CZ303181B6

CZ303181B6 - Bezkontaktní mikrovlnný meric malých diferencí tlouštek reflexních vrstev

Info

Publication number: CZ303181B6
Application number: CZ20100529A
Authority: CZ
Inventors: Hoffmann@Karel; Škvor@Zbynek
Original assignee: Ceské vysoké ucení technické v Praze Fakulta elektrotechnická
Priority date: 2010-07-02
Filing date: 2010-07-02
Publication date: 2012-05-16
Also published as: CZ2010529A3

Abstract

Bezkontaktní mikrovlnný meric malých diferencí tlouštek od reflexního povrchu obsahuje preladitelný mikrovlnný generátor (1), jehož mikrovlnný výstup je pripojen na vstup (34) rozbocovacího clenu (3), jehož první výstup (31) je vstupem referencního kanálu a je pripojen na první vstup (61) slucovacího clenu (6) v jednom provedení pres první atenuátor (5) s promenným útlumem a ve druhém prímo. Druhý výstup (32) rozbocovacího clenu (3) je vstupem testovacího kanálu a je pripojen na vstup (71) bloku (7) zmeny fázového posuvu signálu odraženého od reflexních povrchu reflexní vrstvy (9) v testovacím kanálu vzhledem k signálu v referencním kanálu. Izolacní výstup (72) bloku (7) zmeny fázového posuvu signálu je spojen v jednom provedení prímo a ve druhém pres první zesilovac (14) s promenným zesílením s druhým vstupem (62) slucovacího clenu (6), jehož výstup (64) je spojen se vstupem rídicí a vyhodnocovací jednotky (13) s indikátorem mikrovlnného výkonu ci napetí nebo proudu, jejíž rídicí výstup je spojen se vstupem preladitelného mikrovlnného generátoru (1).

Description

Bezkontaktní mikrovlnný měřič malých diferencí tloušťek reflexních vrstev

Oblast techniky

Předkládané řešení se týká zapojení měřicího systému pro bezkontaktní měření tloušťek vrstev schopných odrážet elektromagnetické vlny.

Dosavadní stav techniky

K přesnému měření tloušťek vrstev schopných odrážet elektromagnetické vlny se používá mikrovlnná rezonanční metoda používající dvou otevřených rezonátorů, mezi kterými je umístěná měřená vrstva. Každý z rezonátorů je vytvořen z jedné poloviny Fabry-Perot rezonátorů otevřeného směrem k měřené vrstvě. Prostor mezi reflexním povrchem měřené vrstvy a zrcadlem poloviny Fabry-Perot rezonátorů vytváří rezonátor, jehož rezonanční kmitočet je závislý na vzdálenosti mezi reflexním povrchem a zrcadlem. Při rezonanci se tato vzdálenost rovná celočíselnému násobku poloviny vlnové délky. Při znalosti tohoto celočíselného násobku lze ze změřeného rezonančního kmitočtu odvodit vzdálenost mezi reflexním povrchem a zrcadlem rezonátorů. To platí pro oba rezonátory umístěné na opačné straně měřené vrstvy. Při znalosti vzdálenosti mezi zrcadly, případně po provedené kalibraci lze určit tloušťku měřené vrstvy.

Rezonanční kmitočty jsou určovány z frekvenční závislosti koeficientu odrazu nebo přenosu rezonátorů navázaného najedno nebo dvě mikrovlnná vedení. Na rezonančním kmitočtu se frekvenční závislost amplitudy koeficientu odrazu nebo přenosu vyznačuje typickou rezonanční křivkou s více či méně ostrým vrcholem. Velikost amplitudy rezonanční křivky a její 3 dB šířka pásma závisí na velikosti nezatíženého činitele jakosti rezonátorů Qo a na velikosti vazby mezi rezonátorem a vedením respektive vedeními. Při daném Qo je rozdíl amplitudy rezonanční křivky na rezonančním kmitočtu a daleko od rezonančního kmitočtu tím větší, čím je rezonátor těsněji navázán na přívodní vedení. Čím těsněji je však rezonátor navázán, tím větší je 3 dB šířka pásma rezonanční křivky a tím je i vrchol křivky méně ostrý.

