CN214000867U - 一种靶材贴合装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种靶材贴合装置，包括第一机架，两个第一机架的顶端固定连接有同一个固定座，所述固定座的顶端开设有滤料槽，所述滤料槽中固定连接有加热板，所述加热板的顶端设置有靶拖，所述靶拖的顶端设置有靶材，所述靶拖和靶材之间涂有易熔金属涂层，所述固定座的顶端固定连接有第二机架。本实用新型通过设置第一气缸、刮架和刮板，当靶材与靶拖之间完全牢固后，启动第一气缸，第一气缸的输出端带动刮架下移，刮架上的多个刮板将靶材和靶拖缝隙处溢出的易熔金属液刮除，刮除后的易熔金属液从滤料孔落到收集盒中进行收集，从而避免人工手动进行刮除，大大提高刮除效率，使用更加安全。

Description

一种靶材贴合装置

技术领域

本实用新型涉及靶材制造技术领域，尤其涉及一种靶材贴合装置。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，换言之，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。

但是，现有的靶材贴合装置，在靶材和靶拖贴合的过程中，易熔金属涂层熔化易导致金属液流出，需要人工手动将靶材和靶拖外壁上金属液刮除，刮除效率低下，而且刮除的金属液会弄脏工作环境，使用不便。

为此，我们提出来一种靶材贴合装置解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中在靶材和靶拖贴合的过程中，易熔金属涂层熔化易导致金属液流出，需要人工手动将靶材和靶拖外壁上金属液刮除，刮除效率低下，而且刮除的金属液会弄脏工作环境，使用不便的问题，而提出的一种靶材贴合装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种靶材贴合装置，包括第一机架，两个第一机架的顶端固定连接有同一个固定座，所述固定座的顶端开设有滤料槽，所述滤料槽中固定连接有加热板，所述加热板的顶端设置有靶拖，所述靶拖的顶端设置有靶材，所述靶拖和靶材之间涂有易熔金属涂层，所述固定座的顶端固定连接有第二机架，两个所述第二机架的顶端固定连接有顶架，所述顶架的底端固定连接有第一气缸和第二气缸，所述第二气缸的输出端固定连接有压板，所述第一气缸的输出端设置有安装块，所述安装块的底端设置有吸盘，多个所述吸盘的底端设置有同一个刮架，所述刮架中开设有通口，所述通口内壁上设置有多个刮板。

可选地，两个所述第一机架相互靠近的一端固定连接有同一个收集盒，所述收集盒的顶端开设有收集槽，所述固定座的底端开设有滤料孔，所述滤料孔和滤料槽相互连通。

可选地，多个所述滤料孔在固定座上呈周向均匀分布，两个所述第二机架相互靠近的一端均固定连接有第三气缸，所述第三气缸的输出端固定连接有定位架，所述定位架呈U形结构。

可选地，所述第二机架呈圆柱形结构，所述顶架呈矩形结构，所述第二气缸位于顶架的顶端中心位置，所述安装块与第一气缸的输出端固定连接。

可选地，所述刮架呈圆环形结构，多个所述吸盘在刮架的顶端呈周向均匀分布，所述吸盘上设置有阀门。

可选地，所述通口呈矩形结构，多个所述刮板在通口内壁上呈周向均匀分布，所述刮架的形状大小与滤料槽相匹配。

与现有技术相比，本实用新型具备以下优点：

1、本实用新型通过设置第一气缸、刮架和刮板，当靶材与靶拖之间完全牢固后，启动第一气缸，第一气缸1的输出端带动刮架下移，刮架上的多个刮板将靶材和靶拖缝隙处溢出的易熔金属液刮除，刮除后的易熔金属液从滤料孔落到收集盒中进行收集，从而避免人工手动进行刮除，大大提高刮除效率，使用更加安全。

2、本实用新型通过设置压板和第二气缸，在对靶材和靶拖进行贴合时，启动第二气缸，第二气缸的输出端带动压板下移，压板采用橡胶材质，压板对靶材的顶端进行挤压，使靶材受到的压力均匀，从而使易熔金属涂层均匀贴合贴附在靶材和靶拖之间，使得靶材和靶拖的契合度更高。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为图1中A部分结构放大示意图；

图3为图1中B部分结构放大示意图。

图中：1第一机架、2第二机架、3固定座、4第一气缸、5第二气缸、6压板、7刮架、8通口、9刮板、10第三气缸、11顶架、12收集盒、13滤料槽、14滤料孔、15收集槽、16加热板、17靶拖、18易熔金属涂层、19靶材、20定位架、21安装块、22阀门、23吸盘。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-3，一种靶材贴合装置，包括第一机架1，两个第一机架1的顶端固定连接有同一个固定座3，两个第一机架1相互靠近的一端固定连接有同一个收集盒12，收集盒12的顶端开设有收集槽15，固定座3的顶端开设有滤料槽13，固定座3的底端开设有滤料孔14，滤料孔14和滤料槽13相互连通，多个滤料孔14在固定座3上呈周向均匀分布，滤料槽13中固定连接有加热板16，此为现有技术，与本实用新型创新点无关，此处不再赘述，加热板16的顶端设置有靶拖17，靶拖17的顶端设置有靶材19，靶拖17和靶材19之间涂有易熔金属涂层18。

