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CN214298240U - 基板传送装置 - Google Patents

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CN214298240U
CN214298240U CN202022841195.6U CN202022841195U CN214298240U CN 214298240 U CN214298240 U CN 214298240U CN 202022841195 U CN202022841195 U CN 202022841195U CN 214298240 U CN214298240 U CN 214298240U
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CN
China
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telescopic cylinder
extending direction
clamping
base plate
connecting arm
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CN202022841195.6U
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王成飞
闫俊伟
袁广才
孙少东
张国才
董士豪
董鹏程
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BOE Technology Group Co Ltd
Original Assignee
BOE Technology Group Co Ltd
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Abstract

本实用新型涉及一种基板传送装置，包括水平设置的横梁，以及纵向设置于所述横梁的两端的支撑梁，所述横梁上悬挂有基板载具，所述基板载具位于两个所述支撑梁之间，且所述基板载具与两个所述支撑梁所在的平面平行，所述基板载具包括沿水平方向相对设置的两个侧壁，每个所述支撑梁上设置有辅助夹持结构，所述辅助夹持结构用于在所述基板传送装置运动过程中夹持所述基板载具的所述侧壁上。

Description

基板传送装置
技术领域
本实用新型涉及显示产品制作技术领域，尤其涉及一种基板传送装置。
背景技术
为了降低能耗及避免长时间点灯导致背光源过热问题，需要尽可能大的降低走线通道阻抗。目前降低走线阻抗通常通过导电层加厚来实现，就目前工艺而言，主要有磁控溅射和电化学沉积两种方案，其中，电化学沉积工艺是一种低成本的化学性成膜方式，可以沉积2～20um的厚金属，从而获得较低的电阻，电沉积具有效率高、应力低、风险小等优点。
但是大尺寸电化学沉积设备中，基板传送装置搬运基板载具在各个工艺槽体运行，进行电化学沉积工艺生产，应产能需求基板传送装置搬运基板载具的速度需要达到2000mm/s，基板载具上部有夹紧机构，启动、停止、行进过程中，由于惯性导致基板载具下部会有偏摆，摆动对机构的可靠性和产能满足情况都会产生影响。
实用新型内容
为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种基板传送装置，解决基板载具在运输过程中容易摆动的问题。
为了达到上述目的，本实用新型实施例采用的技术方案是：一种基板传送装置，包括水平设置的横梁，以及纵向设置于所述横梁的两端的支撑梁，所述横梁上悬挂有基板载具，所述基板载具位于两个所述支撑梁之间，且所述基板载具与两个所述支撑梁所在的平面平行，所述基板载具包括沿水平方向相对设置的两个侧壁，每个所述支撑梁上设置有辅助夹持结构，所述辅助夹持结构用于在所述基板传送装置运动过程中夹持在所述基板载具的所述侧壁上。
