CN221971636U - 一种方便出料的钛丝退火炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种方便出料的钛丝退火炉，包括退火炉主体，所述拼接插槽内壁插合安装有拼接插块，且拼接插块上端固定连接有冷却风扇，所述退火炉主体上端边缘安装有升降导轨，且升降导轨一侧插合安装有伺服电机，所述伺服电机输出端安装有驱动齿轮，且驱动齿轮之间啮合安装有封闭门板。该方便出料的钛丝退火炉内壁通过电动推杆、导板、导槽和滑珠带动置料架进行稳定限位推拉出料，而且可以通过滚轮和滚槽带动置物板对开抽拉，方便进行两侧同时上下料，效率更佳，而且置料架可以通过冷却风扇进行垂直吹风，可以有效降温处理，并且冷却风扇方便可以通过拼接插块、锁紧旋钮和拼接插槽进行快速拆装更换使用，使用方便。

Description

一种方便出料的钛丝退火炉

技术领域

本实用新型涉及钛丝退火炉技术领域，具体为一种方便出料的钛丝退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

钛丝，是银白色的金属，它具有许多优良性能，钛的密度为4.54g/cm3，比钢轻43%，比久负盛名的轻金属镁稍重一些。

现有CN214458215U一种钛丝退火炉利用拉动两个拉动把手可以将底盒从底箱内拉出，方便控制退火炉内的温度，提高了退火炉的热处理效率，但有不足之处，现有的设备出料稳定性不佳，并且上下料不方便，并且不能进行对出料产品进行有效的降温出料，使用不方便，从而需要一种方便出料的钛丝退火炉解决上述的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种方便出料的钛丝退火炉，以解决上述背景技术中提到的钛丝退火炉出料稳定性不佳，并且上下料不方便，并且不能进行对出料产品进行有效的降温出料，使用不方便的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种方便出料的钛丝退火炉，包括退火炉主体，所述退火炉主体前侧安装有控制主机，且退火炉主体下端固定连接有支撑底座，所述退火炉主体内壁下端两侧开设有导槽，且导槽内壁插合安装有导板，所述导板两侧镶嵌安装有滑珠，且导板上端固定连接有置料架，所述置料架内壁开设有滚槽，且滚槽内壁安装有置物板，所述置物两侧边缘安装有滚轮，所述导板另一侧安装有电动推杆，且电动推杆于支撑底座内壁边缘镶嵌安装，所述支撑底座上端边缘开设有拼接插槽，且拼接插槽前后侧均插合安装有锁紧旋钮，所述拼接插槽内壁插合安装有拼接插块，且拼接插块上端固定连接有冷却风扇，所述退火炉主体上端边缘安装有升降导轨，且升降导轨一侧插合安装有伺服电机，所述伺服电机输出端安装有驱动齿轮，且驱动齿轮之间啮合安装有封闭门板。

优选的，所述冷却风扇于支撑底座上端两侧呈垂直对称位置分布，且冷却风扇为四组结构。

优选的，所述冷却风扇为独立供电结构，且冷却风扇通过拼接插块在拼接插槽内与支撑底座呈插合安装，所述拼接插块通过锁紧旋钮与拼接插槽呈锁紧固定连接。

优选的，所述封闭门板与升降导轨呈密封插合安装，且封闭门板通过驱动齿轮在伺服电机上与升降导轨呈啮合升降连接。

优选的，所述置料架为框架结构，且置料架通过电动推杆与退火炉主体呈推动连接，所述置料架通过导板和滑珠在导槽内与退火炉主体呈限位滑动连接。

优选的，所述置物板为网状镂空结构，且置物板于置料架内壁呈三层分布，所述置物板通过滚轮在滚槽内与置料架呈滚动对开连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该方便出料的钛丝退火炉内壁通过电动推杆、导板、导槽和滑珠带动置料架进行稳定限位推拉出料，而且可以通过滚轮和滚槽带动置物板对开抽拉，方便进行两侧同时上下料，效率更佳，而且置料架可以通过冷却风扇进行垂直吹风，可以有效降温处理，并且冷却风扇方便可以通过拼接插块、锁紧旋钮和拼接插槽进行快速拆装更换使用，使用方便。

