CN221571156U - 一种高温炉管接口防护装置 - Google Patents

Abstract

本说明书实施例提供一种高温炉管接口防护装置，包括：两组相互配合的半罩体，两组半罩体分别位于炉管接口的两侧，两组半罩体上均开设有第一缺口，第一缺口贯穿半罩体，高温炉管从两组第一缺口之间穿过，两组半罩体外侧壁从第一位置向着相互靠近的方向倾斜；输气管道，输气管道伸入两组半罩体配合形成的空间内，输气管道与外部惰性气体源相连接，以使得外部惰性气体进入半罩体配合形成的空间内。通过设置两组相互配合的半罩体对炉管接口处进行防护，通过输气管道向两组半罩体配合形成的空间内输入惰性气体，使得炉管接口处外围区域被惰性气体保卫，避免空气中的氧气渗漏到工艺管中，改善晶圆片的均匀性，保证产品的安全。

Description

一种高温炉管接口防护装置

技术领域

本说明书涉及半导体炉管设备技术领域，具体涉及一种高温炉管接口防护装置。

背景技术

高温炉管设备在实际使用中，高温炉管TC(热电偶)进口在机台的顶部，且工艺管使用的是SIC(碳化硅)材质，进气口和TC进口都在工艺管的顶部，而热电偶套管使用的是石英材质，由于碳化硅工艺管进气口接口处在工艺时温度大于600摄氏度，因此无法使用密封圈来密封，而是采用石英套管和工艺管是直接接触的，它们之间是通过相互磨砂口来密封的。长时间的接触使用，会造成工艺管接触面磨损，密封性不好，漏率较差，产品均匀性差，造成产品报废，严重影响了机台的使用效率。

发明内容

有鉴于此，本说明书实施例提供一种高温炉管接口防护装置，通过设置两组相互配合的半罩体对炉管接口处进行防护，通过输气管道向两组半罩体配合形成的空间内输入惰性气体，使得炉管接口处外围区域被惰性气体保卫，避免空气中的氧气渗漏到工艺管中，改善晶圆片的均匀性，保证产品的安全。

本说明书实施例提供以下技术方案：一种高温炉管接口防护装置，包括：

两组相互配合的半罩体，两组所述半罩体分别位于所述炉管接口的两侧，两组所述半罩体上均开设有第一缺口，所述第一缺口贯穿所述半罩体，所述高温炉管从两组所述第一缺口之间穿过，两组所述半罩体外侧壁从第一位置向着相互靠近的方向倾斜；

输气管道，所述输气管道伸入两组所述半罩体配合形成的空间内，所述输气管道与外部惰性气体源相连接，以使得外部惰性气体进入所述半罩体配合形成的空间内。

优选的，所述半罩体外侧壁从所述第一缺口位置处向着相互靠近的方向倾斜，所述半罩体外侧壁横截面为钝角三角形状。

优选的，两组所述半罩体的第一侧面均开设有相互配合的第二缺口，所述第二缺口用于容置所述炉管接口上的固定夹子；

和/或，两组所述半罩体的第一侧面均开设有相互配合的第三缺口，所述第三缺口用于容置所述炉管接口上的固定夹子。

优选的，所述第二缺口和所述第三缺口分别设置在所述第一缺口的两侧。

优选的，所述第一缺口为弧形状；

和/或，所述第二缺口为矩形状；

和/或，所述第三缺口为矩形状。

优选的，所述输气管道为L型不锈钢管道。

优选的，所述装置还包括玻璃转子流量计和调压阀，所述璃转子流量计和调压阀均安装于所述输气管道上。

优选的，所述半罩体为不锈钢半罩体。

与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：

通过设置两组相互配合的半罩体对炉管接口处进行防护，通过输气管道向两组半罩体配合形成的空间内输入惰性气体，使得炉管接口处外围区域被惰性气体保卫，避免空气中的氧气渗漏到工艺管中，改善晶圆片的均匀性，保证产品的安全。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1是本实用新型提供的高温炉管接口防护装置的两组半罩体的结构示意图；

