CN210550314U - 一种双面抛光机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种双面抛光机，包括有底座以及固定设置于底座上端面的龙门架，在所述底座上转动设有外齿圈，在所述外齿圈中心轴处固定设有外齿圈驱动轴，在所述底座上位于外齿圈内转动设有下抛光盘，在所述下抛光盘中心轴处固定设有下盘驱动轴，所述下盘驱动轴转动套设在外齿圈驱动轴内侧且与外齿圈驱动轴同轴心，在所述下抛光盘上转动设有与下抛光盘同轴心的内齿圈，所述内齿圈中心轴处固定设有内齿圈驱动轴，所述内齿圈驱动轴转动套设在下盘驱动轴内侧，本实用新型公开的对上抛光盘和动力驱动机构的精准控制机构，有效提高工件表面质量和抛光率，以及对行星轮工件夹持器的拿取，使得工作效率提高。

Description

一种双面抛光机

技术领域

本实用新型涉及一种双面抛光机。

背景技术

随着半导体晶片行业的发展，对半导体晶片的平整度要求也越来越高，如何利用双面抛光机设备获得更高平整、无损伤的半导体晶片也意义重大，传统双面抛光机包括有工件夹持器、加载的上抛光盘、承载的下抛光盘和抛光液供给装置四大部分；其工作原理是抛光垫固定在上抛光盘和下抛光盘表面，被加工的工件放在由抛光机内外齿圈驱动的行星轮工件夹持器内，上抛光盘和下抛光盘分别按照方向相反的角速度旋转，旋转的上抛光盘通过气缸施加抛光压力在由行星轮工件夹持器带动旋转及压力作用下产生自转的工件和抛光垫上，抛光液在工件与抛光垫之间流动，并产生化学反应，工件表面形成的化学反应物由磨粒的抛光垫机械作用去除，在化学反应和机械作用的共同作用下从工件表面去除极薄的一层材料，因而获得双面高精度、低表面粗糙度、无表面缺陷的工件。

通常双面抛光机中加载的上抛光盘通过气缸使上抛光盘移动以及施加抛光压力；气缸是利用对空气的施压以移动杠杆，由于空气的可压缩性大，固稳定性及位置控制精度不高，载荷变化时，波动大。

通常所需双面抛光机抛光的工件薄，用于放置工件的行星轮工件夹持器则会更薄，因而在更换工件规格大小时，出现夹持器拿取不便，使得工作效率降低。

传统双面抛光机的传动方式通常有采用单电机通过齿轮传动使上下抛光盘、内齿圈及外齿圈运动，这种运动传递方式下抛光盘和工件分别得到两种转速，不可调速；采用二电机带动上下抛光盘及内齿圈，外齿圈不动，这种运动形式的双面抛光行星轮转速有三种，亦不可调速；采用四电机带动上下抛光盘以及内齿圈和外齿圈运动，这种的传动系统能实现四个运动分别被不同的电机驱动，使得这四个运动分别可以调节，致使工件运动轨迹过于复杂，因此实际作用为试验机，使用四个电机使得制造成本随之增加，可调参数过多，机器工作增高了不稳定因素，设置操作不当易造成损失。

