CN221971674U - 一种ald气流的改善装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种ALD气流的改善装置，其中包括炉体、风罩、实心载板和匀流盒，所述炉体左侧固定连接有尾排管道，所述匀流盒设置于炉体内部左侧，所述匀流盒为不锈钢制品，中间镂空设计，所述匀流盒左侧小右侧大呈漏斗形态，所述匀流盒左侧与炉体内部形状尺寸匹配，所述匀流盒右侧与尾排管道形状尺寸匹配，所述匀流盒面向炉门一侧开设有孔洞，该装置解决了当前ALD气流不均匀的问题。
Description
技术领域
本实用新型属于气流改善装置技术方向，具体涉及一种ALD气流的改善装置。
背景技术
原子层沉积(Atomic layer deposition)是通过将气相前驱体交替地通入反应器并发生化学反应而形成沉积膜的一种技术，该技术可以将物质以单原子层形式一层一层地镀在基底表面。
但是在原子沉积过程中，通入的气相气流如果不稳定，会导致内部扩散不充分，生长薄膜的均匀性差，外观绕度高，该现象成为本领域人员亟待解决的问题，因此设计一种ALD气流的改善装置，可以改善气流方向，从而改善ALD外观绕度和膜厚的均匀性。
实用新型内容
本实用新型的目的在于针对现有的装置一种ALD气流的改善装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种ALD气流的改善装置，包括炉体、风罩、实心载板和匀流盒，所述炉体左侧固定连接有尾排管道，所述匀流盒设置于炉体内部左侧，所述匀流盒为不锈钢制品，中间镂空设计，所述匀流盒左侧小右侧大呈漏斗形态，所述匀流盒左侧与炉体内部形状尺寸匹配，所述匀流盒右侧与尾排管道形状尺寸匹配，所述匀流盒面向炉门一侧开设有孔洞。
本实用新型进一步说明，所述炉体右侧设置有炉门。
本实用新型进一步说明，所述炉门上设置有进气口。
本实用新型进一步说明，所述风罩固定连接于实心载板上方，所述风罩设置于炉门左侧，所述风罩由铝制框架组成，内部由多组铝片组合。
本实用新型进一步说明，所述炉体底部设置有传送托盘，所述实心载板固定连接于传送托盘上方，所述实心载板由实心不锈钢板制成。
本实用新型进一步说明，所述实心载板上方设置有铝制舟，所述铝制舟设置于风罩左侧。
与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：本实用新型，通过设置有风罩、实心载板和匀流盒，可以使得炉体内部气流分散、均匀，到达改善ALD外观绕度和膜厚均匀性的目的。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
图1是本实用新型的整体结构示意图；
图2是本实用新型的风罩结构示意图；
图3是本实用新型的匀流盒结构示意图；
图中：1、炉体；2、炉门；3、风罩；4、铝制舟；5、进气口；6、实心载板；7、匀流盒；8、尾排管道；9、孔洞。
具体实施方式
以下结合较佳实施例及其附图对本实用新型技术方案作进一步非限制性的详细说明。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3，本实用新型提供技术方案：一种ALD气流的改善装置，包括炉体1、风罩3、实心载板6和匀流盒7，炉体1右侧设置有炉门2，炉门2上设置有进气口5，进气口5用于关闭炉门2时，向炉体1内部通入气体。
风罩3固定连接于实心载板6上方，风罩3设置于炉门2左侧，风罩3由长530mm，宽95mm，高480mm的铝制框架组成，内部由多组铝片组合，用于进气口5通气时，气体经过风罩3可以实现提前分流，从而改善炉体1内部气体的均匀性，有利于改善外观绕度。
炉体1底部设置有传送托盘，实心载板6固定连接于传送托盘上方，实心载板6由长168mm，宽49mm，厚25mm的实心不锈钢板制成，实心载板6上方设置有铝制舟4，铝制舟4设置于风罩3左侧，实心载板6用于气体经过风罩3后，限制气体流向，避免气体流向炉体1下部，缩小气体流动范围，可以使得气体较大的作用于铝制舟4内部，吹开铝制舟4内背靠背吸附的电池片。
炉体1左侧固定连接有尾排管道8，匀流盒7设置于炉体1内部左侧，匀流盒7为不锈钢制品，中间镂空设计，匀流盒7左侧小右侧大呈漏斗形态，匀流盒7左侧与炉体1内部形状尺寸匹配，匀流盒7右侧与尾排管道8形状尺寸匹配，匀流盒7右侧为半径195mm的圆形，所以匀流盒7不需要采用额外的固定装置，采用卡接嵌入的方式即可与炉体1固定连接，匀流盒7面向炉门2一侧开设有孔洞9，孔洞9设置有若干组，孔洞9半径为20mm，便于气体从孔洞9分散进入匀流盒7再从尾排管道8抽出，缓解炉体1内部气流，利于气流分开铝制舟4内背靠背吸附的电池片，使电池片背面可以沉积面积更大的薄膜。
工作原理：气体经过进气口5进入炉体1内部，经过由多组铝片组合而成的风罩3提前分散气流，改善炉体1内部气体的均匀性，气体进入炉体1内部后，由于实心载板6的作用，限制气体流向，避免气体流向炉体1下部，缩小气体流动范围，使得气体较大的作用于铝制舟4内部，大幅度吹开铝制舟4内背靠背吸附的电池片，之后气体通过匀流盒7上的孔洞9，使得气体分散进入匀流盒7，避免气体直接从炉体1左侧中心处直接抽走，从而缓解炉体1内部气流，达到改善ALD外观绕度和膜厚均匀性的目的。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
最后需要指出的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制。尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (6)
1.一种ALD气流的改善装置，包括炉体(1)、风罩(3)、实心载板(6)和匀流盒(7)，其特征在于：所述炉体(1)左侧固定连接有尾排管道(8)，所述匀流盒(7)设置于炉体(1)内部左侧，所述匀流盒(7)为不锈钢制品，中间镂空设计，所述匀流盒(7)左侧小右侧大呈漏斗形态，所述匀流盒(7)左侧与炉体(1)内部形状尺寸匹配，所述匀流盒(7)右侧与尾排管道(8)形状尺寸匹配，所述匀流盒(7)面向炉门(2)一侧开设有孔洞(9)。
2.根据权利要求1所述的一种ALD气流的改善装置，其特征在于：所述炉体(1)右侧设置有炉门(2)。
3.根据权利要求2所述的一种ALD气流的改善装置，其特征在于：所述炉门(2)上设置有进气口(5)。
4.根据权利要求3所述的一种ALD气流的改善装置，其特征在于：所述风罩(3)固定连接于实心载板(6)上方，所述风罩(3)设置于炉门(2)左侧，所述风罩(3)由铝制框架组成，内部由多组铝片组合。
5.根据权利要求4所述的一种ALD气流的改善装置，其特征在于：所述炉体(1)底部设置有传送托盘，所述实心载板(6)固定连接于传送托盘上方，所述实心载板(6)由实心不锈钢板制成。
6.根据权利要求5所述的一种ALD气流的改善装置，其特征在于：所述实心载板(6)上方设置有铝制舟(4)，所述铝制舟(4)设置于风罩(3)左侧。
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2024
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