CN210025469U

CN210025469U - 切膜装置

Info

Publication number: CN210025469U
Application number: CN201920342976.5U
Authority: CN
Inventors: 谢军
Original assignee: Luoyang Sowo Precision Machinery Co Ltd
Current assignee: Guangdong Siwo Advanced Equipment Co ltd
Priority date: 2019-03-18
Filing date: 2019-03-18
Publication date: 2020-02-07
Anticipated expiration: 2029-03-18

Abstract

本实用新型公开了一种切膜装置，包括切割台、切割组件、以及用于带动切割组件移动的移动驱动组件；切割台的中部设有真空吸盘，切割台开设有至少一个圆形的切割让位槽；切割组件包括与移动驱动组件的输出端相连的切割固定台、切刀组件、以及设于切割固定台且用于驱动切刀组件完成切割动作的切割驱动组件。附着于带状干膜的晶圆随着干膜带的移动并到达切割台的正上方时，切割台上的真空吸盘将晶圆吸住定位，移动驱动组件将切割组件带动至晶圆的正上方，切割驱动组件带动切刀组件沿着晶圆的边界对干膜进行切割，使得晶圆与干膜带整体分离，进而获得贴覆有干膜的成品晶圆。

Description

切膜装置

技术领域

本实用新型涉及切割设备领域，尤其涉及一种切膜装置。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。

晶圆等产品的生产过程中，需要对成品进行贴膜处理，晶圆先与带状的干膜粘接贴合，为了获得成品晶圆，需要沿晶圆的边缘对干膜进行切割，使得晶圆与干膜带分离。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种切膜装置，旨在解决现有技术中，晶圆等产品贴膜过程中，需要将晶圆与干膜带分离的问题。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

切膜装置，包括切割台、切割组件、以及用于带动所述切割组件移动的移动驱动组件；所述切割台的中部设有真空吸盘，所述切割台开设有至少一个圆形的切割让位槽；所述切割组件包括与所述移动驱动组件的输出端相连的切割固定台、切刀组件、以及设于所述切割固定台且用于驱动所述切刀组件完成切割动作的切割驱动组件。

进一步地，所述移动驱动组件包括支撑台、设于所述支撑台的水平驱动模组、以及与所述水平驱动模组的输出端相连的竖直驱动模组；所述切割固定台与所述竖直驱动模组的输出端相连。

进一步地，所述水平驱动模组包括设于所述支撑台的水平电机、与所述水平电机的输出轴相连的水平丝杠轴、套设于所述水平丝杠轴的外部的水平丝杠螺母、以及与所述水平丝杠螺母相连的水平移动板；所述竖直驱动模组包括设于所述水平移动板的竖直电机、与所述竖直电机的输出轴相连的竖直丝杠轴、套设于所述竖直丝杠轴的外部的竖直丝杠螺母、以及与所述竖直丝杠螺母相连的竖直移动板，所述切割固定台与所述竖直移动板相连。

进一步地，所述切割组件还包括设于所述切割驱动组件与所述切刀组件之间的安装板，所述切刀组件与所述安装板转动连接；所述切割组件还包括用于驱动所述切刀组件相对所述安装板转动以使所述切刀组件与待切产品的边界抵接的破膜驱动组件。

进一步地，所述切刀组件包括与所述安装板转动连接的刀座、以及固定安装于所述刀座的刀具；所述破膜驱动组件包括与所述刀座转动连接的转动块、以及活动端与所述转动块相连的驱动气缸；所述驱动气缸的固定端与所述安装板转动连接。

进一步地，所述刀座上设有第一转动座；所述转动块与所述第一转动座转动连接；安装板上设有第二转动座；所述驱动气缸的固定端与所述第二转动座转动连接。

进一步地，所述切割让位槽的侧壁开设有下刀避让缺口。

进一步地，所述切割驱动组件与所述安装板之间设有连接板，所述连接板开设有连接通孔，所述安装板于长度方向开设有若干螺纹孔；所述连接板与所述安装板之间设有连接螺钉，所述连接螺钉贯穿所述连接通孔并与所述螺纹孔螺纹连接。