Rezonanční kmitočet je v automatickém procesu vypočítán na základě naměřených amplitud rezonanční křivky na několika frekvencích v okolí rezonanční frekvence. Pro tato měření musí být průběh rezonanční křivky dostatečně odlišitelný od podobných průběhů způsobených např. nežádoucími odrazy v mikrovlnném obvodu. Rezonanční křivka tedy musí mít dostatečně velkou amplitudu, tj. rezonátor musí být dostatečně těsně navázán. Těsná vazba však způsobuje, že vrchol rezonanční křivky je méně ostrý, což zmenšuje přesnost určení rezonanční frekvence a tím i přesnost určení měřené tloušťky.

Podstata vynálezu

Výše uvedený nedostatek odstraňuje bezkontaktní systém pro měření tloušťek reflexních vrstev podle předkládaného řešení, který obsahuje přeladitelný mikrovlnný generátor. Podstatou nového řešení je, že přeladitelný mikrovlnný generátor má mikrovlnný výstup připojen na vstup rozbočovacího členu. První výstup rozbočovacího Členu je vstupem referenčního kanálu aje připojen na vstup prvního atenuátoru s proměnným útlumem. Výstup atenuátoru je připojen na první vstup slučovacího členu. Druhý výstup rozbočovacího členu je vstupem testovacího kanálu aje připojen na vstup bloku změny fázového posuvu signálu odraženého od reflexních povrchů v testovacím kanálu vzhledem k signálu v referenčním kanálu. Izolační výstup bloku změny fázového posuvu signálu je spojen s druhým vstupem slučovacího Členu. Výstup slučovacího členu je spojen se vstupem řídicí a vyhodnocovací jednotky opatřené indikátorem mikrovlnného výkonu či napětí nebo proudu. Její řídicí výstup je spojen se vstupem přeladitelného mikrovlnného gene- 1 CZ 303181 B6 rátoru. V testovacím kanálu může být zařazen druhý atenuátor s proměnným útlumem a/nebo první zesilovač s proměnným zesílením a/nebo v referenčním kanálu může být v kaskádě s atenuátorem s proměnným útlumem zařazen druhý zesilovač s proměnným zesílením.

Analogické zapojení je, že mikrovlnný výstup přeladitelného mikrovlnného generátoru je připojen na vstup rozbočovacího členu. Rozbočovací člen má první výstup, který je vstupem referenčního kanálu, připojen na první vstup slučovacího členu. Druhý výstup rozbočovacího členu je vstupem testovacího kanálu a je připojen na vstup bloku změny fázového posuvu signálu odraženého od reflexních povrchů v testovacím kanálu vzhledem k signálu v referenčním kanálu. Izoio lační výstup bloku změny fázového posuvu signálu je spojen přes první zesilovač s proměnným zesílením s druhým vstupem slučovacího členu. Výstup slučovacího členu je spojen se vstupem řídicí a vyhodnocovací jednotky opatřené indikátorem mikrovlnného výkonu či napětí nebo proudu. Její řídicí výstup je spojen se vstupem přeladitelného mikrovlnného generátoru. V referenčním kanálu může být zařazen první atenuátor s proměnným útlumem a/nebo druhý zesilovač s proměnným zesílením a/nebo v testovacím kanálu může být v kaskádě s prvním zesilovačem s proměnným zesílením zařazen druhý atenuátor s proměnným útlumem.

V jednom možném provedení je pro obě výše uvedená řešení řídicí a vyhodnocovací jednotka tvořena detektorem, jehož výstup je spojen přes A/D převodník s počítačem, který je propojen s přeladitelným mikrovlnným generátorem.

Další modifikací pro obě základní provedení je, že v referenčním kanálu je zařazen první izolátor a/nebo v testovacím kanálu je zařazen před a/nebo za blokem změny fázového posuvu signálu odraženého od reflexního povrchu v testovacím kanálu vzhledem k signálu v referenčním kanálu druhý a/nebo třetí izolátor. Všechny tyto izolátory jsou orientovány propustným směrem k slučovacímu obvodu.