可选的，所述辅助夹持结构包括设置于所述支撑梁上的驱动连接部，以及与所述驱动连接部连接的连接臂，所述连接臂远离所述驱动连接部一端设置有夹持部，所述驱动连接部用于控制
所述连接臂的延伸方向与所述支撑梁的延伸方向相平行，或者
所述连接臂的延伸方向与所述支撑梁的延伸方向相垂直，以使得所述夹持部能够夹持所述基板载具。
可选的，所述驱动连接部包括与所述支撑梁的延伸方向相平行设置的第一伸缩气缸，以及通过第一旋转轴连接至所述第一伸缩气缸的一端的传动杆，所述传动杆与所述连接臂的一端通过第二旋转轴传动连接；
所述连接臂的延伸方向与所述支撑梁的延伸方向相垂直时，所述传动杆的延伸方向与所述第一伸缩气缸的运动方向相垂直；
所述第一伸缩气缸伸出，在所述传动杆的作用下，所述连接臂的延伸方向改变为与所述支撑梁的延伸方向相平行，所述第一伸缩气缸回缩，在所述传动杆的作用下，所述连接臂的延伸方向改变为与所述支撑梁的延伸方向相垂直。
可选的，所述驱动连接部还包括在垂直于所述支撑梁的延伸方向的方向上、设置于所述传动杆相对的两侧的防护板，所述防护板固定于所述支撑梁上，并向靠近所述基板载具的方向延伸设置，所述第二旋转轴的两端固定于所述防护板远离所述支撑梁的一端。
可选的，所述夹持部包括：
收纳槽，所述收纳槽的底部与所述连接臂连接；
容纳于所述收纳槽内的第二伸缩气缸，所述第二伸缩气缸的一端固定于所述收纳槽的底部，且所述第二伸缩气缸的延伸方向与所述传动杆的延伸方向相同；
相对设置的两个夹持组件，每个所述夹持组件包括至少一个夹持连杆，至少一个所述夹持连杆包括沿其排列方向设置的首端和末端，所述首端与所述第二伸缩气缸连接，所述末端为自由端；
所述第二伸缩气缸伸出，所述末端向远离所述收纳槽的方向移动，且两个所述夹持组件的末端之间的空间随着所述末端的移动而增大；
所述第二伸缩气缸收缩，所述末端向靠近所述收纳槽的方向移动，且两个所述夹持组件的末端之间的空间随着所述末端的移动而减小。
可选的，所述第一伸缩气缸上上设置有用于检测所述第一伸缩气缸的伸缩状态的第一传感器，所述第二伸缩气缸上设置有用于检测所述第二伸缩气缸的伸缩状态的第二传感器。
可选的，所述基板载具具有与所述横梁的延伸方向相平行的中心线，所述辅助夹持结构用于夹持于所述基板载具的第一位置，所述第一位置位于所述中心线远离所述横梁的部分。
可选的，每个所述支撑梁靠近所述基板载具的侧面上设置有容纳槽，所述容纳槽用于容纳所述辅助夹持结构。
可选的，还包括框架，所述框架上设置有导轨，每个所述支撑梁的底部设置有滚轮，所述支撑梁通过所述滚轮在所述导轨上移动，以将所述基板载具在各个工艺槽之间传送。
本实用新型的有益效果是：通过所述辅助夹持结构的设置，降低基板载具的摆动幅度，减少由基板载具摇摆对基板传送装置造成的损害，延长使用寿命。
附图说明
图1表示本实用新型实施例中基板传送装置部分结构示意图一；
图2表示本实用新型实施例中辅助夹持结构示意图；
图3表示本实用新型实施例中驱动连接部示意图；
图4表示本实用新型实施例中夹持部结构示意图；
图5表示本实用新型实施例中基板传送装置部分结构示意图二。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
由于基板载具重量高达300Kg，在2000mm/s的高速运行中，启动、运行、停止必定导致基板载具在空中摇摆，在工艺生产过程中需要被动等待摇摆接近停止(摇摆幅度在2mm以内)后，才可将基板载具放入工艺槽体，严重影响设备产能，同时摆动过程中，玻璃基板受到基板载具的应力，容易发生碎片；且基板载具在摇摆过程中，对基板传送装置行走机构可靠性影响很大，加速行车轨道老化失效；基板载具在摇摆过程中，对基板传送装置载具抓紧机构可靠性影响很大，降低抓紧机构使用寿命。
