CN213007822U - 一种化学运送装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提出一种化学运送装置，包括：车体、化学容置槽与切换阀组件。化学容置槽设置于所述车体上，用以容置有料品，其顶部设置有至少一填充孔与外围设置有固定架；切换阀组件，设置于化学容置槽外腔侧边，切换阀组件包含阀门开关、连接管与感测器，通过阀门开关用以切换化学容置槽的料品流体输出与输入，且通过感测器测量料品流入与流出量。

Description

一种化学运送装置

技术领域

本实用新型是关于一种化学运送装置，尤指一种用以完成化学品容置槽(Chemical containing tank)的填充与回收抽取作业的化学运送装置。

背景技术

半导体集成电路的制程包括薄膜沈积、扩散、微影蚀刻、离子植入等基本半导体制程；并且，在制作半导体集成电路的过程中，必须使用到大量的化学品来满足制程的需求。特别说明的是，半导体集成电路的制造必须时时刻刻保持生产流程不中断，因此，这些化学品的供应也必须被维持不中断。基于这样的理由，集成电路制造厂在进行厂区规划时，便会特别地规画至少一化学槽厂区，以作为设置各种大型化学品容置槽使用。

目前，化学品供货商是利用大型化学品槽车装载完成制作的各种化学品。可想而知，集成电路制造厂于进行各类化学品的补充的时候，是令化学品槽车直接驶至化学槽厂区，进而直接地将化学品补充至指定的大型化学品容置槽之中，完成化学品的补充作业。然而，半导体制程所使用的化学品通常具有可燃性、毒性、氧化、腐蚀性等高危险性质，一旦在进行化学品补充作业的过程中发生操作人员的作业疏忽或系统故障等情况，则极有可能造成化学品泄漏或相异化学品之间产生化学反应，所引发之后果不仅是庞大的财务损失，更有可能造成作业人员的伤亡与环境污染。

由上述说明可知，槽车作业的操作安全具有极高的危险性，因此，对于集成电路制造厂而言，能安全的进行化学品槽的填充与抽取是非常重要的。有鉴于此，本实用新型的创作人极力加以研究创作，而终于研发完成本实用新型的一种化学运送装置。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种化学运送装置，能安全且有效率的进行化学品槽的填充与抽取。

为了达成上述本实用新型的主要目的，本实用新型的创作人是提供所述化学运送装置的一实施例，其中，包括：车体、化学容置槽与切换阀组件。化学容置槽设置于所述车体上，用以容置有料品，其顶部设置有至少一填充孔与外围设置有固定架；切换阀组件，设置于化学容置槽外腔侧边，切换阀组件包含阀门开关、连接管与感测器，通过阀门开关用以切换化学容置槽的料品流体输出与输入，且通过感测器测量料品流入与流出量。

所述的化学运送装置，其中，所述料品为为一化学流体或一化学废品。

所述的化学运送装置，其中，所述化学流体可为下列任一者：化学液体或化学气体。

所述的化学运送装置，其中，所述切换阀组件包含一出液管与一接液件，所述出液管与所述连接管连接，所述接液件装设于所述出液管与连接管上，用以承装泄漏出的料品。

所述的化学运送装置，其中，所述切换阀组件更连接有一驱动装置。

所述的化学运送装置，其中，所述出液管连接一流体容置槽。

所述的化学运送装置，其中，所述出液管连接一阀门保护装置。

所述的化学运送装置，其中，所述化学容置槽、所述切换阀组件、所述流体容置槽上分别设置有一料品信息标签、一槽阀信息标签与一容置槽信息标签。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是显示本实用新型的一种化学运送装置的示意图；