实用新型内容

为了克服已有设备中上抛光盘稳定性及位移精度，使用过程中因更换产品规格行星轮工件夹持器拿取问题和双面抛光机驱动机构的问题。

本实用新型一种双面抛光机，包括有底座以及固定设置于底座上端面的龙门架，在所述底座上转动设有外齿圈，在所述外齿圈中心轴处固定设有外齿圈驱动轴，在所述底座上位于外齿圈内转动设有下抛光盘，在所述下抛光盘中心轴处固定设有下盘驱动轴，所述下盘驱动轴转动套设在外齿圈驱动轴内侧且与外齿圈驱动轴同轴心，在所述下抛光盘上转动设有与下抛光盘同轴心的内齿圈，所述内齿圈中心轴处固定设有内齿圈驱动轴，所述内齿圈驱动轴转动套设在下盘驱动轴内侧，在所述内齿圈驱动轴内侧转动设有与内齿圈驱动轴同轴心的上盘驱动轴，在所述内齿圈与外齿圈之间啮合有用于放置工件的行星轮工件夹持器，在所述龙门架上设有能与下抛光盘配合研磨的上抛光盘，在所述上抛光盘中心轴处固定设有能与上盘驱动轴卡合连接的连接件，在所述龙门架上设有能使上抛光盘垂直上下移动的压下机构，在所述压下机构与上抛光盘连接处设有能使上抛光盘自动调心的调心机构，在所述压下机构上同时设有能使压下机构左右移动的调整机构，在所述底座上设有能同时驱动下抛光盘、上抛光盘以及与下抛光盘同轴心的外齿圈和内齿圈转动的驱动机构；龙门架的采用能增加上抛光盘其稳定性，提高抗载荷变化的能力，压下机构能精密控制其压下量和抛光压力，提高压下位移精度，调整机构亦能有效避免加工生产及装配过程中出现的左右误差,同时提高其维修便捷性。

进一步的，所述压下机构包括有滑动连接在龙门架横梁上的滑座，在所述滑座上设有燕尾凹槽，在所述龙门架的横梁上设有燕尾凸件，所述燕尾凹槽滑动连接于燕尾凸件上，在所述滑座上设置有伺服电机，所述伺服电机输出轴端连接有防旋转型滚珠丝杆升降机，在所述防旋转型滚珠丝杆升降机上背离伺服电机的一侧设置有能精确锁定防旋转型滚珠丝杆升降机升降位置的电磁制动器，在所述防旋转型滚珠丝杆升降机中滚珠丝杆的端部铰接有调心机构，所述调心机构下端面转动连接有上抛光盘；伺服电机能精确控制，其速度和位置可以直接通过数字控制，亦可无级调速，防旋转型滚珠丝杆升降机能精准控制调整提升或者压下高度，稳定性强，在防旋转型滚珠丝杆升降机外加设电磁制动器，亦能精确锁定其提升或者压下位置，提高控制精度。

进一步的，所述调整机构包括有固定在龙门架横梁端部上方的滚珠座，在所述滚珠座上设有横向贯穿滚珠座的丝杠，所述丝杠螺纹连接于滚珠座上，所述丝杠的端部横向贯穿滚珠座转动连接在滑座上，在所述丝杠背离滑座的一端固定连接有手轮，在所述丝杠上位于手轮与滚珠座之间螺纹连接有用于锁定丝杠移动位置的锁定螺母；采用调整机构能有效避免双面抛光机机械设备在加工生产及装配过程中左右装配误差，提高双面抛光机的精度，亦可在检修过程中移开上抛光盘，增加其操作的便利性。

优选的，所述驱动机构包括有在所述外齿圈驱动轴圆周外壁上固定套设有第一带轮，在所述底座上固定设有用于驱动外齿圈驱动轴从而带动外齿圈旋转的第一电机，在所述第一电机输出轴端上固定连接有第二带轮，所述第二带轮与第一带轮上套设连接有第一皮带，在所述下盘驱动轴圆周外壁上固定套设有第一齿轮，在所述底座上固定设有用于驱动下盘驱动轴从而带动下抛光盘旋转的第二电机，所述第二电机为双输出电机，所述第二电机上方输出轴端固定连接有用于啮合第一齿轮的第二齿轮，所述第二电机下方输出轴端固定连接有第三带轮，在所述上盘驱动轴圆周外壁上固定套设有第四带轮，所述第四带轮与第三带轮上套设连接有第二皮带，在所述上盘驱动轴上端设置有用于配合连接件的多个竖槽，所述连接件卡合连接在竖槽上，在所述内齿圈驱动轴圆周外壁上固定套设有第五带轮，在所述底座上固定设有用于驱动内齿圈驱动轴从而带动内齿圈旋转的第三电机，在所述第三电机输出轴端固定套设有第六带轮，所述第六带轮与第五带轮上套设连接有第三皮带；采用三个电机，可使双面抛光机有多个参数及抛光轨迹，又不过于复杂，调整内齿圈、外齿圈来达到所要求的参数非常重要，内外齿圈分别由电机驱动，上下抛光盘由双输出轴电机驱动，能做各种参数的抛光，从而得到高质量的工件。

