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DD209052B1 - Verfahren zum stoerungsarmen vereinzeln von a hoch iii b hoch v - halbleiterscheiben - Google Patents

Verfahren zum stoerungsarmen vereinzeln von a hoch iii b hoch v - halbleiterscheiben

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Publication number
DD209052B1
DD209052B1 DD24055582A DD24055582A DD209052B1 DD 209052 B1 DD209052 B1 DD 209052B1 DD 24055582 A DD24055582 A DD 24055582A DD 24055582 A DD24055582 A DD 24055582A DD 209052 B1 DD209052 B1 DD 209052B1
Authority
DD
German Democratic Republic
Prior art keywords
disabling
achievement
iii
semiconductor discs
discs
Prior art date
Application number
DD24055582A
Other languages
English (en)
Other versions
DD209052A1 (de
Inventor
Guenter Heymann
Peter-Johannes Janietz
Klaus Laskowski
Joerg Denecke
Petra Lentzsch
Original Assignee
Werk Fernsehelektronik Veb
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Werk Fernsehelektronik Veb filed Critical Werk Fernsehelektronik Veb
Priority to DD24055582A priority Critical patent/DD209052B1/de
Publication of DD209052A1 publication Critical patent/DD209052A1/de
Publication of DD209052B1 publication Critical patent/DD209052B1/de

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DE3435138A1 (de) * 1984-09-25 1986-04-03 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verbesserung zu einem verfahren zum vereinzeln von halbleiter-bauelementen, die durch brechen aus halbleiter-wafern gewonnen sind
DE3826736A1 (de) * 1988-08-05 1990-02-08 Siemens Ag Verfahren zum trennen von monolithisch auf einer halbleitersubstratscheibe erzeugten led-chip-anordnungen

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