固定座3的顶端固定连接有第二机架2，第二机架2呈圆柱形结构，两个第二机架2的顶端固定连接有顶架11，顶架11的底端固定连接有第一气缸4和第二气缸5。

第二气缸5位于顶架11的顶端中心位置，第二气缸5的输出端固定连接有压板6，第一气缸4的输出端设置有安装块21，安装块21与第一气缸4的输出端固定连接。

安装块21的底端设置有吸盘23，多个吸盘23的底端设置有同一个刮架7，刮架7中开设有通口8，通口8呈矩形结构，通口8内壁上设置有多个刮板9，多个刮板9在通口8内壁上呈周向均匀分布。

两个第二机架2相互靠近的一端均固定连接有第三气缸10，第三气缸10的输出端固定连接有定位架20，定位架20呈U形结构，第一气缸4、其二气缸5和第三气缸10均采用型号为SC60-25的标准型气缸。

刮架7呈圆环形结构，刮架7的形状大小与滤料槽13相匹配，多个吸盘23在刮架7的顶端呈周向均匀分布，吸盘23上设置有阀门22。

工作原理如下

使用时，首先将靶拖17放置在加热板16上，然后将易熔金属涂层18涂覆在靶拖上，然后将靶材19与靶拖17对齐并扣合在靶拖17上，然后启动其三气缸10，第三气缸10的输出端伸长，第三气缸10使两个定位架20相互靠近并对靶材19和靶拖17进行定位，然后启动第二气缸5，第二气缸5的输出端使压板6下移并对靶材19进行挤压，使靶材19受到的压力均匀，从而使易熔金属涂层18均匀贴附在靶材19和靶拖17之间。当靶材19和靶拖17完全牢固贴合后，关闭第三气缸10，第三气缸10的输出端收缩，两个定位架20相互远离，由于挤压作用，吸盘23内空气被挤出，吸盘23内形成负压吸力，紧紧吸附在刮架7上，然后启动第一气缸4，使刮架7下移，刮架7带动多个刮板9下移，刮板9将靶材19和靶拖17缝隙处溢出的易熔金属液刮除，刮除后的易熔金属液从滤料孔14落到收集盒15中进行收集，从而避免人工手动进行刮除，大大提高刮除效率，使用更加安全。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种靶材贴合装置，包括第一机架（1），其特征在于，两个第一机架（1）的顶端固定连接有同一个固定座（3），所述固定座（3）的顶端开设有滤料槽（13），所述滤料槽（13）中固定连接有加热板（16），所述加热板（16）的顶端设置有靶拖（17），所述靶拖（17）的顶端设置有靶材（19），所述靶拖（17）和靶材（19）之间涂有易熔金属涂层（18），所述固定座（3）的顶端固定连接有第二机架（2），两个所述第二机架（2）的顶端固定连接有顶架（11），所述顶架（11）的底端固定连接有第一气缸（4）和第二气缸（5），所述第二气缸（5）的输出端固定连接有压板（6），所述第一气缸（4）的输出端设置有安装块（21），所述安装块（21）的底端设置有吸盘（23），多个所述吸盘（23）的底端设置有同一个刮架（7），所述刮架（7）中开设有通口（8），所述通口（8）内壁上设置有多个刮板（9）。

2.根据权利要求1所述的一种靶材贴合装置，其特征在于，两个所述第一机架（1）相互靠近的一端固定连接有同一个收集盒（12），所述收集盒（12）的顶端开设有收集槽（15），所述固定座（3）的底端开设有滤料孔（14），所述滤料孔（14）和滤料槽（13）相互连通。

3.根据权利要求2所述的一种靶材贴合装置，其特征在于，多个所述滤料孔（14）在固定座（3）上呈周向均匀分布，两个所述第二机架（2）相互靠近的一端均固定连接有第三气缸（10），所述第三气缸（10）的输出端固定连接有定位架（20），所述定位架（20）呈U形结构。

4.根据权利要求1所述的一种靶材贴合装置，其特征在于，所述第二机架（2）呈圆柱形结构，所述顶架（11）呈矩形结构，所述第二气缸（5）位于顶架（11）的顶端中心位置，所述安装块（21）与第一气缸（4）的输出端固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种靶材贴合装置，其特征在于，所述刮架（7）呈圆环形结构，多个所述吸盘（23）在刮架（7）的顶端呈周向均匀分布，所述吸盘（23）上设置有阀门（22）。

6.根据权利要求1所述的一种靶材贴合装置，其特征在于，所述通口（8）呈矩形结构，多个所述刮板（9）在通口（8）内壁上呈周向均匀分布，所述刮架（7）的形状大小与滤料槽（13）相匹配。

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