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CN222160330U - 一种真空镀膜机用蒸发舟 - Google Patents

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CN222160330U
CN222160330U CN202420703353.7U CN202420703353U CN222160330U CN 222160330 U CN222160330 U CN 222160330U CN 202420703353 U CN202420703353 U CN 202420703353U CN 222160330 U CN222160330 U CN 222160330U
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CN
China
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evaporation
layer
evaporation boat
boat
coating machine
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Active
Application number
CN202420703353.7U
Other languages
English (en)
Inventor
闫兴伟
李正林
李学法
张国平
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jiangyin Nali New Material Technology Co Ltd
Original Assignee
Jiangyin Nali New Material Technology Co Ltd
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Publication date
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Abstract

本申请涉及真空镀膜技术领域,一种真空镀膜机用蒸发舟,包括加热层,加热层用于给蒸发层提供热源,加热层顶部开设有用于放置蒸发层的凹槽,两端连接极柱;蒸发层,蒸发层用于镀膜材料的融化及蒸发,蒸发层顶部开设有放置镀膜材料的容置部,容置部两端开设有进料口;蒸发舟盖体,蒸发舟盖体两端分别设置有限位条,且蒸发舟盖体上均布有通气孔。本申请能够降低镀膜材料的浪费,提高镀膜的均匀度,可以有效增加蒸发舟使用寿命。

Description

一种真空镀膜机用蒸发舟
技术领域
本申请涉及真空镀膜技术领域,尤其是涉及一种真空镀膜机用蒸发舟。
背景技术
复合铝集流体作为传统锂电铝箔的替代材料,以其高安全性、轻量化、更低的厚度成为锂离子电池集流体新的发展趋势,随着金属化复合集流体工艺技术的逐步完善,以PET为主要基体的复合铝集流体已开始批量应用于锂电池终端。铝复合集流体的制备方式,目前行业主流的工艺路线是通过真空蒸镀的方法在聚合物基体上沉积一层厚度为0.5-1.5μm的铝。在铝蒸镀过程中,蒸发载体一直是一个成本极高且操作困难的点,在高温下,铝液具备极高的活性,会与大多数金属及化合物产生反应,行业经过持续的优化筛选,已氮化硼坩埚为主的外加热模式和陶瓷蒸发舟电加热模式成为两种主流方案,由于蒸发舟电加热法具备操作方便,成本低的优势,具有更广阔的发展前景。
陶瓷蒸发舟主要成分为氮化硼、二硼化钛、氮化铝及少量添加剂,其中二硼化钛提供了蒸发舟的导电性以及一定的电阻率达到电加热的目的,氮化硼使蒸发舟具备更好的可加工性及耐热冲击性,氮化硼还可与铝液反应形成一层氮化铝保护层,降低舟腐蚀速度;氮化铝的添加增加了蒸发舟的耐铝液腐蚀及抗热震性。蒸发舟最大的两个问题分别是舟体腐蚀和铝液飞溅;其中舟体腐蚀的原理在于:高温下液铝与氮化硼及其它组分发生反应,使表面二硼化钛及氮化铝组分松动,结合铝液下滴的冲刷,在舟面形成凹坑,缩短蒸发舟寿命。针对蒸发舟的铝液飞溅,经研究,原因主要有四点:一是蒸发舟本身组分与铝液起反应,产生气体等副产物,引起飞溅;二是铝液与蒸发舟表面温度差异大,铝液液面不稳定会使铝液扩展到高温区,瞬间温差引起飞溅;三是随蒸发舟使用,二硼化钛及副反应杂质被冲刷到铝液边缘,形成松散的颗粒结晶体,此结晶体与舟体结合力差,容易形成飞溅;四是随蒸发舟腐蚀坑变大,舟体表面温度分布差异增大。铝液飞溅会造成膜面铝金属凸点,严重的甚至烧穿基膜形成针孔。体现在电池端,一方面会造成涂布及辊压断带,降低制程良率;另一方面容易造成隔膜刺穿,使制程短路率增加,造成自放电风险。
