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CN216264095U - 一种无损切割晶体硅片的专用装备 - Google Patents

一种无损切割晶体硅片的专用装备 Download PDF

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CN216264095U
CN216264095U CN202122541901.XU CN202122541901U CN216264095U CN 216264095 U CN216264095 U CN 216264095U CN 202122541901 U CN202122541901 U CN 202122541901U CN 216264095 U CN216264095 U CN 216264095U
Authority
CN
China
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laser
cutting
silicon wafer
module
plate
Prior art date
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Application number
CN202122541901.XU
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English (en)
Inventor
王永锋
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Xinsheng Intelligent Equipment Suzhou Co ltd
Original Assignee
Xinsheng Intelligent Equipment Suzhou Co ltd
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Publication date
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Abstract

本实用新型提供一种无损切割晶体硅片的专用装备,属于晶体硅技术领域,该无损切割晶体硅片的专用装备包括放置台,放置台的上端设有激光安装座板,激光安装座板的上端设有输送线支撑板,在需要对硅片进行加工切割时,可以将其放置在料盒内,而后通过皮带将其传输至上料升降气缸和载台感应处位置,这时料盒到位检知感知到硅片的存在便会启动步进丝杠电机使其将升降板顶升至到料检测对射处,而后通过激光横移模组、激光安装座板和激光模块便可以将硅片进行切割,通过这样的方式使得硅片可以得到完全自动的切割,并且本装置的结构较少,利于后续进行维修,并且提高硅片的切割精度。

