CN220731481U - 一种料篮定位机构及其翻转上料装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及硅片上料的技术领域，尤其公开了一种料篮定位机构及其翻转上料装置，包括，定位机构，包括框架组件，位于所述框架组件上的定位组件；以及，料篮机构；其中，所述框架组件包括框架本体，所述框架本体外侧的上端设有第一限位挡架，所述框架本体的下端设有连接挡架，所述连接挡架上还设有一组第二限位挡架；本实用新型将料篮机构放置于框架组件上，通过控制定位组件工作从而对料篮机构的位置进行固定，从而避免料篮机构在框架组件上发生移动的情况，提高了料篮机构的稳定性，避免料篮机构倾覆而导致硅片发生损坏的情况。

Description

一种料篮定位机构及其翻转上料装置

技术领域

本实用新型涉及硅片上料的技术领域，尤其涉及一种料篮定位机构及其翻转上料装置。

背景技术

硅片，也称为硅晶圆，是一种薄而圆的硅基底材料，广泛用于半导体工业中制造集成电路(芯片)以及其他电子元件。它通常具有非常高纯度的晶体结构，使得在其表面上可以进行微细的制造过程。

而现有部分存放硅片的料篮在安装后不够稳定，在工作时可能会发生移动的情况，从而导致料篮倾覆，硅片损坏的情况；

同时，直接将料篮装载在上料装置上时，在对料篮进行对准固定的过程中，容易造成硅片掉落的情况。

实用新型内容

鉴于上述现有料篮安装后不稳定易造成料篮倾覆，硅片损坏的问题，提出了料篮定位机构。

因此，本实用新型的其中一个目的是提供一种料篮定位机构。

为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种料篮定位机构，包括，定位机构，包括框架组件，位于所述框架组件上的定位组件；以及，料篮机构；其中，所述框架组件包括框架本体，所述框架本体外侧的上端设有第一限位挡架，所述框架本体的下端设有连接挡架，所述连接挡架上还设有一组第二限位挡架，所述料篮机构通过定位组件卡嵌于框架组件上。

作为本实用新型所述料篮定位机构的一种优选方案，其中：所述定位组件包括侧限位板，所述侧限位板的一侧设有连接板，所述连接板的一侧设有定位气缸；所述侧限位板通过螺杆固定于框架本体上，所述连接板通过螺杆固定于侧限位板的后侧，所述定位气缸通过螺杆固定于连接板的后侧。

作为本实用新型所述料篮定位机构的一种优选方案，其中：所述侧限位板包括底固定板，所述底固定板的外侧还设有侧限位板本体，所述连接板固定于底固定板的后侧。

作为本实用新型所述料篮定位机构的一种优选方案，其中：所述定位气缸包括气缸本体，所述气缸本体的上端连接有连接定位架，所述连接定位架上还设有U型挡块；所述气缸本体固定于连接板的后侧。

作为本实用新型所述料篮定位机构的一种优选方案，其中：所述料篮机构包括料篮外框，所述料篮外框的上下两端均设有外U型框架，所述外U型框架上还设有防偏移短杆；所述防偏移短杆能嵌入U型挡块内。

作为本实用新型所述料篮定位机构的一种优选方案，其中：所述外U型框架上设有若干个分隔支架和硅片，所述硅片卡嵌于对应的分隔支架上。

本实用新型的有益效果：将料篮机构放置于框架组件上，通过控制定位组件工作从而对料篮机构的位置进行固定，从而避免料篮机构在框架组件上发生移动的情况，提高了料篮机构的稳定性，避免料篮机构倾覆而导致硅片发生损坏的情况。

鉴于上述现有料篮直接装载容易造成硅片掉落的问题，提出了翻转上料装置。

因此，本实用新型还提供一种翻转上料装置。

为解决上述技术问题，本实用新型还提供如下技术方案：包括上述的料篮定位机构，还包括，翻转机构；以及，上料机构，包括驱动组件，位于所述驱动组件上的上料输送组件。

作为本实用新型所述翻转上料装置的一种优选方案，其中：所述翻转机构包括第一电机和第一支架，所述第一电机的一侧连接有减速机一端，所述减速机的另一端连接有第一轴杆，所述第一轴杆的外侧还设有外定位架；所述第一轴杆通过轴承固定于第一支架上；所述连接挡架能通过螺杆安装于外定位架上。

作为本实用新型所述翻转上料装置的一种优选方案，其中：所述驱动组件包括第二电机和第二支架，所述第二电机的一端连接有第二轴杆，所述第二轴杆的外侧还设有第一皮带轮，所述第二支架上还设有若干个张紧轮；所述第二轴杆通过轴承固定于第二支架上。