Blok změny fázového posuvu signálu odraženého od reflexních povrchů měřené vrstvy v testovacím kanálu vzhledem k signálu v referenčním kanálu je s výhodou na svém vstupu tvořen vstupním trojbranem, jehož vstup je propojen se vstupem bloku změny fázového posuvu signálu, který je externě propojen s druhým výstupem rozbočovacího členu. První výstup vstupního trojbranu je propojen s první anténou ajeho druhý výstup je připojen na druhý výstup výstupního troj bránu, jehož první výstup je připojen na druhou anténu a jehož vstup je izolačním výstupem bloku změny fázového posuvu signálu odraženého od reflexních povrchů v testovacím kanálu vzhledem k signálu v referenčním kanálu. Mezi vstupem a druhým výstupem vstupního i výstupního trojbranu je izolace.

V bloku změny fázového posuvu signálu může být mezi druhým výstupem vstupního trojbranu a druhým výstupem výstupního trojbranu zařazen čtvrtý izolátor orientovaný propustným směrem k slučovacímu členu.

Vstupní a/nebo výstupní trojbran může být také realizován směrovým čtyřbranem, jehož čtvrtá brána je bezodrazově zakončena a/nebo děličem výkonu s izolací mezi výstupy a/nebo cirkulátorem.

Rozbočovací člen a/nebo slučovací Člen mohou být tvořeny děličem výkonu a/nebo směrovým čtyřbranem, jehož čtvrtá brána je bezodrazově zakončena.

Hlavní výhodou nového řešení je, že oproti stávajícímu řešení umožňuje dosáhnout současně so velmi úzké rezonanční křivky a zároveň velké amplitudy této křivky.

-2CZ 303181 B6

Objasněn í výkresů

Na obr 1 je principielní schéma měřicího systému s atenuátorem v referenčním kanálu. Na obr. 2 je alternativní konstrukční řešení se zesilovačem v testovacím kanálu.

Příklad uskutečnění vynálezu io Jeden možný příklad zapojení bezkontaktního mikrovlnného měřiče malých vzdáleností od reflexního povrchu je uveden na obr 1. Zapojení je tvořeno preladitelným mikrovlnným generátorem I, který je s výhodou syntezovaný aje zde řízen počítačem 2. Jeho řízení může být i manuální, ale v praxi bude dána přednost řízení počítačem. PřeladíteIný mikrovlnný generátor 1 je svým mikrovlnným výstupem připojen na vstup 34 rozbočovacího členu 3, který je v tomto pří15 kládě tvořen prvním děličem výkonu, kterým je zde magické T zakončené na svém třetím výstupu bezodrazově. Na prvním výstupu 31 tohoto rozbočovacího členu 3, tedy prvního děliče výkonu, začíná referenční kanál, který končí na prvním vstupu 61 slučovacího členu 6, kterým je zde druhý dělič výkonu tvořený v tomto příkladě rovněž magickým T zakončeným na třetím výstupu bezodrazově. K prvnímu výstupu 31 rozbočovacího členu 3 je zde připojena kaskáda tvořená prvním izolátorem 4 a prvním atenuátorem 5 s proměnným útlumem, který je v základním zapojení připojen přímo na první vstup 61 slučovacího členu 6. První atenuátor 5 proměnným útlumem může být s prvním vstupem 61 slučovacího členu 6 spojen také v kaskádě s druhým zesilovačem 14.1 proměnným zesílením, což je na obr. 1 naznačeno čárkovaně. Část zapojení mezi prvním výstupem 31 rozbočovacího členu 3 a prvním vstupem 61 slučovacího členu 6 se nazývá referenční kanál, jak je i na obr. 1 pro lepší srozumitelnost vyznačeno

