CN221529900U - 一种晶圆倒片装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及半导体领域，提供了一种晶圆倒片装置，包括：底板、推送组件、第一防误推组件、晶圆卡塞以及压杆；推送组件包括拉杆，拉杆滑动连接于底板的底部；第一防误推组件包括第一接触条、两个第一弹性件以及第一限位块，底板开设有第一让位槽、第一伸缩孔以及第一转动槽；第一弹性件连接于第一接触条的一侧，其中一个第一弹性件连接于第一让位槽的槽壁，另一个第一弹性件与第一限位块的一端连接，第一限位块的中段处与底板转动连接，可以解决晶圆无法较好地转移的问题。

Description

一种晶圆倒片装置

技术领域

本申请涉及半导体设备的技术领域，尤其是涉及一种晶圆倒片装置。

背景技术

晶圆在运输和保管过程中，为了减少外界污染源对晶圆的污染，会将晶圆放置在晶圆卡塞内，然后再放置于储藏盒内。在一些应用中，为了提高晶圆卡塞的存储利用率，一个晶圆卡塞内会存储多个晶圆。

在需要将晶圆卡塞内的晶圆转移至其他空的晶圆卡塞内时，现有晶圆倒片装置包括底板与推送组件，将两个晶圆卡塞放置在底板上相互盖合，通过推送组件将一个晶圆卡塞内的晶圆同时推送至孔的晶圆卡塞内，能够降低晶圆转移的操作难度。

但是，在放置晶圆卡塞的过程中，需要将两个晶圆卡塞分别放置在底板上，可能两个晶圆卡塞还没有都放置在底板上时，就误推推送组件，将晶圆卡塞内的晶圆推出，导致晶圆掉落，而无法较好地转移的情况，因此，需要改进。

实用新型内容

为了使得晶圆能够较好地转移，本申请提供一种晶圆倒片装置。

本申请提供一种晶圆倒片装置，采用如下的技术方案：

一种晶圆倒片装置，包括底板、推送组件、第一防误推组件、晶圆卡塞以及压杆；所述推送组件包括拉杆，所述拉杆滑动连接于所述底板的底部；

所述第一防误推组件包括第一接触条、两个第一弹性件以及第一限位块，所述底板开设有第一让位槽、第一伸缩孔以及第一转动槽，所述第一伸缩孔贯穿所述底板，所述第一转动槽开设于所述底板背离所述第一让位槽的一侧；

所述第一弹性件连接于所述第一接触条的一侧，其中一个所述第一弹性件伸入所述第一让位槽连接于所述第一让位槽的槽壁，另一个所述第一弹性件伸入所述第一伸缩孔与所述第一限位块的一端连接，所述第一限位块于所述第一转动槽内，且所述第一限位块的中段处与所述底板转动连接；

当未按压所述第一接触条时，所述第一限位块远离所述第一弹性件的一端伸出所述第一转动槽，并抵接于所述拉杆；所述压杆与所述晶圆卡塞一一对应设置，所述压杆连接于所述晶圆卡塞的底部，当所述晶圆卡塞放置于所述底板，所述压杆按压所述第一接触条，所述第一接触条伸入所述第一让位槽，伸入所述第一伸缩孔的所述第一弹性件按压所述第一限位块的一端，所述第一限位块转入所述第一转动槽内，远离所述拉杆。

通过采用上述技术方案，当需要将晶圆从晶圆卡塞转移到空的晶圆卡塞时，将装满晶圆的晶圆卡塞先放置在靠近推杆的位置，此时由于第一限位块抵接于拉杆，拉杆无法拉动；当空的晶圆卡塞放置到底板上，与转满晶圆的晶圆卡塞相互盖合时，压杆对第一接触条进行抵压，使得通过第一弹性件压入第一让位槽内，与第一限位块连接的弹性件对第一限位块进行抵压，使得第一限位块转动，第一限位块抵接于拉杆的一端向底板方向转入第一转动槽内，远离拉杆，解除对拉杆的限位，此时能够推动拉杆；

因此，只有当空的晶圆卡塞与装满晶圆的晶圆卡塞盖合时，才能够解除第一限位块的限位，使得能够拉动拉杆，使推杆沿着滑动槽的方向对晶圆进行推送，能够尽量避免误推推杆，而导致晶圆掉落的现象，以至于能够更好地转移晶圆。

