CN222483283U - 一种具有精准供料机构的键合机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及键合机领域，具体涉及一种具有精准供料机构的键合机。本实用新型实施例提供了一种具有精准供料机构的键合机，包括：取料机构，所述取料机构上具有取料夹头；以及所述取料夹头的一侧设置有调节件，所述调节件与所述取料夹头弹性连接；其中所述调节件的端部延伸至所述取料夹头的下方，以使所述取料夹头向一侧倾斜设置。通过将卡块设计为可活动的结构，并在卡块的一侧设置调节件，使得卡块在常态下倾斜，进而使得卡块摆放工件时，将工件先倾斜使得两工件的一侧先贴合，接着摆平，从而避免气体留在两工件之间。

Description

一种具有精准供料机构的键合机

技术领域

本实用新型涉及键合机领域，具体涉及一种具有精准供料机构的键合机。

背景技术

如图1所示，为现有技术中的键合机设备，其通过振动盘5上料，并通过机械手51取料，将两个芯片摆放在一起，再通过后续设备进行加压、加热等工序键合在一起。

但是，目前，机械手在摆放上下两个芯片时，都是直接摆放的，这样会出现摆放时中间有微量空气锁在两芯片之间，这样在后续键合时，芯片内部键合部分就会存在瑕疵。因此，设计一种具有精准供料机构的键合机是必要的。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种具有精准供料机构的键合机，以解决上述问题。

为了实现上述目的，本实用新型实施例提供了一种具有精准供料机构的键合机，包括：取料机构，所述取料机构上具有取料夹头；以及

所述取料夹头的一侧设置有调节件，所述调节件与所述取料夹头弹性连接；其中

所述调节件的端部延伸至所述取料夹头的下方，以使所述取料夹头向一侧倾斜设置。

进一步的，所述取料夹头包括固定座和延伸筒，所述延伸筒的底部适于安装卡块，所述卡块适于与工件卡接，以搬运工件；

所述卡块一端与所述延伸筒铰接，另一端自由设置。

进一步的，所述调节件的一端与所述固定座连接，另一端与所述卡块连接，且所述调节件延伸至所述延伸筒的下方，以使所述卡块倾斜设置。

进一步的，所述调节件为伸缩弹簧。

进一步的，所述取料机构还包括升降板、限位座和配合弹簧，所述限位座安装在所述升降板上，所述固定座内套在所述限位座底部，且所述配合弹簧的两端分别与所述限位座和所述固定座连接。

进一步的，所述取料机构还包括夹紧气缸和两夹爪，所述夹紧气缸安装在所述升降板上，两所述夹爪安装在所述夹紧气缸的活动端，且两所述夹爪分别位于所述卡块的两侧。

进一步的，所述取料机构还包括平移板，所述平移板上设置有竖直滑轨，所述升降板滑动设置在所述竖直滑轨上；

所述平移板上还安装有升降电机，所述升降板的一侧安装有联动块，所述升降电机与所述联动块传动连接。

进一步的，所述取料机构还包括支撑座，所述支撑座上设置有平移滑轨，所述平移板滑动设置在所述平移滑轨上。

进一步的，所述键合机还包括工作台，所述工作台上设置有转运盘，所述转运盘与所述工作台转动连接，所述转运盘上沿周向设置有若干放置座；以及

所述取料机构安装在所述转运盘的一侧。

相对于现有技术，本实用新型实施例具有以下有益效果：通过将卡块设计为可活动的结构，并在卡块的一侧设置调节件，使得卡块在常态下倾斜，进而使得卡块摆放工件时，将工件先倾斜使得两工件的一侧先贴合，接着摆平，从而避免气体留在两工件之间。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1示出了本实用新型的现有技术的立体图；

图2示出了本实用新型的键合机的立体图；

图3示出了本实用新型的取料机构的第一立体图；

图4示出了本实用新型的取料机构的第二立体图；

图5示出了本实用新型的取料夹头的结构示意图。

图中：

1、取料机构；11、升降板；111、联动块；12、限位座；13、配合弹簧；14、夹紧气缸；15、夹爪；16、平移板；161、竖直滑轨；162、升降电机；17、支撑座；171、平移滑轨；

2、取料夹头；21、固定座；22、延伸筒；23、卡块；

3、调节件；

4、工作台；41、转运盘；42、放置座；

5、振动盘；51、机械手。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型做进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