Na druhém výstupu 32 rozbočovacího členu 3 začíná testovací kanál, který se skládá v provedení dle obr. 1 z bloku 7 změny fázového posuvu signálu odraženého od reflexních povrchů reflexní vrstvy 9 v testovacím kanálu vzhledem k signálu v referenčním kanálu, který má vstup 71 a izo30 lační výstup 72. Blok 7 změny fázového posuvu signálu je na svém vstupu tvořen vstupním trojbranem 80, jehož vstup 81 je propojen se vstupem 71 bloku 7 změny fázového posuvu signálu, jehož první výstup 82 je propojen s první anténou 83 a jehož druhý výstup 84 je přes čtvrtý izolátor 95 propojen s druhým výstupem 94 výstupního trojbranu 90, jehož první výstup 92 je připojen na druhou anténu 93 a jehož vstup 91 je propojen s izolačním výstupem 72 bloku 7 změny fázového posuvu signálu. V testovacím kanále je zde zařazen také na výstupu bloku 7 změny fázového posuvu signálu druhý izolátor 10 a na vstupu bloku 2 změny fázového posuvu signálu třetí izolátor 10.1. První izolátor 4, druhý izolátor 10, třetí izolátor 10.1 a čtvrtý izolátor 95 jsou orientovány propustným směrem ke slučovacímu obvodu 6, avšak jejich použití není nezbytnou podmínkou pro činnost měřiče. Jejich význam spočívá v potlačení vlivu nedokonalých vlastností použitých komponent a umožňují tak rozšířit použitelné frekvenční pásmo a tím í rozsah a přesnost měření. Testovací kanál končí v základním provedení na druhém vstupu 62 slučovacího členu 6. V příkladu podle obr. 1 je čárkovaně naznačena další možnost, kdy je mezi výstup druhého izolátoru 10 a druhý vstup 62 slučovacího členu 6 zařazena kaskáda tvořená druhým atenuátorem 5.1 s proměnným útlumem a prvním zesilovačem 14 s proměnným zesílením.

Základní provedení na obr. 2 se od provedení na obr. 1 liší tím, že v referenčním kanále není zařazen první atenuátor 5 s proměnným útlumem a naproti tomu je v testovacím kanále zařazen první zesilovač L4 s proměnným zesílením. Obě tyto varianty umožňují změnu amplitudy procházejícího signálu. Nicméně i zde jsou možné varianty, naznačené na obr. 2 čárkovaně, tedy že v referenčním kanálu je mezi výstup prvního izolátoru 4 a první vstup 61 slučovacího obvodu 6 zapojena kaskáda prvního atenuátoru 5 proměnným útlumem a druhého zesilovače 14.1 s proměnným zesílením. Rovněž tak v testovacím kanálu může být navíc zařazen druhý atenuátor 5.1 s proměnným útlumem. Výstup 64 slučovacího členu 6 je spojen s řídící a vyhodnocovací jednotkou 13, která je opatřena indikátorem mikrovlnného výkonu nebo napětí nebo proudu. Její

-3 CZ 303181 B6 řídicí výstup je spojen se vstupem přeladíte lného mikrovlnného generátoru L V uváděných příkladech je řídicí a vyhodnocovací jednotka f3 tvořena detektorem _1_L, na jehož výstup je připojen A/D převodník 12 spojený s počítačem 2.