可选的，还包括第二防误推组件，所述第二防误推组件包括第二接触条、两个第二弹性件以及第二限位块，所述底板开设有第二让位槽、第二伸缩孔以及第二转动槽，所述第二伸缩孔贯穿所述底板，所述第二转动槽开设于所述底板背离所述第二让位槽的一侧；

所述第二弹性件连接于所述第二接触条的一侧，其中一个所述第二弹性件伸入所述第二让位槽连接于所述第二让位槽的槽壁，另一个所述第二弹性件伸入所述第二伸缩孔与所述第二限位块的一端连接，所述第二限位块于所述第一转动槽内，且所述第二限位块的中段处与所述底板转动连接，所述第二限位块与所述第一限位块分别设置于所述第一接触条与所述第二接触条相互靠近的一侧；

当未按压所述第二接触条时，所述第二限位块远离所述第二弹性件的一端伸出所述第二转动槽，并抵接于所述拉杆；当所述晶圆卡塞放置于所述底板，所述压杆按压所述第二接触条，所述第二接触条伸入所述第二让位槽，伸入所述第二伸缩孔的所述第二弹性件按压所述第二限位块的一端，所述第二限位块转入所述第二转动槽内，远离所述拉杆。

通过采用上述技术方案，当装满晶圆的晶圆卡塞和空的晶圆卡塞都未放置在底板时，第一限位块与第二限位块同时抵接拉杆，对拉杆进行双重限位，当装满晶圆的晶圆卡塞或者空的晶圆卡塞先放置到底板上时，均无法推动拉杆；如先将装满晶圆的晶圆卡塞放置在底板上，压杆对第二接触条进行抵压，第二接触条进入到第二让位槽内，第二弹性件抵压第二限位块的一端，使得第二限位块转动离开拉杆，使得第二限位块解除对拉杆的限位，此时第一限位块依然抵接拉杆，只有当空的晶圆卡塞也放置到底板上时，才能解除第一限位块使得拉杆可以推动；或先将空的晶圆卡塞放置在底板上，压杆对第一接触条进行抵压，使得第一限位块解除对拉杆的限位，但是第二限位块依然抵接拉杆，只有将装满晶圆的晶圆卡塞也放置到底板上时，才能解除第二限位块的限位，对拉杆进行推动；

因此，采用第一限位块与第二限位块的配合，无论先放装满晶圆的晶圆卡塞还是先放空的晶圆卡塞，均无法推动拉杆，只有当两个晶圆卡塞都放置在底板上，才能推动拉杆，因此，采用第一限位块与第二限位块双重限位，能够更好地尽量避免拉杆的误推，使得更好地对晶圆进行转移。

可选的，所述推送组件还包括推杆、固定块、滑动块与导杆，所述推杆垂直连接于所述拉杆，所述固定块连接于所述底板的底部，所述滑动块滑动连接于所述底板的底部，所述拉杆连接于所述滑动块，所述导杆的一端连接于所述滑动块，并穿设所述固定块与所述固定块滑动连接，所述导杆远离所述滑动块的一端与所述推杆连接。

通过采用上述技术方案，拉动拉杆，滑动块滑动，通过导杆带动推杆沿着滑动槽的方向滑动，拉杆能够方便地对推杆进行推动，使得推杆能够较好地推送晶圆。

可选的，所述推送组件还包括抵接块，所述抵接块连接于所述滑动块朝向所述底板的一侧，当所述第一接触条与所述第二接触条均未被按压时，所述第一限位块与所述第二限位块均抵接于所述抵接块。

