CN219689827U - 一种用于免水冷的蒸发电极 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于真空镀膜设备技术领域，提出一种用于免水冷的蒸发电极，包括安装法兰，所述安装法兰上设置有至少一对接线柱，接线柱与安装法兰的安装节点位置设置有绝缘件，接线柱之间设置有蒸发舟，安装法兰上还设置有用来通入反应气体的进气管，接线柱包括带轴肩的中心电极部，中心电极部上设置有一对铜压板，铜压板与另一个接线柱上的铜压板用来连接蒸发舟并令蒸发舟保持水平，轴肩与设置在绝缘件上的沉头口配合，绝缘件包括中空的T形隔垫，T形隔垫的顶部和底部分布设置有压盖和绝缘垫，压盖和绝缘垫分别位于安装法兰的上方和下方。本装置设计合理、结构简单、有利于节约成本、蒸发效果较好且使用寿命较长，适合大规模推广。

Description

一种用于免水冷的蒸发电极

技术领域

本实用新型属于真空镀膜设备技术领域，尤其涉及一种用于免水冷的蒸发电极。

背景技术

真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术。在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术最先用于生产光学镜片，如航海望远镜镜片等，后延伸到其他功能薄膜，唱片镀铝、装饰镀膜和材料表面改性等。在真空中制备膜层，包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。真空镀膜主要有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。蒸发电极能够将蒸发舟上的镀膜材料加热蒸发，配合真空设备中打入的反应气体覆在工件上形成镀膜层。

现有专利CN201520988206.X公开了一种用于滤光片真空蒸镀设备的蒸发电极，包括电极棒，所述电极棒的一端穿过并挂设在安装板上，所述电极棒的轴心处开设有一圆孔，所述圆孔内安装有进水管道，所述进水管道的直径小于圆孔的直径，且进水管道的长度大于圆孔的深度，三通管的一端套装在与圆孔同侧的所述电极棒的一端上，所述进水管道的进水口延伸至三通管的另一端处，与进水装置相连通，所述三通管的第三端与圆孔相连通布置。该蒸发电极通过在电极棒上开设圆孔，并在圆孔内安装进水管道使电极棒在工作时能从内向外降低电极棒自身的温度，从而使电极棒工作的时间延长，致使工作效率提高。但是，存在的问题是，电极在通入水冷之后其结构复杂化，虽然实现水冷但是电极的工作稳定性和实际使用寿命受到明显的影响，而且不利于保证其均匀加热蒸发舟，尤其是蒸发舟中材料为低温蒸发材料，费电费料。

实用新型内容

本实用新型针对上述的蒸发电极所存在的技术问题，提出一种设计合理、有利于节约成本、蒸发效果较好且使用寿命较长的一种用于免水冷的蒸发电极。

为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案为，本实用新型提供的一种用于免水冷的蒸发电极，包括安装法兰，所述安装法兰上设置有至少一对接线柱，所述接线柱与安装法兰的安装节点位置设置有绝缘件，所述接线柱之间设置有蒸发舟，其特征在于，所述安装法兰上还设置有用来通入反应气体的进气管，所述接线柱包括用来通入小电流的中心电极部，所述中心电极部上设置有一对铜压板，所述铜压板与另一个接线柱上的铜压板用来连接蒸发舟并令蒸发舟保持水平，所述中心电极部的侧面设置有轴肩，所述轴肩与设置在绝缘件上的沉头口配合，所述绝缘件包括中空的T形隔垫，所述T形隔垫的顶部和底部分布设置有压盖和绝缘垫，所述压盖和绝缘垫分别位于安装法兰的上方和下方。

作为优选，所述T形隔垫的内壁设置有多道环槽，所述环槽中设置有隔热环。

作为优选，所述T形隔垫的底部设置有卡凸，所述卡凸与设置在绝缘垫上的卡孔配合。

作为优选，所述铜压板包括与中心电极部螺纹连接的铜圈体，所述铜圈体的侧面设置有平板体，每对所述铜压板中处于下方的平板体上设置有球面槽，所述球面槽与设置在另一个平板体上的球面凸起配合，所述蒸发舟上设置有与球面凸起和球面槽对应的压槽。

作为优选，所述压盖的硬度大于T形隔垫的硬度。

与现有技术相比，本实用新型的优点和积极效果在于：

1、本实用新型提供的一种用于免水冷的蒸发电极，将进气管设置在安装法兰上可保证真空镀膜过程中反应气体的输送效果；缩小接线柱中心导电截面以及减小通电电流可减小接线柱的受热温度，并利用铜压板来对蒸发舟中低温蒸发材料的加热蒸发，这样既能保证真空镀膜的实现，还简化了接线柱的结构，有利于保证接线柱的稳定性能，并且延长本蒸发电极的实际使用寿命；绝缘件不仅可实现绝缘，还能保证接线柱在安装法兰上的稳定性。本装置设计合理、结构简单、有利于节约成本、蒸发效果较好且使用寿命较长，适合大规模推广。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为实施例提供的一种用于免水冷的蒸发电极的轴测图；

图2为实施例提供的一种用于免水冷的蒸发电极的俯视图；

图3为实施例提供的一种用于免水冷的蒸发电极(无安装法兰)的轴测图；

图4为实施例提供的接线柱、蒸发舟和绝缘件的剖视图；

以上各图中，1、安装法兰；2、接线柱；21、中心电极部；22、轴肩；3、绝缘件；31、T形隔垫；32、压盖；33、绝缘垫；34、隔热环；35、卡凸；4、蒸发舟；41、压槽；5、进气管；6、铜压板；61、铜圈体；62、平板体。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。为叙述方便，下文如出现“上”、“下”、“左”、“右”字样，仅表示与附图本身的上、下、左、右方向一致，并不对结构起限定作用。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。