Popis funkce bude popsán pro základní provedení, tedy bez popisu funkce čárkovaně vyznačených prvků v obr. 1 a 2, jejichž funkce bude popsána na konci. Mikrovlnný signál z přeladitelného mikrovlnného generátoru 1 vstupuje vstupem 34 do rozhodovacího členu 3, který ho rozdělí na dvě přibližně stejné části, které pak vystupují prvním výstupem 31 do referenčního kanálu a druhým 32 výstupem do testovacího kanálu. V referenčním kanálu signál prochází z prvního výstupu 31 přes první izolátor 4 a, v případě provedení podle obr. 1 pres první atenuátor 5 s proměnným útlumem, v případě provedení podle obr. 2 přímo, do prvního vstupu 61 slučovacího členu 6 jako napěťová vlna h_rí,_f. V testovacím kanálu postupuje signál z druhého výstupu 32 do vstupu 71 bloku 7 změny fázového posuvu signálu odraženého od prvního reflexního povrchu reflexní vrstvy 9 v testovacím kanálu vzhledem k signálu v referenčním kanálu, který je na svém vstupu tvořen vstupním trojbranem 80 zde tvořený směrovým čtyřbranem, jehož čtvrtá brána je bezodrazové zakončena. V obou provedeních je zde zařazen na vstupu bloku 7 změny fázového posuvu signálu třetí izolátor 10.1, jehož úlohou je potlačit vliv možných vícenásobných odrazů mezi blokem 7 změny fázového posunu signálu a druhým výstupem 32 rozhodovacího členu 3. Část signálu vystupuje prvním výstupem 82 vstupního troj bránu 80, postupuje do antény 83 je anténou vyzářena, odráží se od reflexního povrchu 9, je opět přijata anténou 83 a postupuje vstupním trojbranem 80 na jeho druhý výstup 84 je přes čtvrtý izolátor 95 propojen s druhým výstupem výstupního trojbranu 91 zde tvořeného také směrovým Čtyřbranem, jehož čtvrtá brána je bezodrazové zakončena. Z druhého výstupu 94 výstupního trojbranu 90 postupuje signál na jeho první výstup 92, propojený s druhou anténou 93 je vyzářen, odráží se od druhého reflexního povrchu reflexní vrstvy 9 a je opět přijat druhou anténou 93. Z této druhé antény 93 postupuje na první výstup 92 výstupního trojbranu 90 ajeho část vystupuje na jeho vstupu 91, který je spojen s izolačním výstupem 72 bloku 7 změny fázového posuvu signálu a dále postupuje přes, v případě provedení podle obr. 1 pres druhý izolátor 10, v případě provedení podle obr. 2 přes první zesilovač J_4 s proměnným zesílením, a jako napěťová vlna b vstupuje do druhého vstupu 62 slučovacího členu 6, tvořeného zde druhým děličem výkonu, kterým je zde magické T zakončené na svém třetím výstupu bezodrazové. Oba signály vstupující do prvního vstupu 61 a druhého vstupu 62 slučovacího členu 6 jsou koherentní. Z výstupu 64 slučovacího členu 6, zde tedy ze vstupní brány druhého děliče výkonu, který je tvořen magickým T zakončeným na svém třetím výstupu bezodrazové, postupuje součtový signál b^b na detektor 11 a dále do převodníku A/D 12. Prvním atenuátorem 5 s proměnným útlumem v referenčním kanálu nebo prvním zesilovačem J_4 s proměnným zesílením v testovacím kanálu lze nastavit identickou amplitudu signálů vstupujících do prvního 61 i druhého 62 vstupu slučovacího členu 6. Obdobně se nastavuje identická amplituda signálů vstupujících do prvního vstupu 61 i druhého vstupu 62 slučovacího členu 6 i v případě použití prvního zesilovače 14 s proměnným zesílením, druhého zesilovače

14.1 s proměnným zesílením a druhého atenuátoru 5.1 s proměnným útlumem v případě varianty dle obr. I nebo druhého zesilovače 14.1 s proměnným zesílením a prvního atenuátoru 5 a druhého atenuátoru 5.1 s proměnným útlumem v případě varianty dle obr. 2. Použití dalšího zesilovače resp. zesilovačů a atenuátoru resp. atenuátoru zvyšuje adaptibilitu systému pro různé podmínky měření. V závislosti na vzdálenosti reflexních povrchů reflexní vrstvy 9, tj. v závislosti na její tloušťce, a tím i na rozdílu elektrických délek referenčního a testovacího kanálu se na některých frekvencích oba signály sečtou ve fázi a na jiných v protifázi. Ve fázi se signály sečtou v případě, že rozdíl elektrických délek obou kanálů bude na příslušné frekvenci sudým násobkem poloviny vlnové délky. V případě, že rozdíl elektrických délek obou kanálů bude na příslušné frekvenci roven lichému násobku poloviny vlnové délky, signály se sečtou v protifázi a poskytnou tak velmi ostrá minima napětí indikovaná např. detektorem. Napětí indikované detektorem lije v minimu teoreticky nulové, prakticky je omezené šumem detektoru H. Vybranou tloušťku reflexní vrstvy 9 a některé jí odpovídající napěťové minimum lze vybrat jako referenční. Se změnou tloušťky reflexní vrstvy 9 se změní frekvence příslušného napěťového minima, kterou lze určit přelaďováním mikrovlnného generátoru L Ze změny frekvence odpovídající napěťovému mini-4CZ 303181 B6 tnu lze pří znalosti lichého počtu polovin vlnových délek, o které se liší elektrické délky obou kanálů, určit změnu tloušťky reflexního vrstvy 9, resp. po provedené kalibraci přímo tloušťku reflexní vrstvy 9 obdobně jako u stávajících metod používajících rezonátor. Průběh napětí kolem minima však u bezkontaktního systému pro měření malých diferencí vzdáleností odpovídá průbě5 hu rezonanční křivky rezonátoru s činitelem jakosti Q_o jdoucím nade všechny meze, což u známých metod nelze dosáhnout. Na rozdíl od známých metod tak lze získat průběh odpovídající rezonanční křivce, která má dostatečně velkou amplitudu a současně extrémně ostrý vrchol.