如图1-5所示，本实施例提供一种基板传送装置，包括水平设置的横梁1，以及纵向设置于所述横梁1的两端的支撑梁2，其特征在于，所述横梁1上悬挂有基板载具3，所述基板载具3位于两个所述支撑梁2之间，且所述基板载具3与两个所述支撑梁2所在的平面平行，所述基板载具3包括沿水平方向相对设置的两个侧壁，每个所述支撑梁2上设置有辅助夹持结构4，所述辅助夹持结构4用于在所述基板传送装置运动过程中夹持在所述基板载具3的所述侧壁上。
通过所述辅助夹持结构4的设置，可将基板载具3摇摆幅度控制在2mm以内，满足正常运行时基板传送装置和基板载具3抓紧机构的容差，最大程度减少由基板摇摆对机构造成的损害，延长使用寿命。能满足基板传送装置在重载情况下，高速平稳运行，有效保证产能和降低碎片率。
参考图1，本实施例中示例性的，所述基板载具3的承载面垂直于水平面设置，所述侧壁沿竖直方向等分为靠近所述横梁1的第一部分和远离所述横梁1的第二部分，所述辅助夹持结构4用于夹持于所述侧壁的所述第二部分，也就是说，所述基板载具3具有与所述横梁1的延伸方向相平行的中心线31，所述辅助夹持结构夹持于所述基板载具3上所述中心线31远离所述横梁1的部分，参考图1。
本实施例中示例性的，所述基板载具3的两侧对称设置有所述辅助夹持结构4，保证所述基板载具3的受力的均匀性。
本实施例中示例性的，所述辅助夹持结构4夹持于所述基板载具3的相应的侧壁、远离所述横梁1的一端，有效的降低所述基板载具3的摆动幅度。
参考图2和图3，本实施例中示例性的，所述辅助夹持结构4包括设置于所述支撑梁2上的驱动连接部，以及与所述驱动连接部连接的连接臂42，所述连接臂42远离所述驱动连接部一端设置有夹持部40，所述驱动连接部用于控制
所述连接臂42的延伸方向与所述支撑梁2的延伸方向相平行，或者
所述连接臂42的延伸方向与所述支撑梁2的延伸方向相垂直，以使得所述夹持部40能够夹持所述基板载具3。
本实施例中，将所述连接臂42的延伸方向与所述支撑梁2的延伸方向相平行的状态定义为第一状态，将所述连接臂42的延伸方向与所述支撑梁2的延伸方向相垂直定义为第二状态，所述驱动连接部用于控制所述连接壁42在所述第一状态和所述第二状态之间转换。
所述驱动连接部可以控制所述连接臂42进行90度旋转运动，在不需要夹持所述基板载具3时，所述驱动连接部控制所述连接壁运动至与所述支撑梁2的延伸方向相平行，即使得所述连接臂42位于所述第一状态，在需要夹持所述基板载具3时，所述驱动连接部控制所述连接壁运动至与所述支撑梁2的延伸方向相垂直，即使得所述连接臂42位于所述第二状态，避免在不需要进行夹持动作时对其他结构产生影响。
本实施例中示例性的，每个所述支撑梁2靠近所述基板载具3的侧面上设置有容纳槽21，所述容纳槽21用于在所述第一状态时容纳所述辅助夹持结构4。
所述容纳槽21的设置，使得在所述基板载具3空载时，即不需要对所述基板载具3进行夹持时，将所述辅助夹持结构4容纳于所述容纳槽21中，避免对其他结构产生干涉。
本实施例中示例性的，所述驱动连接部包括与所述支撑梁2的延伸方向相平行设置的第一伸缩气缸41，以及通过第一旋转轴连接至所述第一伸缩气缸41的一端的传动杆47，所述传动杆47与所述连接臂42的一端通过第二旋转轴传动连接；
在所述第二状态下，所述传动杆47的延伸方向与所述第一伸缩气缸41的运动方向相垂直；
所述第一伸缩气缸41伸出，在所述传动杆47的作用下，所述连接臂42由所述第二状态转换为所述第一状态，所述第一伸缩气缸41回缩，在所述传动杆47的作用下，所述连接臂42由所述第一状态转换为所述第二状态。
本实施例中示例性的，所述驱动连接部还包括在垂直于所述支撑梁2的延伸方向的方向上、设置于所述传动杆47相对的两侧的防护板48，所述防护板48固定于所述支撑梁2上，并向靠近所述基板载具3的方向延伸设置，所述第二旋转轴的两端固定于所述防护板48远离所述支撑梁2的一端。