图2是显示本实用新型的一种切换阀组件的元件分解图；

图3是显示本实用新型的一种化学运送装置的第一实施例的架构图；

图4是显示可携式电子装置的立体图；

图5是显示本实用新型一种化学运送装置的第二实施例的架构图；

图6是显示本实用新型一种化学运送装置的第三实施例的架构图；

图7是显示本实用新型的一种切换阀组件的元件另一分解图。

图例说明：

1 化学运送装置

2 操作人员身分卡

4 槽区管制门

5 可携式电子装置

6 流体容置槽

7 控制装置

8 运送人员身分卡

9 切换阀组件

10 电子权杖单元

11 车体

12 化学容置槽

21 第一身分信息标签

41 槽区信息标签

51 读取器

52 控制开关

61 容置槽信息标签

81 第二身分信息标签

91 槽阀信息标签

92 阀门开关

93 连接管

94 出液管

95 接液件

121 料品信息标签

122 填充孔

123 固定架

CSRC 数据采集设备

CSRC1 显示屏幕

R 收发装置

R1 收发天线

具体实施方式

为了能够更清楚地描述本实用新型所提出的一种化学运送装置1，以下将配合附图，详尽说明本实用新型的较佳实施例。

请参阅图1配合参阅图2，是分别显示本实用新型的一种化学运送装置1的示意图与切换阀组件9的元件分解图。本实用新型的化学运送装置1主要是包括:一车体11、一化学容置槽12、一切换阀组件9。化学容置槽12，设置于所述车体11上，用以容置有一料品，其顶部设置有一填充孔122与外围设置有一固定架123。所述填充孔122可设置一个或一个以上，在此，不限制其数量，通过所述填充孔122用以填充/替换料品于所述化学容置槽12内，其中，所述料品较佳为一化学流体或一化学废品，而所述化学流体可以为化学液体或化学气体等任一者。更进一步说明，半导体集成电路的制程会使用许多化学品，其通常为化学流体，包括：化学液体(或纯液)与化学气体。常见的化学品整理如下表(1)所示。

表(1)

特别说明的是，所述“化学品填充”是指，令化学品槽车(亦即本创作的化学运送装置 1)驶至指定的化学槽厂区，并将化学品补充至指定的大型化学品容置槽之中。所述“化学品抽取(回收)”是指，令化学品槽车(亦即本创作的化学运送装置1)驶至指定的化学槽厂区，并将化学品废液或化学气体自指定的大型化学废品容置槽抽取而出(回收)。

请参阅图1配合参阅图2，如图1与图2所示，本创作的化学运送装置1还包括一个切换阀组件9，其设置于所述化学容置槽12外腔侧边，所述切换阀组件9包含一个阀门开关92、一个连接管93与一个感测器(未图示)，通过所述阀门开关92用以切换所述化学容置槽12的料品流体输出与输入，所述感测器一端与所述连接管93连接，另一端与一个出液管94连接，且通过所述感测器测量所述料品流入与流出量，其中，所述感测器是指流量计，如：差压式流量计、超音波流量计、变面积式流量计、蹼轮式流量计、容积式流量计、涡流式流量计、涡轮式流量计等任一者，在此，并不以此为限，且各流量计的测量流体流量与流速的原理为本领域普通技术人员所悉知，在此不加以赘述。且为避免在进行化学品填充或化学品抽取(回收)作业时，因连接管93和出液管94长其使用，连接处松落，而导致料品泄漏出的情况发生，本创作的化学运送装置1还包括一个接液件95，所述出液管94与所述连接管93连接，所述接液件95装设于所述出液管94与连接管93上，用以承装泄漏出的料品。

本创作将就下面的实施例来做进一步说明本创作的化学运送装置1进行化学品填充作业与化学品抽取(回收)作业时的作业流程，但应了解的是，所述多个实施例仅是供例示说明用，而不应被解释为本创作的实施上的限制。