Digitální informace odpovídající usměrněnému součtovému signálu b_rcf/b je zpracována počítalo čem 2. V automatizovaném procesu počítač 2 přelaďuje mikrovlnný generátor I a určuje frekvenci odpovídající vybranému napěťovému minimu, ze které pak určuje změnu polohy reflexního povrchu 9.

Vlastnosti měřicího systému byly testovány počítačovou simulací. Při rozdílu elektrických délek is testovacího a referenčního kanálu 20,5 vlnové délky bylo na frekvenci 10 GHz dosaženo při změně vzdálenosti reflexního povrchu od antény o 1 μηι změny frekvence napěťového minima o

61,95 kHz.

Průmyslová využitelnost

Zapojení pro měření malých diferencí vzdálenosti a s ním související nová metoda určení diference malých vzdáleností je průmyslově využitelná všude tam, kde je třeba bezkontaktně měřit s vysokou přesností změny vzdálenosti povrchů, které jsou v mikrovlnné části spektra reflexní.

Jedná se např. o válcování tenkých kovových fólií.

Claims

30 PATENTOVÉ NÁROKY

1. Bezkontaktní mikrovlnný měřič malých diferencí tlouštěk od reflexního povrchu obsahující přeladitelný mikrovlnný generátor (1), vyznačující se tím, že jeho mikrovlnný výstup

35 je připojen na vstup (34) rozbočovacího členu (3), jehož první výstup (31) je vstupem referenčního kanálu aje připojen na vstup prvního atenuátoru (5) s proměnným útlumem, jehož výstup je připojen na první vstup (61) slučovacího členu (6) a druhý výstup (32) rozbočovacího členu (3) je vstupem testovacího kanálu aje připojen na vstup (71) bloku (7) změny fázového posuvu signálu odraženého od reflexních povrchů reflexní vrstvy (9) v testovacím kanálu vzhledem k síg40 nálu v referenčním kanálu a izolační výstup (72) bloku (7) změny fázového posuvu signálu je spojen s druhým vstupem (62) slučovacího členu (6), jehož výstup (64) je spojen se vstupem řídicí a vyhodnocovací jednotky (13) s indikátorem mikrovlnného výkonu či napětí nebo proudu, jejíž řídicí výstup je spojen se vstupem přeladíte I ného mikrovlnného generátoru (1).

45
2, Bezkontaktní mikrovlnný měřič podle nároku 1, vyznačující se tím, že v testovacím kanálu je zařazen druhý atenuátor (5.1) s proměnným útlumem a/nebo první zesilovač (14) s proměnným zesílením a/nebo v referenčním kanálu je v kaskádě s atenuátorem (5) s proměnným útlumem zařazen druhý zesilovač (14.1) s proměnným zesílením.

