CN210833993U - 一种真空测量计 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于真空测量领域，公开了一种真空测量计，包括规管信号线、真空计、KF真空快开三通、测量缓冲腔、真空测量探头保护物质、计算机、规管连接法兰、压力传感器、传感器信号线、压力传感器连接法兰、第二快开法兰、第一快开法兰和底挡板；真空计通过规管连接法兰与KF真空快开三通的第一个开口连接，压力传感器通过压力传感器连接法兰与KF真空快开三通的第二个开口连接；测量缓冲腔的第一个开口通过第二快开法兰与KF真空快开三通的第三个开口连接，底挡板与测量缓冲腔的第二个开口连接，测量缓冲腔的第二个开口再通过第一快开法兰与被测量系统连接。本实用新型精度高、量程大；保护真空测量探头避免被气体污染、腐蚀，延长了使用寿命。

Description

一种真空测量计

技术领域

本发明属于真空测量领域，尤其涉及一种真空测量计。

背景技术

真空计，又名真空表，是测量真空度或气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。

按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类，分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。利用力学性能的真空计典型的有波尔登规Bourdon和薄膜电容规；利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼Pirani电阻规和热电偶规；利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。

波尔登规：细的铜管受气体压力不同会有舒展现象，会带动杠杆和齿轮旋转，使得指针指示在不同刻度上，即可读出相应的气压值。这种规的测量范围一般在100Pa至1atm。

薄膜电容规：在不同压力下金属膜片受力不同会有不同尺度的变形，使得金属膜片和电极之间的电容变化，通过测量电容的变化量，即可知道金属膜片上气压的变化。这种规的测量范围一般横跨4个量级，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。

皮拉尼电阻规：它是利用电阻与温度之间关系的原理工作的。由于不同气压下气体分子热传导能力不同，当给热丝加恒定的电流时，由于气压不同通过气体传导走的热量不同，热丝所保持的温度就不同，这导致热丝电阻大小不同，通过测量热丝电阻大小就可以推算气压大小。

热阴极电离规：热阴极电离规中，由热阴极即灯丝发射电子，电离真空中的气体分子，产生离子，由收集极收集产生的离子，形成离子电流，通过测量离子电流的大小即可推算出真空中气体分子的密度，进而得到气压大小。

申请号为CN201811369418.4的专利公开了电离真空计保护装置，涉及一种电离真空计保护装置，包括缓冲管、螺旋管、金属栅网以及金属栅网负电位电源；缓冲管包括第一缓冲管以及第二缓冲管；第一缓冲管通过螺旋管与第二缓冲管相连通；金属栅网置于第二缓冲管中并与置于第二缓冲管外部的金属栅网负电位电源相连；第二缓冲管接地。本发明提供了一种可有效减少进入真空计传感器的金属粒子和尘土等杂质、显著减少高温环境下冷阴极与热阴极真空计传感器阴极金属粒子污染以及可延长离子真空计使用寿命的电离真空计保护装置。但该装置只针对了金属粒子和尘土，而对真空测量中更常出现的气体污染物对真空计的损害没有加以考虑。

发明内容

本发明的目的在于公开精度高、量程大、使用寿命长的一种真空测量计。

本发明的目的是这样实现的：

一种真空测量计，包括：规管信号线1-1、真空计1、KF真空快开三通2、测量缓冲腔3、真空测量探头保护物质4、计算机7、规管连接法兰1-2、压力传感器6、传感器信号线6-1、压力传感器连接法兰6-2、第二快开法兰3-3、第一快开法兰3-1和底挡板3-2；

真空计1通过规管连接法兰1-2与KF真空快开三通2的第一个开口连接，压力传感器6通过压力传感器连接法兰6-2与KF真空快开三通2的第二个开口连接；测量缓冲腔3为中空结构且具有两个开口，测量缓冲腔3的第一个开口通过第二快开法兰3-3与KF真空快开三通2的第三个开口连接，底挡板3-2与测量缓冲腔3的第二个开口连接，测量缓冲腔3的第二个开口再通过第一快开法兰3-1与被测量系统5连接，真空测量探头保护物质4位于测量缓冲腔3内，规管信号线1-1连接在计算机7与真空计1之间，传感器信号线6-1连接在计算机7与压力传感器6之间。

