CN211337942U - 一种传送装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种传送装置，包括：柜体；用于承载框架盒并检测其位置和规格信息的框架盒承载组件，框架盒承载组件包括用于检测框架盒的规格及位置信息的第一检测组件；用于获取框架盒内的胶膜框架并传送至目标位置的至少一个传输组件；用于获取框架盒承载组件的检测信息并控制传输组件动作的控制组件，且控制组件可以根据第一检测组件的检测结果选择对应的传输组件。本实用新型所提供的传送装置，通过框架盒承载组件对框架盒的规格进行检测，并根据框架盒的规格选择对应的传输组件，可同时兼容多种规格的胶膜框架的传输，有效提高适用性。

Description

一种传送装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆传送设备领域，特别是涉及一种传送装置。

背景技术

随着新型的封装技术不断涌现，一些高性能电子产品芯片的立体封装所需要的芯片厚度越来越薄，利用胶膜贴到框架上所具有的张力来给超薄晶圆提供支撑，可使晶圆保持平整，避免发生翘曲下垂等问题，从而解决超薄晶圆的传输问题。另外，晶圆的切割、划片、研磨都需要胶膜框架来提供必要的承载，以完成加工和检测任务。对不同尺寸的晶圆及胶膜框架进行检测或加工时，需采用尺寸匹配的传送装置对晶圆及胶膜框架进行上片。且现有技术中，一般采用手动方式，操作者将晶圆及胶膜框架放置于承载台上，然后进行检测或加工，不能实现自动上片，手动上片的效率低，精度差。

因此，如何实现不同尺寸的晶圆胶膜框架的自动传送，是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种传送装置，该传送装置能够实现不同尺寸的晶圆胶膜框架的自动化传片，具有高效率和高精度。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种传送装置，包括：

用于承载框架盒的框架盒承载组件，所述框架盒承载组件包括用于检测所述框架盒的规格的第一检测组件，不同规格的框架盒用于装载不同尺寸的胶膜框架；

用于获取所述框架盒内的胶膜框架并传送至目标位置的至少一个传输组件，所述传输组件包括至少两个抓取手，至少两个所述抓取手被配置为传递不同尺寸的胶膜框架。

优选的，还包括用于获取所述框架盒承载组件的检测信息并控制所述传输组件动作的控制组件，且所述控制组件用于根据所述第一检测组件的检测结果选择对应的传输组件。

优选的，还包括承载台，所述承载台上设置有第一框架盒固定块和第二框架盒固定块，所述框架盒的底部为中空，所述第一框架盒固定块和第二框架盒固定块为固定或可拆卸或可活动；或者，所述框架盒的底部为非空，所述第一框架盒固定块和第二框架盒固定块为可拆卸或可活动。

优选的，所述抓取手包括载片手指，所述载片手指用于与所述胶膜框架接触，各所述抓取手的载片手指的长度不同。

优选的，所述抓取手还包括用于夹紧所述胶膜框架的固定夹，所述固定夹用于夹持胶膜框架边缘。

优选的，所抓取手还包括安装在所述载片手指上的定位块，所述定位块与所述载片手指固定连接，用于与所述胶膜框架上的卡接槽卡接。

优选的，用于检测所述胶膜框架是否在位的检测传感器，所述检测传感器与所述控制组件连接，所述控制组件在所述检测传感器检测到所述胶膜框架在位时，发出传输指令。

优选的，所述抓取手还包括对准块，所述对准块与所述载片手指活动连接以与所述胶膜框架的卡接槽卡接。

优选的，还包括：供所述传输组件移动的传输腔，还包括用于净化所述传输腔的净化组件和颗粒监测部件，所述控制组件可根据所述颗粒监测部件的检测结果控制所述净化组件工作。

优选的，还包括用于读取所述胶膜框架上记载的信息，并根据所述信息获取所述胶膜框架所承载的晶圆的信息的信息读取部件，所述信息读取部件设置于所述传输组件和所述框架盒承载组件之间。

