CN218726804U - 扫描电镜样品台 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种扫描电镜样品台，包括基座，基座上沿一方向滑动设置有第一样品载台和第二样品载台，第一样品载台与所述第二样品载台相向的侧面之间形成有样品夹持空间；紧固单元，分别与第一样品载台和第二样品载台连接。上述方案，由于在第一样品载台与第二样品载台相向的侧面之间形成有样品夹持空间，可以将不同形状、不同大小的样品夹在该样品夹持空间，以将样品固定在该扫描电镜样品台上，而无需采用导电胶对样品进行粘接固定，因此，克服了因采用导电胶粘接固定样品，而导致的不利于对样品进行高精度、高倍率拍摄的问题发生。

Description

扫描电镜样品台

技术领域

本实用新型一般涉及电子显微镜技术领域，具体涉及一种扫描电镜样品台。

背景技术

扫描电镜是利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品，通过高能电子束与物质间的相互作用，来激发各种物理信息，并对这些物理信息进行收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。

一般地，扫描电镜出厂时原装的样品台为圆柱形样品台，在对样品进行扫描电镜分析时，将样品放置在圆柱形样品台的顶面或通过导电胶将样品粘贴在圆柱形样品台的侧面，然而，由于导电胶的导电能力有限，导致样品与样品台之间接触电阻较大，对扫描电镜发出的高能电子束能量衰减较大，而扫描电镜的拍摄精度与倍率与采集到的高能电子束能量正相关，因此，采用导电胶来对样品进行粘贴固定，不利于对样品进行高精度、高倍率的拍摄。此外，由于导电胶具有一定的厚度，且存在不平的情况，在导电胶不平时，会造成样品粘接后平整度较差，导致样品的形态精度降低，相应地，获得的样品的图像精度亦会降低。

实用新型内容

本申请提供一种扫描电镜样品台，至少用于样品高精度、高倍率的拍摄。

本实用新型提供一种扫描电镜样品台，包括：基座，所述基座上沿一方向滑动设置有第一样品载台和第二样品载台，所述第一样品载台与所述第二样品载台相向的侧面之间形成有样品夹持空间；紧固单元，分别与所述第一样品载台和所述第二样品载台连接，用于至少将所述第一样品载台和所述第二样品载台固定连接在一起。

作为可实现方式，所述第一样品载台和所述第二样品载台均具有多个样品承载面，且所述第一样品载台的至少部分样品承载面与水平面之间的夹角，与所述第二样品载台的至少部分样品承载面与水平面之间的夹角不同。

作为可实现方式，所述第一样品载台的至少部分样品承载面与水平面之间的夹角不同；和/或，所述第二样品载台的至少部分样品承载面与水平面之间的夹角不同。

作为可实现方式，所述第一样品载台和所述第二样品载台至少任一与所述基座可拆卸连接。

作为可实现方式，所述紧固单元包括螺栓、止旋垫片以及止旋插接件；所述第一样品载台设置有螺纹孔，所述第二样品载台设置有第一通孔，所述止旋垫片设置有第二通孔，所述螺栓顺次穿过所述第二通孔和所述第一通孔，并与所述螺纹孔螺接；所述止旋插接件分别与所述第一样品载台和所述第二样品载台止旋插接配合；所述止旋垫片与所述止旋插接件止旋配合。

作为可实现方式，所述基座上设置有第一滑动引导部，所述第一样品载台和所述第二样品载台上均设置有第二滑动引导部，所述第一滑动引导部与所述第二滑动引导部滑动配合。

作为可实现方式，所述第一滑动引导部和所述第二滑动引导部二者中，其一为第一凹槽，另一为第一导轨。

作为可实现方式，所述第一凹槽为燕尾槽、梯形槽、T形槽和L形槽中的任一种；所述第一导轨为与所述第一凹槽对应的燕尾导轨、梯形导轨、T形导轨或L形导轨。

作为可实现方式，所述止旋插接件上设置有第一插配合引导部，所述第一样品载台和所述第二样品载台上均设置有第二插配合引导部，所述第一插配合引导部与所述第二插配合引导部止旋插接配合。

