CN211394678U - 晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置 - Google Patents
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Abstract
一种晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，包括电镀用槽体单元以及药液循环加热单元，所述电镀用槽体单元内设有超声波转换单元以供对所述电镀用槽体单元产生超声波震动，所述药液循环加热单元连通于所述电镀用槽体单元以循环加热电镀或清洗所需的药液，所述超声波转换单元均匀布设于所述电镀用槽体单元的底部或四周，所述电镀用槽体单元包括电镀槽或清洗槽，所述超声波转换单元包括超声波发生器以及电声换能器，多个所述电声换能器均匀布设于所述电镀槽或所述清洗槽的底部，所述超声波发生器并联或串联于多个所述电声换能器。本实用新型所提供的晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，其结构简明，方便使用，能充分使得药液均匀且保证较高的药液质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置。
背景技术
超声波是一种频率高于20000赫兹的声波，它的方向性好，穿透能力强，易于获得较集中的声能，在水中传播距离远，可用于测距、测速、清洗、焊接、碎石、杀菌消毒等，被广泛应用于医学、军事以及工农业上。
电镀是指在含有欲镀金属的盐类溶液中，以被镀基体金属为阴极，通过电解作用，使镀液中欲镀金属的阳离子在基体金属表面沉积出来，形成镀层的一种表面加工方法，现有的电镀装置在工件表面积较大时，会使工件表面中间部位镀层较薄而边缘镀层较厚，影响电镀的效果。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置。
为实现以上目的，通过以下技术方案实现：
一种晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，包括电镀用槽体单元以及药液循环加热单元，所述电镀用槽体单元内设有超声波转换单元以供对所述电镀用槽体单元产生超声波震动，所述药液循环加热单元连通于所述电镀用槽体单元以循环加热电镀或清洗所需的药液。
优选地，所述超声波转换单元均匀布设于所述电镀用槽体单元的底部或四周。
优选地，所述电镀用槽体单元包括电镀槽或清洗槽，所述超声波转换单元包括超声波发生器以及电声换能器，多个所述电声换能器均匀布设于所述电镀槽或所述清洗槽的底部，所述超声波发生器并联或串联于多个所述电声换能器。
优选地，所述电镀槽或所述清洗槽的底面之下设有超声波放置槽，所述超声波放置槽包围于所述超声波发生器以及多个所述电声换能器外。
优选地，所述电镀用槽体单元包括电镀槽或清洗槽，所述电镀槽上分别设有进液口以及出液口，所述药液循环加热单元分别连通于所述进液口以及所述出液口，所述药液循环加热单元包括药液加热泵以及药液过滤器。
优选地，所述药液循环加热单元设有进液管以及出液管，所述进液管连通于所述进液口，所述出液管连通于所述出液口，所述出液管连通于所述药液加热泵，所述药液加热泵通过连接管连通于所述药液过滤器，所述进液管与所述药液过滤器连通。
优选地，所述药液加热泵包括间隔设置的第一加热泵以及第二加热泵。
优选地，所述电镀槽的顶部敞开且设有槽盖，所述槽盖围设于所述电镀槽的顶部四周，所述槽盖上设有可开启的窗口。
优选地，所述电镀槽的外壁上凸设有出液槽，所述出液口开设于所述出液槽上进而与所述出液管连通，所述出液槽设于所述槽盖下且与所述电镀槽敞开的顶部连通。
优选地，所述槽盖与所述电镀槽的顶部上下贯通，所述槽盖的底面四周设有底外缘，所述电镀槽的顶部穿出所述底外缘，所述底外缘上设有多个导孔进而与所述出液槽导通。
优选地，所述槽盖的顶面敞开且设有可打开的盖板。
优选地，至少两个所述盖板通过铰链结构或连杆结构可对扇开启地安装于槽盖的顶面。
优选地，所述铰链结构连接安装有机械手，通过所述机械手转动所述铰链结构进而控制所述盖板的启闭。
优选地，所述电镀槽外设有保护外壳，所述出液槽穿过所述保护外壳并固接于所述电镀槽的侧壁，所述槽盖封闭盖设于所述保护外壳的顶端。
本实用新型晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置的有益效果包括：
1)通过超声波转换单元对所述电镀用槽体单元产生超声波震动，使电镀槽内部的电镀液更加均匀，避免件表面中间部位镀层较薄而边缘镀层较厚，保证电镀效果；通过药液循环加热单元循环加热电镀槽内的药液，使得电镀液质量始终保持优良。