所述防护板48的设置起到保护所述传动杆47的作用，且所述第二旋转轴的两端位于两个所述防护板48之间，并固定于所述防护板48远离所述支撑梁2的一端，限定了在所述第二状态时，所述连接臂42与所述支撑梁2之间的距离，利于所述连接臂42在第一状态和所述第二状态之间的转换，且避免了所述连接臂42与所述支撑梁2之间产生干涉。
本实施例中示例性的，所述夹持部40包括：
收纳槽43，所述收纳槽43的底部与所述连接臂42连接；
容纳于所述收纳槽43内的第二伸缩气缸49，所述第二伸缩气缸49的一端固定于所述收纳槽43的底部，且所述第二伸缩气缸49的延伸方向与所述传动杆47的延伸方向相同；
相对设置的两个夹持组件，每个所述夹持组件包括至少一个夹持连杆45，至少一个所述夹持连杆45包括沿其排列方向设置的首端和末端，所述首端与所述第二伸缩气缸49连接，所述末端为自由端；
所述第二伸缩气缸49伸出，所述末端向远离所述收纳槽43的方向移动，且两个所述夹持组件的末端之间的空间随着所述末端的移动而增大；
所述第二伸缩气缸49收缩，所述末端向靠近所述收纳槽43的方向移动，且两个所述夹持组件的末端之间的空间随着所述末端的移动而减小。
参考图4，所述第二伸缩气缸49伸出，两个所述夹持组件相背移动，使得两个所述夹持组件的末端之间的空间随着所述末端的移动而增大，所述第二伸缩气缸49收缩，使得两个所述夹持组件相向移动，两个所述夹持组件的末端之间的空间随着所述末端的移动而减小，且至少部分所述夹持组件收纳于所述收纳槽43中，这样可以避免所述连接臂42由所述第一状态转换为所述第二状态时，所述夹持组件与所述基板载具3之间发生碰撞。
本实施例中，两个所述夹持组件是对称设置的，每个所述夹持组件中包含的所述夹持连杆45的数量可根据实际需要设定，本实施例中每个所述夹持组件包括3个所述夹持连杆45，但并不以此为限。
本实施例中示例性的，所述第一伸缩气缸41上设置有用于检测所述第一伸缩气缸41的伸缩状态的第一传感器，所述第二伸缩气缸49上设置有用于检测所述第二伸缩气缸49的伸缩状态的第二传感器。
所述第一传感器的设置，用于检测所述第一伸缩气缸41的伸缩状态，所述第二传感器的设置，用于检测所述第二伸缩气缸49的伸缩状态，确保所述第一伸缩气缸41和所述第二伸缩气缸49中的一个伸缩气缸伸缩到位后，另一个伸缩气缸才可以开始进行下一步动作。具体的，在所述第一伸缩气缸41收缩，所述连接臂42转换为所述第二状态时，所述夹持部40中的所述第二伸缩气缸49伸出，以使得所述夹持组件对所述基板载具3进行夹持。在所述第二伸缩气缸49收缩，使得两个所述夹持组件之间的空间减小(即合拢)，并向靠近所述收纳槽43的方向移动，并使得至少部分所述夹持组件收纳于所述收纳槽43中(在一实施方式中，所述夹持组件可以完全收纳于所述收纳槽43中)，此时，所述第一伸缩气缸41伸出，使得所述连接臂42转换为所述第一状态，所述第一传感器和所述第二传感器限定了所述第一伸缩气缸41和所述第二伸缩气缸49的运动起始时间，避免所述辅助夹持结构4在运动过程中产生干涉。
本实施例中示例性的，所述夹持连杆45的末端设置有滚轮46，通过滚轮46夹持所述基板载具3，避免所述夹持连杆45对所述基板载具3的损伤。
本实施例中示例性的，所述传动杆47、所述第一旋转轴、所述第二旋转轴以及所述夹持连杆45均采用方钢制成，提高了所述辅助支撑结构的连接稳定性。
本实用新型还提供一种基板传送装置，其特征在于，还包括框架10，上述的基板传送装置可移动的设置于所述框架10上。
参考图5，所述支撑梁2的底部设置有滚轮，所述框架10设置有轨道101，所述支撑梁2通过滚轮滑动连接于所述轨道101上，所述支撑梁2通过所述滚轮在所述导轨101上移动，以将所述基板载具3在各个工艺槽之间传送。