第一实施例

请参阅图3，是显示本实用新型的一种化学运送装置1的第一实施例的架构图。如图3 所示，本实用新型的化学运送装置1于架构组成上主要包括：至少一第一身分信息标签21、至少一第二身分信息标签81、至少一料品信息标签121、至少一槽区信息标签41、至少一容置槽信息标签61、至少一可携式电子装置5、与一数据采集设备CSRC。根据本实用新型的设计，所述第一身分信息标签21是设置于一操作人员身分卡2之上，且所述第二身分信息标签 81是设置于化学运送装置1的至少一运送人员身分卡8之上，例如:化学运送装置的司机。补充说明的是，第一身分信息标签21用以携载持有所述操作人员身分卡2的一操作人员的基本资料，包括：姓名、工号、所属单元、职级、与是否完成化学品的补充(填充)作业与废液抽取(回收)作业的资格考(Qualify)。当然，完成资格考的操作人员才会被允许进行相关行操作。

另一方面，所述料品信息标签121被设置于化学品槽车(即，本创作的化学运送装置1) 之上，用以携载所述化学运送装置1所运送的一料品的多个基础信息，包括：品名(或料号)、批号、运送工具编号(即，化学运送装置1的编号)、有效日期、与序号。举例而言，所述品名可用以显示所述料品为化学液体或化学气体。另一方面，由上表(1)可知集成电路制造厂(IC foundry)使用的化学液体与化学气体的种类繁多，因此，本实用新型特别地以至少一槽区信息标签41设置于至少一槽区管制门4之上。可想而知，所述槽区管制门4后方规划有至少一流体容置槽区，且所述流体容置槽区之中通常是依照化学品的种类所其应用制程而设置有不同的流体容置槽6。于本实用新型之中，又将至少一容置槽信息标签61设置于至少一流体容置槽6之上。

请同时参阅图2。特别的，当要进行化学品填充作业时，本创作的化学运送装置1驶至指定的化学槽厂区，操作者并将出液管94一端连接一流体容置槽6，用以补充料品，同样的，当要进行化学品抽取(回收)作业时，本创作的化学运送装置1驶至指定的化学槽厂区，操作者将出液管94一端连接一流体容置槽6，用以回收化学废液。其中，所述流体容置槽区之中通常是依照化学品的种类所其应用制程而设置有不同的流体容置槽6，在此，并不限制所述流体化学槽的态样。再者，为提高化学填充作业与化学品抽取(回收)作业，所述切换阀组件 9更连接有一驱动装置(未图示)，所述驱动装置是指一驱动马达，如：线性马达、无刷马达或其他类似的装置，并与一电源连通(未图示)。通过所述驱动装置驱动，产生一负压，促使料品自所述化学容置槽12、所述连接管93、所述出液管94流至所述流体容置槽6内，进行化学品填充作业，且通过所述驱动装置驱动，产生一正压，促使料品自所述流体容置槽6、所述出液管94、所述连接管93流至所述化学容置槽12内，进行化学品抽取(回收)作业。

由上述说明可知，单位“至少一”是用以表示所述五种信息标签(21,81,121,41,61) 的数量为一个或多个。换句话说，这五种信息标签(21,81,121,41,61)的数量的确实数量是决定于所述操作人员身分卡2、所述运送人员身分卡8、所述化学运送装置1(即，化学品槽车)、所述槽区管制门4、与所述流体容置槽6的数量。另一方面，所述操作人员还可手持一可携式电子装置5，所述可携式电子装置5上是具有一读取器51及一控制开关52。通过所述读取器51，所述可携式电子装置5可通过读取所述料品信息标签121的方式确认是否化学运送装置1所容置的所述料品需要被执行一填充作业，以将所述料品自所述化学容置槽12填充至的所述流体容置槽区与的所述流体容置槽6。此外，通过所述读取器51，所述可携式电子装置5可通过读取所述槽区信息标签41与所述容置槽信息标签61的方式确认是否所述流体容置槽6所容置的所述料品需要执行一抽取作业。当然，在执行化学品的填充作业或抽取(回收)作业之前，必须先以可携式电子装置5可通过读取所述第一身分信息标签21的方式，加以确认持有所述操作人员身分卡2的操作人员是否具有执行所述填充作业与所述抽取作业的权限。