作为可实现方式，所述第一插配合引导部和所述第二插配合引导部二者中，其一为第二凹槽，另一为第二导轨。

作为可实现方式，所述第二凹槽为燕尾槽、梯形槽、T形槽和L形槽中的任一种；所述第二导轨为与所述第二凹槽对应的燕尾导轨、梯形导轨、T形导轨或L形导轨。

作为可实现方式，所述第一样品载台和所述第二样品载台的顶部设置所述第二凹槽，所述止旋插接件包括所述第二导轨，所述第二导轨的一端设置有定位部，所述定位部与所述紧固单元的止旋垫片止旋配合，且所述定位部与所述第二样品载台背离所述第一样品载台的侧面止推配合。

作为可实现方式，所述定位部包括平行设置的顶面和底面，所述顶面和所述底面均为第一平面；所述止旋垫片的侧面包括第二平面，所述第二平面与作为所述底面的所述第一平面贴合，以将所述定位部与所述止旋垫片止旋配合。

上述方案，由于在第一样品载台与第二样品载台相向的侧面之间形成有样品夹持空间，可以将不同形状、不同大小的样品夹在该样品夹持空间，以将样品固定在该扫描电镜样品台上，而无需采用导电胶对样品进行粘接固定，因此，样品与该扫描电镜样品台的接触电阻较小，对扫描电镜发出的高能电子束的衰减降低，故，克服了因采用导电胶粘接固定样品，而导致的不利于对样品进行高精度、高倍率拍摄的问题发生。此外，通过样品夹持空间对样品进行直接加持，不存在导电胶不平所造成的样品平整度差，而导致的样品形态精度降低，故，解决了因样品形态精度降低而导致获得的样品的图像精度亦会降低的问题。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型实施例提供的扫描电镜样品台的俯视图。

图2为图1的右视图。

图3为图1的立体图。

图4为本实用新型实施例提供的基座的立体图。

图5为本实用新型实施例提供的第一样品载台的立体图。

图6为本实用新型实施例提供的第二样品载台的立体图。

图7为本实用新型实施例提供的止旋插接件的立体图。

图8为本实用新型实施例提供的止旋垫片的立体图。

附图标记说明

基座－1，第一滑动引导部－11。

第一样品载台－2，第二滑动引导部－21、31，第二插配合引导部－22、33。

第二样品载台－3，第一通孔－32。

紧固单元－4，止旋插接件－41，第一插配合引导部－411，定位部412，螺栓－42，止旋垫片－43，第二通孔－431，第一限位面－432。

样品承载面－5。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关实用新型，而非对该实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与实用新型相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

如图1－图3所示，本实用新型实施例提供一种扫描电镜样品台，包括：基座1，所述基座1上沿一方向滑动设置有第一样品载台2和第二样品载台3，所述第一样品载台2与所述第二样品载台3相向的侧面之间形成有样品夹持空间；基座1的形状可以根据实际需要确定，该示例中，另如图4所示，基座1可以为圆柱形。在另一些示例中，基座1的形状还可以为长方体、立方体、多棱柱等结构形式，这里不一一列举。

第一样品载台2和第二样品载台3分别沿一方向滑动设置在该圆柱形的基座1的顶部；通过第一样品载台2和第二样品载台3相向或相背的滑动，以改变样品夹持空间的大小，来对不同形状以及大小的样品进行夹紧。

紧固单元4，分别与所述第一样品载台2和所述第二样品载台3连接，用于至少将所述第一样品载台2和所述第二样品载台3固定连接在一起。

通过紧固单元4将第一样品载台2和第二样品载台3连接在一起，可以防止扫描电镜对样品进行扫描时，第一样品载台2和第二样品载台3发生位置移动，而造成样品位置发生移动，导致获得的扫描图像清晰度降低。