作为本实用新型所述翻转上料装置的一种优选方案，其中：所述上料输送组件包括辅助输送架，所述辅助输送架上设有第二皮带轮，所述第一皮带轮、第二皮带轮和张紧轮上还共同缠绕设有输送皮带。

本实用新型的有益效果：更换料篮时，先通过翻转机构带动框架组件转动，框架组件转动可使得料篮机构更方便的安装在框架组件上或从框架组件上移除，从而避免直接装载时，在对料篮进行对准固定的过程中，造成硅片掉落的情况，当框架组件和上料输送组件垂直时，通过外部升降装置带动翻转机构向下移动，翻转机构向下移动带动框架组件和料篮机构向下移动，料篮机构向下移动使得硅片接触上料输送组件，接触上料输送组件的硅片会被工作状态下的上料输送组件快速转移，从而进行使用。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。其中：

图1为本实用新型料篮定位机构及其翻转上料装置的整体结构示意图。

图2为本实用新型料篮定位机构及其翻转上料装置所述的分解结构示意图。

图3为本实用新型料篮定位机构及其翻转上料装置所述的定位机构结构示意图。

图4为本实用新型料篮定位机构及其翻转上料装置所述的料篮机构结构示意图。

图5为本实用新型料篮定位机构及其翻转上料装置所述的翻转机构结构示意图。

图6为本实用新型料篮定位机构及其翻转上料装置所述的上料机构结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合说明书附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似推广，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

其次，此处所称的“一个实施例”或“实施例”是指可包含于本实用新型至少一个实现方式中的特定特征、结构或特性。在本说明书中不同地方出现的“在一个实施例中”并非均指同一个实施例，也不是单独的或选择性的与其他实施例互相排斥的实施例。

再其次，本实用新型结合示意图进行详细描述，在详述本实用新型实施例时，为便于说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是示例，其在此不应限制本实用新型保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。

实施例1

参照图1-图3，提供了一种料篮定位机构及其翻转上料装置的整体结构示意图，如图1，一种料篮定位机构，包括，定位机构100，包括框架组件101，位于框架组件101上的定位组件102；以及，料篮机构200；其中，框架组件101包括框架本体101a，框架本体101a外侧的上端设有第一限位挡架101b，框架本体101a的下端设有连接挡架101c，连接挡架101c上还设有一组第二限位挡架101d，料篮机构200通过定位组件102卡嵌于框架组件101上；

其中，将料篮机构200放置于框架组件101上，通过控制定位组件102工作从而对料篮机构200的位置进行固定，从而避免料篮机构200在框架组件101上发生移动的情况。

具体的，定位组件102包括侧限位板102a，侧限位板102a的一侧设有连接板102b，连接板102b的一侧设有定位气缸102c；侧限位板102a通过螺杆固定于框架本体101a上，连接板102b通过螺杆固定于侧限位板102a的后侧，定位气缸102c通过螺杆固定于连接板102b的后侧；

其中，第一限位挡架101b固定连接于框架本体101a外侧的上端从而起到左右限位的作用，连接挡架101c固定于框架本体101a的下端从而方便进行安装固定，一组第二限位挡架101d固定于连接挡架101c上从而起到上下限位的作用。

具体的，侧限位板102a包括底固定板102a-1，底固定板102a-1的外侧还设有侧限位板本体102a-2，连接板102b固定于底固定板102a-1的后侧；

其中，侧限位板本体102a-2固定于底固定板102a-1的外侧从而起到左右限位的作用，连接板102b固定于底固定板102a-1的后侧从而方便定位气缸102c的安装。

具体的，定位气缸102c包括气缸本体102c-1，气缸本体102c-1的上端连接有连接定位架102c-2，连接定位架102c-2上还设有U型挡块102c-3；气缸本体102c-1固定于连接板102b的后侧；

其中，连接定位架102c-2固定于气缸本体102c-1的上端使得气缸本体102c-1能带动连接定位架102c-2上下移动，U型挡块102c-3固定于连接定位架102c-2上从而能跟随连接定位架102c-2移动。

操作过程：当料篮机构200贴附在框架本体101a上时，料篮机构200的左右位置被第一限位挡架101b和侧限位板本体102a-2阻挡，通过控制气缸本体102c-1工作，气缸本体102c-1工作带动连接定位架102c-2和U型挡块102c-3移动，连接定位架102c-2和U型挡块102c-3移动使得料篮机构200的上下位置均被限定，从而使得料篮机构200被稳定的安装。

实施例2

参照图1-图4，该实施例不同于第一个实施例的是：料篮机构200包括料篮外框201，料篮外框201的上下两端均设有外U型框架202，外U型框架202上还设有防偏移短杆203；防偏移短杆203能嵌入U型挡块102c-3内；