通过采用上述技术方案，使得装满晶圆的晶圆卡塞和空的晶圆卡塞未放置盖合完成前，第一限位块与第二限位块能够更加稳定地对推杆进行限位，使得更好地尽量避免对拉杆的误推。

可选的，所述第一限位块的两端连接为三角形结构，所述第一限位块抵接于所述抵接块背离所述固定块的一侧。

通过采用上述技术方案，使得能够第一限位块能够更加稳定地对拉杆进行抵接限位。

可选的，所述第二限位块与所述抵接块抵接的端部为挂钩状结构，所述抵接块的端部切割形成钩接部，挂钩状结构的所述第二限位块钩接于所述钩接部。

通过采用上述技术方案，通过钩接部与第二限位块的配合，使得第二限位块能够更加稳定地限位拉杆，使得更好地尽量避免拉杆的误推。

可选的，还包括两个安装条，所述安装条间隔设置于所述底板，且长度方向与所述底板的长度方向一致，所述安装条沿长度方向间隔开设有限位槽，当所述晶圆卡塞放置于所述底板，所述压杆卡接于所述限位槽内。

通过采用上述技术方案，通过压杆与限位槽的配合，能够对晶圆卡塞的安装位置进行限位，使得两个晶圆卡塞能够更准确地盖合，以至于晶圆能够更加准确地从一个晶圆卡塞推送至另一个晶圆卡塞。

可选的，所述推动组件还包括垫条，所述垫条连接于所述推杆朝向所述底板的一侧。

通过采用上述技术方案，通过垫条的设置，使得推杆在推送晶圆时，能够更好地对晶圆起到保护作用，能够尽量避免晶圆缺硅。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益效果：

1.当需要将晶圆从晶圆卡塞转移到空的晶圆卡塞时，将装满晶圆的晶圆卡塞先放置在靠近推杆的位置，此时由于第一限位块抵接于拉杆，拉杆无法拉动；当空的晶圆卡塞放置到底板上，与转满晶圆的晶圆卡塞相互盖合时，压杆对第一接触条进行抵压，使得通过第一弹性件压入第一让位槽内，与第一限位块连接的弹性件对第一限位块进行抵压，使得第一限位块转动，第一限位块抵接于拉杆的一端向底板方向转入第一转动槽内，远离拉杆，解除对拉杆的限位，此时能够推动拉杆；

因此，只有当空的晶圆卡塞与装满晶圆的晶圆卡塞盖合时，才能够解除第一限位块的限位，使得能够拉动拉杆，使推杆沿着滑动槽的方向对晶圆进行推送，能够尽量避免误推推杆，而导致晶圆掉落的现象，以至于能够更好地转移晶圆；

2.当装满晶圆的晶圆卡塞和空的晶圆卡塞都未放置在底板时，第一限位块与第二限位块同时抵接拉杆，对拉杆进行双重限位，当装满晶圆的晶圆卡塞或者空的晶圆卡塞先放置到底板上时，均无法推动拉杆；如先将装满晶圆的晶圆卡塞放置在底板上，压杆对第二接触条进行抵压，第二接触条进入到第二让位槽内，第二弹性件抵压第二限位块的一端，使得第二限位块转动离开拉杆，使得第二限位块解除对拉杆的限位，此时第一限位块依然抵接拉杆，只有当空的晶圆卡塞也放置到底板上时，才能解除第一限位块使得拉杆可以推动；或先将空的晶圆卡塞放置在底板上，压杆对第一接触条进行抵压，使得第一限位块解除对拉杆的限位，但是第二限位块依然抵接拉杆，只有将装满晶圆的晶圆卡塞也放置到底板上时，才能解除第二限位块的限位，对拉杆进行推动；

因此，采用第一限位块与第二限位块的配合，无论先放装满晶圆的晶圆卡塞还是先放空的晶圆卡塞，均无法推动拉杆，只有当两个晶圆卡塞都放置在底板上，才能推动拉杆，因此，采用第一限位块与第二限位块双重限位，能够更好地尽量避免拉杆的误推，使得更好地对晶圆进行转移。

