird eine konstante Saugleistung an allen Filterplatten 8 des jeweiligen Absaugkanales 2 eingestellt.Along each suction channel 2, the width of the cover plates 9 decreases between the two non-angled sides to the suction side down. Thus, a constant suction power is set on all filter plates 8 of the respective suction channel 2.

Entlang der oberen Kante zwischen der Oberseite 4 und der Innenwand 7 ist eine Anlegekante 10 vergesehen, an der rechteckige Leitbleche 12 an ihrer oberen Kante mit dem Absaugkanal 2 verbunden sind. Ihre untere Kante stützt sich auf eine Auflage ab, die aus zwei gegeneinander verschraubten Winkelschienen 12 besteht, deren Winkel um 5° größer ist, als der halbe Winkel zwischen den Leitblechen 11 beiderseits der Auflage.Along the upper edge between the upper side 4 and the inner wall 7, a contact edge 10 is provided, are connected to the rectangular baffles 12 at its upper edge with the suction channel 2. Its lower edge is supported on a support consisting of two mutually bolted angle rails 12 whose angle is greater by 5 ° than half the angle between the baffles 11 on both sides of the support.

Die Winkelschienen 12 sind über Halterungen, die als Stege 13 ausgebildet sind, mit den darüber befindlichen Profilstäben 1 fest verbunden.The angle rails 12 are connected via brackets, which are formed as webs 13, with the profiled bars 1 located above it.

Durch die Winkeldifferenz zwischen den Schenkeln der Winkelschiene 12 und den Leitblechen 11 kann sich das an den Leitblechen 11 niederschlagende Kondensat, was in praxi vorwiegend Wasser sein wird, sammeln und gezielt entsorgt werden.Due to the angular difference between the legs of the angle rail 12 and the baffles 11, the condensing on the baffles 11 condensate, which will be in practice mainly water, collect and be disposed of.

Zum Zwecke des Sammelns von Kondensat ist unter den Innenwänden 7 der Absaugkanäle 2 je eine Auffangrinne 14 angeordnet.For the purpose of collecting condensate, a collecting gutter 14 is disposed below the inner walls 7 of the suction channels 2.

Durch die Leitbleche 11 unterstützt, gelangt die über dem nicht dargestellten Arbeitsplatz, der sich unter der erfindungsgemäßen Absaughaube befindet, abgesaugte Abluft durch die Filterplatten 8 in den Abluftkanal 2 zu einer Weiterbehandlung als Fortluft.Supported by the baffles 11, passes over the work, not shown, which is located under the suction hood according to the invention, extracted exhaust air through the filter plates 8 in the exhaust duct 2 to a further treatment as exhaust air.

An beiden Enden der Ablufthaube sind Seitenabdeckungen 15 vorgesehen, die einen seitlichen Abschluß bilden und verhindern, daß seitlich Luft angesaugt werden kann.At both ends of the exhaust hood side covers 15 are provided which form a lateral conclusion and prevent air from being sucked in laterally.

An den Filterplatten 8 werden die durch die Abluft mitgeführten Partikel herausgefiltert. Die schräge Anordnung dieser Filterplatten 8 bewirkt, daß nur ein Teil der Schwerkraft auf die anhaftenden Partikel in Saugrichtung entfällt, so daß ein Loslösen dieser durch die Saugkraft, auch bei geringen Saugleistungen, nahezu vollständig verhindert wird. Dadurch, daß die Filterplatten 8 in den äußeren Bereichen der Absaughaube liegen, kann gewährleistet werden, daß dennoch herabfallende Partikel nicht auf die Arbeitsfläche gelangen.At the filter plates 8, the entrained by the exhaust particles are filtered out. The oblique arrangement of these filter plates 8 causes only a part of the gravity on the adhering particles in the suction omitted, so that a detachment of these by the suction force, even at low suction, is almost completely prevented. The fact that the filter plates 8 are located in the outer regions of the suction hood, it can be ensured that still falling particles do not reach the work surface.

Da alle Platten leicht entfernbar sind und durch den erfindungsgemäßen Aufbau verdeckte Ecken vermieden werden, ist eine turnusmäße Reinigung ohne Aufwand möglich.Since all plates are easily removable and hidden corners are avoided by the structure according to the invention, a regular cleaning is possible without effort.

Wie dargestellt, wird somit sowohl eine Partikelgenerierung direkt als auch prophylaktisch vermieden, wodurch die erfindungsgemäße Zielstellung erreicht wird.As shown, thus both a particle generation is avoided directly and prophylactically, whereby the objective of the invention is achieved.

Claims

1. Extraction hood to prevent process contamination with an elongated body having a downwardly open U-shaped cross-section and having a ceiling and two side walls, being provided at a distance to the ceiling in the middle of a longitudinal extent extending support on the air-conducting Supporting elements, characterized in that rest on the support on both sides obliquely upwards to the ceiling directed baffles (11) with a first side, that the support is held by a vertically upwardly directed support on the ceiling and from two mutually fastened Angle rails (12) whose angle is less than 90 ° but greater than half the angle which is enclosed by the two baffles (11) that between the attachment point of the bracket to the ceiling and the side walls one in the longitudinal extent (3) extending contact edge (10) is provided, on which the baffles (11) m abut the side opposite the first side, that from the contact edge (10) to the side wall each have a longitudinally extending suction channel (2) with an outer vertical wall (5), an overhead horizontal upper side (4) and an inner oblique Wall (7) is arranged opposite to the vertical outer wall (5) and whose slope is designed such that the upper distance to the outer wall (5) is greater than the lower distance, that on the inclined inner wall (7) openings are provided, in uie filter plates (8) are mounted and that under the lower edge of the filter plates (8) collecting gutters (14) are arranged.

2. Extraction hood for the prevention of process contamination according to claim 1, characterized in that the side walls of the body from the vertically extending straight outer walls (5) of the suction channels (2) are formed, the ceiling consists of spaced apart carriers, which are transverse to the longitudinal extent (3 ) are connected to the horizontal upper sides (4) of the suction channels (2) and the contact edge (10) along the edge between the horizontal upper side (4) and the inclined inner wall (7).

3. Extraction hood for the prevention of process contamination according to claim 1, characterized in that the openings in the interior of the suction channels (2) at least partially covered with cover plates (9) which are at a distance from the inclined inner wall (7) covered.