优选的，所述框架盒承载组件还包括用于检测所述胶膜框架的状态信息的第二检测组件，所述第二检测组件包括用于检测所述框架盒内的胶膜框架是否偏移的对射传感器。

优选的，所述第一检测组件包括分布在所述承载台上的若干弹性压块；所述控制组件通过获取被压下的所述弹性压块的位置和/或数量判断所述框架盒的规格，以及判断所述框架盒的位置是否正确。

优选的，所述弹性压块包括：第一弹性压块和包围所述第一弹性压块的第二弹性压块。

优选的，所述框架盒的底部为中空，所述第一弹性压块的位置与第一尺寸的框架盒底部位置对应，所述第二弹性压块与第二尺寸的框架盒的底部位置对应；

或者，所述框架盒的底部具有底板，所述第一弹性压块的位置与第一尺寸的框架盒的底部底板位置对应；所述第一弹性压块和所述第二弹性压块的位置同时与第二尺寸的框架盒的底部底板位置对应。

本实用新型所提供的传送装置，包括：用于承载框架盒的框架盒承载组件，所述框架盒承载组件包括承载台和用于检测所述框架盒的规格的第一检测组件，不同规格的框架盒用于装载不同尺寸的胶膜框架；用于获取所述框架盒内的胶膜框架并传送至目标位置的至少一个传输组件，所述传输组件包括至少两个抓取手，所述至少两个抓取手被配置为传递不同尺寸的胶膜框架传输部件。本实用新型所提供的传送装置，通过所述框架盒承载组件对所述框架盒的规格进行检测，并根据所述框架盒的规格选择对应的传输组件，可同时兼容多种规格的胶膜框架的传输，有效提高兼容性和适用性，通过自动化传片，可满足大范围多工位的快速传输。

在一种优选实施方式中，所述传输组件包括载片手指、安装在所述载片手指上的定位块和对准块、用于夹紧所述胶膜框架的固定夹以及用于检测所述胶膜框架是否在位的检测传感器，所述检测传感器与所述控制组件连接，所述控制组件在所述检测传感器检测到所述胶膜框架在位时，发出传输指令；所述定位块与所述载片手指固定连接，所述对准块与所述载片手指固活动连接。上述设置，通过定位块和对准块的设置，可以实现载片手指与胶膜框架的定位，利用固定夹可实现胶膜框架的固定，并利用所述检测传感器的设置，当检测传感器检测到胶膜框架在位时，方可发出传输指令，可以保证载片手指上夹持有胶膜框架时在进行运输，避免无片运输现象，以及避免由于胶膜框架脱落造成的损伤。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型所提供的传送装置一种具体实施方式的结构示意图；

图2为图1所示的传送装置的侧面图；

图3为图1所示的传送装置的俯视图；

图4为图1所示的传送装置中抓取手的结构示意图；

其中：1：传输腔；11：颗粒监测部件；2：控制柜；21：控制对接口；3：净化组件；31：压差控制部件；4：框架盒承载组件；41：第一框架盒固定块；42：第二框架盒固定块；43：弹性压块；44：对射传感器；5：操作显示部件；6：静电监测和消除部件；7：传输组件；71：对准块；72：定位块；73：检测传感器；74：固定夹；75：胶膜框架；76：载片手指；8：信息读取部件；9：运动台；10：气动组件。

具体实施方式

本实用新型的核心是提供一种传送装置，该传送装置能够显著的降低人力物力，实现自动化传片，提高传片效率和位置精度。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参考图1至图4，图1为本实用新型所提供的传送装置一种具体实施方式的结构示意图；图2为图1所示的传送装置的侧面图；图3为图1所示的传送装置的俯视图；图4为图1所示的传送装置中传输组件的结构示意图。