附图说明

图1为本实用新型一种方便出料的钛丝退火炉正视图；

图2为本实用新型一种方便出料的钛丝退火炉剖面图；

图3为本实用新型一种方便出料的钛丝退火炉置料架与置物板连接示意图；

图4为本实用新型一种方便出料的钛丝退火炉图2中A处放大图；

图5为本实用新型一种方便出料的钛丝退火炉图2中B处放大图；

图6为本实用新型一种方便出料的钛丝退火炉图2中C处放大图；

图7为本实用新型一种方便出料的钛丝退火炉图3中D处放大图。

图中：1、退火炉主体，2、支撑底座，3、控制主机，4、冷却风扇，5、封闭门板，6、置料架，7、电动推杆，8、导板，9、抽拉把手，10、置物板，11、升降导轨，12、驱动齿轮，13、导槽，14、滑珠，15、拼接插块，16、锁紧旋钮，17、拼接插槽，18、滚轮，19、滚槽，20、伺服电机。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-7，本实用新型提供一种技术方案：一种方便出料的钛丝退火炉，包括退火炉主体1、支撑底座2、控制主机3、冷却风扇4、封闭门板5、置料架6、电动推杆7、导板8、抽拉把手9、置物板10、升降导轨11、驱动齿轮12、导槽13、滑珠14、拼接插块15、锁紧旋钮16、拼接插槽17、滚轮18、滚槽19和伺服电机20，退火炉主体1前侧安装有控制主机3，且退火炉主体1下端固定连接有支撑底座2，退火炉主体1内壁下端两侧开设有导槽13，且导槽13内壁插合安装有导板8，导板8两侧镶嵌安装有滑珠14，且导板8上端固定连接有置料架6，置料架6为框架结构，且置料架6通过电动推杆7与退火炉主体1呈推动连接，置料架6通过导板8和滑珠14在导槽13内与退火炉主体1呈限位滑动连接，这样使得置料架6方便进行稳定滚动推拉移动，出料更方便，置料架6内壁开设有滚槽19，且滚槽19内壁安装有置物板10，置物板10为网状镂空结构，且置物板10于置料架6内壁呈三层分布，置物板10通过滚轮18在滚槽19内与置料架6呈滚动对开连接，这样使得置物板10方便对开抽拉，方便快速上下料使用，置物10两侧边缘安装有滚轮18，导板8另一侧安装有电动推杆7，且电动推杆7于支撑底座2内壁边缘镶嵌安装，支撑底座2上端边缘开设有拼接插槽17，且拼接插槽17前后侧均插合安装有锁紧旋钮16，拼接插槽17内壁插合安装有拼接插块15，且拼接插块15上端固定连接有冷却风扇4，冷却风扇4于支撑底座2上端两侧呈垂直对称位置分布，且冷却风扇4为四组结构，这样使得冷却风扇4方便进行对称吹风冷却处理，冷却风扇4为独立供电结构，且冷却风扇4通过拼接插块15在拼接插槽17内与支撑底座2呈插合安装，拼接插块15通过锁紧旋钮16与拼接插槽17呈锁紧固定连接，这样使得冷却风扇4方便快速拆装，方便更换使用，退火炉主体1上端边缘安装有升降导轨11，且升降导轨11一侧插合安装有伺服电机20，伺服电机20输出端安装有驱动齿轮12，且驱动齿轮12之间啮合安装有封闭门板5，封闭门板5与升降导轨11呈密封插合安装，且封闭门板5通过驱动齿轮12在伺服电机20上与升降导轨11呈啮合升降连接，这样使得封闭门板5方便进行快速升降调节，而且可以进行密封处理，加工效果更佳。

工作原理：在使用该方便出料的钛丝退火炉时，首先将将该装置连接电源，然后将物料放置在置物板10上，接着启动电动推杆7，将置料架6推入退火炉主体1内，然后通过驱动齿轮12和伺服电机20带动封闭门板5沿着升降导轨11下降，进行密封闭合，接着进行退火处理，当处理完成后，可以将封闭门板5升起打开，然后启动电动推杆7，并且通过导板8、导槽13和滑珠14带动置料架6滚动推出，并且通过冷却风扇4进行垂直吹风，进行快速冷却，接着将置物板10通过滚轮18和滚槽19滑动拉出，进行快速出料，而冷却风扇4需要维修时，可以通过拼接插块15、锁紧旋钮16和拼接插槽17进行快速拆装更换使用，这就是该方便出料的钛丝退火炉的使用过程。

尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种方便出料的钛丝退火炉，包括退火炉主体（1），所述退火炉主体（1）前侧安装有控制主机（3），且退火炉主体（1）下端固定连接有支撑底座（2），其特征在于：所述退火炉主体（1）内壁下端两侧开设有导槽（13），且导槽（13）内壁插合安装有导板（8），所述导板（8）两侧镶嵌安装有滑珠（14），且导板（8）上端固定连接有置料架（6），所述置料架（6）内壁开设有滚槽（19），且滚槽（19）内壁安装有置物板（10），所述置物板（10）两侧边缘安装有滚轮（18），所述导板（8）另一侧安装有电动推杆（7），且电动推杆（7）于支撑底座（2）内壁边缘镶嵌安装，所述支撑底座（2）上端边缘开设有拼接插槽（17），且拼接插槽（17）前后侧均插合安装有锁紧旋钮（16），所述拼接插槽（17）内壁插合安装有拼接插块（15），且拼接插块（15）上端固定连接有冷却风扇（4），所述退火炉主体（1）上端边缘安装有升降导轨（11），且升降导轨（11）一侧插合安装有伺服电机（20），所述伺服电机（20）输出端安装有驱动齿轮（12），且驱动齿轮（12）之间啮合安装有封闭门板（5）。

2.根据权利要求1所述的一种方便出料的钛丝退火炉，其特征在于：所述冷却风扇（4）于支撑底座（2）上端两侧呈垂直对称位置分布，且冷却风扇（4）为四组结构。

3.根据权利要求2所述的一种方便出料的钛丝退火炉，其特征在于：所述冷却风扇（4）为独立供电结构，且冷却风扇（4）通过拼接插块（15）在拼接插槽（17）内与支撑底座（2）呈插合安装，所述拼接插块（15）通过锁紧旋钮（16）与拼接插槽（17）呈锁紧固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种方便出料的钛丝退火炉，其特征在于：所述封闭门板（5）与升降导轨（11）呈密封插合安装，且封闭门板（5）通过驱动齿轮（12）在伺服电机（20）上与升降导轨（11）呈啮合升降连接。

5.根据权利要求4所述的一种方便出料的钛丝退火炉，其特征在于：所述置料架（6）为框架结构，且置料架（6）通过电动推杆（7）与退火炉主体（1）呈推动连接，所述置料架（6）通过导板（8）和滑珠（14）在导槽（13）内与退火炉主体（1）呈限位滑动连接。

6.根据权利要求5所述的一种方便出料的钛丝退火炉，其特征在于：所述置物板（10）为网状镂空结构，且置物板（10）于置料架（6）内壁呈三层分布，所述置物板（10）通过滚轮（18）在滚槽（19）内与置料架（6）呈滚动对开连接。