实施例，如图2至5所示，本实施例提供了一种具有精准供料机构的键合机，包括：工作台4、转运盘41、取料机构1和键合机构等，工作台4为本实施例所示键合机的安装基座，转运盘41、取料机构1和键合机构均直接或间接安装在工作台4上，其中，以转运盘41居中放置，取料机构1和键合机构环绕转运盘41安装。转运盘41与工作台4转动连接，并且所述转运盘41上沿周向设置有若干放置座42，放置座42上适于摆放工件。键合机用于将两块芯片通过加压加热等工序，使得两块芯片键合在一起。在上述过程中，需要将两块芯片叠放在一起，而本实施例中，取料机构1即用于取放叠放的两块芯片中位于上方的芯片，并将芯片摆放在已经放好下方芯片的放置座42上。

为了实现将芯片从上料处搬运到放置座42上的效果，本实施例中，作为优选，所述取料机构1还包括支撑座17、平移板16、升降板11和取料夹头2，支撑座17安装在工作台4上，平移板16滑动设置在支撑座17上，升降板11滑动设置在平移板16上，取料夹头2安装在升降板11上。平移板16可在支撑座17上沿水平方向前后滑动，升降板11可在平移板16上沿竖直方向上下升降。通过平移板16和升降板11形成复合运动，以驱动取料夹头2移动至上料处后，将工件夹持，再移动至放置座42的正上方，进行放料。如此往复，即可实现键合机整体的自动供料。

为了实现平移板16沿支撑座17水平滑动的效果，本实施例中，作为优选，所述支撑座17上设置有平移滑轨171，所述平移板16滑动设置在所述平移滑轨171上。同时，作为可选，支撑座17上安装有动力电机，动力电机的活动端可同轴连接丝杆，并将丝杆与平移板16螺纹连接，通过上述设置，可使得动力电机启动时，通过丝杆驱动平移板16沿平移滑轨171水平滑动。

为了实现升降板11沿平移板16竖直升降的效果，本实施例中，作为优选，所述平移板16上设置有竖直滑轨161，所述升降板11滑动设置在所述竖直滑轨161上。同时，所述平移板16上还安装有升降电机162，所述升降板11的一侧安装有联动块111，所述升降电机162与所述联动块111传动连接。作为可选，升降电机162的活动端设置有主动轮，升降板11的上还转动设置有从动轮，从动轮位于滚轮的下方，且从动轮与主动轮通过皮带连接，联动块111远离升降板11的因此而安装在皮带上。通过上述设置，升降电机162启动时，驱动皮带在主动轮和从动轮之间滑动，进而带动联动块111同步滑动，进而使得升降板11沿平移板16升降。

需要说明的是，现有技术中，机械手在摆放上下两个芯片时，都是直接摆放的，这样会出现摆放时中间有微量空气锁在两芯片之间，这样在后续键合时，芯片内部键合部分就会存在瑕疵。为了解决上述问题，本实施例中，所述取料夹头2的一侧设置有调节件3，所述调节件3与所述取料夹头2弹性连接。所述调节件3的端部延伸至所述取料夹头2的下方，以使所述取料夹头2向一侧倾斜设置。通过上述设置，在取料夹头2夹取工件时，即将工件倾斜设置，而在摆放工件时，将工件保持倾斜状态与另一个芯片贴合，接着取料夹头2带动工件逐步转动直至摆平，通过这种方式能够避免两工件接触时，内部存在空气未及时排出，造成后续键合质量减低的问题。

为了实现上述效果，本实施例中，作为优选，所述取料夹头2包括固定座21和延伸筒22，所述延伸筒22的底部适于安装卡块23，所述卡块23适于与工件卡接，以搬运工件。所述卡块23一端与所述延伸筒22铰接，另一端自由设置。同时，所述调节件3的一端与所述固定座21连接，另一端与所述卡块23连接，且所述调节件3延伸至所述延伸筒22的下方，以使所述卡块23倾斜设置。通过上述设置，调节件3能够向下顶推卡块23，使得卡块23在常态下一侧与延伸筒22贴合，另一侧向下倾斜设置，在夹取工件时，卡块23的倾斜侧先与工件抵接，此时卡块23无法夹取工件，工件顶推卡块23的倾斜侧向上摆动，直至卡块23回到水平位置，此时工件与卡块23相对应，从而将工件夹取。本实施例中，作为优选，调节件3为伸缩弹簧。