在该实施方式中，传送装置包括框架盒承载组件4和传输组件7，主要用于晶圆胶膜框架的传送，当然，也可以用于其他物件的传送。

其中，框架盒承载组件4用于承载框架盒，并检测框架盒的位置和规格信息，框架盒用于盛放胶膜框架75，一个框架盒内可以分层摆放若干个胶膜框架75；该装置还可以包括柜体，框架盒承载组件4安装在柜体上，框架盒承载组件4可同时兼容8寸和12寸框架盒，框架盒承载组件包括承载台和用于检测框架盒的规格的第一检测组件，具体的，框架盒的规格信息包括：框架盒的尺寸规格，例如8寸或者12寸；第一检测组件还可以检测框架盒的位置信息，如：框架盒的位置是正确；框架盒的底面是否摆放水平；传输组件7包括至少两个抓取手，至少两个抓取手被配置为传递不同尺寸的胶膜框架传输部件；抓取手用于获取框架盒内的胶膜框架75，并将胶膜框架75传送至目标位置，例如晶圆加工工位或者晶圆检测工位，传输组件7安装在柜体上。

进一步，还包括控制组件，控制组件用于获取框架盒承载组件4的检测信息并控制传输组件7动作，且控制组件可以根据第一检测组件的检测结果选择对应的传输组件7进行传输；第一检测组件的检测结果主要包括检测到的框架盒的尺寸规格，以及框架盒的位置信息。

本实用新型所提供的传送装置，通过框架盒承载组件4对框架盒的规格进行检测，并根据框架盒的规格选择对应的传输组件7，可同时兼容多种规格的胶膜框架75的传输，有效提高兼容性和适用性，通过自动化传片，可满足大范围多工位的快速传输。

具体的，第一检测组件包括分布在承载台上的若干弹性压块43，控制组件通过获取被压下的弹性压块43的位置和/或数量判断框架盒的规格，以及判断框架盒的位置是否正确。

在上述各实施方式的基础上，还包括在框架盒的位置不正确时发出报警信号的报警部件；控制组件通过获取被压下的弹性压块43的位置和数量判断框架盒的规格，以及判断框架盒的位置是否正确，当位置不正确时，控制报警部件发出报警信号。

进一步，可以根据弹性压块43被压下的位置，判断框架盒的尺寸规格，弹性压块43与控制组件连接，还可以根据弹性压块43被压下的个数，判断框架盒是否摆放水平；当位置不正确时，报警部件发出报警信号，供操作者调整。

具体的，弹性压块43包括：第一弹性压块和包围第一弹性压块的第二弹性压块。

更具体的，框架盒的底部为中空，第一弹性压块的位置与第一尺寸的框架盒底部位置对应，第二弹性压块与第二尺寸的框架盒的底部位置对应；

或者，框架盒的底部具有底板，第一弹性压块的位置与第一尺寸的框架盒的底部底板位置对应；第一弹性压块和第二弹性压块的位置同时与第二尺寸的框架盒的底部底板位置对应。

上述设置，框架盒可以是盒结构，也可以仅是框架结构，当为盒结构时，大尺寸的框架盒会将所有的弹性压块43压下，如果是框架结构，大尺寸的框架仅将第二弹性压块压下。

在上述各实施方式的基础上，传输组件7包括至少两个抓取手，至少两个抓取手被配置为传递不同尺寸的胶膜框架，控制器可以根据第一检测组件的检测结果选择对应规格的抓取手。

进一步，抓取手包括载片手指76，且各抓取手的载片手指76的长度不同；抓取手还包括安装在载片手指76上的定位块72和用于检测胶膜框架75是否在位的检测传感器73，检测传感器73与控制组件连接，控制组件在检测传感器73检测到胶膜框架75在位时，发出传输指令；

更进一步，抓取手还包括对准块71和用于夹紧胶膜框架75的固定夹74，定位块72与载片手指76固定连接，对准块71与载片手指76活动连接，对准块71与载片手指76之间设有弹性连接件。

上述设置，定位块72和对准块71用于较准胶膜框架75的位置和角度，具体的，胶膜框架75上设有两个卡接槽，分别与定位块72和对准块71卡接，在拿取胶膜框架75的过程中，定位块72首先与胶膜框架75上的一个卡接槽限位，然后随着载片手指76的移动，对准块71的位置发生变化，直至与胶膜框架75上的另一个卡接槽位置对应时，在弹性连接件的作用下，对准块71与胶膜框架75上的另一个卡接槽卡接；定位块72和对准块71可以实现载片手指76与胶膜框架75的定位，利用固定夹74可实现胶膜框架75的固定，并利用检测传感器73的设置，当检测传感器73检测到胶膜框架75在位时，方可发出传输指令，可以保证载片手指76上夹持有胶膜框架75时在进行运输，避免无片运输现象，以及避免由于胶膜框架75脱落造成的损伤。