其中，外U型框架202固定于料篮外框201的上下两端，从而形成完整的外框架，防偏移短杆203固定于外U型框架202上，当防偏移短杆203嵌入U型挡块102c-3内时能够避免防偏移短杆203左右移动。

具体的，外U型框架202上设有若干个分隔支架204和硅片205，硅片205卡嵌于对应的分隔支架204上；

其中，若干个分隔支架204对称固定于外U型框架202上，硅片205卡嵌于对应的一组分隔支架204上。

其余结构均与实施例1相同。

操作过程：将硅片205依次放置于对应的一组分隔支架204上，安装料篮机构200时，通过连接定位架102c-2和U型挡块102c-3对防偏移短杆203限位，可使得料篮机构200安装后更加稳定。

实施例3

参照图1-图6，该实施例不同于以上实施例的是：本实施例公开了一种翻转上料装置，包括上述料篮定位机构，还包括，翻转机构300；以及，上料机构400，包括驱动组件401，位于驱动组件401上的上料输送组件402；

其中，更换料篮时，先通过翻转机构300带动框架组件101转动，框架组件101转动可使得料篮机构200更方便的安装在框架组件101上或从框架组件101上移除，当框架组件101和上料输送组件402垂直时，通过外部升降装置带动翻转机构300向下移动，翻转机构300向下移动带动框架组件101和料篮机构200向下移动，料篮机构200向下移动使得硅片接触上料输送组件402，接触上料输送组件402的硅片会被工作状态下的上料输送组件402快速转移，从而进行使用。

进一步的，翻转机构300包括第一电机301和第一支架302，第一电机301的一侧连接有减速机303一端，减速机303的另一端连接有第一轴杆304，第一轴杆304的外侧还设有外定位架305；第一轴杆304通过轴承固定于第一支架302上；连接挡架101c能通过螺杆安装于外定位架305上；

其中，第一电机301工作使得减速机303带动第一轴杆304转动，第一轴杆304转动带动外定位架305转动，第一支架302起到支撑作用。

进一步的，驱动组件401包括第二电机401a和第二支架401b，第二电机401a的一端连接有第二轴杆401c，第二轴杆401c的外侧还设有第一皮带轮401d，第二支架401b上还设有若干个张紧轮401e；第二轴杆401c通过轴承固定于第二支架401b上；

其中，第二电机401a工作带动第二轴杆401c转动，第二支架401b起到支撑作用，第二轴杆401c转动带动第一皮带轮401d转动。

进一步的，上料输送组件402包括辅助输送架402a，辅助输送架402a上设有第二皮带轮402b，第一皮带轮401d、第二皮带轮402b和张紧轮401e上还共同缠绕设有输送皮带402c；

其中，第一皮带轮401d转动带动输送皮带402c工作，输送皮带402c工作使得与输送皮带402c接触的硅片移动，张紧轮401e能够使得输送皮带402c工作更加稳定。

其余结构均与实施例2相同。

操作过程：将连接挡架101c通过螺杆安装于外定位架305上，控制第一电机301工作使得减速机303带动第一轴杆304转动，第一轴杆304转动带动外定位架305转动，外定位架305转动带动连接挡架101c，从而使得定位机构100和料篮机构200转动，当定位机构100翻转到水平位置时，料篮机构200能够更加方便稳定的安装在定位机构100上，工作时，定位机构100翻转到垂直位置，通过外部升降装置带动翻转机构300向下移动，翻转机构300向下移动带动框架组件101和料篮机构200向下移动，料篮机构200向下移动使得硅片接触上料输送组件402，接触上料输送组件402的硅片会被工作状态下的上料输送组件402快速转移，从而进行使用。

重要的是，应注意，在多个不同示例性实施方案中示出的本申请的构造和布置仅是例示性的。尽管在此公开内容中仅详细描述了几个实施方案，但参阅此公开内容的人员应容易理解，在实质上不偏离该申请中所描述的主题的新颖教导和优点的前提下，许多改型是可能的(例如，各种元件的尺寸、尺度、结构、形状和比例、以及参数值(例如，温度、压力等)、安装布置、材料的使用、颜色、定向的变化等)。例如，示出为整体成形的元件可以由多个部分或元件构成，元件的位置可被倒置或以其它方式改变，并且分立元件的性质或数目或位置可被更改或改变。因此，所有这样的改型旨在被包含在本实用新型的范围内。可以根据替代的实施方案改变或重新排序任何过程或方法步骤的次序或顺序。在权利要求中，任何“装置加功能”的条款都旨在覆盖在本文中所描述的执行所述功能的结构，且不仅是结构等同而且还是等同结构。在不背离本实用新型的范围的前提下，可以在示例性实施方案的设计、运行状况和布置中做出其他替换、改型、改变和省略。因此，本实用新型不限制于特定的实施方案，而是扩展至仍落在所附的权利要求书的范围内的多种改型。