为了辅助卡块23夹紧工件，避免工件在搬运过程中从卡块23上掉落，本实施例中，作为优选，所述取料机构1还包括夹紧气缸14和两夹爪15，所述夹紧气缸14安装在所述升降板11上，两所述夹爪15安装在所述夹紧气缸14的活动端，且两所述夹爪15分别位于所述卡块23的两侧。通过上述设置，卡块23与工件卡接后，夹紧气缸14可驱动两夹爪15从两侧将工件夹紧，从而确保工件在转运过程中不会从卡块23上掉落。

为了避免取料夹头2在取料和摆料时将工件压坏，本实施例中作为可选，升降板11上设置有限位座12和配合弹簧13，所述限位座12安装在所述升降板11上，所述固定座21内套在所述限位座12底部，且所述配合弹簧13的两端分别与所述限位座12和所述固定座21连接。通过上述设置，卡块23与工件贴合，并转动至水平后，卡块23顶推延伸筒22以及固定座21，以使配合弹簧13收缩。通过上述设置，使得卡块23与工件抵接后，不会与工件硬接触，而是通过配合弹簧13实现卡块23与取料夹头2的收缩，进而保护工件不被压坏。

值得一提的是，本实用新型专利申请涉及的其他部件等技术特征应被视为现有技术，这些技术特征的具体结构、工作原理以及可能涉及的控制方式、空间布置方式采用本领域的常规选择即可，不应被视为本实用新型专利的发明点所在，本实用新型专利不做进一步具体展开详述。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种具有精准供料机构的键合机，其特征在于，包括：

取料机构（1），所述取料机构（1）上具有取料夹头（2）；以及

所述取料夹头（2）的一侧设置有调节件（3），所述调节件（3）与所述取料夹头（2）弹性连接；其中

所述调节件（3）的端部延伸至所述取料夹头（2）的下方，以使所述取料夹头（2）向一侧倾斜设置；

所述取料夹头（2）包括固定座（21）和延伸筒（22），所述延伸筒（22）的底部适于安装卡块（23），所述卡块（23）适于与工件卡接，以搬运工件；

所述卡块（23）一端与所述延伸筒（22）铰接，另一端自由设置；

所述调节件（3）的一端与所述固定座（21）连接，另一端与所述卡块（23）连接，且所述调节件（3）延伸至所述延伸筒（22）的下方，以使所述卡块（23）倾斜设置。

2.如权利要求1所述的具有精准供料机构的键合机，其特征在于，

所述调节件（3）为伸缩弹簧。

3.如权利要求1所述的具有精准供料机构的键合机，其特征在于，

所述取料机构（1）还包括升降板（11）、限位座（12）和配合弹簧（13），所述限位座（12）安装在所述升降板（11）上，所述固定座（21）内套在所述限位座（12）底部，且所述配合弹簧（13）的两端分别与所述限位座（12）和所述固定座（21）连接。

4.如权利要求3所述的具有精准供料机构的键合机，其特征在于，

所述取料机构（1）还包括夹紧气缸（14）和两夹爪（15），所述夹紧气缸（14）安装在所述升降板（11）上，两所述夹爪（15）安装在所述夹紧气缸（14）的活动端，且两所述夹爪（15）分别位于所述卡块（23）的两侧。

5.如权利要求3所述的具有精准供料机构的键合机，其特征在于，

所述取料机构（1）还包括平移板（16），所述平移板（16）上设置有竖直滑轨（161），所述升降板（11）滑动设置在所述竖直滑轨（161）上；

所述平移板（16）上还安装有升降电机（162），所述升降板（11）的一侧安装有联动块（111），所述升降电机（162）与所述联动块（111）传动连接。

6.如权利要求5所述的具有精准供料机构的键合机，其特征在于，

所述取料机构（1）还包括支撑座（17），所述支撑座（17）上设置有平移滑轨（171），所述平移板（16）滑动设置在所述平移滑轨（171）上。

7.如权利要求1所述的具有精准供料机构的键合机，其特征在于，

所述键合机还包括工作台（4），所述工作台（4）上设置有转运盘（41），所述转运盘（41）与所述工作台（4）转动连接，所述转运盘（41）上沿周向设置有若干放置座（42）；以及

所述取料机构（1）安装在所述转运盘（41）的一侧。