优选的，所述调心机构包括有转动连接在上抛光盘上的轴承座，所述轴承座装设有调心轴承，所述调心轴承的外轴承圈固定连接于轴承座，所述防旋转型滚珠丝杆升降机中的滚珠丝杆上铰接有连接轴，所述连接轴与调心轴承的内轴承圈固定连接；采用调心机构能使两个工作面的柔性接触，提高两个工作面贴合的吻合度、平行度，从而提高工件的抛光质量。

进一步的，在所述底座的外侧设有拿取行星轮工件夹持器的拿取装置；通常由于所需双面抛光机抛光的工件薄，用于放置工件的行星轮工件夹持器则会更薄，采用拿取装置使得更换行星轮工件加持器变得方便快捷，以提高工作效率。

优选的，所述拿取装置包括有固定在底座外侧能旋转的支座，在所述支座上方转动设有支撑柱，在所述支撑柱上端铰接有第一支撑臂，在所述支撑柱与第一支撑臂之间设有能用于推动第一支撑臂摆动的第一气缸，在所述第一支撑臂上背离支撑柱的一端铰接有第二支撑臂，在所述第一支撑臂与第二支撑臂之间设有能用于推动第二支撑臂摆动的第二气缸，在所述第二支撑臂上背离第一支撑臂的一端活动连接有支杆，在所述支杆下端连接有用于拿取行星轮工件夹持器的吸盘；拿取装置能万向旋转亦能调整伸缩，使得拿取行星轮工件加持器变得便捷，提高工作效率，而其本身占用较小空间。

优选的，在所述吸盘上设有能同时拿取多个行星轮工件夹持器的吸嘴，在所述吸盘上设有能调整吸嘴位置的长孔；吸盘上设有能同时拿取多个行星轮工件夹持器的吸嘴，最大限度的提高了工作效率，亦可根据放置行星轮工件夹持器的位置做相应调整。

