CN210607220U - 一种中空机械转台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种中空机械转台，转台包括外壳，外壳中空设置，外壳上方固定有上盖，上盖的外圆周处设置有向下的折弯，折弯与外壳卡接；外壳内部上端安装有上轴承，下端安装有下轴承，中部安装有环形电机，电机驱动连接有转轴，转轴通过上轴承、下轴承与外壳相连；转轴上端外圆周处设置有环板，环板设于上盖的上方且与上盖不接触设置；转轴内部开有上下贯穿的轴孔；转轴的外侧壁底部固定有光栅尺，光栅尺配备有读数头。本实用新型将转台本身设置成中空结构，利用环形电机压缩转台的体积和高度，减少占用面积，在转台上设置可拆卸的旋转盘，能够更换不同规格大小的旋转盘，适应性强。

Description

一种中空机械转台

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体是一种中空机械转台。

背景技术

在半导体加工技术领域，需要借助旋转台将半导体实时旋转以满足连续性加工生产的需求，而在旋转台的使用中，其线缆或者光束或者工作部件等一般是经由外侧设置，但是一些特殊的场合比如高密度高精度工况下，外侧设置的方式很难满足，而且一般是借助比较复杂的结构来实现中空，体积较大，增大了占用面积，同时，旋转台一般是固定的，不能很好的适用于各种工作部件，且无法更换旋转台，适应性较低。

实用新型内容

为解决上述现有技术的缺陷，本实用新型提供一种中空机械转台，本实用新型将转台本身设置成中空结构，利用环形电机压缩转台的体积和高度，减少占用面积，在转台上设置可拆卸的旋转盘，能够更换不同规格大小的旋转盘，适应性强。

为实现上述技术目的，本实用新型采用如下技术方案：一种中空机械转台，所述转台包括外壳，所述外壳中空设置，所述外壳上方固定有上盖，所述上盖的外圆周处设置有向下的折弯，所述折弯与所述外壳卡接；

所述外壳内部上端安装有上轴承，下端安装有下轴承，中部安装有环形电机，所述电机驱动连接有转轴，所述转轴通过所述上轴承、所述下轴承与所述外壳相连；所述转轴上端外圆周处设置有环板，所述环板设于所述上盖的上方且与所述上盖不接触设置；

所述转轴内部开有上下贯穿的轴孔；

所述转轴的外侧壁底部固定有光栅尺，所述光栅尺配备有读数头。

进一步地，所述外壳下侧通过下螺栓固定有底板。

进一步地，所述上盖通过上螺栓固定在所述外壳上。

进一步地，所述转轴上端开设若干个槽孔，所述槽孔内拆卸式设有支撑柱；所述支撑柱上端拆卸式设有旋转盘，所述旋转盘上侧面开有凹槽，所述凹槽的数量与所述支撑柱数量相同且与所述支撑柱一一对应设置，所述支撑柱通过第一固定螺栓固定在所述旋转盘上，所述第一固定螺栓设于所述凹槽内；所述凹槽上方卡接有盖体，所述盖体与所述旋转盘同平面设置；所述旋转盘中心处开有上下贯穿的通孔，所述通孔与所述轴孔同心设置。

进一步地，所述槽孔为圆形或者蝶形设置；所述支撑柱的下端部形状与所述槽孔形状匹配。

进一步地，所述凹槽为圆形或者蝶形设置；所述支撑柱的上端部形状与所述槽孔形状匹配。

进一步地，所述支撑柱的下端部通过第二固定螺栓固定在所述转轴上。

进一步地，所述槽孔数量为4个，所述支撑柱数量为4个。

综上所述，本实用新型取得了以下技术效果：

本实用新型利用环形电机和轴承、转轴实现转台的旋转，既降低了转台的高度，又缩小了体积，同时转台轴孔的内径可以做到很大，能够容纳安装不同规格大小的工作部件，适应性较强，将线缆或者光束或者工作部件自轴孔内设置，避免线缆或者光束或者工作部件设在外部，提高安全系数，又不会占用多余的空间。另外，开启电机，转轴随之旋转，转轴上的旋转盘也会旋转，旋转盘内部贯通设置，让线缆或者光束或者工作部件能够穿过，并且旋转盘方便拆卸，能够更换不同尺寸大小的旋转盘，增加工作平台的面积，能够适应多种不同的场合。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的转台示意图；