上述方案，由于在第一样品载台与第二样品载台相向的侧面之间形成有样品夹持空间，可以将不同形状、不同大小的样品夹在该样品夹持空间，以将样品固定在该扫描电镜样品台上，而无需采用导电胶对样品进行粘接固定，因此，样品与该扫描电镜样品台的接触电阻较小，对扫描电镜发出的高能电子束的衰减降低，故，克服了因采用导电胶粘接固定样品，而导致的不利于对样品进行高精度、高倍率拍摄的问题发生。此外，通过样品夹持空间对样品进行直接加持，不存在导电胶不平所造成的样品平整度差，而导致的样品形态精度降低，故，解决了因样品形态精度降低而导致获得的样品的图像精度亦会降低的问题。

此外，本方案的扫描电镜样品台在使用时，在采用样品夹持空间对样品进行固定时，亦可同时在样品与样品夹持空间之间设置导电胶，以通过粘接与夹持双重作用来更加稳固的固定样品。

作为一种可实现方式，所述第一样品载台2和所述第二样品载台3均具有多个样品承载面5，且所述第一样品载台2的至少部分样品承载面5与水平面之间的夹角，与所述第二样品载台3的至少部分样品承载面5与水平面之间的夹角不同。

由于第一样品载台2和第二样品载台3均具有多个样品承载面5，且第一样品载台2的至少部分样品承载面5与水平面的夹角，与第二样品载台3的至少部分样品承载面5与水平面的夹角不同，则可以将样品分别通过导电胶连接在不同的样品承载面5上，以不同角度来承载样品，使得扫描电镜可以对样品进行多角度的扫描。

作为一种可实现方式，所述第一样品载台2和所述第二样品载台3至少任一与所述基座1可拆卸连接。

其中，该示例中第一样品载台2和第二样品载台3均与基座1可拆卸连接，也即，第一样品载台2和第二样品载台3均可以从基座1上拆下；对应的，该扫描电镜样品台可以具有不同型号的第一样品载台2和第二样品载台3，不同型号的第一样品载台2和第二样品载台3可以具有不同的样品承载面5，不同的样品承载面5可以是不同的型号之间样品承载面5的倾斜角度不同，或者，样品承载面5表面形态不同，如表面形态可以是光滑平面、磨砂面等中的任一种；不同的样品承载面5也可以是既有角度不同，又有表面形态不同。例如但不限于，第一样品载台2具有三个型号，也即具有三个不同的第一样品载台2，三个不同的第一样品载台2中至少部分样品承载面5的倾斜角度不同，可以根据实际需要选择其中一个滑动安装在基座1上，以提高该扫描电镜样品台使用的灵活性。此外，由于拍摄样品的不同，因而可以根据不同的需求，通过替换不同型号的第一样品载台和/或第二样品载台提高该扫描电镜样品台使用的灵活性。

样品承载面5用于放置样品，在扫描电镜对样品进行扫描时，可以全部样品承载面5上都设置有样品，也可以是，只有部分样品承载面5上设置有样品，具体需要在哪个样品承载面5上设置样品，可以根据实际需要确定。

作为一种可实现方式，所述紧固单元4包括螺栓42、止旋垫片43以及止旋插接件41。

至少另参见图5，所述第一样品载台2设置有螺纹孔(图中未示出)，至少另参见图6，所述第二样品载台3设置有第一通孔32，所述止旋垫片43设置有第二通孔431，所述螺栓42顺次穿过所述第二通孔431和所述第一通孔32，并与所述螺纹孔螺接。其中，第一通孔32、第二通孔431可以为光孔或螺纹孔，该示例中，第一通孔32、第二通孔431均采用光孔，以降低加工成本。