附图说明

图1为本实用新型的前视示意图及驱动机构局部剖视；

图2为本实用新型的侧视示意图及驱动机构局部剖视；

图3为本实用新型的等轴测示意图及驱动机构局部透视；

图4为本实用新型的吸盘局部放大图；

图5为本实用新型的压下机构局部放大图；

图6为本实用新型的驱动机构局部爆炸图。

具体实施方式

结合附图说明对本实用新型一种双面抛光机作进一步的描述：

一种双面抛光机，包括有底座1以及固定设置于底座1上端面的龙门架2，所述底座1为中空箱体结构，在所述底座1中空箱体结构内设有能同时驱动下抛光盘5、上抛光盘3以及与下抛光盘5同轴心的外齿圈7和内齿圈6转动的驱动机构100，所述驱动机构100包括有在所述底座1中空箱体内右侧壁上固定设有第一电机103，所述第一电机103为变频电机，在所述第一电机103输出轴端上固定连接有第二带轮72，在所述底座1上端面转动设有外齿圈7，在所述外齿圈7中心轴处固定设有外齿圈驱动轴91，在所述外齿圈驱动轴91圆周外壁的端部固定套设有第一带轮71，所述第二带轮72与第一带轮71上套设连接有第一皮带73，通过所述第一电机103旋转带动第二带轮72旋转，所述第二带轮72又通过第一皮带73驱动第一带轮71及外齿圈驱动轴91旋转，从而带动外齿圈7旋转；在所述底座1中空箱体内后侧壁上固定设有第二电机101，所述第二电机101为双输出变频电机，所述第二电机101上方输出轴端固定连接有第二齿轮75，所述第二电机101下方输出轴端固定连接有第三带轮76，在所述底座1上位于外齿圈7内转动设有下抛光盘5，在所述下抛光盘5中心轴处固定设有下盘驱动轴92，在所述下盘驱动轴92圆周外壁的端部固定套设有第一齿轮74，所述下盘驱动轴92转动套设在外齿圈驱动轴91内侧且与外齿圈驱动轴91同轴心，在所述下盘驱动轴92圆周外壁的端部固定套设有第一齿轮74，通过所述第二电机101上方输出轴旋转带动第二齿轮75旋转，因为第二齿轮75啮合有第一齿轮74，所以第一齿轮74反向旋转，从而第一齿轮74带动下盘驱动轴92反向旋转，进而驱动下抛光盘5反向旋转；在所述下抛光盘5内部上面转动设有与下抛光盘5同轴心的内齿圈6，所述内齿圈6中心轴处固定设有内齿圈驱动轴93，所述内齿圈驱动轴93转动套设在下盘驱动轴92内侧，在所述内齿圈驱动轴93内侧转动设有与内齿圈驱动轴93同轴心的上盘驱动轴94，在所述上盘驱动轴94圆周外壁的端部固定套设有第四带轮77，通过所述第二电机101下方输出轴旋转带动第三带轮76旋转，所述第三带轮76又通过第二皮带78驱动第四带轮77及上盘驱动轴94旋转，在所述上盘驱动轴94上端设置有的多个竖槽79与上抛光盘3中心轴处固定设有的连接件55卡合连接，从而驱动上抛光盘3旋转；在所述底座1中空箱体内左侧壁上固定设有第三电机102，所述第三电机102为变频电机，在所述第三电机102输出轴端固定套设有第六带轮81，在所述内齿圈驱动轴93圆周外壁的端部固定套设有第五带轮80，所述第六带轮81与第五带轮80上套设连接有第三皮带82，通过所述第三电机102旋转带动第六带轮81旋转，所述第六带轮81又通过第三皮带82驱动第五带轮80及内齿圈驱动轴93旋转，从而带动内齿圈6旋转；在所述内齿圈6与外齿圈7之间啮合有用于放置工件的行星轮工件夹持器4，所述内齿圈6与外齿圈7以一定速比相反方向旋转，则行星轮工件夹持器4自转且自转方向与内齿圈6旋转方向相反，内齿圈6旋转，外齿圈7固定，则行星轮工件夹持器4公转方向为绕内齿圈6同向旋转，而行星轮工件夹持器4自转方向与齿圈6旋转方向相反，内齿圈6固定，外齿圈7旋转，则行星轮工件夹持器4公转方向和自转方向都与外齿圈7旋转方向相同；在所述龙门架2上设有能与下抛光盘5配合研磨的上抛光盘3，在所述底座1上端面固定设置的龙门架2其固定位置能使上抛光盘3与下抛光盘5的轴心前后方向完全重合，在所述龙门架2上设有能使上抛光盘3垂直上下移动的压下机构200，在所述压下机构200与上抛光盘3连接处设有能使上抛光盘3自动调心的调心机构300，所述调心机构300包括有转动连接在上抛光盘3上的轴承座31，所述轴承座31为U型轴承座，在U型轴承座两侧竖板内装设有调心轴承32，所述调心轴承32的外轴承圈固定连接于轴承座31，所述防旋转型滚珠丝杆升降机12中的滚珠丝杆121的端部设有铰接孔，在铰接孔内上铰接有连接轴33，所述连接轴33与调心轴承32的内轴承圈固定连接，在受力不均匀时，调心轴承32的外轴承圈固定连接的轴承座31可绕滚珠丝杆升降机12中滚珠丝杆121铰接孔内铰接的连接轴33所固定连接的调心轴承32内轴承圈微量偏转调整位置；在所述压下机构200上同时设有能使压下机构200左右移动的调整机构400。