进一步，传输组件7还包括传输臂和运动台9，传输臂的一端连接抓取手，另一端安装在运动台9上，可实现大范围和多工位的传输任务；载片手指76位于抓取手上，主要用于实现胶膜框架75从盒中位置到工艺位置的传输；传输组件7可在运动台9上移动。

在上述各实施方式的基础上，柜体内设有供传输组件7移动的传输组件7，传输组件7安装在传输腔1内，并可伸出至框架盒承载组件4上获取胶膜框架75。

该装置还包括用于净化传输腔1的净化组件3，净化组件3包括风机、过滤器和压差控制部件31，风机可向过滤器提供风量，压差控制部件31可根据气压差控制风机的出风量；净化组件3主要用于净化设备前端模块的内部环境，防止污染胶膜框架75上的晶圆。

该装置还包括颗粒监测部件11，用来监测传输腔1内的环境洁净度，控制组件可根据颗粒监测部件11的检测结果控制净化组件3工作。

在上述各实施方式的基础上，还包括用于读取胶膜框架上记载的信息，并根据该信息获取该胶膜框架所承载的晶圆的信息的的信息读取部件8，信息读取部件8设置于传输组件7和框架盒承载组件4之间，在传输组件7传输胶膜框架75的过程中，信息读取部件8读取晶圆的信息，实现传输的同时读取晶圆的相关信息，便于将其后的检测或加工信息与晶圆信息相匹配，提高整个模块的工作效率。

具体的，信息读取系统包括传感器，放大器和控制部件，主要用于读取框架盒和胶膜框架75上的编码。

在上述各实施方式的基础上，还包括静电检测和消除部件，静电检测和消除部件安装在柜体内部。

具体的，静电监测和消除部件6包括静电监测部件和静电消除部件。主要用于控制设备前端模块的内部静电，防止损坏胶膜上的晶圆。

在上述各实施方式的基础上，框架盒承载组件4包括承载台、设置在承载台上的防护罩以及用于检测胶膜框架75的状态信息及防护罩的状态信息的第二检测组件。具体的，防护罩可活动的罩设在承载台上，第二检测组件包括用于检测框架盒内的胶膜框架75是否偏移以及防护罩是否闭合的对射传感器44。

进一步，承载台上设置有第一框架盒固定块41和第二框架盒固定块42，框架盒的底部为中空，第一框架盒固定块41和第二框架盒固定块42与承载台之间为固定或可拆卸或可活动；或者，框架盒的底部为非空，第一框架盒固定块41和第二框架盒固定块42与承载台之间为可拆卸或可活动。

优选的，第一框架盒固定块41和第二框架盒固定块42均可活动的设置在承载台上，以便于调节至与框架盒的尺寸相符。当人工将框架盒放置在承载台上时，可将第一框架盒固定块41和第二框架盒固定块42的作为限位部件，实现位置固定。

具体的，静电消除部件位于传输臂上方，静电监测部件位于传输臂侧面，实现对胶膜上晶圆静电的实时监测和去除。

在上述各实施方式的基础上，还包括用于为传输组件7提供的动力的气动组件10。具体的，气动系统包括正压路，负压路和相应控制部件，主要用于给相关气动执行机构提供动力。

在上述各实施方式的基础上，控制组件包括工控机、控制线路和操作显示部件5，用于实现设备前端模块的全自动化运行，控制组件的工控机和控制线路等安装在控制柜2内部；操作显示部件5通过活动支架安装在柜体上，便于操作显示部件5的位置变化，方便观察。

在一种具体实施例中，该装置包括：传输腔1、控制柜2、净化组件3、框架盒承载组件4、显示操作部件、静电监测和消除部件6、传输组件7、信息读取部件8、运动台9、气动组件10、颗粒监测部件11、控制对接口21、压差控制部件31。