所述止旋插接件41分别与所述第一样品载台2和所述第二样品载台3止旋插接配合。

这里所说的止旋插接配合是指，两个相互配合的部件中，其中一个部件插入到另一部件内，以使该两个部件之间不能发生相对的转动。

例如但不限于，第一样品载台2和第二样品载台3中分别设置有非圆的孔或槽，止旋插接件41具有非圆的杆段，止旋插接件41非圆的杆段插入到第一样品载台2和第二样品载台3中非圆的孔或槽内，实现其三者之间的止旋。

所述止旋垫片43与所述止旋插接件41止旋配合。

这里所指的止旋，是指任意两个相互配合或接触的部件，不能发生相对的转动。

例如但不限于，止旋垫片43的侧面(例如但不限于该侧面为顶面)具有第一限位面432，止旋插接件41朝向第一限位面432的一侧设置第二限位面，第一限位面432与第二限位面相互贴合实现止旋垫片43与止旋插接件41的止旋配合，其中，第一限位面432与第二限位面可以均为平面，当然，在其他示例中，第一限位面432与第二限位面可以为共轭的波浪面，波浪面的波形可以是正弦波、矩形波、齿形波等。

作为可实现方式，为了使装配时，第一样品载台2和第二样品载台3滑顺的安装到基座1上，则在所述基座1上设置有第一滑动引导部11，所述第一样品载台2和所述第二样品载台3上均设置有第二滑动引导部21、31，所述第一滑动引导部11与所述第二滑动引导部21、31滑动配合。

作为一种可实现方式，所述第一滑动引导部11和所述第二滑动引导部21、31二者中，其一为第一凹槽，另一为第一导轨。

作为一种可实现方式，所述第一凹槽为燕尾槽、梯形槽、T形槽和L形槽中的任一种；所述第一导轨为与所述第一凹槽对应的燕尾导轨、梯形导轨、T形导轨或L形导轨。

该示例中，第一滑动引导部11为第一凹槽，第二滑动引导部21、31分别为第一导轨。具体地，在基座1的顶部设置一个燕尾槽，该燕尾槽可以为贯通基座1的通槽；第一样品载台2和第二样品载台3的底部分别设置燕尾导轨。

作为可实现方式，至少另参见图7所示，所述止旋插接件41上设置有第一插配合引导部411，所述第一样品载台2和所述第二样品载台3上均设置有第二插配合引导部22、33，所述第一插配合引导部411与所述第二插配合引导部22、33止旋插接配合。

作为可实现方式，所述第一插配合引导部411和所述第二插配合引导部22、33二者中，其一为第二凹槽，另一为第二导轨。

作为可实现方式，所述第二凹槽为燕尾槽、梯形槽、T形槽和L形槽中的任一种；所述第二导轨为与所述第二凹槽对应的燕尾导轨、梯形导轨、T形导轨或L形导轨。

该示例中，第一插配合引导部411为第二导轨，第二插配合引导部22、33为第二凹槽。具体地，在第一样品载台2和第二样品载台3的顶部分别设置一个燕尾槽，该燕尾槽可以为贯通第一样品载台2和第二样品载台3的通槽；止旋插接件41的至少其中一段为燕尾导轨，该燕尾导轨作为止旋插接件41的上述非圆的杆段。一般地，第一样品载台2和第二样品载台3上设置的通槽的贯通方向与基座1上设置的燕尾槽的贯通方向相互平行。

作为可实现方式，所述第一样品载台2和所述第二样品载台3的顶部设置所述第二凹槽，至少另参见7所示，所述止旋插接件41包括所述第二导轨，所述第二导轨的一端设置有定位部412，所述定位部412与所述紧固单元4的止旋垫片43止旋配合，且所述定位部412与所述第二样品载台3背离所述第一样品载台2的侧面止推配合。

