CN215509531U

CN215509531U - 定位机构

Info

Publication number: CN215509531U
Application number: CN202120365520.8U
Authority: CN
Inventors: 郭明森; 曾威; 何云; 尹建刚; 高云峰
Original assignee: Han s Laser Technology Industry Group Co Ltd
Current assignee: Shenzhen Hans Semiconductor Equipment Technology Co Ltd
Priority date: 2021-02-08
Filing date: 2021-02-08
Publication date: 2022-01-14
Anticipated expiration: 2031-02-08

Abstract

本实用新型公开了一种定位机构，用于对片状产品进行定位，包括载物平台，具有用于承载片状产品的载物面；气路，设置于所述载物平台上，所述载物面上设置有与所述气路连通的气孔，所述气路的内部气压为正时，置于所述载物面的片状产品离开所述载物面并处于悬浮状态；第一定位组件以及第二定位组件。在通过第一定位组件和第二定位组件对产品定位之前，向气路的内部通入正压气体，使置于载物面的片状产品离开载物面并处于悬浮状态，在后续通过第一定位组件和第二定位组件定位的过程中，产品不会与载物平台接触发生摩擦磨损，保证产品质量。

Description

定位机构

技术领域

本实用新型涉及机械自动化技术领域，尤其涉及一种定位机构。

背景技术

在半导体显示面板生产过程中，激光加工产品后，单片显示面板需要经过多次搬运移动，以进行各种工艺的加工。为了方便后续的AOI视觉检测，避免产品有较大的位移而超出视觉相机的视野，需要在AOI视觉检测前对产品进行二次定位。

现有的定位机构在对片状产品进行定位过程中，一般是将产品放置于载台上，通过驱动件推动产品进行定位，在定位过程中，产品与载台表面之间的摩擦会对产品表面造成磨损划伤，影响产品质量。

实用新型内容

本实用新型实施例提供了一种定位机构，用于解决现有的定位机构在对片状产品进行定位过程中，产品与载台表面之间的摩擦会对产品表面造成磨损划伤，影响产品质量的问题。

根据本实用新型实施例，该定位机构用于对片状产品进行定位，包括：

载物平台，具有用于承载片状产品的载物面；

气路，设置于所述载物平台上，所述载物面上设置有与所述气路连通的气孔，所述气路的内部气压为正时，置于所述载物面的片状产品离开所述载物面并处于悬浮状态；

第一定位组件，用于对处于悬浮状态的片状产品在平行于所述载物面的第一方向进行定位；以及

第二定位组件，用于对处于悬浮状态的片状产品在平行于所述载物面并与所述第一方向垂直的第二方向进行定位。

在所述定位机构的一些实施例中，所述载物平台的内部设有空腔，所述空腔形成所述气路。

在所述定位机构的一些实施例中，所述载物平台上设有与所述气路连通的进气口和出气口，所述进气口用于连通正压气源，使置于所述载物面的片状产品离开所述载物面并处于悬浮状态；所述出气口用于连通负压气源，使所述气路的内部气压为负，将由所述第一定位组件和所述第二定位组件定位后的片状产品吸附于所述载物面上。

在所述定位机构的一些实施例中，所述定位机构还包括基座，所述载物平台与所述基座间隔设置，所述第一定位组件和所述第二定位组件均设置于所述载物平台与所述基座之间的区域内。

在所述定位机构的一些实施例中，所述第一定位组件包括限位模组，所述第二定位组件包括推动部件，所述载物平台上设置有分别与所述限位模组和所述推动部件对应的第一避让孔和第二避让孔，所述限位模组经所述第一避让孔凸出所述载物面设置，且所述限位模组能够在所述第一避让孔内沿所述第一方向运动；所述推动部件经所述第二避让孔凸出所述载物面设置，且所述推动部件能够在所述第二避让孔内沿所述第二方向运动。

在所述定位机构的一些实施例中，所述第一避让孔和所述第二避让孔均为贯穿所述载物平台的长圆孔，且所述第一避让孔和所述第二避让孔的长度方向分别平行于所述第一方向和所述第二方向。