其中，框架盒承载组件4包括承载台、防护罩和检测组件三部，防护罩位于承载台上，检测组件的各个传感器位于承载台内和防护罩内，承载台上有分别对应8寸框架盒和12寸框架盒的固定块，同时分布有多个弹性压块43，通过不同分布的弹性压块43被压下，来判断框架盒的规格，并判断框架盒的放置状态是否正确；位于防护罩内的对射传感器44则会检测胶膜框架75在框架盒内的状态是否正确，防护罩是否闭合；以上信息全部正确反馈后，承载台发送信号给传输组件7，可以进行下一步传输任务；运动台9安装于传输腔1内，传输组件7安装于运动台9上，信息读取部件8位于传输组件7和框架盒承载组件4之间；静电监测和消除部件6安装于传输腔1内，位于传输组件7侧上方，静电消除部件位于传输臂上方，静电监测部件位于传输臂侧面；净化组件3安装于传输腔1内，位于最上方；净化组件3包括风机和过滤器，过滤器采用ePTFE材质，即聚四氟乙烯纤维材质，风机通过过滤器送出洁净风给传输腔1，为传输腔1提供洁净环境；压差控制部件31位于过滤器附近，用来调控风机的出风量；颗粒监测部件11位于传输组件7附近，用来监测传输腔1内的环境洁净度；控制柜2位于框架盒承载组件4下方，实现对整个设备前端模块的流程和运动控制。气动组件10和控制对接口21位于控制柜2侧方，实现设备前端模块和外界设备的电气对接；显示操作部件位于设备前端模块的侧面，方便操作员在操作过程中实时观察框架盒承载组件4，传输腔1，气动组件10和颗粒监测部件11的状态；运动台9可实现左右方向的运动，传输组件7的传输臂可实现左右、前后、上下方向的运动和340°范围的转动；至少两组抓取手位于传输臂上，不同抓取手被配置为具有不同长度的载片手指76，传输组件7可同时兼容8寸和12寸的胶膜框架75。对准块71和定位块72位于载片手指76上，分别卡住胶膜框架75的两个卡接槽，实现对胶膜框架75的预对准。固定夹74位于对准块71和定位块72之间，夹持住胶膜框架75的平边。检测传感器73位于固定夹74之间，实现对胶膜框架75状态的监测。对准块71可移动，当对准块71受到移动到胶膜框架75的推动，移动到正确的位置后，发送信号给固定夹74，固定夹74开始夹持住胶膜框架75，以防止在传输臂运动过程中胶膜框架75产生位移。

具体的，一种传送晶圆胶膜框架75的设备前端模块，可完成胶膜框架75从框架盒到相应工艺或是测量设备中工位的自动搬运。首先框架盒承载组件4中的防护罩开启，放置框架盒，检测组件识别框架盒的规格，检测框架盒和盒中胶膜框架75的状态，反馈良好后发送信息给传输组件7。抓取手通过运动台9和传输臂运动到框架盒内，由抓取手上的对准块71和定位块72完成对胶膜框架75的预对准，完成后对准块71发送信息给固定夹74，夹持住胶膜框架75，检测传感器73对胶膜框架75的状态的进行监测。然后抓取手通过运动台9和传输臂运动到相应的工艺或是测量设备中的预定工位处，完成对胶膜框架75从框架盒到预定工位的自动搬运。期间，信息读取部件8会读取胶膜框架75的信息并记录。静电监测和消除部件6，净化组件3则为胶膜框架75上的晶圆提供搬运图中的良好环境，避免晶圆受到损伤。

具体的，完成对胶膜框架75从框架盒到预定工位的自动搬运的过程包括：根据晶圆的尺寸使晶圆处于承载台的相应位置；承载台可以为能够兼容8寸和12寸晶圆的承载台，也可以为可以分别承载8寸和12寸晶圆的两个承载台。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。

以上对本实用新型所提供的传送装置进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。

Claims (14)