这里所说的止推配合是指，两个相互插装配合的部件，在插装方向上，两部件插装到位后，其二者相向的侧面相互接触。

作为可实现方式，所述定位部412包括平行设置的顶面和底面，所述顶面和所述底面均为第一平面；其中，定位部412的顶面可以用作为样品承载面5。

所述止旋垫片43的侧面包括第二平面，所述第二平面与作为所述底面的所述第一平面贴合，以将所述定位部412与所述止旋垫片43止旋配合。其中，止旋垫片43的第二平面为上述第一限位面432，定位部412的底面为上述第二限位面。作为其中的一种示例，至少参见图8所示，止旋垫片43可以为方形垫片，该方形垫片的中间设置有第二通孔431，该方形垫片的其中一个侧面为第一限位面432。

作为可实现方式，所述第一样品载台2的至少部分样品承载面5与水平面之间的夹角不同；例如但不限于，第一样品载台2具有水平的样品承载面5和倾斜的样品承载面5，其中，各倾斜的样品承载面5与水平面之间的夹角可以相同，可以部分不同，也可以全部不同；该示例中，第一样品载台2的截面为等腰梯形，即，第一样品载台2具有一个水平的样品承载面5，以及两个与水平面之间的夹角相同的倾斜的样品承载面5。

和/或，所述第二样品载台3的至少部分样品承载面5与水平面之间的夹角不同，例如但不限于，第二样品载台3具有水平的样品承载面5和倾斜的样品承载面5，其中，各倾斜的样品承载面5与水平面之间的夹角可以相同，可以部分不同，也可以全部不同；该示例中，第二样品载台3的截面为非等腰梯形，即，第二样品载台3具有一个水平的样品承载面5，以及两个与水平面的之间夹角不相同的倾斜的样品承载面5。上述结构，通过在第一样品载台2、第二样品载台3上设置与水平面的之间夹角不相同的倾斜的样品承载面5，可以对多个样品进行不同角度的拍摄，便于从多个拍摄中获取角度更加，清晰度更好的放大图像。

下面以其中一个具体示例，对本申请的扫描电镜样品台予以示例性说明，其不应理解为对本申请的唯一性限定。

该示例中，如图1－图8所示，该扫描电镜样品台包括基座1，该基座1为圆柱形的基座1，在基座1的顶部设置有一个作为第一滑动引导部11的燕尾槽，该燕尾槽为贯通基座1的通槽，在该燕尾槽内滑动装配有第一样品载台2和第二样品载台3，第一样品载台2与所述第二样品载台3相向的侧面之间形成有样品夹持空间，用于固定片状或块状的样品，第一样品载台2和第二样品载台3的底部分别设置有作为第二滑动引导部的燕尾导轨，燕尾导轨与燕尾槽对应配合。

其中，第一样品载台2的截面为等腰梯形，即，第一样品载台2具有一个水平的样品承载面5，以及两个与水平面的夹角相同的倾斜的样品承载面5，第二样品载台3的截面为非等腰梯形，即，第二样品载台3具有一个水平的样品承载面5，以及两个与水平面的夹角不相同的倾斜的样品承载面5。

第一样品载台2设置有轴线水平的螺纹孔，第二样品载台3设置有第一通孔32，一根穿装有止旋垫片43的螺栓42穿过第一通孔32，并与螺纹孔螺接，其中，止旋垫片43可以为方形垫片，该方形垫片的中间设置有第二通孔431，该方形垫片的其中一个侧面为第一限位面432，例如，该示例中是方形垫片的顶面为第一限位面432。

第一样品载台2和第二样品载台3的顶部分别设置有作为第二插配合引导部22、33的燕尾槽；止旋插接件41包括作为第一插配合引导部411的第二导轨，第二导轨为燕尾导轨，该燕尾导轨与燕尾槽对应配合，第二导轨的一端设置有方形的定位部412，则定位部412具有相互平行的顶面和底面，顶面和底面均为第一平面；其中，定位部412的顶面可以用作为样品承载面5；定位部412的底面为第二限位面，第二限位面与第一限位面432贴合，实现止旋垫片43与止旋插接件41的止旋配合。