以上所述为本实用新型较佳实施例，需要说明的是，对于本领域普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型保护范围。

Claims (9)

1.一种基板传送装置，包括水平设置的横梁，以及纵向设置于所述横梁的两端的支撑梁，其特征在于，所述横梁上悬挂有基板载具，所述基板载具位于两个所述支撑梁之间，且所述基板载具与两个所述支撑梁所在的平面平行，所述基板载具包括沿水平方向相对设置的两个侧壁，每个所述支撑梁上设置有辅助夹持结构，所述辅助夹持结构用于在所述基板传送装置运动过程中夹持在所述基板载具的所述侧壁上。
2.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述辅助夹持结构包括设置于所述支撑梁上的驱动连接部，以及与所述驱动连接部连接的连接臂，所述连接臂远离所述驱动连接部一端设置有夹持部，所述驱动连接部用于控制所述连接臂的延伸方向与所述支撑梁的延伸方向相平行，或者，
所述连接臂的延伸方向与所述支撑梁的延伸方向相垂直，以使得所述夹持部能够夹持所述基板载具。
3.根据权利要求2所述的基板传送装置，其特征在于，所述驱动连接部包括与所述支撑梁的延伸方向相平行设置的第一伸缩气缸，以及通过第一旋转轴连接至所述第一伸缩气缸的一端的传动杆，所述传动杆与所述连接臂的一端通过第二旋转轴传动连接；
所述连接臂的延伸方向与所述支撑梁的延伸方向相垂直时，所述传动杆的延伸方向与所述第一伸缩气缸的运动方向相垂直；
所述第一伸缩气缸伸出，在所述传动杆的作用下，所述连接臂的延伸方向改变为与所述支撑梁的延伸方向相平行，所述第一伸缩气缸回缩，在所述传动杆的作用下，所述连接臂的延伸方向改变为与所述支撑梁的延伸方向相垂直。
4.根据权利要求3所述的基板传送装置，其特征在于，所述驱动连接部还包括在垂直于所述支撑梁的延伸方向的方向上、设置于所述传动杆相对的两侧的防护板，所述防护板固定于所述支撑梁上，并向靠近所述基板载具的方向延伸设置，所述第二旋转轴的两端固定于所述防护板远离所述支撑梁的一端。
5.根据权利要求3所述的基板传送装置，其特征在于，所述夹持部包括：
收纳槽，所述收纳槽的底部与所述连接臂连接；
容纳于所述收纳槽内的第二伸缩气缸，所述第二伸缩气缸的一端固定于所述收纳槽的底部，且所述第二伸缩气缸的延伸方向与所述传动杆的延伸方向相同；
相对设置的两个夹持组件，每个所述夹持组件包括至少一个夹持连杆，至少一个所述夹持连杆包括沿其排列方向设置的首端和末端，所述首端与所述第二伸缩气缸连接，所述末端为自由端；
所述第二伸缩气缸伸出，所述末端向远离所述收纳槽的方向移动，且两个所述夹持组件的末端之间的空间随着所述末端的移动而增大；
所述第二伸缩气缸收缩，所述末端向靠近所述收纳槽的方向移动，且两个所述夹持组件的末端之间的空间随着所述末端的移动而减小。
6.根据权利要求5所述的基板传送装置，其特征在于，所述第一伸缩气缸上设置有用于检测所述第一伸缩气缸的伸缩状态的第一传感器，所述第二伸缩气缸上设置有用于检测所述第二伸缩气缸的伸缩状态的第二传感器。
7.根据权利要求1-6中任一项所述的基板传送装置，其特征在于，所述基板载具具有与所述横梁的延伸方向相平行的中心线，所述辅助夹持结构用于夹持于所述基板载具上所述中心线远离所述横梁的部分。
8.根据权利要求1-6中任一项所述的基板传送装置，其特征在于，每个所述支撑梁靠近所述基板载具的侧面上设置有容纳槽，所述容纳槽用于容纳所述辅助夹持结构。
9.根据权利要求1-6中任一项所述的基板传送装置，其特征在于，还包括框架，所述框架上设置有导轨，每个所述支撑梁的底部设置有滚轮，所述支撑梁通过所述滚轮在所述导轨上移动，以将所述基板载具在各个工艺槽之间传送。
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