附图说明

图1是本申请实施例晶圆倒片装置中晶圆卡塞未放置在底板上时的结构示意图；

图2是本申请实施例晶圆倒片装置中晶圆卡塞未放置在底板上时另一视角的结构示意图；

图3是本申请实施例晶圆倒片装置中晶圆卡塞未放置在底板上时第一防误推组件与拉杆配合的剖面示意图；

图4是本申请实施例晶圆倒片装置中晶圆卡塞未放置在底板上时第二防误推组件与拉杆配合的剖面示意图；

图5是本申请实施例晶圆倒片装置中晶圆卡塞放置在底板上时第一防误推组件的剖面示意图；

图6是本申请实施例晶圆倒片装置中晶圆卡塞放置在底板上时第二防误推组件的剖面示意图。

附图标记说明：1、底板；2、晶圆卡塞；3、推送组件；31、拉杆；32、推杆；33、垫条；34、固定块；35、滑动块；36、导杆；37、抵接块；4、滑动槽；5、压杆；6、安装条；7、限位槽；8、第一防误推组件；81、第一接触条；82、第一弹性件；83、第一限位块；84、第一让位槽；85、第一伸缩孔；86、第一转动槽；9、第二防误推组件；91、第二接触条；92、第二弹性件；93、第二限位块；94、第二让位槽；95、第二伸缩孔；96、第二转动槽；10、挂钩部。

具体实施方式

以下结合附图1-6对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开一种晶圆倒片装置。参照图1，晶圆倒片装置包括底板1、晶圆卡塞2以及推送组件3，推送组件3用于将晶圆从一个晶圆卡塞2推送至另一个晶圆卡塞2上。推送组件3包括拉杆31以及推杆32，本实施例拉杆31呈圆柱状结构，推杆32呈长方体结构，拉杆31滑动连接于底板1的底部且伸出底板1的一侧，推杆32垂直连接于拉杆31的一端，底板1开设有滑动槽4，滑动槽4供推杆32滑动，推杆32沿滑动槽4滑动。需要对晶圆进行推送时，拉动拉杆31带动推杆32沿着滑动槽4进入到晶圆卡塞2内对晶圆进行推送。

晶圆倒片装置还包括压杆5，一个晶圆卡塞2设置两个压杆5，压杆5焊接于晶圆卡塞2的底部。在一些实施例中，晶圆倒片装置还包括两个安装条6，安装条6间隔固定设置于底板1，分别设置于推杆32的两侧，且长度方向与底板1的长度方向一致。安装条6沿长度方向间隔开设有限位槽7，限位槽7用于限位晶圆卡塞2的安装位置，当晶圆卡塞2放置于底板1，压杆5卡接于限位槽7内。通过压杆5与限位槽7的配合，使得晶圆卡塞2能够快速准确地放置在相应的位置上，使得两个晶圆卡塞2能够快速准确地盖合，使得晶圆能够更加准确地被推送至空的晶圆卡塞2内。

在一些实施例中，推送组件3还包括垫条33，垫条33连接于推杆32朝向底板1的一侧。本实施例垫条33采用粘接的方式连接于推杆32，垫条33为柔软的橡胶材质，使得推杆32在对晶圆推动的过程中，能够更好地保护晶圆，尽量避免晶圆缺硅。

参照图2，在一些实施例中，推送组件3还包括固定块34、滑动块35与导杆36，本实施例固定块34与滑动块35均呈长方体结构，导杆36呈圆柱状结构，固定块34固定连接于底板1的底部，滑动块35滑动连接于底板1的底部，拉杆31固定连接于滑动块35，固定块34限位滑动块35的回退方向，使得推杆32在未使用时也能被较好地固定。导杆36的一端固定连接于滑动块35垂直于拉杆31的端面，导杆36穿设固定块34与固定块34滑动连接，导杆36远离滑动块35的一端与推杆32固定连接。推动拉杆31使得滑动块35滑动，滑动块35通过导杆36带动推杆32沿着滑动槽4的方向滑动，使得能够方便地对推杆32进行拉动。

参照图3，晶圆倒片装置还包括第一防误推组件8，第一防误推组件8设置于底板1远离推杆32的一侧，第一防误推组件8用于晶圆卡塞2未放置完成时，防止误推拉杆31。第一防误推组件8包括第一接触条81、两个第一弹性件82以及第一限位块83，第一弹性件82采用弹簧，第一弹性件82可以根据需要设置两个以上。底板1开设有第一让位槽84、第一伸缩孔85以及第一转动槽86，第一让位槽84的形状与第一接触条81相对应开设，即以接触条可以完全或部分伸入至第一让位槽84内。第一伸缩孔85贯穿底板1，且与第一让位槽84相互贯通，第一伸缩孔85用于第一弹性件82伸缩，第一转动槽86开设于底板1背离第一让位槽84的一侧，且与第一伸缩孔85相互贯通。