图2是本实用新型提供的高温炉管接口防护装置的结构示意图。

图中，1、半罩体；2、第一缺口；3、第二缺口；4、第三缺口；5、输气管道；6、调压阀；7、玻璃转子流量计。

具体实施方式

下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。

以下通过特定的具体实例说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本申请的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。本申请还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本申请的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本申请，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目和方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。

还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本申请的基本构想，图式中仅显示与本申请中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践所述方面。

以下结合附图，说明本申请各实施例提供的技术方案。

如图1-图2所示，一种高温炉管接口防护装置，炉管接口为工艺管TC进口及TC套管接口，包括：

两组相互配合的半罩体1，两组所述半罩体1分别位于所述炉管接口的两侧，两组所述半罩体1上均开设有第一缺口2，所述第一缺口2贯穿所述半罩体1，以便于工艺管TC进口及TC套管上端能够穿过第一缺口2，所述高温炉管从两组所述第一缺口2之间穿过，两组所述半罩体1外侧壁从第一位置向着相互靠近的方向倾斜；

输气管道5，所述输气管道5伸入两组所述半罩体1配合形成的空间内，所述输气管道5与外部惰性气体源相连接，以使得外部惰性气体进入所述半罩体1配合形成的空间内。

通过设置两组相互配合的半罩体1对炉管接口处进行防护，通过输气管道5向两组半罩体1配合形成的空间内输入惰性气体，使得炉管接口处外围区域被惰性气体保卫，避免空气中的氧气渗漏到工艺管中，改善晶圆片的均匀性，保证产品的安全。

需要说的是，可在其中一个半罩体1上开设供输气管道5插入的通孔，或者也可以在两个半罩体1上均开设相互配合的缺口组成通孔，以便于输气管道5插入，只需要保证外部惰性气体能够经由输气管道5进入半罩体1配合形成的空间内即可。

如图1所示，在一些实施方式中，根据工艺管TC进口旁边水管的走向以及它们之间的距离不到2厘米的特征，所述半罩体1外侧壁从所述第一缺口2位置处向着相互靠近的方向倾斜，所述半罩体1外侧壁横截面为钝角三角形状，既解决了安装问题，同时又使其体积最小，维持纯氮气环境的用气量最小。

根据工艺管TC进口及TC套管需要用一个不锈钢夹子来固定，且夹子与底部钢板的距离只有1毫米左右，在一些实施方式中，两组所述半罩体1的第一侧面均开设有相互配合的第二缺口3，所述第二缺口3用于容置所述炉管接口上的固定夹子；两组所述半罩体1的第一侧面均开设有相互配合的第三缺口4，所述第三缺口4用于容置所述炉管接口上的固定夹子，通过在半罩体1的第一侧面上开设第二缺口3和第三缺口4，工艺管TC进口及TC套管上的固定夹子分别经由第二缺口3和第三缺口4进入半罩体1配合形成的空间内，使得固定夹子和半罩体1之间不会相互影响。

如图1所示，在一些实施方式中，所述第二缺口3和所述第三缺口4分别设置在所述第一缺口2的两侧，通过将第二缺口3和第三缺口4分别设置在第一缺口2的两侧，便于工艺管TC进口及TC套管上的固定夹子插入半罩体1内。

需要说明的是，第二缺口3和第三缺口4的位置根据工艺管TC进口及TC套管上的固定夹子的位置进行设定，只需要保证工艺管TC进口及TC套管上的固定夹子能够插入半罩体1内即可。

还需要说明的是，第二缺口3和第三缺口4的大小根据工艺管TC进口及TC套管上的固定夹子的大小进行设定，保证工艺管TC进口及TC套管上的固定夹子能够插入半罩体1内即可。

如图1所示，在一些实施方式中，所述第一缺口2为弧形状，通过将第一接口设置成半圆状，当两组半罩体1配合使用是，两组第一缺口2相互配合形成圆状，便于管路接口从第一缺口2中穿过；