2)超声波转换单元均匀布设于电镀槽底部，从而对电镀槽形成从下而上的超声波震动效果，可显著增加电镀液的上下流动。
3)在槽盖上加设可通过铰链结构打开的盖板，并通过机械手控制实现自动启闭。
4)在电镀槽的侧壁上加设有出液槽，电镀槽内的药液可由顶部溢出，经由槽盖进入出液槽，再通过出液槽从电镀槽内流出，形成一个溢流的过程。
附图说明
图1为本实用新型晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置的整体结构示意图。
图2为对应图1中电镀槽下安装超声波转换单元的结构示意图。
图3为对应图2的俯视结构示意图。
图4为对应图3中A-A截面的剖视结构示意图。
图5为本实用新型晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置中外壳体及壳盖的局部结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型进行详细的描述：
如图1和图2所示，一种晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，包括电镀用槽体单元1以及药液循环加热单元2，所述电镀用槽体单元1内设有超声波转换单元3以供对所述电镀用槽体单元1产生超声波震动，所述药液循环加热单元2连通于所述电镀用槽体单元1以循环加热电镀或清洗所需的药液。
如图2至图4所示，所述超声波转换单元3均匀布设于所述电镀用槽体单元1的底部或四周。具体地，所述电镀用槽体单元1包括电镀槽10或清洗槽，所述超声波转换单元3包括超声波发生器以及电声换能器30，多个所述电声换能器30均匀布设于所述电镀槽10或所述清洗槽的底部，所述超声波发生器并联或串联于多个所述电声换能器30。
进一步地，所述电镀槽10或所述清洗槽的底面之下设有超声波放置槽12，所述超声波放置槽12包围于所述超声波发生器以及多个所述电声换能器30外，以形成保护。如图4所示，超声波放置槽12可以是网漏状槽。
另一方面，如图1至图4所示，所述电镀用槽体单元1包括电镀槽10或清洗槽，所述电镀槽10上分别设有进液口12以及出液口14，所述药液循环加热单元2分别连通于所述进液口12以及所述出液口14，所述药液循环加热单元2包括药液加热泵20以及药液过滤器22。
具体地，所述药液循环加热单元2设有进液管24以及出液管26，所述进液管24连通于所述进液口12，所述出液管26连通于所述出液口14，所述出液管26连通于所述药液加热泵20，所述药液加热泵20通过连接管28连通于所述药液过滤器22，所述进液管24与所述药液过滤器22连通。
进一步地，所述药液加热泵20包括间隔且相互流通的设置的第一加热泵201以及第二加热泵202，以此增加药液加热效果。
如图1至图5所示，所述电镀槽10的顶部敞开且设有槽盖16，所述槽盖16围设于所述电镀槽10的顶部四周，所述槽盖16上设有可开启的窗口。其中，所述槽盖16的顶面敞开且设有可打开的盖板18。较为优选地，至少两个所述盖板18通过铰链结构4或连杆结构可对扇开启地安装于槽盖16的顶面。如图1，所述铰链结构4连接安装有机械手5，通过所述机械手5转动所述铰链结构4进而控制所述盖板18的启闭。
如图5所示，所述电镀槽10的外壁上凸设有出液槽19，所述出液口14开设于所述出液槽19上进而与所述出液管26连通，所述出液槽19设于所述槽盖16下且与所述电镀槽10敞开的顶部连通。所述槽盖16与所述电镀槽10的顶部上下贯通，所述槽盖16的底面四周设有底外缘17，所述电镀槽10的顶部穿出所述底外缘17，所述底外缘17上设有多个导孔15进而与所述出液槽19导通。
如图1、图2以及图5所示，所述电镀槽10外设有保护外壳13，所述出液槽19穿过所述保护外壳13并固接于所述电镀槽10的侧壁，所述槽盖16通过底外缘17封闭盖设于所述保护外壳13的顶端。这样，药液不会从保护外壳13的顶部流出。
在具有上述结构特征后，本实用新型可按以下过程实施：
当电镀用药液或清洗用的药液装满电镀槽10或清洗槽后，可进行产品的电镀或清洗，特别是在电镀的过程中，电镀槽10底部的超声波转换单元3对所述电镀用槽体单元1产生超声波震动，使电镀槽10内部的电镀液更加均匀，避免件表面中间部位镀层较薄而边缘镀层较厚，保证电镀效果；在持续进行电镀同时，药液可循环流经药液循环加热单元2，进而通过药液循环加热单元2循环加热电镀槽10内的药液，使得电镀液质量始终保持优良。
本实用新型所提供的晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，其结构简明，方便使用，能充分使得药液均匀且保证较高的药液质量。