本实用新型所述压下机构200包括有滑动连接在龙门架2横梁20上的滑座10，在所述滑座10上设有燕尾凹槽14，在所述龙门架2的横梁上设有燕尾凸件21，所述燕尾凹槽14滑动连接于燕尾凸件21上，在所述滑座10上端面固定连接有伺服电机11，所述伺服电机11连接有包括伺服驱动控制器在内的闭环控制系统，通过数字控制其速度和位置，所述伺服电机11输出轴端连接有防旋转型滚珠丝杆升降机12的蜗杆，在所述防旋转型滚珠丝杆升降机12上背离伺服电机11的一侧的蜗杆上设置有能精确锁定防旋转型滚珠丝杆升降机12升降位置的电磁制动器13，在所述防旋转型滚珠丝杆升降机12中滚珠丝杆121的端部铰接有调心机构300，所述调心机构300下端面转动连接有上抛光盘3，伺服电机11工作时，电磁制动器13处于打开状态，伺服电机11带动蜗杆转动，蜗杆转动带动丝杆移动，从而驱动上抛光盘3精准位移，伺服电机11停止时，电磁制动器13随即锁死制动锁定位置，蜗杆停止转动，丝杆停止位移。

本实用新型所述调整机构400包括有固定在龙门架2横梁20端部上方的滚珠座18，在所述滚珠座18上设有横向贯穿滚珠座18的丝杠16，所述丝杠16螺纹连接于滚珠座18上，所述丝杠16的端部横向贯穿滚珠座18转动连接在滑座10上，在所述丝杠16背离滑座10的一端固定连接有手轮15，在所述丝杠16上位于手轮15与滚珠座18之间螺纹连接有用于锁定丝杠16移动位置的锁定螺母17，上抛光盘3左右横向移动时，首先松开锁定螺母17，再通过旋转手轮15带动丝杠16转动，因为所述丝杠16通过螺纹连接的滚珠座18固定在龙门架2横梁20的端部，所以通过螺纹旋转拉出或者旋转推进丝杠16，所述丝杆16端部转动连接在滑座10上，所述滑座10上设有燕尾凹槽14滑动连接于龙门架2横梁20上设有的燕尾凸件21，从而左右移动滑座10，进而带动上抛光盘3左右位移，到达指定位移位置后，停止旋转手轮15，锁紧锁定螺母17。

本实用新型在所述底座1的外侧设有拿取行星轮工件夹持器4的拿取装置500，所述拿取装置500包括有固定在底座1外侧能旋转的支座501，在所述支座501上方转动设有支撑柱502，所述支撑柱502可绕支座501做圆周运动，在所述支撑柱502上端铰接有第一支撑臂503，在所述支撑柱502与第一支撑臂503之间设有能用于推动第一支撑臂503摆动的第一气缸510，所述第一气缸510通过伸缩运动带动第一支撑臂503绕支撑柱502上端铰接轴旋转摆动，在所述第一支撑臂503上背离支撑柱502的一端铰接有第二支撑臂504，在所述第一支撑臂503与第二支撑臂504之间设有能用于推动第二支撑臂504摆动的第二气缸520，所述第二气缸520通过伸缩运动带动第二撑臂504绕第一支撑臂503端部铰接轴旋转摆动，在所述第二支撑臂504上背离第一支撑臂503的一端活动连接有支杆505，在所述支杆505下端连接有用于拿取行星轮工件夹持器4的吸盘506，在所述吸盘506上设有能同时拿取多个行星轮工件夹持器4的吸嘴507，所述吸嘴507通过气路软管连接外部的抽离空气的装置或者抽真空机，在所述吸盘506上设有能调整吸嘴507位置的长孔508，在所述吸嘴507上设有螺纹，在螺纹上套设有丝圈509，所述丝圈509套设在位于吸盘506上下侧面吸嘴507中螺纹上，吸嘴507位置调整时，首先松开用于锁定吸嘴507位置的丝圈509，再通过所述吸盘506上设有的长孔508使得吸嘴507能在长孔508中移动，至所需位置，然后锁定丝圈509，完成吸嘴507位置调整，拿取多个行星轮工件夹持器4时，调整第一气缸510与第二气缸520及旋转支撑柱502，使得吸嘴507正对且压在行星轮工件夹持器4上，启用抽离空气的装置或者抽真空机，同时吸拿多个行星轮工件加持器4，在调整第一气缸510与第二气缸520及旋转支撑柱502，至模具放置处，关闭抽离空气的装置或者抽真空机，使行星轮工件加持器4放下。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征以及本实用新型的优点，本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内；本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (8)

