CN214142506U - 一种溅射工艺用的掩膜板 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及溅射工艺技术领域，且公开了一种溅射工艺用的掩膜板，包括基板，所述基板的右上端边缘处设置有导向安装条，所述导向安装条的上端设置有电阻层，所述导向安装条的数量设置为两个，两个所述导向安装条之间设置有耐高温掩膜板，本实用新型通过薄膜磁控溅射机溅射基板顶端带有图形的耐高温掩膜板，使溅射出的金属通过耐高温掩膜板的缕空图形沉积在底部的基板上，再将耐高温掩膜板移除，从而达到基板上直接出现电阻图形的效果，在后期进行蚀刻电镀工艺时，则不用为了蚀刻底层电阻膜层而更换蚀刻溶液，从而减少蚀刻工艺，达到简化步骤和提高刻蚀效率的效果，另外可以实现便捷的将耐高温掩膜板进行拆卸和安装，使用方便。
Description
技术领域
本实用新型涉及溅射工艺技术领域，具体为一种溅射工艺用的掩膜板。
背景技术
磁控溅射是物理气相沉积的一种，在半导体整个制作的流程中，其中一部分就是从版图到晶圆制造中间的一个过程，即光掩膜或称光罩制造，这一部分是流程衔接的关键部分，光掩膜主要分两个组成部分，基板和不透光材料，光掩膜基板是制作微细光掩膜图形的理想感光性空白板，通过光刻制版工艺可以获得所需光掩膜版，在进行溅射工艺时，会使用到掩膜板，虽然掩膜板的种类有很多，但是依然无法满足使用者的需求。
现有的掩膜板，在对基板进行蚀刻电镀工艺时，为了蚀刻底层电阻膜层而需要频繁的更换蚀刻溶液，导致蚀刻工艺繁琐且耗时长，另外耐高温掩膜板拆卸和安装困难，使用不便，因此迫切的需要一种溅射工艺用的掩膜板来解决上述不足之处。
实用新型内容
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种溅射工艺用的掩膜板，解决了现有的掩膜板，在对基板进行蚀刻电镀工艺时，为了蚀刻底层电阻膜层而需要频繁的更换蚀刻溶液，导致蚀刻工艺繁琐且耗时长，另外耐高温掩膜板拆卸和安装困难，使用不便的问题。
本实用新型提供如下技术方案：一种溅射工艺用的掩膜板，包括基板，所述基板的右上端边缘处设置有导向安装条，所述导向安装条的上端设置有电阻层，所述导向安装条的数量设置为两个，两个所述导向安装条之间设置有耐高温掩膜板，两个所述导向安装条的一侧均开设有凹槽，所述耐高温掩膜板位于基板和电阻层之间，所述耐高温掩膜板的平面区域内刻有镂空图形结构。
优选的，所述耐高温掩膜板的左右两端均设置有与凹槽相适配的安装条。
优选的，两个所述导向安装条关于基板轴对称设置。
优选的，所述耐高温掩膜板的后端面上设置有拉手。
优选的，所述电阻层的材质为氮化钽。
优选的，所述基板的材质为表面设置有聚酰亚胺的玻璃板。
与现有技术对比，本实用新型具备以下有益效果：
本实用新型通过薄膜磁控溅射机溅射基板顶端带有图形的耐高温掩膜板，使溅射出的金属通过耐高温掩膜板的缕空图形沉积在底部的基板上，再将耐高温掩膜板移除，从而达到基板上直接出现电阻图形的效果，在后期进行蚀刻电镀工艺时，则不用为了蚀刻底层电阻膜层而更换蚀刻溶液，从而减少蚀刻工艺，达到简化步骤和提高刻蚀效率的效果，另外通过设置导向安装条、安装条、凹槽和拉手，利用它们之间的相互配合作用，从而可以实现便捷的将耐高温掩膜板进行拆卸和安装，使用方便。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型的后视结构示意图；
图3为本实用新型耐高温掩膜板与安装条连接关系的结构示意图；
图4为本实用新型导向安装条的横截面结构示意图。
图中：1、基板；2、导向安装条；3、电阻层；4、耐高温掩膜板；5、安装条；6、拉手。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4，一种溅射工艺用的掩膜板，包括基板1，基板1的右上端边缘处设置有导向安装条2，导向安装条2的上端设置有电阻层3，导向安装条2的数量设置为两个，两个导向安装条2之间设置有耐高温掩膜板4，两个导向安装条2的一侧均开设有凹槽，耐高温掩膜板4位于基板1和电阻层3之间，耐高温掩膜板4的平面区域内刻有镂空图形结构，耐高温掩膜板4的左右两端均设置有与凹槽相适配的安装条5，两个导向安装条2关于基板1轴对称设置，耐高温掩膜板4的后端面上设置有拉手6，利用它们之间的相互配合作用，从而可以实现便捷的将耐高温掩膜板4进行拆卸和安装，使用方便，电阻层3的材质为氮化钽，基板1的材质为表面设置有聚酰亚胺的玻璃板。
本实用新型的工作原理及使用流程：首先将薄膜磁控溅射机溅射电阻层3，使溅射的电阻金属粒子通过耐高温掩膜板4上的镂空图形结构沉积到基板1上，此时通过拉手6将耐高温掩膜板4沿着导向安装条2上的凹槽抽离，使得安装条5脱离导向安装条2，安装时，则只需将耐高温掩膜板4两侧的安装条5对准导向安装条2上的凹槽并用力推进，即可完成安装耐高温掩膜板4，使用方便。
所需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种溅射工艺用的掩膜板，包括基板(1)，其特征在于；所述基板(1)的右上端边缘处设置有导向安装条(2)，所述导向安装条(2)的上端设置有电阻层(3)，所述导向安装条(2)的数量设置为两个，两个所述导向安装条(2)之间设置有耐高温掩膜板(4)，两个所述导向安装条(2)的一侧均开设有凹槽，所述耐高温掩膜板(4)位于基板(1)和电阻层(3)之间，所述耐高温掩膜板(4)的平面区域内刻有镂空图形结构。
2.根据权利要求1所述的一种溅射工艺用的掩膜板，其特征在于：所述耐高温掩膜板(4)的左右两端均设置有与凹槽相适配的安装条(5)。
3.根据权利要求1所述的一种溅射工艺用的掩膜板，其特征在于：两个所述导向安装条(2)关于基板(1)轴对称设置。
4.根据权利要求1所述的一种溅射工艺用的掩膜板，其特征在于：所述耐高温掩膜板(4)的后端面上设置有拉手(6)。
5.根据权利要求1所述的一种溅射工艺用的掩膜板，其特征在于：所述电阻层(3)的材质为氮化钽。
6.根据权利要求1所述的一种溅射工艺用的掩膜板，其特征在于：所述基板(1)的材质为表面设置有聚酰亚胺的玻璃板。
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| CN202023302264.2U CN214142506U (zh) | 2020-12-31 | 2020-12-31 | 一种溅射工艺用的掩膜板 |
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| CN214142506U true CN214142506U (zh) | 2021-09-07 |
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Family Applications (1)
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2020
- 2020-12-31 CN CN202023302264.2U patent/CN214142506U/zh not_active Expired - Fee Related
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