第一弹性件82连接于第一接触条81的一侧，本实施例第一弹性件82与第一接触条81通过粘接的方式固定。两个第一弹性件82分别位于第一接触条81长度方向的两端，其中一个第一弹性件82伸入第一让位槽84连接于第一让位槽84的槽壁，第一让位槽84的槽壁指的是第一让位槽84相对应的底板1的侧壁，使得能够支撑压缩第一弹性件82使得第一接触条81进入到对让位槽内。另一个第一弹性件82伸入第一伸缩孔85与第一限位块83的一端连接，第一弹性件82与第一限位块83抵接，第一限位块83于第一转动槽86内，且第一限位块83的中段处与底板1转动连接，第一限位块83转动可以抵接或者远离压杆5。

当未按压第一接触条81时，第一限位块83远离第一弹性件82的一端通过重力作用转动伸出第一转动槽86，并抵接于拉杆31。

在一些实施例中，推送组件3还包括抵接块37，本实施例抵接块37呈“L”型结构，抵接块37固定连接于滑动块35朝向底板1的一侧。本实施例第一限位块83抵接于“L”型结构的抵接块37的端部。

在一些实施例中，第一限位块83的两端连接为三角形结构，第一限位块83抵接于抵接块37背离固定块34的一侧。三角形结构的第一限位块83端部抵接于抵接块37，使得能够更好地给到抵接块37一个抵压力，使得拉杆31更加稳定地被限位。

参照图4，在一些实施例中，晶圆倒片装置还包括第二防误推组件9，第二防误推组件9与第一防误推组件8配合更好地对拉杆31起到防误推的作用。第二防误推组件9安装于底板1靠近推杆32的一侧，第二防误推组件9包括第二接触条91、两个第二弹性件92以及第二限位块93，第二弹性件92采用弹簧，第二弹性件92可以实际需要设置两个以上，第二接触条91与第一接触条81的中轴线不在同一直线上。底板1开设有第二让位槽94、第二伸缩孔95以及第二转动槽96，第二让位槽94与第二接触条91相对应开设，即第二接触条91可以完全或者部分进入到第二让位槽94内。第二伸缩孔95贯穿底板1，第二伸缩孔95供第二弹性件92穿过，第二伸缩孔95与第二让位槽94相互贯通，第二转动槽96开设于底板1背离第二让位槽94的一侧，且与第二伸缩孔95相互贯通。

第二弹性件92粘接于第二接触条91的一侧，且两个第二弹性件92分别位于第二接触条91长度方向的两端，其中一个第二弹性件92伸入第二让位槽94连接于第二让位槽94的槽壁，第二让位槽94的槽壁指的是第二让位槽94相对应的底板1的侧壁；另一个第二弹性件92伸入第二伸缩孔95与第二限位块93的一端抵接。第二限位块93于第一转动槽86内，且第二限位块93的中段处与底板1转动连接，第二限位块93与第一限位块83分别设置于第一接触条81与第二接触条91相互靠近的一侧，使得能够同时对拉杆31进行限位。

当未按压第二接触条91时，第二限位块93远离第二弹性件92的一端由于重力作用转动，伸出第二转动槽96，并抵接于拉杆31。

本实施例第二限位块93抵接于“L”型抵接块37内。当第一接触条81与第二接触条91均未被按压时，第一限位块83与第二限位块93均抵接于抵接块37，使得第一限位块83能够更好配合第二限位块93抵接于抵接块37，对拉杆31起到更稳定地限位作用。

在一些实施例中，第二限位块93与抵接块37抵接的端部为挂钩状结构，抵接块37的端部切割形成钩接部，挂钩状结构的第二限位块93钩接于钩接部。挂钩装的第二限位块93钩接于钩接部，对抵接块37的力为拉力，朝向推杆32一侧，使得更好地限位拉杆31，使得更好地尽量避免未放置晶圆卡塞2时，拉杆31被误推的情况。