在所述定位机构的一些实施例中，所述第一定位组件还包括第一驱动模组和第一移动模组，所述限位模组设置于所述第一移动模组上，两所述第一移动模组相对设置于所述第一驱动模组上，所述限位模组能够在所述第一驱动模组的驱动下沿所述第一方向相互靠近和远离，以在第一方向上夹紧和松开片状产品。

在所述定位机构的一些实施例中，所述第二定位组件还包括第二驱动模组和第二移动模组，所述第二移动模组设置于所述第二驱动模组上，所述推动部件设置于所述第二移动模组上，且所述推动部件能够在所述第二驱动模组的驱动下沿所述第二方向运动，以在第二方向上推动和远离所述片状产品。

在所述定位机构的一些实施例中，所述第二定位组件还包括检测元件，所述检测元件设置于所述载物平台上并与所述推动部件相对设置，用于检测片状产品在所述第二方向上是否被所述推动部件推动到位。

在所述定位机构的一些实施例中，所述限位模组包括安装件和转动件，所述安装件一端与所述第一移动模组连接，另一端经所述第一避让孔凸出所述载物面，所述转动件套设在所述安装件上，且所述转动件能够绕所述安装件在垂直于所述载物面的方向转动。

实施本实用新型实施例，将具有如下有益效果：

依据以上实施例中的定位机构，通过在载物平台上设置气路，并在载物面上设置与气路连通的气孔，在通过第一定位组件和第二定位组件对产品定位之前，向气路的内部通入正压气体，使置于载物面的片状产品离开载物面并处于悬浮状态，后续通过第一定位组件和第二定位组件定位的过程中，产品不会与载物平台接触发生摩擦磨损，保证产品质量。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

其中：

图1是本实用新型一实施例示出的定位机构的整体结构示意图；

图2是本实用新型一实施例示出的定位机构的载物平台的载物面结构示意图；

图3是本实用新型一实施例示出的定位机构的载物平台与载物面相对的一面的结构示意图

图4是本实用新型一实施例示出的定位机构拆除载物平台后的结构示意图；

图5是图4的俯视图；

图6是本实用新型一实施例示出的第一定位组件的限位模组和第一移动模组的结构示意图；

图7是本实用新型一实施例示出的第二定位组件的推动部件和第二滑动件的结构示意图；

图8是本实用新型一实施例示出的第一驱动模组和第二驱动模组在基座上的安装示意图。

主要元件符号说明：

100-载物平台；101-载物面；102-气孔；103-密封板；110-第一避让孔；120- 第二避让孔；130-安装孔；

200-第一定位组件；210-限位模组；211-安装件；212-转动件；220-第一驱动模组；221-伺服电机；222-从动带轮；223-同步带；230-第一移动模组；231- 第一滑动板；2311-连接件；232-第一导轨；

300-第二定位组件；310-推动部件；320-第二驱动模组；321-驱动电机；322- 丝杠；323-轴承座；330-第二移动模组；331-第二滑动板；332-第二导轨；340- 检测元件；

400-进气口；500-出气口；600-基座；700-支撑柱；

X-第一方向；Y-第二方向；A-片状产品。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳的实施例。但是，本实用新型可以通过许多其他不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容的理解更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

对此，本实用新型实施例中的定位机构通过在载物平台上设置气路，并在载物面上设置与气路连通的气孔，在第一定位组件和第二定位组件对产品进行定位之前，向气路的内部通入正压气体，使置于载物面的片状产品离开载物面并处于悬浮状态，后续通过第一定位组件和第二定位组件定位的过程中，产品不会与载物平台接触发生摩擦磨损，保证产品质量。

在一种实施例中，如图1和图4所示，该定位机构用于对片状产品A进行定位，包括载物平台100、气路、第一定位组件200以及第二定位组件300。

该载物平台100具有用于承载片状产品A的载物面101。

具体来说，载物平台100可以是一块具有一定厚度的平板，载物面101为该平板的一个表面。

该气路设置于载物平台100上，载物面101上设置有与气路连通的气孔102，气路的内部气压为正时，置于载物面101的片状产品A离开载物面101并处于悬浮状态。

具体来说，气孔102的数量为多个，气孔102布置在载物面101上放置片状产品A的区域内。

该第一定位组件200用于对处于悬浮状态的片状产品A在平行于载物面101 的第一方向X进行定位。

该第二定位组件300用于对处于悬浮状态的片状产品A在平行于载物面101 并与第一方向X垂直的第二方向Y进行定位。

在本实用新型实施例中，通过在载物平台100上设置气路，并在载物面101 上设置与气路连通的气孔102，在通过第一定位组件200和第二定位组件300对产品定位之前，向气路的内部通入正压气体，使置于载物面101的片状产品A 离开载物面101并处于悬浮状态，后续通过第一定位组件200和第二定位组件 300定位的过程中，产品不会与载物平台100接触发生摩擦磨损，保证产品质量。