1.一种双面抛光机，包括有底座(1)以及固定设置于底座(1)上端面的龙门架(2)，在所述底座(1)上转动设有外齿圈(7)，在所述外齿圈(7)中心轴处固定设有外齿圈驱动轴(91)，在所述底座(1)上位于外齿圈(7)内转动设有下抛光盘(5)，在所述下抛光盘(5)中心轴处固定设有下盘驱动轴(92)，所述下盘驱动轴(92)转动套设在外齿圈驱动轴(91)内侧且与外齿圈驱动轴(91)同轴心，在所述下抛光盘(5)上转动设有与下抛光盘(5)同轴心的内齿圈(6)，所述内齿圈(6)中心轴处固定设有内齿圈驱动轴(93)，所述内齿圈驱动轴(93)转动套设在下盘驱动轴(92)内侧，在所述内齿圈驱动轴(93)内侧转动设有与内齿圈驱动轴(93)同轴心的上盘驱动轴(94)，在所述内齿圈(6)与外齿圈(7)之间啮合有用于放置工件的行星轮工件夹持器(4)，在所述龙门架(2)上设有能与下抛光盘(5)配合研磨的上抛光盘(3)，在所述上抛光盘(3)中心轴处固定设有能与上盘驱动轴(94)卡合连接的连接件(55)，其特征在于：在所述龙门架(2)上设有能使上抛光盘(3)垂直上下移动的压下机构(200)，在所述压下机构(200)与上抛光盘(3)连接处设有能使上抛光盘(3)自动调心的调心机构(300)，在所述压下机构(200)上同时设有能使压下机构(200)左右移动的调整机构(400)，在所述底座(1)上设有能同时驱动下抛光盘(5)、上抛光盘(3)以及与下抛光盘(5)同轴心的外齿圈(7)和内齿圈(6)转动的驱动机构(100)。

2.按照权利要求1所述的双面抛光机，其特征在于：所述压下机构(200)包括有滑动连接在龙门架(2)横梁上的滑座(10)，在所述滑座(10)上设有燕尾凹槽(14)，在所述龙门架(2)的横梁上设有燕尾凸件(21)，所述燕尾凹槽(14)滑动连接于燕尾凸件(21)上，在所述滑座(10)上设置有伺服电机(11)，所述伺服电机(11)输出轴端连接有防旋转型滚珠丝杆升降机(12)，在所述防旋转型滚珠丝杆升降机(12)上背离伺服电机(11)的一侧设置有能精确锁定防旋转型滚珠丝杆升降机(12)升降位置的电磁制动器(13)，在所述防旋转型滚珠丝杆升降机(12)中滚珠丝杆的端部铰接有调心机构(300)，所述调心机构(300)下端面转动连接有上抛光盘(3)。

