CN222205562U - 一种碳化硅片生产用加热退火装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种碳化硅片生产用加热退火装置，包括底座，所述底座的内部设置有驱动机构，所述底座的顶部固定安装有安装箱，所述安装箱的顶部固定安装有固定箱，所述固定箱的左侧固定安装有退火箱，所述退火箱的内部设置有水冷箱，所述水冷箱的内部设置有放置箱，所述退火箱的顶部设置有盖板，所述固定箱的顶部固定安装有两个循环泵箱，两个所述循环泵箱的输入端均固定安装有抽水管。该碳化硅片生产用加热退火装置，通过设置驱动机构的设置，使退火炉具备了快速的冷却功能，通过改变设备原有的推送方式，来增加设备冷却的效果，同时由循环泵箱和冷却储水箱的设置，可以快速的对于冷却用水进行冷却后，再次进行循环。
Description
技术领域
本实用新型涉及碳化硅技术领域，具体为一种碳化硅片生产用加热退火装置。
背景技术
碳化硅，是一种无机物，化学式为SiC，是用石英砂、石油焦（或煤焦）、木屑（生产绿色碳化硅时需要加食盐）等原料通过电阻炉高温冶炼而成，碳化硅在大自然也存在罕见的矿物，莫桑石，在C、N、B等非氧化物高技术耐火原料中，碳化硅为应用最广泛、最经济的一种，可以称为金钢砂或耐火砂。
退火处理是指将材料在特定气氛中加热到一定的温度，保温一段时间之后，再以合适的速率冷却的一种方法，是材料领域很常见的一种热处理工艺，在碳化硅生产的过程中需要进行退火处理，但是现有的碳化硅退火炉在使用的时候，大多数都是将碳化硅放置在推送架上，并且推送进退火炉内部，在完成加热后，依靠风冷的方式降温，完成退火，此方式冷却效率较低，不便于使用，故提出一种碳化硅片生产用加热退火装置来解决上述问题。
实用新型内容
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种碳化硅片生产用加热退火装置，具备高效冷却等优点，解决了现有的碳化硅退火炉在使用的时候，大多数都是将碳化硅放置在推送架上，并且推送进退火炉内部，在完成加热后，依靠风冷的方式降温，完成退火，此方式冷却效率较低，不便于使用的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种碳化硅片生产用加热退火装置，包括底座，所述底座的内部设置有驱动机构，所述底座的顶部固定安装有安装箱，所述安装箱的顶部固定安装有固定箱，所述固定箱的左侧固定安装有退火箱，所述退火箱的内部设置有水冷箱，所述水冷箱的内部设置有放置箱，所述退火箱的顶部设置有盖板，所述固定箱的顶部固定安装有两个循环泵箱，两个所述循环泵箱的输入端均固定安装有抽水管，两个所述循环泵箱的输出端均固定安装有连接管，两个所述连接管远离循环泵箱的一端固定安装有冷却储水箱，所述冷却储水箱的右侧固定安装有进水管；
所述驱动机构包括伺服电机，所述底座的内底壁固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出轴固定连接有螺杆，所述螺杆的外表面套接有移动块，所述移动块的顶部固定安装有连接块，所述连接块的顶部固定安装有支撑块，所述支撑块的顶部固定安装有固定块，所述固定块的内部固定安装有加热箱。
进一步，所述底座的顶部开设有与连接块相适配的移动槽，且移动块的内部开设有与螺杆相适配的螺纹槽。
进一步，所述加热箱的右侧开设有与退火箱相适配的开口，且加热箱和退火箱位于同一水平位置。
进一步，两个所述循环泵箱的内部均设置有循环泵，且两个所述循环泵箱的顶部均开设有与两个所述连接管相适配的第一通槽。
进一步，两个所述循环泵箱的左侧均开设有与两个所述抽水管相适配的第二通槽。
进一步，所述安装箱和固定箱的正面均设置有开关门，且冷却储水箱位于安装箱的右侧，冷却储水箱位于底座的顶部。
与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：
该碳化硅片生产用加热退火装置，通过设置驱动机构的设置，使退火炉具备了快速的冷却功能，通过改变设备原有的推送方式，来增加设备冷却的效果，同时由循环泵箱和冷却储水箱的设置，可以快速的对于冷却用水进行冷却后，再次进行循环，从而以水冷的方式，使设备的温度骤降，达到更好的退火的效果，同时有效的提升退火的效率，驱动机构和循环泵箱以及冷却储水箱的设置有效的解决了这个问题，相较于现有的设备来说，在使用效果上更为出色，同时更为实用。
附图说明
图1为本实用新型结构加热箱立体图；
图2为本实用新型结构正视剖视图；
图3为本实用新型结构俯视图。
图中：1、底座；2、驱动机构；201、伺服电机；202、螺杆；203、移动块；204、连接块；205、支撑块；206、固定块；207、加热箱；3、安装箱；4、固定箱；5、退火箱；6、水冷箱；7、放置箱；8、盖板；9、循环泵箱；10、抽水管；11、连接管；12、冷却储水箱；13、进水管。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3，本实施例中的一种碳化硅片生产用加热退火装置，包括底座1，底座1的内部设置有驱动机构2，底座1的顶部固定安装有安装箱3，安装箱3的顶部固定安装有固定箱4，固定箱4的左侧固定安装有退火箱5，退火箱5的内部设置有水冷箱6，水冷箱6的内部设置有放置箱7，退火箱5的顶部设置有盖板8，固定箱4的顶部固定安装有两个循环泵箱9，两个循环泵箱9的输入端均固定安装有抽水管10，两个循环泵箱9的输出端均固定安装有连接管11，两个连接管11远离循环泵箱9的一端固定安装有冷却储水箱12，冷却储水箱12的右侧固定安装有进水管13；