参照图5，当空的晶圆卡塞2放置于底板1，压杆5按压第一接触条81，第一接触条81伸入第一让位槽84，伸入第一伸缩孔85的第一弹性件82按压第一限位块83的一端，抵接拉杆31一端的第一限位块83转入第一转动槽86内，并远离拉杆31，使得解除对拉杆31的限位。当一些实施例中有设置抵接块37时，第一限位块83离开抵接块37。压杆5实现对晶圆卡塞2的限位，又能够抵压第一接触条81，一杆两用提高了压杆5的利用率。

参照图6，当装满晶圆的晶圆卡塞2放置于底板1，压杆5按压第二接触条91，第二接触条91伸入第二让位槽94，伸入第二伸缩孔95的第二弹性件92按压第二限位块93的一端，第二限位块93远离第二弹性件92的一端转入第二转动槽96内，并远离拉杆31。使得解除对拉杆31的限位，此时装满晶圆的晶圆卡塞2与空的晶圆卡塞2对位，同时解除第一限位块83与第二限位块93对拉杆31的限制，使得能够推动拉杆31，将晶圆推入到空的晶圆卡塞2内，以至于晶圆能够更好地被转移。

需要说明的是，第一防误推组件8与第二防误推组件9可以单独使用，当单独使用第一防误推组件8时，需要先放置装满晶圆的晶圆卡塞2，再放置空的晶圆卡塞2与之对位，同时解除对拉杆31的限位，如此防止对拉杆31的误推；当单独使用第二防误推组件9时，需要先放置空的晶圆卡塞2，再放置装满晶圆的晶圆卡塞2与之对位，同时解除对拉杆31的限位，如此防止对拉杆31的误推。

第一防误推组件8与第二防误推组件9也能够同时使用，对拉杆31进行双重限位，使得只有在装满晶圆的晶圆卡塞2与空的晶圆卡塞2都放置对位后，才能够解除对拉杆31的限位，在这种情况下，无论先放置哪个晶圆卡塞2都能够防止对拉杆31的误推。

本申请实施例一种晶圆倒片装置的实施原理为：当需要将晶圆从晶圆卡塞2转移到空的晶圆卡塞2时，将装满晶圆的晶圆卡塞2先放置在靠近推杆32的位置，此时由于第一限位块83抵接于拉杆31，拉杆31无法拉动；当空的晶圆卡塞2放置到底板1上，与转满晶圆的晶圆卡塞2相互盖合时，压杆5对第一接触条81进行抵压，使得通过第一弹性件82压入第一让位槽84内，与第一限位块83连接的弹性件对第一限位块83进行抵压，使得第一限位块83转动，第一限位块83抵接于拉杆31的一端向底板1方向转入第一转动槽86内，远离拉杆31，解除对拉杆31的限位，此时能够推动拉杆31；

因此，只有当空的晶圆卡塞2与装满晶圆的晶圆卡塞2盖合时，才能够解除第一限位块83的限位，使得能够拉动拉杆31，使推杆32沿着滑动槽4的方向对晶圆进行推送，能够尽量避免误推推杆32，而导致晶圆掉落的现象，以至于能够更好地转移晶圆。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种晶圆倒片装置，其特征在于：包括底板（1）、推送组件（3）、第一防误推组件（8）、晶圆卡塞（2）以及压杆（5）；所述推送组件（3）包括拉杆（31），所述拉杆（31）滑动连接于所述底板（1）的底部；

所述第一防误推组件（8）包括第一接触条（81）、两个第一弹性件（82）以及第一限位块（83），所述底板（1）开设有第一让位槽（84）、第一伸缩孔（85）以及第一转动槽（86），所述第一伸缩孔（85）贯穿所述底板（1），所述第一转动槽（86）开设于所述底板（1）背离所述第一让位槽（84）的一侧；

所述第一弹性件（82）连接于所述第一接触条（81）的一侧，其中一个所述第一弹性件（82）伸入所述第一让位槽（84）连接于所述第一让位槽（84）的槽壁，另一个所述第一弹性件（82）伸入所述第一伸缩孔（85）与所述第一限位块（83）的一端连接，所述第一限位块（83）于所述第一转动槽（86）内，且所述第一限位块（83）的中段处与所述底板（1）转动连接；