并且，如图3所示，可携式电子装置5是通过一收发装置R而与一数据采集设备CSRC相互沟通，所述收发装置R设置有至少一收发天线R1，其数量上，所述收发天线R1可为一根天线、多根天线、水平方向排布的线性阵列或长方形面阵列组成(未图示)，在此，并不以为限。收发装置R与可携式电子装置5间的通讯协议可以是无线通信网络，包含WIFI、3G、 4G、蓝芽、Zigbee等，收发装置R与数据采集设备CSRC间的通讯协议可以是无线通信网络或有线通讯网络，其特征在于无线通信网络包含WIFI、3G、4G、蓝芽、Zigbee等。且所述数据采集设备CSRC则通过一控制装置7控制化学运送装置1与厂内操作人员进出所述槽区管制门4，从而防止厂务人员、操作人员、或化学品槽车的司机(亦即，化学品运送人员)恣意地开启槽区管制门4，其特征在于，控制装置7包含可编过程控制装置(Programmable logiccontroller,PLC)或直接数字控制器(Direct Digital Controller,DDC)或对象链接与嵌入装置(Object Linking and Embedding,OLE)或用于流程控制的OLE装置(OLE forProcess Control,OPC)其中之一。可想而知，在操作人员通过可携式电子装置5完成所述槽区信息标签41与所述料品信息标签121的读取之后，便可自所述数据采集设备CSRC的显示屏幕CSRC1 得知所述本创作的化学运送装置1所运送的料品与设置在所述槽区管制门4后方的流体容置槽6所容置的化学品是否皆属相同的化学流体或化学气体。可以推知的，在完成上述确认之后，化学品的运送人员与集成电路制造厂的操作人员才会被允许开始进行下一步的化学品填充作业的后续程序。这样的确认方式是为了防止运送人员与操作人员将槽车所运送化学品误填充至错误的流体容置槽6之中。

值得特别说明的是，虽然图3是显示所述第一身分信息标签21、所述第二身分信息标签 81、所述料品信息标签121、所述槽区信息标签41、与所述容置槽信息标签61皆为一维条形码(1D barcode)，然而不应以此限制所述信息标签(21,81,121,41,61)的实施态样。于实际应用本实用新型的时候，所述第一身分信息标签21、所述第二身分信息标签81、所述料品信息标签121、所述槽区信息标签41、与所述容置槽信息标签61可为下列任一者：图形、文字、字母、数字、一维条形码(1D barcode)、二维条形码(2D barcode)、汉信码 (Chinese-sensible code)、QR码、矩阵条形码(Maxicode)、RFID卷标、NFC卷标、上述任两者的组合、或上述任两者以上的组合。以一维条形码(1D barcode)为例，所述料品信息标签121可利用Code 39条形码产生器制作，并使其携载所述化学容置槽12所盛装的所述料品的品名(料号)、批号、有效日期、与序号。值得特别说明的是，为了利于可携式电子装置5 对于品名(料号)、批号、运送工具编号、有效日期、与序号的清楚读取，制作料品信息标签 121的一维条形码的时候，必须于相邻两个基础信息之间插入有一信息分隔符(Central seperatingcharacter)，例如:％、$、/、～、！、@、#、^、&、*、(、)、-、_、|、{、}、？、 <、>、\、[、]或+。

可想而知，对应于不同实施态样的信息标签(21,81,121,41,61)，可携式电子装置5 的读取器51可为下列任一者：RFID卷标读取器、NFC卷标读取器、影像辨识器、一维条形码读取器、二维条形码读取器、汉信码读取器、QR码读取器、矩阵条形码读取器、或影像撷取器。若可携式电子装置5为智能型手机、个人数字助理、笔记本电脑、平板计算机、智能眼镜、或智慧手表，则可直接以可携式电子装置5内建的影像撷取器作为所述读取器51，而所述读取器51电性连接所述控制开关52；如此，通过操作所述控制开关52便能够通过配合使用所述读取器51撷取所述第一身分信息标签21、所述第二身分信息标签81、所述料品信息标签121、所述槽区信息标签41、与/或所述容置槽信息标签61的读取。然而，有鉴于大部分的集成电路制造厂皆禁止于厂内使用任何类型的智能型电子装置，搭载有条形码扫描仪 (即，读取器51)的个人数字助理(Digital personal assistant,PDA)便成为所述可携式电子装置5的最佳实施态样。