驱动机构2包括伺服电机201，底座1的内底壁固定安装有伺服电机201，伺服电机201的输出轴固定连接有螺杆202，螺杆202的外表面套接有移动块203，移动块203的顶部固定安装有连接块204，连接块204的顶部固定安装有支撑块205，支撑块205的顶部固定安装有固定块206，固定块206的内部固定安装有加热箱207。
通过底座1的设置可以为设备提供必要的支撑和固定，安装箱3和固定箱4的设置，内部可以设置PLC控制器和供电终端设备以及其他的电路设备，使设备可以正常的运转，退火箱5和水冷箱6以及放置箱7的设置，可以将碳化硅放入放置箱7内部，并且启动循环泵箱9使其通过连接管11抽取冷却储水箱12内部的冷却水，并且经过抽水管10输送至水冷箱6内部，以此循环，来对于放置箱7进行高效的水冷。
在实施时，按以下步骤进行操作：
1）先启动伺服电机201使其开始旋转，进一步由伺服电机201的旋转带动螺杆202同时进行旋转；
2）然后由于移动槽和螺纹槽的设置，使移动块203可以跟随螺杆202的旋转进行左右移动，同时带动连接块204进行左右移动；
3）再由连接块204的移动带动支撑块205进行移动，并且带动固定块206进行移动，最终带动加热箱207进行移动；
4）最后启动加热箱207使其开始加热升温，并且将加热箱207移动至其套在退火箱5的外部，使其对碳化硅进行快速的升温，在加热完成后，快速移动使退火箱5脱离加热，并且经过水冷快速的冷却，完成退火。
综上所述，该碳化硅片生产用加热退火装置，通过设置驱动机构2的设置，使退火炉具备了快速的冷却功能，通过改变设备原有的推送方式，来增加设备冷却的效果，同时由循环泵箱9和冷却储水箱12的设置，可以快速的对于冷却用水进行冷却后，再次进行循环，从而以水冷的方式，使设备的温度骤降，达到更好的退火的效果，同时有效的提升退火的效率，驱动机构2和循环泵箱9以及冷却储水箱12的设置有效的解决了这个问题，相较于现有的设备来说，在使用效果上更为出色，同时更为实用。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种碳化硅片生产用加热退火装置，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的内部设置有驱动机构（2），所述底座（1）的顶部固定安装有安装箱（3），所述安装箱（3）的顶部固定安装有固定箱（4），所述固定箱（4）的左侧固定安装有退火箱（5），所述退火箱（5）的内部设置有水冷箱（6），所述水冷箱（6）的内部设置有放置箱（7），所述退火箱（5）的顶部设置有盖板（8），所述固定箱（4）的顶部固定安装有两个循环泵箱（9），两个所述循环泵箱（9）的输入端均固定安装有抽水管（10），两个所述循环泵箱（9）的输出端均固定安装有连接管（11），两个所述连接管（11）远离循环泵箱（9）的一端固定安装有冷却储水箱（12），所述冷却储水箱（12）的右侧固定安装有进水管（13）；
所述驱动机构（2）包括伺服电机（201），所述底座（1）的内底壁固定安装有伺服电机（201），所述伺服电机（201）的输出轴固定连接有螺杆（202），所述螺杆（202）的外表面套接有移动块（203），所述移动块（203）的顶部固定安装有连接块（204），所述连接块（204）的顶部固定安装有支撑块（205），所述支撑块（205）的顶部固定安装有固定块（206），所述固定块（206）的内部固定安装有加热箱（207）。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅片生产用加热退火装置，其特征在于：所述底座（1）的顶部开设有与连接块（204）相适配的移动槽，且移动块（203）的内部开设有与螺杆（202）相适配的螺纹槽。
3.根据权利要求1所述的一种碳化硅片生产用加热退火装置，其特征在于：所述加热箱（207）的右侧开设有与退火箱（5）相适配的开口，且加热箱（207）和退火箱（5）位于同一水平位置。
4.根据权利要求1所述的一种碳化硅片生产用加热退火装置，其特征在于：两个所述循环泵箱（9）的内部均设置有循环泵，且两个所述循环泵箱（9）的顶部均开设有与两个所述连接管（11）相适配的第一通槽。
5.根据权利要求1所述的一种碳化硅片生产用加热退火装置，其特征在于：两个所述循环泵箱（9）的左侧均开设有与两个所述抽水管（10）相适配的第二通槽。
6.根据权利要求1所述的一种碳化硅片生产用加热退火装置，其特征在于：所述安装箱（3）和固定箱（4）的正面均设置有开关门，且冷却储水箱（12）位于安装箱（3）的右侧，冷却储水箱（12）位于底座（1）的顶部。
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