当未按压所述第一接触条（81）时，所述第一限位块（83）远离所述第一弹性件（82）的一端伸出所述第一转动槽（86），并抵接于所述拉杆（31）；所述压杆（5）与所述晶圆卡塞（2）一一对应设置，所述压杆（5）连接于所述晶圆卡塞（2）的底部，当所述晶圆卡塞（2）放置于所述底板（1），所述压杆（5）按压所述第一接触条（81），所述第一接触条（81）伸入所述第一让位槽（84），伸入所述第一伸缩孔（85）的所述第一弹性件（82）按压所述第一限位块（83）的一端，所述第一限位块（83）转入所述第一转动槽（86）内，远离所述拉杆（31）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆倒片装置，其特征在于：还包括第二防误推组件（9），所述第二防误推组件（9）包括第二接触条（91）、两个第二弹性件（92）以及第二限位块（93），所述底板（1）开设有第二让位槽（94）、第二伸缩孔（95）以及第二转动槽（96），所述第二伸缩孔（95）贯穿所述底板（1），所述第二转动槽（96）开设于所述底板（1）背离所述第二让位槽（94）的一侧；

所述第二弹性件（92）连接于所述第二接触条（91）的一侧，其中一个所述第二弹性件（92）伸入所述第二让位槽（94）连接于所述第二让位槽（94）的槽壁，另一个所述第二弹性件（92）伸入所述第二伸缩孔（95）与所述第二限位块（93）的一端连接，所述第二限位块（93）于所述第一转动槽（86）内，且所述第二限位块（93）的中段处与所述底板（1）转动连接，所述第二限位块（93）与所述第一限位块（83）分别设置于所述第一接触条（81）与所述第二接触条（91）相互靠近的一侧；

当未按压所述第二接触条（91）时，所述第二限位块（93）远离所述第二弹性件（92）的一端伸出所述第二转动槽（96），并抵接于所述拉杆（31）；当所述晶圆卡塞（2）放置于所述底板（1），所述压杆（5）按压所述第二接触条（91），所述第二接触条（91）伸入所述第二让位槽（94），伸入所述第二伸缩孔（95）的所述第二弹性件（92）按压所述第二限位块（93）的一端，所述第二限位块（93）转入所述第二转动槽（96）内，远离所述拉杆（31）。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆倒片装置，其特征在于：所述推送组件（3）还包括推杆（32）、固定块（34）、滑动块（35）与导杆（36），所述推杆（32）垂直连接于所述拉杆（31），所述固定块（34）连接于所述底板（1）的底部，所述滑动块（35）滑动连接于所述底板（1）的底部，所述拉杆（31）连接于所述滑动块（35），所述导杆（36）的一端连接于所述滑动块（35），并穿设所述固定块（34）与所述固定块（34）滑动连接，所述导杆（36）远离所述滑动块（35）的一端与所述推杆（32）连接。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆倒片装置，其特征在于：所述推送组件（3）还包括抵接块（37），所述抵接块（37）连接于所述滑动块（35）朝向所述底板（1）的一侧，当所述第一接触条（81）与所述第二接触条（91）均未被按压时，所述第一限位块（83）与所述第二限位块（93）均抵接于所述抵接块（37）。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆倒片装置，其特征在于：所述第一限位块（83）的两端连接为三角形结构，所述第一限位块（83）抵接于所述抵接块（37）背离所述固定块（34）的一侧。

6.根据权利要求4所述的一种晶圆倒片装置，其特征在于：所述第二限位块（93）与所述抵接块（37）抵接的端部为挂钩状结构，所述抵接块（37）的端部切割形成钩接部，挂钩状结构的所述第二限位块（93）钩接于所述钩接部。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆倒片装置，其特征在于：还包括两个安装条（6），所述安装条（6）间隔设置于所述底板（1），且长度方向与所述底板（1）的长度方向一致，所述安装条（6）沿长度方向间隔开设有限位槽（7），当所述晶圆卡塞（2）放置于所述底板（1），所述压杆（5）卡接于所述限位槽（7）内。

8.根据权利要求3所述的一种晶圆倒片装置，其特征在于：所述推送组件（3）还包括垫条（33），所述垫条（33）连接于所述推杆（32）朝向所述底板（1）的一侧。