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DD125140B1 - Verfahren zur herstellung von polierten halbleiteroberflachen - Google Patents

Verfahren zur herstellung von polierten halbleiteroberflachen Download PDF

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Publication number
DD125140B1
DD125140B1 DD19204076A DD19204076A DD125140B1 DD 125140 B1 DD125140 B1 DD 125140B1 DD 19204076 A DD19204076 A DD 19204076A DD 19204076 A DD19204076 A DD 19204076A DD 125140 B1 DD125140 B1 DD 125140B1
Authority
DD
German Democratic Republic
Prior art keywords
polishing
hydrazine
polished
rate
amines
Prior art date
Application number
DD19204076A
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
DD125140A1 (da
Inventor
Dieter Ahlbrecht
Joachim Helm
Ernst Loechtermann
Original Assignee
Veb Kombinat Mikroelektronik
Vebspurenmetalle Freiberg
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Veb Kombinat Mikroelektronik, Vebspurenmetalle Freiberg filed Critical Veb Kombinat Mikroelektronik
Priority to DD19204076A priority Critical patent/DD125140B1/de
Publication of DD125140A1 publication Critical patent/DD125140A1/xx
Publication of DD125140B1 publication Critical patent/DD125140B1/de

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  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
DD19204076A 1976-03-25 1976-03-25 Verfahren zur herstellung von polierten halbleiteroberflachen DD125140B1 (de)

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Publication Number Publication Date
DD125140A1 DD125140A1 (da) 1977-04-06
DD125140B1 true DD125140B1 (de) 1980-01-30

Family

ID=5504044

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Application Number Title Priority Date Filing Date
DD19204076A DD125140B1 (de) 1976-03-25 1976-03-25 Verfahren zur herstellung von polierten halbleiteroberflachen

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DD (1) DD125140B1 (da)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0357205A1 (en) * 1988-07-28 1990-03-07 Fujitsu Limited Polishing liquid for polishing semiconductor substrate and polishing process

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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EP0357205A1 (en) * 1988-07-28 1990-03-07 Fujitsu Limited Polishing liquid for polishing semiconductor substrate and polishing process

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Publication number Publication date
DD125140A1 (da) 1977-04-06

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