继续地参阅图3，并请同时参阅图4，是显示可携式电子装置的立体图。值得注意的是，虽然厂内操作人员能通过所述可携式电子装置5读取第一身分信息标签21的方式确认持有所述操作人员身分卡2的操作人员是否具有进行化学品的填充作业与抽取作业的操作权限，但是考虑到低职级的操作人员有可能借用高职级的厂长或工程师的操作人员身分卡2而妄加恣意地进行相关操作，本实用新型又于化学运送装置1之中增设所谓的电子权杖单元 10(Electronic token unit)。如图4所示，所述电子权杖单元10之中是储存有一次性认证码(One-time password,OTP)。特别地，厂内操作人员于所述可携式电子装置5完成所述第一身分信息标签21的读取之后，数据采集设备CSRC可通过可携式电子装置5要求操作人员提供与电子权杖单元10；之后，可携式电子装置5可通过存取所述一次性认证码的方式，重复确认持有所述操作人员身分卡2的所述操作人员是否具有进行化学品的填充作业与抽取作业的操作权限，避免高职级的厂长或工程师的操作人员身分卡2被拿来妄加恣意地进行相关操作。本实用新型并不限制电子权杖单元10的实施态样，如图4所示，电子权杖单元10可以是：蓝牙电子装置、USB电子装置、NFC卷标、或RFID卷标。并且，在可携式电子装置5自所述电子权杖单元10之中完成所述一次性认证码的存取之后，可携式电子装置5内部的一权杖码产生单元(未图标)会重新生成一组一次性认证码，并写入所述电子权杖单元10之中，通过此方式提高槽区管制门4与流体容置槽6的操作权限。

第二实施例

显然地，上述说明是描述了如何使用本实用新型的化学运送装置1完成化学液体的填充作业与抽取(回收)作业。继续地，下文将继续描述如何使用本实用新型的化学运送装置1完成化学气体的填充作业，此处进行流体填充作业的料品为化学气体。请参阅图2并同时参阅图5，是分别显示本实用新型的一种切换阀组件9的元件分解图与化学运送装置1的第二实施例的架构图。所述出液管94连接一阀门保护装置AD，所述阀门保护装置AD被业界称为Auto guard，用以防止气体阀门任意被打开。主要原因在于，半导体制程所使用的化学气体，例如: NH₃或SiH₄皆为有毒气体，若泄漏将会造成半导体厂严重的损失，因此，执行化学气体的填充作业或抽取作业，操作人员都必须通过数据采集设备CSRC解除阀门保护装置AD之后，始得以开始进行。将料品(化学气)体灌充至流体容置槽6以前，如图5所示，另一操作人员必须先以可携式电子装置5读取操作人员所述第一身分信息标签21、所述第二身分信息标签81、所述料品信息标签121、与所述槽区信息标签41，以确知操作人员条形码、驾驶条形码、槽车条形码及料品条形码、与槽区条形码。并通过数据采集设备CSRC的显示屏幕CSRC1确认执行化学填充作业的操作人员与运送人员的资本资料无误之后，便会打开所述槽区管制门4，令操作人员与运送人员可以着手将化学运送装置1驶至指定的化学槽厂区。同时，操作人员通过数据采集设备CSRC解除一阀门保护装置AD(Auto guard)之后，操作人员与运送人员便可以开始将化学气体灌充至指定的流体容置槽6之中，完成化学品的填充作业。之后，操作人员在于所述可携式电子装置5通过所述控制开关52选择一填充作业结束的选项后，操作人员重复以可携式电子装置5读取所述第一身分信息标签21、所述第二身分信息标签81、所述料品信息标签121、与所述槽区信息标签41。如此，操作人员能通过数据采集设备CSRC的显示屏幕CSRC1便可得知所述化学品填充作业已经完成，进而关闭所述阀门保护装置AD(Auto guard)与槽区管制门4的门锁。