所述第二缺口3为矩形状，所述第三缺口4为矩形状，通过将第二缺口3和第三缺口4均设置成矩形状，便于工艺管TC进口及TC套管上的固定夹子通过第二缺口3和第三缺口4插入半罩体1内；

将第一缺口2设置为弧形状，第二缺口3和第三缺口4均设置成矩形状，便于对第一缺口2、第二缺口3和第三缺口4的加工。

需要说明的是，在其它实施方式中，第二缺口3和第三缺口4也可以为其它形状，只需要保证便于工艺管TC进口及TC套管上的固定夹子插入半罩体1内即可，可以根据实际情况进行设置。

如图2所示，在一些实施方式中，所述输气管道5为L型不锈钢管道，由于TC与工艺管进口附近钢板的温度都超过100摄氏度，因此采用了L型不锈钢管道，既满足了高温的要求，同时也有利于固定该管道。

如图2所示，在一些实施方式中，所述装置还包括玻璃转子流量计7和调压阀6，所述璃转子流量计和调压阀6均安装于所述输气管道5上，通过设置玻璃转子流量计7，可以对惰性气体的流量进行检测，通过设置调压阀6，可以控制通入该半罩体1内的惰性气体流量，溢出的惰性气体通过机台排风抽到排风管道中。

需要说明的是，惰性气体可以根据实际情况进行选择。

在一些实施方式中，所述半罩体1为不锈钢半罩体，采用不锈钢材质制造半罩体1，能够满足高温要求，使用寿命较长。

综上所述，本实用新型根据工艺管的TC进口与TC安装后的结构特征，设计了一种高温炉管接口防护装置，向该装置中通入氮气，使该TC套管接口磨砂处和工艺管TC进口处区域形成氮气环境，有效的防止了大气中的氧气进入工艺管中，有效解决了工艺管TC进口密封性不好，漏率大造成晶圆片均匀性差的问题。

本说明书中的各个实施例均之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例侧重说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于后面说明的方法实施例而言，由于其与系统是对应的，描述比较简单，相关之处参见系统实施例的部分说明即可。

以上所述，仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (8)

1.一种高温炉管接口防护装置，其特征在于，包括：

两组相互配合的半罩体，两组所述半罩体分别位于所述炉管接口的两侧，两组所述半罩体上均开设有第一缺口，所述第一缺口贯穿所述半罩体，所述高温炉管从两组所述第一缺口之间穿过，两组所述半罩体外侧壁从第一位置向着相互靠近的方向倾斜；

输气管道，所述输气管道伸入两组所述半罩体配合形成的空间内，所述输气管道与外部惰性气体源相连接，以使得外部惰性气体进入所述半罩体配合形成的空间内。

2.根据权利要求1所述的高温炉管接口防护装置，其特征在于，所述半罩体外侧壁从所述第一缺口位置处向着相互靠近的方向倾斜，所述半罩体外侧壁横截面为钝角三角形状。

3.根据权利要求1所述的高温炉管接口防护装置，其特征在于，两组所述半罩体的第一侧面均开设有相互配合的第二缺口，所述第二缺口用于容置所述炉管接口上的固定夹子；

和/或，两组所述半罩体的第一侧面均开设有相互配合的第三缺口，所述第三缺口用于容置所述炉管接口上的固定夹子。

4.根据权利要求3所述的高温炉管接口防护装置，其特征在于，所述第二缺口和所述第三缺口分别设置在所述第一缺口的两侧。

5.根据权利要求3所述的高温炉管接口防护装置，其特征在于，所述第一缺口为弧形状；

和/或，所述第二缺口为矩形状；

和/或，所述第三缺口为矩形状。

6.根据权利要求1-5任一项所述的高温炉管接口防护装置，其特征在于，所述输气管道为L型不锈钢管道。

7.根据权利要求6所述的高温炉管接口防护装置，其特征在于，所述装置还包括玻璃转子流量计和调压阀，所述璃转子流量计和调压阀均安装于所述输气管道上。

8.根据权利要求1所述的高温炉管接口防护装置，其特征在于，所述半罩体为不锈钢半罩体。