实用新型内容
为了克服现有技术中,本申请提供一种真空镀膜机用蒸发舟。
本申请提供的一种真空镀膜机用蒸发舟采用如下的技术方案:
一种真空镀膜机用蒸发舟,包括加热层,加热层用于给蒸发层提供热源,加热层顶部开设有用于放置蒸发层的凹槽,两端连接极柱;蒸发层,蒸发层用于镀膜材料的融化及蒸发,蒸发层顶部开设有放置镀膜材料的容置部,容置部两端开设有进料口;蒸发舟盖体,蒸发舟盖体两端分别设置有限位条,且蒸发舟盖体上均布有通气孔。
通过采用上述技术方案,本申请中的蒸发舟分为上下两层,下层为加热层用于提供热源对蒸发层进行加热,上层为蒸发层用于放置镀膜材料并在加热层的作用下融化和蒸发,其中蒸发层两端的进料口用于导入镀膜材料。蒸发层顶部的蒸发舟盖体均布的通气孔可有效避免蒸发层内的镀膜材料在沸腾时飞溅至外部,降低镀膜材料的浪费,提高镀膜的均匀度。
优选的,蒸发层与进料口为一体成型或焊接连接。
优选的,容置部为开设在蒸发层表面的凹坑,凹坑位于两个极柱中间。
通过采用上述技术方案,蒸发层和两端的进料口整体设计,让加热层对蒸发层的加热更加的均匀,并且蒸发层上的容置部为设置在蒸发层表面上的凹坑,方便进料口从两端进行进料。
优选的,容置部的两侧设有缓冲平台,其中缓冲平台的外围边缘设有防溢出阻挡层。
优选的,进料口的底面由容置部的底面向上倾斜,且进料口两侧安装有与容置部相同的带有防溢出阻挡层的缓冲平台。
通过采用上述技术方案,容置部两侧的缓冲平台用于溢出的高温镀膜液的冷却,并通过外围边缘的防溢出阻挡层进行阻挡,有效抑制高温的镀膜液进行与加热层接触对加热层造成破坏。
优选的,加热层和蒸发层均采用长方体,其中加热层上的凹槽深度为3-5mm,蒸发层上容置部深度为1-2mm。
优选的,蒸发层的底部嵌设于加热层的凹槽内,且蒸发层顶部开口处设有沿蒸发层长度方向分布的蒸发舟盖体适配的限位槽。
通过采用上述技术方案,加热层上的凹槽用于容纳蒸发层,蒸发层上容置部能够存放镀膜材料,其中蒸发层顶部开口处设置的限位槽用于放置蒸发舟盖体。
优选的,限位槽的深度大于限位条的高度,且限位槽底部设有连通容置部和缓冲平台的溢流槽穿孔。
通过采用上述技术方案,限位槽底部设有的溢流槽能够将镀膜液沸腾时飞溅溢出的液体从溢流槽穿孔导出至缓冲平台。
综上所述,本申请包括以下至少一种有益技术效果:
1.本申请取消蒸发层电加热功能,降低蒸发舟舟体腐蚀速率,并且蒸发层中通过底部加热层的加热,保证蒸发舟表面温度一致性;
2.本申请中蒸发层顶部的蒸发舟盖体均布的通气孔可有效避免蒸发层内的镀膜材料在沸腾时飞溅至外部,降低镀膜材料的浪费,提高镀膜的均匀度,并且配合蒸发层两侧的缓冲平台,能够将蒸发层中溢出的高温镀膜液进行冷却,减少传统蒸发舟表面二硼化钛等结晶物的产生,可以有效增加蒸发舟使用寿命。
附图说明
图1是一种真空镀膜机用蒸发舟整体结构示意图;
图2是一种真空镀膜机用蒸发舟中加热层、蒸发层及蒸发舟盖体的爆炸结构示意图;
图3是图2中A处放大图。
附图标记说明:1、加热层;11、凹槽;12、极柱;2、蒸发层;21、容置部;211、进料口;22、限位槽;221、溢流槽穿孔;3、蒸发舟盖体;31、限位条;32、通气孔;4、缓冲平台;41、防溢出阻挡层。
具体实施方式
以下结合附图1-3对本申请作进一步详细说明。
本申请实施例公开一种真空镀膜机用蒸发舟。
参照图1、图2及图3,一种真空镀膜机用蒸发舟,包括加热层1,加热层1用于给蒸发层2提供热源,加热层1顶部开设有用于放置蒸发层2的凹槽11,两端连接极柱12;蒸发层2,蒸发层2用于镀膜材料的融化及蒸发,蒸发层2顶部开设有放置镀膜材料的容置部21,容置部21两端开设有进料口211;蒸发舟盖体3,蒸发舟盖体3两端分别设置有限位条31,且蒸发舟盖体3上均布有通气孔32。本申请中的蒸发舟分为上下两层,下层为加热层1用于提供热源对蒸发层2进行加热,上层为蒸发层2用于放置镀膜材料并在加热层1的作用下融化和蒸发,其中蒸发层2两端的进料口211用于导入镀膜材料。蒸发层2顶部的蒸发舟盖体3均布的通气孔32可有效避免蒸发层2内的镀膜材料在沸腾时飞溅至外部,降低镀膜材料的浪费,提高镀膜的均匀度。