本实用新型中的实施例仅用于对本实用新型进行说明，并不构成对权利要求范围的限制，本领域内技术人员可以想到的其他实质上等同的替代，均在本实用新型的保护范围内。
Claims (14)
1.一种晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，其特征在于，包括电镀用槽体单元以及药液循环加热单元，所述电镀用槽体单元内设有超声波转换单元以供对所述电镀用槽体单元产生超声波震动，所述药液循环加热单元连通于所述电镀用槽体单元以循环加热电镀或清洗所需的药液。
2.根据权利要求1所述的晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，其特征在于，所述超声波转换单元均匀布设于所述电镀用槽体单元的底部或四周。
3.根据权利要求2所述的晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，其特征在于，所述电镀用槽体单元包括电镀槽或清洗槽，所述超声波转换单元包括超声波发生器以及电声换能器，多个所述电声换能器均匀布设于所述电镀槽或所述清洗槽的底部，所述超声波发生器并联或串联于多个所述电声换能器。
4.根据权利要求3所述的晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，其特征在于，所述电镀槽或所述清洗槽的底面之下设有超声波放置槽，所述超声波放置槽包围于所述超声波发生器以及多个所述电声换能器外。
5.根据权利要求1所述的晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，其特征在于，所述电镀用槽体单元包括电镀槽或清洗槽，所述电镀槽上分别设有进液口以及出液口，所述药液循环加热单元分别连通于所述进液口以及所述出液口，所述药液循环加热单元包括药液加热泵以及药液过滤器。
6.根据权利要求5所述的晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，其特征在于，所述药液循环加热单元设有进液管以及出液管，所述进液管连通于所述进液口，所述出液管连通于所述出液口，所述出液管连通于所述药液加热泵，所述药液加热泵通过连接管连通于所述药液过滤器，所述进液管与所述药液过滤器连通。
7.根据权利要求6所述的晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，其特征在于，所述药液加热泵包括间隔设置的第一加热泵以及第二加热泵。
8.根据权利要求6所述的晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，其特征在于，所述电镀槽的顶部敞开且设有槽盖，所述槽盖围设于所述电镀槽的顶部四周，所述槽盖上设有可开启的窗口。
9.根据权利要求8所述的晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，其特征在于，所述电镀槽的外壁上凸设有出液槽，所述出液口开设于所述出液槽上进而与所述出液管连通，所述出液槽设于所述槽盖下且与所述电镀槽敞开的顶部连通。
10.根据权利要求9所述的晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，其特征在于，所述槽盖与所述电镀槽的顶部上下贯通，所述槽盖的底面四周设有底外缘，所述电镀槽的顶部穿出所述底外缘，所述底外缘上设有多个导孔进而与所述出液槽导通。
11.根据权利要求8所述的晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，其特征在于，所述槽盖的顶面敞开且设有可打开的盖板。
12.根据权利要求11所述的晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，其特征在于，至少两个所述盖板通过铰链结构或连杆结构可对扇开启地安装于所述槽盖的顶面。
13.根据权利要求12所述的晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，其特征在于，所述铰链结构连接安装有机械手，通过所述机械手转动所述铰链结构进而控制所述盖板的启闭。
14.根据权利要求9所述的晶圆湿制程设备用超声波电镀槽装置，其特征在于，所述电镀槽外设有保护外壳，所述出液槽穿过所述保护外壳并固接于所述电镀槽的侧壁，所述槽盖封闭盖设于所述保护外壳的顶端。
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