在一种具体的实施例中，如图1-3所示，载物平台100的内部设有空腔(图中未示出)，空腔形成气路。

具体来说，可以在载物平台100与载物面101相对的一侧通过铣削的方式设置凹槽，再将密封板103固定在载物平台100上将凹槽密封形成空腔，气孔 102可通过激光打孔的方式设置在载物面101上。

当然，气路也可以通过在载物平台100与载物面101相对的一侧增设管道形成。通过直接在载物平台100内设置空腔来形成气路，无需在载物平台100 上增设其余部件，简化结构，便于生产制造，使产品具备较高的集成度。

在一种更加具体的实施例中，如图1-3所示，载物平台100上设有与气路连通的进气口400和出气口500，进气口400用于连通正压气源，使置于载物面 101的片状产品A离开载物面101并处于悬浮状态；出气口500用于连通负压气源，使气路的内部气压为负，将由第一定位组件200和第二定位组件300定位后的片状产品A吸附于载物面101上。

具体来说，可以在载物平台100的侧面通过转孔的方式形成两条与腔室连通的通道，两条通道位于载物平台100内部的一端与腔室连通，两条通道位于载物平台100侧面的一端分别形成上述进气口400和出气口500。

通过设置用于连通负压气源的出气口500，通过负压气源(如真空泵、负压气瓶等)使气路的内部气压为负，此时位于载物面101的气孔102能够对片状产品A产生吸附力，从而将由第一定位组件200和第二定位组件300定位后的片状产品A吸附于载物面101上。

具体而言，该定位机构在使用过程中，通过机械手将片状产品A放置在载物平台100的载物面101上，此时产品在自身重力作用下是与载物面101相接触的，为了避免产品在定位过程中与载物面101接触发生摩擦磨损，通过正压气源向气路中通入正压气体，使气体从载物面101的气孔102内喷出将产品推离载物面101并处于悬浮状态(可以理解的是，此时气体对产品的推力等于产品自身的重力)，再启动第一定位组件200和第二定位组件300分别对处于悬浮状态的片状产品A在第一方向X和第二方向Y上进行定位，产品经第一定位组件200和第二定位组件300定位后处于稳定状态，即可关闭正压气源。为了避免在第一定位组件200和第二定位组件300复位撤离后产品在载物面101发生移动，通过负压气源向气路中抽气形成负压，然后撤离第一定位组件200和第二定位组件300，通过气孔102产生的吸附力将产品吸附在载物面101上。

在一种实施例中，如图1-4所示，定位机构还包括基座600，载物平台100 与基座600间隔设置，第一定位组件200和第二定位组件300均设置于载物平台100与基座600之间的区域内。

具体来说，可以在基座600上设置支撑柱700，在载物平台100上设置与支撑柱700对应的安装孔130，通过支撑柱700将载物平台100支撑以实现载物平台100与基座600的间隔设置。

通过将载物平台100与基座600间隔设置，将第一定位组件200和第二定位组件300安装于载物平台100与基座600之间的区域内，合理利用空间对第一定位组件200和第二定位组件300进行布局，避免第一定位组件200和第二定位组件300影响产品在载物面101的放置以及影响生产线上的其余机构或装置的安装布置。

在一种具体的实施例中，如图1和图4-5所示，第一定位组件200包括限位模组210，第二定位组件300包括推动部件310，载物平台100上设置有分别与限位模组210和推动部件310对应的第一避让孔110和第二避让孔120，限位模组210经第一避让孔110凸出载物面101设置，且限位模组210能够在第一避让孔110内沿第一方向X运动；推动部件310经第二避让孔120凸出载物面101 设置，且推动部件310能够在第二避让孔120内沿第二方向Y运动。