3.按照权利要求2所述的双面抛光机，其特征在于：所述调整机构(400)包括有固定在龙门架(2)横梁端部上方的滚珠座(18)，在所述滚珠座(18)上设有横向贯穿滚珠座(18)的丝杠(16)，所述丝杠(16)螺纹连接于滚珠座(18)上，所述丝杠(16)的端部横向贯穿滚珠座(18)转动连接在滑座(10)上，在所述丝杠(16)背离滑座(10)的一端固定连接有手轮(15)，在所述丝杠(16)上位于手轮(15)与滚珠座(18)之间螺纹连接有用于锁定丝杠(16)移动位置的锁定螺母(17)。

4.按照权利要求1所述的双面抛光机，其特征在于：所述驱动机构(100)包括有在所述外齿圈驱动轴(91)圆周外壁上固定套设有第一带轮(71)，在所述底座(1)上固定设有用于驱动外齿圈驱动轴(91)从而带动外齿圈(7)旋转的第一电机(103)，在所述第一电机(103)输出轴端上固定连接有第二带轮(72)，所述第二带轮(72) 与第一带轮(71)上套设连接有第一皮带(73)，在所述下盘驱动轴(92)圆周外壁上固定套设有第一齿轮(74)，在所述底座(1)上固定设有用于驱动下盘驱动轴(92)从而带动下抛光盘(5)旋转的第二电机(101)，所述第二电机(101)为双输出电机，所述第二电机(101)上方输出轴端固定连接有用于啮合第一齿轮(74)的第二齿轮(75)，所述第二电机(101)下方输出轴端固定连接有第三带轮(76)，在所述上盘驱动轴(94)圆周外壁上固定套设有第四带轮(77)，所述第四带轮(77)与第三带轮(76)上套设连接有第二皮带(78)，在所述上盘驱动轴(94)上端设置有用于配合连接件(55)的多个竖槽(79)，所述连接件(55)卡合连接在竖槽(79)上，在所述内齿圈驱动轴(93)圆周外壁上固定套设有第五带轮(80)，在所述底座(1)上固定设有用于驱动内齿圈驱动轴(93)从而带动内齿圈(6)旋转的第三电机(102)，在所述第三电机(102)输出轴端固定套设有第六带轮(81)，所述第六带轮(81)与第五带轮(80)上套设连接有第三皮带(82)。

5.按照权利要求2所述的双面抛光机，其特征在于：所述调心机构(300)包括有转动连接在上抛光盘(3)上的轴承座(31)，所述轴承座(31)装设有调心轴承(32)，所述调心轴承(32)的外轴承圈固定连接于轴承座(31)，所述防旋转型滚珠丝杆升降机(12)中的滚珠丝杆上铰接有连接轴(33)，所述连接轴(33)与调心轴承(32)的内轴承圈固定连接。

6.按照权利要求1所述的双面抛光机，其特征在于：在所述底座(1)的外侧设有拿取行星轮工件夹持器(4)的拿取装置(500)。

7.按照权利要求6所述的双面抛光机，其特征在于：所述拿取装置(500)包括有固定在底座(1)外侧能旋转的支座(501)，在所述支座(501)上方转动设有支撑柱(502)，在所述支撑柱(502)上端铰接有第一支撑臂(503)，在所述支撑柱(502)与第一支撑臂(503)之间设有能用于推动第一支撑臂(503)摆动的第一气缸(510)，在所述第一支撑臂(503)上背离支撑柱(502)的一端铰接有第二支撑臂(504)，在所述第一支撑臂(503)与第二支撑臂(504)之间设有能用于推动第二支撑臂(504)摆动的第二气缸(520)，在所述第二支撑臂(504)上背离第一支撑臂(503)的一端活动连接有支杆(505)，在所述支杆(505)下端连接有用于拿取行星轮工件夹持器(4)的吸盘(506)。

8.按照权利要求7所述的双面抛光机，其特征在于：在所述吸盘(506)上设有能同时拿取多个行星轮工件夹持器(4)的吸嘴(507)，在所述吸盘(506)上设有能调整吸嘴(507)位置的长孔(508)。

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