CS251413B1

CS251413B1 - Trap of oil steams' reverse current in diffusion pump

Info

Publication number: CS251413B1
Application number: CS854802A
Authority: CS
Inventors: Gustav Egert
Original assignee: Gustav Egert
Priority date: 1985-06-28
Filing date: 1985-06-28
Publication date: 1987-07-16
Also published as: CS480285A1

Abstract

Řešení ae týká lapače zpětného proudu olejových par chlazeného na velmi nízkou teplotu umístěného ve sacím hrdle difuzní vývěvy. Jeho podstata spočívá v tom., že v rozšířeném prostoru pod sacím hrdlem difuzní vývěvy je na rameni odváděcím teplo umístěna soustava dvou lamel, spojených příčnými žebry. Lamely 1 žebra jsou vyrobeny z materiálu s dobrou tepelnou vodivostí. Spodní lamela má kruhový tvar o průměru blízkém největšímu průměru kloboučkového, vodou chlazeného lapače. Horní lamela má tvar pláště komolého kužele geometricky podobného, tvaru vnějšího pláště difuzní vývěvy a je umístěn v jeho blízkosti. Rozměry lamel jsou upraveny tak, že vnější průměr spodní lamely a vnitřní průměr horní lamely tvoří mezi vstu£Phííi hrdlem sací příruby a činným prostorem tryskového systému vývěvy opticky neprůhlednou překážku. Přitom soustava lamel spojených žebry může být rozdělena z montážních důvodů ve vertikální rovině na dvě shodné poloviny.The solution relates to a backflow trap oil vapor cooled to very low temperature located in the diffuser inlet vacuum pumps. Its essence lies in., that in the enlarged area under the suction neck the diffusion pump is on the exhaust heat arm set of two slats connected transverse ribs. The ribs 1 are made made of material with good thermal conductivity. The lower lamella is circular in diameter close to the largest cap diameter water-cooled trap. The upper lamella has truncated cone shape geometrically a similar, diffuse outer shell shape the vacuum pump and is located near it. The dimensions of the slats are adjusted so that the exterior bottom lamella diameter and inner diameter the upper lamellae form a neck between the phiia entrance suction flanges and active jet space of the vacuum system visually opaque obstacle. In doing so, a system of slats connected the ribs can be divided for assembly reasons in the vertical plane to two identical half.

Description

Vynález ee týká lapače zpětného proudu olejových par chlazeného na velmi nízkou teplotu, umístěného v sacím hrdle difózní vývěvy.The invention relates to an ultra-low-temperature oil-vapor return trap located in the suction port of a diffuse vacuum pump.

Pří současném stavu konstrukce a využívání difiízních vývěv je Žádoucí omezit zpětný proud molekul čerpací kapaliny, Vynikající jako vedlájSí, škodlivý efekt difúzního čerpéníjdo odčerpávaného prostoru. Zpětný proud molekul čerpací kapaliny, často o značné thermokinetické energii, je zachycován na stínících a odrazných přepážkách různá konfigurace, chlazené na nízkou teplotu. Přepážky jsou umístěny v prostoru mezi sacím hrdlem vývěvy a nejvýše položenou difuzní tryskou.In the current state of construction and use of diffusion pumps, it is desirable to limit the backflow of pumped liquid molecules, excellent as a side, detrimental effect of diffusion pumping into the pumped space. The backflow of pumped liquid molecules, often of considerable thermokinetic energy, is trapped at shields and baffles of various configurations, cooled to a low temperature. The baffles are located in the space between the suction port of the pump and the uppermost diffusion nozzle.

Nevýhody popsaných způsobů konstrukce jsou zejména v tom, že účinný lapač zpětného proudu molekul je ten, který mé nejvíce a nejhustěji umístěných stínících a odrazných přepážek, ale který také klade největší odpor při průchodu čerpaných molekul plynu od sacího hrdla k difúzním tryskám. Optimálně řešený lapač chlazený na velmi nízkou teplotu s účinností cca 50% snižuje čerpací rychlost vývěvy od 20 do 30%.The disadvantages of the described construction methods are, in particular, that an effective backflow molecule trap is one which has the largest and most densely placed shielding and reflective baffles, but which also imposes the greatest resistance when the pumped gas molecules pass from the suction port to the diffusion nozzles. An optimally designed low-temperature trap with an efficiency of approx. 50% reduces the pump speed from 20 to 30%.

Uvedené nevýhody odstraňuje do značné míry zařízení podle vynálezu. Jeho podstata spočívá v tom, že v rozšířeném prostoru pod sacím hrdlem difúzní vývěvy je na rameni odvádějícím teplo umístěna soustava dvou lamel spojených příčnými žebry. lamely i žebra jsou vyrobeny z materiálu s dobrou tepelnou vodivostí. Spodní lamela má kruhový tvar, o průměru blízkém průměru kloboučkového, vodou chlazeného lapače. Horní lamela mé tvar pláště komolého kužele geometricky podobného tvaru vnějšího pláště difuzní vývěvy a je umístěna v $eho blízkosti. Rozměry lamel jsou upraveny tak, že vnější průměr spodní lamelyThese disadvantages are largely eliminated by the device according to the invention. It is based on the fact that, in the enlarged space below the suction branch of the diffusion pump, a system of two slats connected by transverse ribs is arranged on the heat dissipating arm. the slats and ribs are made of a material with good thermal conductivity. The lower lamella has a circular shape, with a diameter close to the diameter of the cap, water-cooled trap. The upper lamella has a frusto-conical casing geometrically similar to the outer casing of the diffusion pump and is located in close proximity thereto. The dimensions of the slats are adjusted so that the outer diameter of the lower slat