具体来说，通过在载物平台100上设置第一避让孔110和第二避让孔120，使得对片状产品A起定位作用的限位模组210和推动部件310凸出载物面101 设置，来实现对产品的定位，而将第一定位组件200和第二定位组件300的其余部分隐藏在载物平台100与基座600之间的区域内，使得整个定位机构更加简洁美观。

在一些实施例中，如图1-3所示，第一避让孔110和第二避让孔120均为贯穿载物平台100的长圆孔，且第一避让孔110和第二避让孔120的长度方向分别平行于第一方向X和第二方向Y。

具体来说，长圆孔可通过铣刀铣削加工形成，结构简单，便于加工。

在一种具体的实施例中，如图1和图4-6所示，第一定位组件200还包括第一驱动模组220和第一移动模组230，限位模组210设置于第一移动模组230上，两第一移动模组230相对设置于第一驱动模组220上，限位模组210能够在第一驱动模组220的驱动下沿第一方向X相互靠近和远离，以在第一方向X上夹紧和松开片状产品A。

具体来说，第一驱动模组220安装在基座600上，第一驱动模组220包括伺服电机221、设于伺服电机221转轴上的主动带轮、从动带轮222以及连接在主动带轮与从动带轮222之间的同步带223，主动带轮和从动带轮222分别设置在基座600沿第一方向X的两端，同步带223在伺服电机221的驱动下绕着主动带轮和从动带轮222转动。第一移动模组230包括第一滑动板231和沿第一方向X设置于基座600上的第一导轨232，第一滑动板231通过连接件2311与同步带223连接，且第一滑动板231支撑在第一导轨232上并能够在同步带223 的带动下沿第一导轨232滑动。

需要说明的是，为了能够在第一方向X将片状产品A定位，需要两块第一滑动板231，两块第一滑动板231上均设有限位模块。进一步可以理解的是，为了实现一条同步带223转动带动两块第一滑动板231相互靠近和远离，需要将两块第一滑动板231上的连接件2311分别连接的同步带223的两侧，以实现伺服电机221正反转通过同步带223带动两块第一滑动板231在第一方向X上相互靠近和远离。

当然，在其他一些实施例中，也可以在两块第一滑动板231分别设置螺纹方向相反的螺纹孔，通过伺服电机221驱动设有相反螺纹的螺杆来实现螺接在螺杆上的两块第一滑动板231相互靠近和远离，以在第一方向X上夹紧和松开片状产品A。

在一种具体的实施例中，如图1、图4-5和图7-8所示，第二定位组件300 还包括第二驱动模组320和第二移动模组330，第二移动模组330设置于第二驱动模组320上，推动部件310设置于第二移动模组330上，且推动部件310能够在第二驱动模组320的驱动下沿第二方向Y运动，以在第二方向Y上推动和远离片状产品A。

具体来说，第二驱动模组320安装在基座600上，为了使第二驱动模组320 与第一驱动模组220不发生干涉，通过在基座600上设置支持块对第二驱动模组320进行支撑，使第一驱动模组220和第二驱动模组320分别位于两平行的平面内，第二驱动模组320包括驱动电机321、与驱动电机321的转轴连接的丝杠322以及对丝杠322远离驱动电机321的一端进行转动支撑的轴承座323，其中驱动电机321和轴承座323分别通过支撑块设置在基座600沿第二方向Y的两端。第二移动组件包括沿第二方向Y设置的第二导轨332和与丝杠322螺接的第二滑动板331，第二滑动板331能够在丝杠322的转动下沿第二导轨332滑动。

当然，第二驱动模组320还可以有其他结构形式，只要能够驱动第二移动组件沿第二方向Y运动以实现推动和远离片状产品A即可，在此不再赘述。

进一步地，第二定位组件300还包括检测元件340，检测元件340设置于载物平台100上并与推动部件310相对设置，用于检测片状产品A在第二方向Y 上是否被推动部件310推动到位。

需要说明的是，为了实现第二定位组件300对片状产品A在第二方向Y上的定位更加准确，通过检测元件340(如光电传感器、微动开关等等)能够在推动部件310推动在第二方向Y上推动产品的过程中进行检测，以判断产品在第二方向Y上是否被推动部件310推动到位，提高定位的准确性。