50
3. Bezkontaktní mikrovlnný měřič malých diferencí tlouštěk od reflexního povrchu obsahující přeladitelný mikrovlnný generátor (1), vyznačující se tím, že jeho mikrovlnný výstup je připojen na vstup (34) rozbočovacího členu (3), jehož první výstup (31) je vstupem referenčního kanálu aje připojen na první vstup (61) slučovacího členu (6) a druhý výstup (32) rozbočo-5 CZ 303181 B6 vacího členu (3) je vstupem testovacího kanálu aje připojen na vstup (71) bloku (7) změny fázového posuvu signálu odraženého od reflexních povrchů reflexní vrstvy (9) v testovacím kanálu vzhledem k signálu v referenčním kanálu a izolační výstup (72) bloku (7) změny fázového posuvu signálu je spojen pres první zesilovač (14) s proměnným zesílením s druhým vstupem (62) slučovacího členu (6) a kde výstup (64) slučovactho členu (6) je spojen se vstupem řídicí a vyhodnocovací jednotky (13) s indikátorem mikrovlnného výkonu či napětí nebo proudu, jejíž řídicí výstup je spojen se vstupem přeladitelného mikrovlnného generátoru (1).
4. Bezkontaktní mikrovlnný měřič podle nároku 3, vyznačující se tím, že v referenčním kanálu je zařazen první atenuátor (5) s proměnným útlumem a/nebo druhý zesilovač (14.1) s proměnným zesílením a/nebo v testovacím kanálu je v kaskádě s prvním zesilovačem (14) s proměnným zesílením zařazen druhý atenuátor (5.1) s proměnným útlumem.
5. Bezkontaktní mikrovlnný měřič podle kteréhokoli z nároků laž4, vyznačující se tím, že řídicí a vyhodnocovací jednotka je tvořena detektorem (11), jehož výstup je spojen přes A/D převodník (12) s počítačem (2) propojeným s přeladitelným mikrovlnným generátorem (O.
6. Bezkontaktní mikrovlnný měřič podle kteréhokoli z nároků laž5, vyznačující se tím, že v referenčním kanálu je zařazen první izolátor (4) a/nebo v testovacím kanálu je zařazen před a/nebo za blokem (7) změny fázového posuvu signálu druhý izolátor (10) a/nebo třetí izolátor (10.1) a tento první izolátor (4), druhý izolátor (10) a třetí izolátor (10.1) jsou orientovány propustným směrem k slučovacímu členu (6).
7. Bezkontaktní mikrovlnný měřič podle kteréhokoli z nároků lažó, vyznačující se tím, že blok (7) změny fázového posuvu signálu je na svém vstupu tvořen vstupním trojbranem (80), jehož vstup (81) je propojen se vstupem (71) bloku (7) změny fázového posuvu signálu odraženého od reflexních povrchů (9) v testovacím kanálu vzhledem k signálu v referenčním kanálu, který je externě propojen s druhým výstupem (32) rozbočovacího členu (3), a dále je první výstup (82) vstupního trojbranu (80) propojen s první anténou (83) a jeho druhý výstup (84) je propojen s druhým výstupem (94) výstupního trojbranu (90), jehož první výstup (92) je připojen na druhou anténu (93) a jehož vstup (91) je propojen s izolačním výstupem (72) bloku (7) změny fázového posuvu signálu odraženého od reflexních povrchů (9) v testovacím kanálu vzhledem k signálu v referenčním kanálu, přičemž mezi vstupem (81) a druhým výstupem (84) vstupního trojbranu (80) a mezi vstupem (91) a druhým výstupem (94) výstupního trojbranu (90) je izolace.
8. Bezkontaktní mikrovlnný měřič podle nároku 7, vyznačující se tím, že v bloku (7) změny fázového posuvu signálu je mezi druhým výstupem (84) vstupního trojbranu (80) a druhým výstupem (94) výstupního trojbranu (90) zařazen čtvrtý izolátor (95) orientovaný propustným směrem k slučovacímu členu (6).
9. Bezkontaktní mikrovlnný měřič podle nároku 7 nebo 8, vyznačující se tím, že vstupní směrový troj bran (80) a/nebo výstupní směrový troj bran (90) je realizován směrovým čtyřbranem, jehož čtvrtá brána je bezodrazově zakončena a/nebo děličem výkonu s izolací mezi výstupy a/nebo cirkulátorem.
10. Bezkontaktní mikrovlnný měřič podle kteréhokoli z nároků laž9, vyznačující se tím, že rozbočovací člen (3) a/nebo slučovací člen (6) jsou tvořeny děličem výkonu a/nebo směrovým čtyřbranem, jehož čtvrtá brána je bezodrazově zakončena.