251 413 a vnitřní průměr horní lamely tvoří mezi vstupním hrdlem sací příruby a činným prostorem tryskového systému vývěvy opticky neprůhlednou překážku. Přitom soustava lamel spojených žebry může být rozdělena z montážních důvodů ve vertikální rovině na dvě shodné' poloviny.251 413 and the inner diameter of the upper lamella form an optically opaque obstacle between the suction flange inlet and the working space of the pump nozzle system. The assembly of ribs connected by ribs can be divided into two equal halves for assembly reasons in the vertical plane.

Hlavní výhody zařízení podle vynálezu jsou v konstrukční jednoduchosti a technologické nenáročnosti, ale zejména ve vysoké účinnosti při zachycování zpětného proudu olejových par, která je vyšší než 65% a v minimálním odporu, který klade proudu čerpaných plynů, takže úbytek čerpací rychlosti činí méně než 12%.The main advantages of the device according to the invention are in the simplicity of construction and technological simplicity, but especially in the high efficiency in capturing the oil vapor backflow which is higher than 65% and in the minimum resistance that the pumped gas flow entails %.

Příklad provedení zařízení podle vynálezu je znázorněn na připojeném výkresu, který schematicky znafeoriíuje podélný řez částí difuzní vývěvy typu Difblok s kryostatem.An exemplary embodiment of the device according to the invention is shown in the accompanying drawing, which schematically shows a longitudinal section of a part of a Difblok type vacuum pump with a cryostat.

Pláší .1 difúzní vývěvy je pod vstupním sacím hrdlem příruby 2 rozšířen. Do rozšířené části pláště 1 je nad horní difúzní tryskou 3 a kloboučkovým, vodou chlazeným lapačem 4 zaústěno rameno 2 odvádějící teplo do kryostatu 6 naplněného kapalným dusíkem. Na rameno 2 j^e uvnitř pláště difúzní vývěvy přišroubována soustava dvou lamel. Spodní kruhová lamela 2 a horní lamela 8, která má tvar pláště komolého kužele. Lamely 2 ^a θ jaou spolu spojeny žebry 2· Celá sestava je vyrobena z měděného plechu.The diffusion vacuum pump housing 1 is expanded below the inlet flange 2 of the flange. Above the upper part of the housing 1 above the upper diffusion nozzle 3 and the cap, water-cooled trap 4, there is an arm 2 conducting heat to the cryostat 6 filled with liquid nitrogen. On the arm 2 ^e j within the shell, diffusion pump bolted assembly of two slats. The lower annular lamella 2 and the upper annular lamella 8 have the shape of a truncated cone shell. The slats 2 ^and θ are joined together by ribs 2 · The entire assembly is made of copper sheet.

Popsané zařízení podle vynálezu působí takto: mezi průřezem sacího hrdla a činným prostorem tryskového systému je vedena přímka 10, které ukazuje neprůchodnost zpět proudících molekul narážejících při primárním i sekundárním odrazu do lamel 2 ^a θ· Naproti tomu původní prostor vymezený pro průchod čerpaných molekul mezi přírubou 2 a lapačem £ zůstává téměř beze změny.The described device according to the invention operates as follows: the cross section of the inlet passage and active space of the nozzle system is guided by the line 10, which shows the obstruction back flowing molecules impinging upon the primary and secondary reflections to the vanes 2 ^and θ · contrast, the original space allocated for the passage of pumped molecules between the flange 2 and the trap 6 remains almost unchanged.

Lapač zpětného proudu olejových par v difúzní vývěvěOil vapor trap in diffusion pump

251 413251 413

- 3 “ chlazený na velmi nízkou teplotu podle tohoto vynálezu je možno využít u těch typů diftízních vývěv, jejichž vnější plášl se pod sacím hrdlem rozšiřuje.The 3 " cooled to very low temperature of the present invention can be used in those types of diffusion pumps whose outer casing extends below the suction port.

PŘEDMĚT VYNÁLEZUSUBJECT OF THE INVENTION

Claims

SUBJECT OF THE INVENTION

A very low temperature cooled oil vapor trap in a diffusion vacuum pump, characterized in that a system of two slats (7, 8) is located on the heat dissipating arm (5) in the expanded space below the suction branch of the diffusion pump flange (2); made of sheet having good thermal conductivity, connected to each other by transverse ribs (9) of the same material, the lower lamella (7) having a circular shape with a diameter close to the largest diameter of the cap, water-cooled trap (4) and the upper lamella (8) truncated cone geometrically similar to the shape of the outer casing (1) of the diffusion pump, the outer diameter of the lower slat (7) and the inner diameter of the upper slat (8) located near the wall of the outer casing (1) of the pump form suction flanges (2) an optically opaque obstruction through the pump nozzle system.

2. The oil vapor return trap in the diffusion pump cooled to a very low temperature, characterized in that the set of two slats (7 and 8) is divided in vertical plane into two identical halves.

1 drawing