1.一种传送装置，其特征在于，包括：

用于承载框架盒的框架盒承载组件(4)，所述框架盒承载组件包括用于检测所述框架盒的规格的第一检测组件，不同规格的所述框架盒用于装载不同尺寸的胶膜框架(75)；

用于获取所述框架盒内的胶膜框架(75)并传送至目标位置的至少一个传输组件(7)，所述传输组件(7)包括至少两个抓取手，至少两个所述抓取手被配置为传递不同尺寸的胶膜框架。

2.根据权利要求1所述的传送装置，其特征在于，还包括用于获取所述框架盒承载组件(4)的检测信息并控制所述传输组件(7)动作的控制组件，且所述控制组件用于根据所述第一检测组件的检测结果选择对应的传输组件(7)。

3.根据权利要求2所述的传送装置，其特征在于，还包括承载台，所述承载台上设置有第一框架盒固定块(41)和第二框架盒固定块(42)，所述框架盒的底部为中空，所述第一框架盒固定块(41)和第二框架盒固定块(42)为固定或可拆卸或可活动；或者，所述框架盒的底部为非空，所述第一框架盒固定块(41)和第二框架盒固定块(42)为可拆卸或可活动。

4.根据权利要求2所述的传送装置，其特征在于，所述抓取手包括载片手指(76)，所述载片手指(76)用于与所述胶膜框架(75)接触，各所述抓取手的载片手指(76)的长度不同。

5.根据权利要求4所述的传送装置，其特征在于，所述抓取手还包括用于夹紧所述胶膜框架(75)的固定夹(74)，所述固定夹(74)用于夹持所述胶膜框架的边缘。

6.根据权利要求4所述的传送装置，其特征在于，所抓取手还包括安装在所述载片手指(76)上的定位块(72)，所述定位块(72)与所述载片手指(76)固定连接，用于与所述胶膜框架(75)上的卡接槽卡接。

7.根据权利要求4所述的传送装置，其特征在于，用于检测所述胶膜框架(75)是否在位的检测传感器(73)，所述检测传感器(73)与所述控制组件连接，所述控制组件在所述检测传感器(73)检测到所述胶膜框架(75)在位时，发出传输指令。

8.根据权利要求4所述的传送装置，其特征在于，所述抓取手还包括对准块(71)，所述对准块(71)与所述载片手指(76)活动连接以实现与所述胶膜框架(75)的卡接槽卡接。

9.根据权利要求2所述的传送装置，其特征在于，还包括：供所述传输组件(7)移动的传输腔(1)，还包括用于净化所述传输腔(1)的净化组件(3)和颗粒监测部件(11)，所述控制组件可根据所述颗粒监测部件(11)的检测结果控制所述净化组件(3)工作。

10.根据权利要求1所述的传送装置，其特征在于，还包括用于读取所述胶膜框架上记载的信息，并根据所述信息获取所述胶膜框架所承载的晶圆的信息的信息读取部件(8)，所述信息读取部件(8)设置于所述传输组件(7)和所述框架盒承载组件(4)之间。

11.根据权利要求1至10任意一项所述的传送装置，其特征在于，所述框架盒承载组件(4)还包括用于检测所述胶膜框架(75)的状态信息的第二检测组件，所述第二检测组件包括用于检测所述框架盒内的胶膜框架(75)是否偏移的对射传感器(44)。

12.根据权利要求3所述的传送装置，其特征在于，所述第一检测组件包括分布在所述承载台上的若干弹性压块(43)；所述控制组件通过获取被压下的所述弹性压块(43)的位置和/或数量判断所述框架盒的规格，以及判断所述框架盒的位置是否正确。

13.根据权利要求12所述的传送装置，其特征在于，所述弹性压块(43)包括：第一弹性压块和包围所述第一弹性压块的第二弹性压块。

14.根据权利要求13所述的传送装置，其特征在于，所述框架盒的底部为中空，所述第一弹性压块的位置与第一尺寸的框架盒底部位置对应，所述第二弹性压块与第二尺寸的框架盒的底部位置对应；

或者，所述框架盒的底部具有底板，所述第一弹性压块的位置与第一尺寸的框架盒的底部底板位置对应；所述第一弹性压块和所述第二弹性压块的位置同时与第二尺寸的框架盒的底部底板位置对应。

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