此外，为了提供示例性实施方案的简练描述，可以不描述实际实施方案的所有特征(即，与当前考虑的执行本实用新型的最佳模式不相关的那些特征，或于实现本实用新型不相关的那些特征)。

应理解的是，在任何实际实施方式的开发过程中，如在任何工程或设计项目中，可做出大量的具体实施方式决定。这样的开发努力可能是复杂的且耗时的，但对于那些得益于此公开内容的普通技术人员来说，不需要过多实验，所述开发努力将是一个设计、制造和生产的常规工作。

应说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的精神和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。

Claims (10)

1.一种料篮定位机构，其特征在于：包括，

定位机构(100)，包括框架组件(101)，位于所述框架组件(101)上的定位组件(102)；以及，

料篮机构(200)；

其中，所述框架组件(101)包括框架本体(101a)，所述框架本体(101a)外侧的上端设有第一限位挡架(101b)，所述框架本体(101a)的下端设有连接挡架(101c)，所述连接挡架(101c)上还设有一组第二限位挡架(101d)，所述料篮机构(200)通过定位组件(102)卡嵌于框架组件(101)上。

2.如权利要求1所述的料篮定位机构，其特征在于：所述定位组件(102)包括侧限位板(102a)，所述侧限位板(102a)的一侧设有连接板(102b)，所述连接板(102b)的一侧设有定位气缸(102c)；

所述侧限位板(102a)通过螺杆固定于框架本体(101a)上，所述连接板(102b)通过螺杆固定于侧限位板(102a)的后侧，所述定位气缸(102c)通过螺杆固定于连接板(102b)的后侧。

3.如权利要求2所述的料篮定位机构，其特征在于：所述侧限位板(102a)包括底固定板(102a-1)，所述底固定板(102a-1)的外侧还设有侧限位板本体(102a-2)，所述连接板(102b)固定于底固定板(102a-1)的后侧。

4.如权利要求3所述的料篮定位机构，其特征在于：所述定位气缸(102c)包括气缸本体(102c-1)，所述气缸本体(102c-1)的上端连接有连接定位架(102c-2)，所述连接定位架(102c-2)上还设有U型挡块(102c-3)；

所述气缸本体(102c-1)固定于连接板(102b)的后侧。

5.如权利要求4所述的料篮定位机构，其特征在于：所述料篮机构(200)包括料篮外框(201)，所述料篮外框(201)的上下两端均设有外U型框架(202)，所述外U型框架(202)上还设有防偏移短杆(203)；

所述防偏移短杆(203)能嵌入U型挡块(102c-3)内。

6.如权利要求5所述的料篮定位机构，其特征在于：所述外U型框架(202)上设有若干个分隔支架(204)和硅片(205)，所述硅片(205)卡嵌于对应的分隔支架(204)上。

7.一种翻转上料装置，其特征在于：包括如权利要求1-6任一所述的料篮定位机构，还包括，翻转机构(300)；以及，

上料机构(400)，包括驱动组件(401)，位于所述驱动组件(401)上的上料输送组件(402)。

8.如权利要求7所述的翻转上料装置，其特征在于：所述翻转机构(300)包括第一电机(301)和第一支架(302)，所述第一电机(301)的一侧连接有减速机(303)一端，所述减速机(303)的另一端连接有第一轴杆(304)，所述第一轴杆(304)的外侧还设有外定位架(305)；

所述第一轴杆(304)通过轴承固定于第一支架(302)上；

所述连接挡架(101c)能通过螺杆安装于外定位架(305)上。

9.如权利要求7或8所述的翻转上料装置，其特征在于：所述驱动组件(401)包括第二电机(401a)和第二支架(401b)，所述第二电机(401a)的一端连接有第二轴杆(401c)，所述第二轴杆(401c)的外侧还设有第一皮带轮(401d)，所述第二支架(401b)上还设有若干个张紧轮(401e)；

所述第二轴杆(401c)通过轴承固定于第二支架(401b)上。

10.如权利要求9所述的翻转上料装置，其特征在于：所述上料输送组件(402)包括辅助输送架(402a)，所述辅助输送架(402a)上设有第二皮带轮(402b)，所述第一皮带轮(401d)、第二皮带轮(402b)和张紧轮(401e)上还共同缠绕设有输送皮带(402c)。