Description

一种无损切割晶体硅片的专用装备
技术领域
本实用新型属于晶体硅技术领域,具体涉及一种无损切割晶体硅片的专用装备。
背景技术
晶体硅材料是最主要的光伏材料,性质为带有金属光泽的灰黑色固体、熔点高(1410)、硬度大、有脆性、常温下化学性质不活泼。其市场占有率在 90%以上,而且在今后相当长的一段时期也依然是太阳能电池的主流材料。
在现代社会中,高科技的制作都离不开晶体硅片,且在制作时需要对晶体硅片进行切割,但现有的切割装置在对晶体硅片进行切割时,其切割和上料的自动性不足,且切割的精确度不足,进而导致晶体硅片的切割品质不足。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种无损切割晶体硅片的专用装备,旨在解决现有技术中的切割装置在对晶体硅片进行切割时,其切割和上料的自动性不足,且切割的精确度不足,进而导致晶体硅片的切割品质不足的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种无损切割晶体硅片的专用装备,包括:
放置台,所述放置台的上端设有激光安装座板,所述激光安装座板的上端设有输送线支撑板,所述输送线支撑板的上端设有料盒和皮带,所述料盒的上端设有硅片;
上料升降气缸,所述上料升降气缸设置于激光安装座板的下端,所述激光安装座板的下端设置有载台感应,所述放置台的上端设有升降板,所述升降板的上端设有料盒到位检知和步进丝杠电机,所述放置台的下端设有输送线传输电机,所述输送线传输电机和皮带连接,所述输送线支撑板的上端设有到料检测对射;以及
气缸支撑板,所述气缸支撑板设于激光安装座板的一端,所述气缸支撑板的一端设有横移模组,所述横移模组的一端设有上料吸盘,所述横移模组的上端设有切割载台,所述激光安装座板的一端设有激光横移模组和激光模块,所述放置台的上端设有切割模组。
作为本实用新型一种优选的方案,所述横移模组的一端设有带导杆气缸,所述激光安装座板的一端设有下料吸盘,所述横移模组的下端设有收料盒。
作为本实用新型一种优选的方案,所述激光安装座板的一端设有倒料槽,所述升降板的上端设有定位阻挡气缸1和定位阻挡气缸2。
作为本实用新型一种优选的方案,所述激光安装座板的一端设有显示屏。
作为本实用新型一种优选的方案,所述料盒的上端设有多个限位立柱竖板。
作为本实用新型一种优选的方案,所述放置台的下端四角处均设有万向轮。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
1、本方案中,在需要对硅片进行加工切割时,可以将其放置在料盒内,而后通过皮带将其传输至上料升降气缸和载台感应处位置,这时料盒到位检知感知到硅片的存在便会启动步进丝杠电机使其将升降板顶升至到料检测对射处,而后通过激光横移模组、激光安装座板和激光模块便可以将硅片进行切割,通过这样的方式使得硅片可以得到完全自动的切割,并且本装置的结构较少,利于后续进行维修,并且提高硅片的切割精度。
2、本方案中,在实际使用时,可以将放置台上端的各个部件设置为两组,进而使得本装置的加工效率得到扩大,从而使得加工的成本减少,进而提高工厂的生产速度。
3、本方案中,并且在硅片切割完毕后,完整品还可以通过带导杆气缸连接的下料吸盘对切割载台上的硅片进行抓取到,并使其放置在收料盒内,进而提高本装置的收取便捷性。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。在附图中:
图1为本实用新型中的立体图;
图2为本实用新型中的后视图。
图中:1、硅片;2、限位立柱竖板;3、料盒;4、输送线支撑板;5、皮带;6、收料盒;7、上料升降气缸;8、上料吸盘;9、横移模组;10、气缸支撑板;11、带导杆气缸;12、切割载台;13、下料吸盘;14、切割模组;15、倒料槽;16、到料检测对射;17、料盒到位检知;18、定位阻挡气缸1;19、定位阻挡气缸2;20、升降板;21、步进丝杠电机;22、激光横移模组;23、激光安装座板;24、显示屏;25、激光模块;26、载台感应;27、输送线传输电机。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
实施例1
请参阅图1-2,本实用新型提供以下技术方案:
一种无损切割晶体硅片的专用装备,包括:
放置台,放置台的上端设有激光安装座板23,激光安装座板23的上端设有输送线支撑板4,输送线支撑板4的上端设有料盒3和皮带5,料盒3的上端设有硅片1;
上料升降气缸7,上料升降气缸7设置于激光安装座板23的下端,激光安装座板23的下端设置有载台感应26,放置台的上端设有升降板20,升降板20的上端设有料盒到位检知17和步进丝杠电机21,放置台的下端设有输送线传输电机27,输送线传输电机27和皮带5连接,输送线支撑板4的上端设有到料检测对射16;以及
气缸支撑板10,气缸支撑板10设于激光安装座板23的一端,气缸支撑板10的一端设有横移模组9,横移模组9的一端设有上料吸盘8,横移模组9的上端设有切割载台12,激光安装座板23的一端设有激光横移模组22和激光模块25,放置台的上端设有切割模组14。
在本实用新型的具体实施例中,在需要对硅片1进行切割时,可以将硅片1放置于料盒3内;并且将料盒3放置到输送线支撑板4上通过皮带5至上料升降气缸7位置和载台感应26;这时料盒到位检知17检测到料盒3后,便会通过启动步进丝杠电机21和输送线传输电机27将料盒3顶升至到料检测对射16位置;这时启动横移模组9使其带动气缸支撑板10和上料吸盘8将硅片1吸附到切割载台12的上端,而后启动激光安装座板23激光横移模组22、激光模块25和切割模组14便可以对硅片1进行切割处理,通过这样的设计使得硅片1的切割更加自动化,并且通过这样的自动化可以提高硅片1的切割精度,进而使得硅片1的切割质量更好,其生产出的产品更加完美,并且可以将上述部件设置两组,使得零件的加工产量得到提升。
具体的请参阅图2,横移模组9的一端设有带导杆气缸11,激光安装座板23的一端设有下料吸盘13,横移模组9的下端设有收料盒6。
本实施例中:并且在硅片1切割完毕后,完整品还可以通过带导杆气缸11连接的下料吸盘13对切割载台12上的硅片1进行抓取到,并使其放置在收料盒6内,进而提高本装置的收取便捷性。
具体的请参阅图2,激光安装座板23的一端设有倒料槽15,升降板20的上端设有定位阻挡气缸118和定位阻挡气缸219。
本实施例中:在硅片1切割完毕后可以通过倒料槽15将废料进行排出,并且通过定位阻挡气缸118和定位阻挡气缸219可以使得硅片1被吸取至切割载台12上时,可以得到位置的调整。
具体的请参阅图1,激光安装座板23的一端设有显示屏24,料盒3的上端设有多个限位立柱竖板2,放置台的下端四角处均设有万向轮。
本实施例中:通过显示屏24可以对切割路径进行实时监测,通过限位立柱竖板2可以使得硅片1的摆放更加稳定,并且通过万向轮可以将本装置进行快捷推送。
本实用新型的工作原理及使用流程:在需要对硅片1进行切割时,可以将硅片1放置于料盒3内;并且将料盒3放置到输送线支撑板4上通过皮带5至上料升降气缸7位置和载台感应26;这时料盒到位检知17检测到料盒3后,便会通过启动步进丝杠电机21和输送线传输电机27将料盒3顶升至到料检测对射16位置;这时启动横移模组9使其带动气缸支撑板10和上料吸盘8将硅片1吸附到切割载台12的上端,而后启动激光安装座板23激光横移模组22、激光模块25和切割模组14便可以对硅片1进行切割处理。
最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种无损切割晶体硅片的专用装备,其特征在于,包括:
放置台,所述放置台的上端设有激光安装座板(23),所述激光安装座板(23)的上端设有输送线支撑板(4),所述输送线支撑板(4)的上端设有料盒(3)和皮带(5),所述料盒(3)的上端设有硅片(1);
上料升降气缸(7),所述上料升降气缸(7)设置于激光安装座板(23)的下端,所述激光安装座板(23)的下端设置有载台感应(26),所述放置台的上端设有升降板(20),所述升降板(20)的上端设有料盒到位检知(17)和步进丝杠电机(21),所述放置台的下端设有输送线传输电机(27),所述输送线传输电机(27)和皮带(5)连接,所述输送线支撑板(4)的上端设有到料检测对射(16);以及
气缸支撑板(10),所述气缸支撑板(10)设于激光安装座板(23)的一端,所述气缸支撑板(10)的一端设有横移模组(9),所述横移模组(9)的一端设有上料吸盘(8),所述横移模组(9)的上端设有切割载台(12),所述激光安装座板(23)的一端设有激光横移模组(22)和激光模块(25),所述放置台的上端设有切割模组(14)。
2.根据权利要求1所述的无损切割晶体硅片的专用装备,其特征在于,所述横移模组(9)的一端设有带导杆气缸(11),所述激光安装座板(23)的一端设有下料吸盘(13),所述横移模组(9)的下端设有收料盒(6)。
3.根据权利要求2所述的无损切割晶体硅片的专用装备,其特征在于,所述激光安装座板(23)的一端设有倒料槽(15),所述升降板(20)的上端设有定位阻挡气缸1(18)和定位阻挡气缸2(19)。
4.根据权利要求3所述的无损切割晶体硅片的专用装备,其特征在于,所述激光安装座板(23)的一端设有显示屏(24)。
5.根据权利要求4所述的无损切割晶体硅片的专用装备,其特征在于,所述料盒(3)的上端设有多个限位立柱竖板(2)。
6.根据权利要求5所述的无损切割晶体硅片的专用装备,其特征在于,所述放置台的下端四角处均设有万向轮。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114769891A (zh) * 2022-04-28 2022-07-22 深圳泰德半导体装备有限公司 晶圆标记设备

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