CN210155513U - 一种光刻胶匀胶显影机的供液消泡装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种光刻胶匀胶显影机的供液消泡装置，包括储液罐、缓存罐和消泡罐，所述储液罐通过第一输送管与缓存罐连接，缓存罐内设有过滤腔和缓存腔，缓存腔通过第二输送管与机台上的喷嘴连接，该装置通过定时通过增加对缓存腔液体的输送使上端悬浮的气泡进入过滤腔，缓存腔和过滤器内液位传感器检测液面高度，过滤腔通过消泡罐内真空直接吸入消泡罐内，消泡罐利用真空泵消除气泡并回收利用，该装置减少了气泡的过滤消除并可回收使用，避免使用消泡剂对产品产生影响，第二输送管位于缓存腔的进液口外端包裹有滤筒，能够再次过滤显影液内的气泡。
Description
技术领域
本实用新型涉及光刻胶生产设备技术领域，具体为一种光刻胶匀胶显影机的供液消泡装置。
背景技术
显影液在系统循环喷淋过程中产生一定的泡沫，泡沫达到一定程度就会影响显影的质量，给生产造成不便；因此在工业生产中，常需要人工每隔两小时就添加一定量的消泡剂，以抑制泡沫的产生；但是添加量少时会达不到消泡效果；添加过量时则会出现油斑，并且给厂家造成一定的成本浪费。
实用新型内容
本实用新型所解决的技术问题在于提供一种光刻胶匀胶显影机的供液消泡装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种光刻胶匀胶显影机的供液消泡装置，包括储液罐、缓存罐和消泡罐，所述储液罐通过第一输送管与缓存罐连接，缓存罐内设有过滤腔和缓存腔，缓存腔通过第二输送管与机台上的喷嘴连接；所述缓存腔内液体漫过过滤腔上端进入过滤腔内，使缓存腔上端悬浮的气泡进入过滤腔，过滤腔连通消泡罐，消泡罐上端连通真空泵抽取内部气压使消泡罐内气泡破裂，消泡罐设有回收管连接储液罐回收液体使用。
优选的，所述第二输送管位于缓存腔的进液口外端包裹有滤筒，虑筒均匀分布有虑孔过滤液体中的气泡和大颗粒物质。
优选的，所述第一输送管通过输送泵传输显影液，第一输送管伸入缓存腔液面的下端。
优选的，所述第二输送管设有定量输送显影液的电动计量泵和第一电磁阀。
优选的，所述回收管连接在消泡罐便于过滤掉悬浮气泡，回收管上安装有回收泵和第二电磁阀控制液体输送。
优选的，所述储液罐、缓存罐和消泡罐内设有液位传感器，缓存罐位于缓存腔和过滤腔均设有液位传感器，便于对罐内液体的检测。
优选的，所述过滤腔连通消泡罐的管路上设有第三电磁阀，防止消泡罐内真空对过滤腔产生影响。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该装置通过定时通过增加对缓存腔液体的输送使上端悬浮的气泡进入过滤腔，缓存腔和过滤器内液位传感器检测液面高度，过滤腔通过消泡罐内真空直接吸入消泡罐内，消泡罐利用真空泵消除气泡并回收利用，该装置减少了气泡的过滤消除并可回收使用，避免使用消泡剂对产品产生影响，第二输送管位于缓存腔的进液口外端包裹有滤筒，能够再次过滤显影液内的气泡。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型的实现技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。
如图1所示，
本实施例中，一种光刻胶匀胶显影机的供液消泡装置，包括储液罐1、缓存罐2和消泡罐3，所述储液罐1通过第一输送管11与缓存罐2连接，缓存罐2内设有过滤腔21和缓存腔22，缓存腔22通过第二输送管23与机台24上的喷嘴连接；所述缓存腔22内液体漫过过滤腔21上端进入过滤腔21内，使缓存腔22上端悬浮的气泡进入过滤腔21，过滤腔21连通消泡罐3，消泡罐3上端连通真空泵31抽取内部气压使消泡罐3内气泡破裂，消泡罐3设有回收管32连接储液罐1回收液体使用；具体的，定时通过增加对缓存腔22液体的输送使上端悬浮的气泡进入过滤腔21，并输送进入消泡罐3，消泡罐3利用真空泵31消除气泡并回收利用。
本实施例中，所述第二输送管23位于缓存腔22的进液口外端包裹有滤筒25，虑筒25均匀分布有虑孔过滤液体中的气泡和大颗粒物质。
本实施例中，所述第一输送管11通过输送泵12传输显影液，第一输送管11伸入缓存腔22液面的下端，防止液体滴漏产生气泡。
本实施例中，所述第二输送管23设有定量输送显影液的电动计量泵26和第一电磁阀27，控制显影液的喷洒。
本实施例中，所述回收管32连接在消泡罐3便于过滤掉悬浮气泡，回收管32上安装有回收泵33和第二电磁阀34控制液体输送。
本实施例中，所述储液罐1、缓存罐2和消泡罐3内均设有液位传感器，缓存罐2位于缓存腔22和过滤腔21均设有液位传感器，便于对罐内液体的检测。
本实施例中，所述过滤腔21连通消泡罐3的管路上设有第三电磁阀28，防止消泡罐3内真空对过滤腔21产生影响。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型的要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (7)
1.一种光刻胶匀胶显影机的供液消泡装置，包括储液罐、缓存罐和消泡罐，其特征在于：所述储液罐通过第一输送管与缓存罐连接，缓存罐内设有过滤腔和缓存腔，缓存腔通过第二输送管与机台上的喷嘴连接；所述缓存腔内液体漫过过滤腔上端进入过滤腔内，使缓存腔上端悬浮的气泡进入过滤腔，过滤腔连通消泡罐，消泡罐上端连通真空泵抽取内部气压使消泡罐内气泡破裂，消泡罐设有回收管连接储液罐回收液体使用。
2.根据权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机的供液消泡装置，其特征在于：所述第二输送管位于缓存腔的进液口外端包裹有滤筒，虑筒均匀分布有虑孔过滤液体中的气泡和大颗粒物质。
3.根据权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机的供液消泡装置，其特征在于：所述第一输送管通过输送泵传输显影液，第一输送管伸入缓存腔液面的下端。
4.根据权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机的供液消泡装置，其特征在于：所述第二输送管设有定量输送显影液的电动计量泵和第一电磁阀。
5.根据权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机的供液消泡装置，其特征在于：所述回收管连接在消泡罐便于过滤掉悬浮气泡，回收管上安装有回收泵和第二电磁阀控制液体输送。
6.根据权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机的供液消泡装置，其特征在于：所述储液罐、缓存罐和消泡罐内设有液位传感器，缓存罐位于缓存腔和过滤腔均设有液位传感器。
7.根据权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机的供液消泡装置，其特征在于：所述过滤腔连通消泡罐的管路上设有第三电磁阀。
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