可以理解的是，为了在载物平台100上实现对多个产品的定位，在载物平台100上适应性的增设第一避让孔110和第二避让孔120，以及在第一定位组件 200和第二定位组件300上增加第一移动模组230、第二移动模组330、限位模组210和推动部件310的数量即可。

在一些实施例中，如图1、图4-6和图8所示，限位模组210包括安装件211 和转动件212，安装件211一端与第一移动模组230连接，另一端经第一避让孔 110凸出载物面101，转动件212套设在安装件211上，且转动件212能够绕安装件211在垂直于载物面101的方向转动。

具体来说，安装件211为L型，包括横向部分和竖直部分，横向部分为扁平状，用于与第一模组230的第一滑动板231连接，竖直部分为圆柱状，转动件212可以是轴承，套设在安装件211的竖直部分上。

通过将限位模组210设置为可绕垂直于载物面101的方向转动的结构形式，当通过第一定位组件200对产品在第一方向X上定位后，第二定位组件300通过推动部件310在将产品沿第二方向Y推动时，产品与限位模组210之间能够灵活转动，避免在第二定位组件300对产品在第二方向Y定位的过程中产品与限位模组210之间发生摩擦磨损，影响产品质量。

以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims

1.定位机构，用于对片状产品进行定位，其特征在于，包括：

载物平台，具有用于承载片状产品的载物面；

2.根据权利要求1所述的定位机构，其特征在于，所述载物平台的内部设有空腔，所述空腔形成所述气路。

3.根据权利要求2所述的定位机构，其特征在于，所述载物平台上设有与所述气路连通的进气口和出气口，所述进气口用于连通正压气源，使置于所述载物面的片状产品离开所述载物面并处于悬浮状态；所述出气口用于连通负压气源，使所述气路的内部气压为负，将由所述第一定位组件和所述第二定位组件定位后的片状产品吸附于所述载物面上。

4.根据权利要求1所述的定位机构，其特征在于，所述定位机构还包括基座，所述载物平台与所述基座间隔设置，所述第一定位组件和所述第二定位组件均设置于所述载物平台与所述基座之间的区域内。

5.根据权利要求4所述的定位机构，其特征在于，所述第一定位组件包括限位模组，所述第二定位组件包括推动部件，所述载物平台上设置有分别与所述限位模组和所述推动部件对应的第一避让孔和第二避让孔，所述限位模组经所述第一避让孔凸出所述载物面设置，且所述限位模组能够在所述第一避让孔内沿所述第一方向运动；所述推动部件经所述第二避让孔凸出所述载物面设置，且所述推动部件能够在所述第二避让孔内沿所述第二方向运动。

6.根据权利要求5所述的定位机构，其特征在于，所述第一避让孔和所述第二避让孔均为贯穿所述载物平台的长圆孔，且所述第一避让孔和所述第二避让孔的长度方向分别平行于所述第一方向和所述第二方向。

7.根据权利要求5所述的定位机构，其特征在于，所述第一定位组件还包括第一驱动模组和第一移动模组，所述限位模组设置于所述第一移动模组上，两所述第一移动模组相对设置于所述第一驱动模组上，所述限位模组能够在所述第一驱动模组的驱动下沿所述第一方向相互靠近和远离，以在第一方向上夹紧和松开片状产品。

8.根据权利要求5所述的定位机构，其特征在于，所述第二定位组件还包括第二驱动模组和第二移动模组，所述第二移动模组设置于所述第二驱动模组上，所述推动部件设置于所述第二移动模组上，且所述推动部件能够在所述第二驱动模组的驱动下沿所述第二方向运动，以在第二方向上推动和远离片状产品。

9.根据权利要求8所述的定位机构，其特征在于，所述第二定位组件还包括检测元件，所述检测元件设置于所述载物平台上并与所述推动部件相对设置，用于检测片状产品在所述第二方向上是否被所述推动部件推动到位。

10.根据权利要求7所述的定位机构，其特征在于，所述限位模组包括安装件和转动件，所述安装件一端与所述第一移动模组连接，另一端经所述第一避让孔凸出所述载物面，所述转动件套设在所述安装件上，且所述转动件能够绕所述安装件在垂直于所述载物面的方向转动。