进一步地，真空测量探头保护物质4为硅胶、分子筛和活性炭的一种或几种的任意组合。

进一步地，真空计1为波尔登规、薄膜电容规、皮拉尼电阻规、热电偶规、热阴极电离规和冷阴极电离规中的任意一个。

本发明的有益效果为：

本发明精度高、量程大；采用真空测量探头保护物质有效保护真空测量探头避免被测量系统内气体污染、腐蚀，有效延长了真空测量探头的使用寿命；本发明通过计算机或单片机，在既定程序下完成真空测量精度的校正，以及误差范围的缩减，同时能利用计算机的PID算法自动完成系统压力的控制。

附图说明

图1是一种真空测量计示意图。

具体实施方式

下面结合附图来进一步描述本发明：

如图1，一种真空测量计，包括：规管信号线1-1、真空计1、KF真空快开三通2、测量缓冲腔3、真空测量探头保护物质4、计算机7、规管连接法兰1-2、压力传感器6、传感器信号线6-1、压力传感器连接法兰6-2、第二快开法兰3-3、第一快开法兰3-1和底挡板3-2；

真空计1通过规管连接法兰1-2与KF真空快开三通2的第一个开口连接，压力传感器6通过压力传感器连接法兰6-2与KF真空快开三通2的第二个开口连接；测量缓冲腔3为中空结构且具有两个开口，测量缓冲腔3的第一个开口通过第二快开法兰3-3与KF真空快开三通2的第三个开口连接，底挡板3-2与测量缓冲腔3的第二个开口连接，测量缓冲腔3的第二个开口再通过第一快开法兰3-1与被测量系统5连接，真空测量探头保护物质4位于测量缓冲腔3内，规管信号线1-1连接在计算机7与真空计1之间，传感器信号线6-1连接在计算机7与压力传感器6之间。

进一步地，真空测量探头保护物质4为硅胶、分子筛和活性炭的一种或几种的任意组合。

进一步地，真空计1为波尔登规、薄膜电容规、皮拉尼电阻规、热电偶规、热阴极电离规和冷阴极电离规中的任意一个。

实施例1：本例以皮拉尼真空计为案例实施过程：

第一步：选取KF快开三通，皮拉尼真空计、压力传感器、KF快开法兰、真空测量缓冲腔、底挡板、硅胶、信号线、计算机、被测量系统。

第二步：将真空测量缓冲腔装配在被测量系统上方，用快开法兰连接。

第三步：将底挡板放置在真空测量缓冲腔内部底面上，用螺栓将底挡板和真空测量缓冲腔固定在一起。

第四步：将硅胶放入缓冲腔里，并将KF快开三通用法兰安装在缓冲腔上方。

第五步：皮拉尼真空计安装在KF快开三通上方，压力传感器安装在KF快开法兰右侧方，安装完毕将所有的法兰拧紧。

第六步：皮拉尼真空计、压力传感器的信号线接入到电脑信号端。

第七步：通电并编写计算机校正程序。

第八步：运行校正程序。

本实施例有效量程可以达到0.1Pa～120000Pa，测量精度可以达到0.1Pa。

以上所述并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种真空测量计，其特征在于：包括：规管信号线(1-1)、真空计(1)、KF真空快开三通(2)、测量缓冲腔(3)、真空测量探头保护物质(4)、计算机(7)、规管连接法兰(1-2)、压力传感器(6)、传感器信号线(6-1)、压力传感器连接法兰(6-2)、第二快开法兰(3-3)、第一快开法兰(3-1)和底挡板(3-2)；

真空计(1)通过规管连接法兰(1-2)与KF真空快开三通(2)的第一个开口连接，压力传感器(6)通过压力传感器连接法兰(6-2)与KF真空快开三通(2)的第二个开口连接；测量缓冲腔(3)为中空结构且具有两个开口，测量缓冲腔(3)的第一个开口通过第二快开法兰(3-3)与KF真空快开三通(2)的第三个开口连接，底挡板(3-2)与测量缓冲腔(3)的第二个开口连接，测量缓冲腔(3)的第二个开口再通过第一快开法兰(3-1)与被测量系统(5)连接，真空测量探头保护物质(4)位于测量缓冲腔(3)内，规管信号线(1-1)连接在计算机(7)与真空计(1)之间，传感器信号线(6-1)连接在计算机(7)与压力传感器(6)之间。

2.根据权利要求1所述的一种真空测量计，其特征在于：所述的真空测量探头保护物质(4)为硅胶、分子筛和活性炭的一种或几种的任意组合。

3.根据权利要求1所述的一种真空测量计，其特征在于：所述的真空计(1)为波尔登规、薄膜电容规、皮拉尼电阻规、热电偶规、热阴极电离规和冷阴极电离规中的任意一个。

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