图2是图1的俯视图；

图3是图2的AA剖面图；

图4是旋转盘与转轴安装关系示意图；

图5是图4的局部放大图；

图中，1、外壳，2、上盖，201、折弯，3、转轴，301、环板，302、槽孔，4、轴孔，5、上轴承，6、下轴承，7、电机，8、上螺栓，9、光栅尺，10、底板，11、下螺栓，12、支撑柱，13、旋转盘，14、通孔，15、凹槽，16、第一固定螺栓，17、盖体。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。

实施例：

如图1、图2所示，一种中空机械转台，转台包括外壳1，外壳1中空设置，外壳1上方固定有上盖2，如图3所示，上盖2的外圆周处设置有向下的折弯201，折弯201与外壳1卡接，具体的，上盖2通过上螺栓8固定在外壳1上。

外壳1内部上端安装有上轴承5，下端安装有下轴承6，中部安装有环形电机7，电机7驱动连接有转轴3，转轴3通过上轴承5、下轴承6与外壳1相连；转轴3上端外圆周处设置有环板301，环板301设于上盖2的上方且与上盖2不接触设置。当电机7开启时，电机7带动转轴3旋转。

转轴3内部开有上下贯穿的轴孔4，能够穿设工作部件或者线缆或者光束等等，无需将工作部件设置在外侧，减小占用面积。

转轴3的外侧壁底部固定有光栅尺9，光栅尺9配备有读数头(未图示)，用于信号的反馈。

另外，外壳1下侧通过下螺栓11固定有底板10，底板10上固定读数头，用于读取光栅尺9的数据。

进一步地，如图4、图5所示，转轴3上端开设若干个槽孔302，槽孔302内拆卸式设有支撑柱12；支撑柱12上端拆卸式设有旋转盘13，旋转盘13上侧面开有凹槽15，凹槽15的数量与支撑柱12数量相同且与支撑柱12一一对应设置，支撑柱12通过第一固定螺栓16固定在旋转盘13上，第一固定螺栓16设于凹槽15内；凹槽15上方卡接有盖体17，盖体17与旋转盘13同平面设置；旋转盘13中心处开有上下贯穿的通孔14，通孔14与轴孔4同心设置。

进一步地，槽孔302为圆形或者蝶形设置；支撑柱12的下端部形状与槽孔302形状匹配。凹槽15为圆形或者蝶形设置；支撑柱12的上端部形状与槽孔302形状匹配。

进一步地，支撑柱12的下端部通过第二固定螺栓(未图示)固定在转轴3上。

进一步地，槽孔302数量为4个，支撑柱12数量为4个，保证支持力的同时又不会增加过大的重量。

本实用新型利用环形电机和轴承、转轴实现转台的旋转，既降低了转台的高度，又缩小了体积，同时转台轴孔4的内径可以做到很大，能够容纳安装不同规格大小的工作部件，适应性较强，将线缆或者光束或者工作部件自轴孔4内设置，避免线缆或者光束或者工作部件设在外部，提高安全系数，又不会占用多余的空间。另外，开启电机7，转轴3随之旋转，转轴3上的旋转盘13也会旋转，旋转盘13内部贯通设置，让线缆或者光束或者工作部件能够穿过，并且旋转盘13方便拆卸，能够更换不同尺寸大小的旋转盘，增加工作平台的面积，能够适应多种不同的场合。

以上所述仅是对本实用新型的较佳实施方式而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改，等同变化与修饰，均属于本实用新型技术方案的范围内。

Claims (3)

1.一种中空机械转台，其特征在于：所述转台包括外壳(1)，所述外壳(1)中空设置，所述外壳(1)上方固定有上盖(2)，所述上盖(2)的外圆周处设置有向下的折弯(201)，所述折弯(201)与所述外壳(1)卡接；

所述外壳(1)内部上端安装有上轴承(5)，下端安装有下轴承(6)，中部安装有环形电机(7)，所述电机(7)驱动连接有转轴(3)，所述转轴(3)通过所述上轴承(5)、所述下轴承(6)与所述外壳(1)相连；所述转轴(3)上端外圆周处设置有环板(301)，所述环板(301)设于所述上盖(2)的上方且与所述上盖(2)不接触设置；

所述转轴(3)内部开有上下贯穿的轴孔(4)；

所述转轴(3)的外侧壁底部固定有光栅尺(9)，所述光栅尺(9)配备有读数头。

2.根据权利要求1所述的一种中空机械转台，其特征在于：所述外壳(1)下侧通过下螺栓(11)固定有底板(10)。

3.根据权利要求1所述的一种中空机械转台，其特征在于：所述上盖(2)通过上螺栓(8)固定在所述外壳(1)上。

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