参照图1、图2及图3,蒸发层2与进料口211为一体成型。容置部21为开设在蒸发层2表面的凹坑,凹坑位于两个极柱12中间。蒸发层2和两端的进料口211整体设计,让加热层1对蒸发层2的加热更加的均匀,并且蒸发层2上的容置部21为设置在蒸发层2表面上的凹坑,方便进料口211从两端进行进料。
参照图1、图2及图3,容置部21的两侧设有缓冲平台4,其中缓冲平台4的外围边缘设有防溢出阻挡层41。进料口211的底面由容置部21的底面向上倾斜,且进料口211两侧安装有与容置部21相同的带有防溢出阻挡层41的缓冲平台4。容置部21两侧的缓冲平台4用于溢出的高温镀膜液的冷却,并通过外围边缘的防溢出阻挡层41进行阻挡,有效抑制高温的镀膜液进行与加热层1接触对加热层1造成破坏。
参照图1、图2及图3,加热层1和蒸发层2均采用长方体,其中加热层1上的凹槽11深度为3mm,蒸发层2上容置部21深度为1mm。蒸发层2的底部嵌设于加热层1的凹槽11内,且蒸发层2顶部开口处设有沿蒸发层2长度方向分布的蒸发舟盖体3适配的限位槽22。加热层1上的凹槽11用于容纳蒸发层2,蒸发层2上容置部21能够存放镀膜材料,其中蒸发层2顶部开口处设置的限位槽22用于放置蒸发舟盖体3。
参照图1、图2及图3,限位槽22的深度大于限位条31的高度,且限位槽22底部设有连通容置部21和缓冲平台4的溢流槽穿孔221。限位槽22底部设有的溢流槽能够将镀膜液沸腾时飞溅溢出的液体从溢流槽穿孔221导出至缓冲平台4。
工作原理:工作时,电极柱12通电,将蒸发舟的加热层1加热到1700℃,铝丝从蒸发层2的进料口211送入容置部21内,铝丝熔融并蒸发,进行镀膜。
以上均为本申请的较佳实施例,并非依此限制本申请的保护范围,故:凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化,均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种真空镀膜机用蒸发舟,其特征在于:包括
加热层(1),所述加热层(1)用于给蒸发层(2)提供热源,加热层(1)顶部开设有用于放置蒸发层(2)的凹槽(11),两端连接极柱(12);
蒸发层(2),所述蒸发层(2)用于镀膜材料的融化及蒸发,蒸发层(2)顶部开设有放置镀膜材料的容置部(21),所述容置部(21)两端开设有进料口(211);
蒸发舟盖体(3),所述蒸发舟盖体(3)两端分别设置有限位条(31),且蒸发舟盖体(3)上均布有通气孔(32)。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用蒸发舟,其特征在于:所述蒸发层(2)与进料口(211)为一体成型或焊接连接。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用蒸发舟,其特征在于:所述容置部(21)为开设在蒸发层(2)表面的凹坑,所述凹坑位于两个所述极柱(12)中间。
4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜机用蒸发舟,其特征在于:所述容置部(21)的两侧设有缓冲平台(4),其中缓冲平台(4)的外围边缘设有防溢出阻挡层(41)。
5.根据权利要求2或4所述的一种真空镀膜机用蒸发舟,其特征在于:所述进料口(211)的底面由容置部(21)的底面向上倾斜,且进料口(211)两侧安装有与容置部(21)相同的带有防溢出阻挡层(41)的缓冲平台(4)。
6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用蒸发舟,其特征在于:所述加热层(1)和蒸发层(2)均采用长方体,其中加热层(1)上的凹槽(11)深度为3-5mm,蒸发层(2)上容置部(21)深度为1-2mm。
7.根据权利要求6所述的一种真空镀膜机用蒸发舟,其特征在于:所述蒸发层(2)的底部嵌设于加热层(1)的凹槽(11)内,且蒸发层(2)顶部开口处设有沿蒸发层(2)长度方向分布的蒸发舟盖体(3)适配的限位槽(22)。
8.根据权利要求7所述的一种真空镀膜机用蒸发舟,其特征在于:所述限位槽(22)的深度大于限位条(31)的高度,且限位槽(22)底部设有连通容置部(21)和缓冲平台(4)的溢流槽穿孔(221)。
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