该示例中，各燕尾导轨和燕尾槽可以加工的具有较高的精度，在将基座1、第一样品载台2、第二样品载台3、螺栓42、止旋垫片43和止旋插接件41装配在一起后，他们之间的装配间隙可以忽略，在旋紧螺栓42的过程中，由于摩擦力的存在，第一样品载台2和第二样品载台3分别相对于基座1具有沿螺栓42转动方向，转动的趋势，而第一样品载台2、第二样品载台3以及基座1通过燕尾槽和燕尾导轨相互配合，这种转动趋势使得燕尾槽和燕尾导轨之间形成倾斜的相互作用的作用力和反作用力，以使第一样品载台2、第二样品载台3和基座1固定在一起；此外，止旋垫片43相对于螺栓42具有沿螺栓42转动方向，转动的趋势，以使止旋垫片43的第一定位面432具有向上顶止旋插接件41的趋势，以使，通过燕尾槽和燕尾导轨相互连接的第一样品载台2、第二样品载台3和止旋插接件41连接更加稳固。

在其他示例中，可以改变第一样品载台2、第二样品载台3的形状，以提供不同倾斜角度的样品承载面5。

需要理解的是，上文如有涉及术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的实用新型范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

Claims (11)

1.一种扫描电镜样品台，其特征在于，包括：

基座，所述基座上沿一方向滑动设置有第一样品载台和第二样品载台，所述第一样品载台与所述第二样品载台相向的侧面之间形成有样品夹持空间；

紧固单元，分别与所述第一样品载台和所述第二样品载台连接，用于至少将所述第一样品载台和所述第二样品载台固定连接在一起。

2.根据权利要求1所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述第一样品载台和所述第二样品载台均具有多个样品承载面，且所述第一样品载台的至少部分样品承载面与水平面之间的夹角，与所述第二样品载台的至少部分样品承载面与水平面之间的夹角不同。

3.根据权利要求1所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述第一样品载台的至少部分样品承载面与水平面之间的夹角不同；和/或，

所述第二样品载台的至少部分样品承载面与水平面之间的夹角不同。

4.根据权利要求1所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述第一样品载台和所述第二样品载台至少任一与所述基座可拆卸连接。

5.根据权利要求1－4任一项所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述紧固单元包括螺栓、止旋垫片以及止旋插接件；

所述第一样品载台设置有螺纹孔，所述第二样品载台设置有第一通孔，所述止旋垫片设置有第二通孔，所述螺栓顺次穿过所述第二通孔和所述第一通孔，并与所述螺纹孔螺接；

所述止旋插接件分别与所述第一样品载台和所述第二样品载台止旋插接配合；

所述止旋垫片与所述止旋插接件止旋配合。

6.根据权利要求1－4任一项所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述基座上设置有第一滑动引导部，所述第一样品载台和所述第二样品载台上均设置有第二滑动引导部，所述第一滑动引导部与所述第二滑动引导部滑动配合。

7.根据权利要求6所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述第一滑动引导部和所述第二滑动引导部二者中，其一为第一凹槽，另一为第一导轨。

8.根据权利要求4所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述止旋插接件上设置有第一插配合引导部，所述第一样品载台和所述第二样品载台上均设置有第二插配合引导部，所述第一插配合引导部与所述第二插配合引导部止旋插接配合。

9.根据权利要求8所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述第一插配合引导部和所述第二插配合引导部二者中，其一为第二凹槽，另一为第二导轨。

10.根据权利要求9所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述第一样品载台和所述第二样品载台的顶部设置所述第二凹槽，所述止旋插接件包括所述第二导轨，所述第二导轨的一端设置有定位部，所述定位部与所述紧固单元的止旋垫片止旋配合，且所述定位部与所述第二样品载台背离所述第一样品载台的侧面止推配合。

11.根据权利要求10所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述定位部包括平行设置的顶面和底面，所述顶面和所述底面均为第一平面；

所述止旋垫片的侧面包括第二平面，所述第二平面与作为所述底面的所述第一平面贴合，以将所述定位部与所述止旋垫片止旋配合。

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