第三实施例

显然地，上述说明是描述了如何使用本实用新型的化学运送装置1完成化学气体的填充作业。继续地，下文将继续描述如何使用本实用新型的化学运送装置1完成化学气体的抽取 (回收)作业。请参阅图6并同时参阅图7，是分别显示本实用新型的一种化学运送装置1的第三实施例的架构图以及切换阀组件9的元件另一分解图。特别说明的是，于第三实施例之中，至少一槽阀信息标签91同时被设置于至少一切换阀组件9之上。同时，所述数据采集设备CSRC除了通过控制装置7监视与控制所述槽区管制门4的门禁管理之外，还同时通过所述控制装置7启用或解除一阀门保护装置AD的启用与解除。

将化学运送装置1移动至指定的大型化学品容置槽以前，操作人员必须先以可携式电子装置5读取所述第一身分信息标签21、所述第二身分信息标签81、所述料品信息标签121、槽阀信息标签91、与所述槽区信息标签41，以确知操作人员条形码、驾驶条形码、槽车条形码及料品条形码、与槽区条形码。厂内人员通过数据采集设备CSRC确认执行化学品抽取作业的操作人员与运送人员的资本资料无误之后，便会打开所述槽区管制门4，令操作人员与运送人员可以着手将化学气体槽车驶至指定的化学槽厂区。进一步地，厂内人员通过所述数据采集设备CSRC解除所述阀门保护装置AD(Auto guard)之后，操作人员与运送人员便可以开始将流体容置槽6内的化学气体抽出，进而灌充至化学运送装置1之中。完成化学品的抽取(回收)作业之后，操作人员需重复以可携式电子装置5读取所述第一身分信息标签21、所述第二身分信息标签81、所述料品信息标签121、与所述槽区信息标签41。如此，厂内人员能从后端的数据采集设备CSRC的显示屏幕CSRC1便可得知所述化学品填充作业已经完成，进而启用所述阀门保护装置AD(Auto guard)与槽区管制门4的门锁。

必须加以强调的是，上述的详细说明是针对本实用新型可行实施例的具体说明，但是所述实施例并非用以限制本实用新型的专利范围，凡未脱离本实用新型技艺精神所为的等效实施或变更，均应包含于本案的专利范围中。

Claims (8)

1.一种化学运送装置，其特征在于，包括：

一车体；

一化学容置槽，设置于所述车体上，用以容置有一料品，其顶部设置有至少一填充孔、外围设置有一固定架；以及

一切换阀组件，设置于所述化学容置槽外腔侧边，所述切换阀组件包含一阀门开关、一连接管与一感测器，通过所述阀门开关用以切换所述化学容置槽的料品流体输出与输入，且通过所述感测器测量所述料品流入与流出量。

2.根据权利要求1所述的化学运送装置，其特征在于，所述料品为为一化学流体或一化学废品。

3.根据权利要求2所述的化学运送装置，其特征在于，所述化学流体可为下列任一者：化学液体或化学气体。

4.根据权利要求1所述的化学运送装置，其特征在于，所述切换阀组件包含一出液管与一接液件，所述出液管与所述连接管连接，所述接液件装设于所述出液管与连接管上，用以承装泄漏出的料品。

5.根据权利要求1所述的化学运送装置，其特征在于，所述切换阀组件更连接有一驱动装置。

6.根据权利要求4所述的化学运送装置，其特征在于，所述出液管连接一流体容置槽。

7.根据权利要求4所述的化学运送装置，其特征在于，所述出液管连接一阀门保护装置。

8.根据权利要求1所述的化学运送装置，其特征在于，所述化学容置槽、所述切换阀组件、所述流体容置槽上分别设置有一料品信息标签、一槽阀信息标签与一容置槽信息标签。

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