实施例，如图1～4所示，本实用新型提供的一种用于免水冷的蒸发电极，包括安装法兰1，所述安装法兰1上设置有至少一对接线柱2，接线柱2与安装法兰1的安装节点位置设置有绝缘件2，接线柱2之间设置有蒸发舟4，安装法兰1上还设置有用来通入反应气体的进气管5，接线柱2包括用来通入小电流的中心电极部21，中心电极部21上设置有一对铜压板6，铜压板6与另一个接线柱2上的铜压板6用来连接蒸发舟4并令蒸发舟4保持水平，中心电极部21的侧面设置有轴肩22，轴肩22与设置在绝缘件2上的沉头口配合，绝缘件2包括中空的T形隔垫31，T形隔垫31的顶部和底部分布设置有压盖32和绝缘垫33，压盖32和绝缘垫33分别位于安装法兰1的上方和下方，压盖32用来防止T形隔垫胀径过大而导致接线柱变松。

具体地，将进气管5设置在安装法兰1上可保证真空镀膜过程中反应气体的输送效果。中心电极部21为接线柱2直接导电的结构，以缩小导电截面以及减小通电电流的方式可减小接线柱2的受热温度，有利于在不开设水冷条件的情况下保证加热电流的有效输送，而铜压板6从中心电极部21获得电流后对蒸发舟4进行加热，蒸发舟4中低温蒸发材料受热直到蒸发，这样既能保证真空镀膜的实现，还简化了接线柱2的结构，有利于保证接线柱2的工作稳定性，并且有利于延长本蒸发电极的实际使用寿命；绝缘件2不仅可实现绝缘，而且可装配性较强，互换性较高，还能保证接线柱2在安装法兰1上的稳定性。

为了提高绝缘件2与接线柱2的配合性能，本实用新型在T形隔垫31的内壁设置有多道环槽，环槽中设置有隔热环34。其中，T形隔垫31的顶边卡在安装法兰1的顶面，其直筒部分嵌在安装法兰1的安装孔与接线柱2之间，而隔热环34除了起到隔热的作用，还能对接线柱2起到预紧的作用，增加接线柱2在安装节点处的摩擦力，从而保证接线柱2的连接可靠性。

为了提高绝缘件2的装配性能，本实用新型在T形隔垫31的底部设置有卡凸35，卡凸35与设置在绝缘垫33上的卡孔配合，令T形隔垫31与绝缘垫33能够实现快速装配，方便拆换。

为了提高蒸发舟4的稳定性，并保证加热效果，本实用新型提供的铜压板6包括与中心电极部21螺纹连接的铜圈体61，铜圈体61的侧面设置有平板体62，每对所述铜压板6中处于下方的平板体62上设置有球面槽，球面槽与设置在另一个平板体62上的球面凸起配合，蒸发舟4上设置有与球面凸起和球面槽对应的压槽41。其中，铜圈体61从中心电极部21获得加热电流后传导给平板体62，压槽41同时与球面槽和球面凸起的配合，所以蒸发舟4在开设压槽41之后增加了压力面积和导热面积，不仅夹持稳定性较高且蒸发舟4的受热效率提高。

为了提高接线柱2的稳定性，本实用新型提供的压盖32的硬度大于T形隔垫31的硬度，T形隔垫31在压盖32的限制作用下与接线柱2具有稳定的接触压力，所以绝缘件2可保证接线柱2与安装法兰1上安装孔的同心度，保证接线柱2的工作性能。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非是对本实用新型作其它形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例应用于其它领域，但是凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型，仍属于本实用新型技术方案的保护范围。

Claims (5)

1.一种用于免水冷的蒸发电极，包括安装法兰，所述安装法兰上设置有至少一对接线柱，所述接线柱与安装法兰的安装节点位置设置有绝缘件，所述接线柱之间设置有蒸发舟，其特征在于，所述安装法兰上还设置有用来通入反应气体的进气管，所述接线柱包括用来通入小电流的中心电极部，所述中心电极部上设置有一对铜压板，所述铜压板与另一个接线柱上的铜压板用来连接蒸发舟并令蒸发舟保持水平，所述中心电极部的侧面设置有轴肩，所述轴肩与设置在绝缘件上的沉头口配合，所述绝缘件包括中空的T形隔垫，所述T形隔垫的顶部和底部分布设置有压盖和绝缘垫，所述压盖和绝缘垫分别位于安装法兰的上方和下方。

2.根据权利要求1所述的一种用于免水冷的蒸发电极，其特征在于，所述T形隔垫的内壁设置有多道环槽，所述环槽中设置有隔热环。

3.根据权利要求2所述的一种用于免水冷的蒸发电极，其特征在于，所述T形隔垫的底部设置有卡凸，所述卡凸与设置在绝缘垫上的卡孔配合。

4.根据权利要求3所述的一种用于免水冷的蒸发电极，其特征在于，所述铜压板包括与中心电极部螺纹连接的铜圈体，所述铜圈体的侧面设置有平板体，每对所述铜压板中处于下方的平板体上设置有球面槽，所述球面槽与设置在另一个平板体上的球面凸起配合，所述蒸发舟上设置有与球面凸起和球面槽对应的压槽。

5.根据权利要求1所述的一种用于免水冷的蒸发电极，其特征在于，所述压盖的硬度大于T形隔垫的硬度。