进一步地，所述切割让位槽的数量为多个，各个所述切割让位槽的圆心相同。

进一步地，所述连接板开设有滑动槽，所述安装板设有位于所述滑动槽内的滑动凸起。

本实用新型的有益效果：附着于带状干膜的晶圆随着干膜带的移动并到达切割台的正上方时，切割台上的真空吸盘将晶圆吸住定位，移动驱动组件将切割组件带动至晶圆的正上方，切割驱动组件带动切刀组件沿着晶圆的边界对干膜进行切割，使得晶圆与干膜带整体分离，进而获得贴覆有干膜的成品晶圆。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的实施例中切膜装置的结构示意图；

图2为本实用新型的实施例中切割组件的结构示意图；

图3为本实用新型的实施例中切割台的结构示意图；

图中：

1、切割台；11、切割让位槽；12、下刀避让缺口；2、切割组件；21、切割固定台；22、切刀组件；221、刀座；2211、第一转动座；222、刀具；23、切割驱动组件；24、安装板；241、第二转动座；25、破膜驱动组件；251、转动块；252、驱动气缸；26、连接板；3、移动驱动组件；31、支撑台；32、水平驱动模组；321、水平电机；33、竖直驱动模组；331、竖直电机。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

以下结合具体实施例对本实用新型的实现进行详细的描述。

如图1-图3所示，本实用新型实施例提出了一种切膜装置，包括切割台1、切割组件2、以及用于带动切割组件2移动的移动驱动组件3；切割台1的中部设有真空吸盘，切割台1开设有至少一个圆形的切割让位槽11；切割组件2包括与移动驱动组件3的输出端相连的切割固定台21、切刀组件22、以及设于切割固定台21且用于驱动切刀组件22完成切割动作的切割驱动组件23(可为电机等具有带动切刀组件22完成轨迹为圆形的切割动作的驱动机构)。

在本实用新型的实施例中，当附着于带状干膜的晶圆随着干膜带的移动并到达切割台1的正上方时，切割台1上的真空吸盘将晶圆吸住定位，移动驱动组件3将切割组件2带动至晶圆的正上方，切割驱动组件23带动切刀组件22沿着晶圆的边界对干膜进行切割，使得晶圆与干膜带整体分离，进而获得贴覆有干膜的成品晶圆。真空吸盘可稳定的将晶圆吸附固定，且对晶圆进行固定时晶圆表面不会受到损坏，切割让位槽11以供切刀组件22完成切割动作时的通过，避免刀具222对切割台1的损坏或者切割台1对刀具222的损坏。

进一步地，请参阅图1，作为本实用新型提供的切膜装置的另一种具体实施方式，移动驱动组件3包括支撑台31、设于支撑台31的水平驱动模组32、以及与水平驱动模组32的输出端相连的竖直驱动模组33；切割固定台21与竖直驱动模组33的输出端相连。竖直驱动模组33用于带动切割固定台21沿竖直方向的上下运动，水平驱动模组32用于带动竖直驱动模组33于水平面内做前后运动，因此将支撑台31固定于与切割台1的中心共线的位置，即可通过竖直驱动模组33与水平驱动模组32的配合带动设置在切割固定台21上的切割驱动组件23及切刀组件22运动至切割台1的中部位置，以实现对晶圆边缘额干膜进行切割。

进一步地，请参阅图1，作为本实用新型提供的切膜装置的另一种具体实施方式，水平驱动模组32包括设于支撑台31的水平电机321、与水平电机321的输出轴相连的水平丝杠轴、套设于水平丝杠轴的外部的水平丝杠螺母、以及与水平丝杠螺母相连的水平移动板；竖直驱动模组33包括设于水平移动板的竖直电机331、与竖直电机331的输出轴相连的竖直丝杠轴、套设于竖直丝杠轴的外部的竖直丝杠螺母、以及与竖直丝杠螺母相连的竖直移动板，切割固定台21与竖直移动板相连。水平驱动模组32为由水平电机321带动水平丝杠轴与水平丝杠螺母组成的丝杠副带动水平移动板移动，水平驱动模组32还包括现有技术中丝杠副工作必备的轴承等部件；竖直驱动模组33为由竖直电机331带动竖直丝杠轴与竖直丝杠螺母组成的丝杠副带动竖直移动板移动，竖直驱动模组33还包括现有技术中丝杠副工作必备的轴承等部件。

进一步地，请参阅图2，作为本实用新型提供的切膜装置的另一种具体实施方式，切割组件2还包括设于切割驱动组件23与切刀组件22之间的安装板24，切刀组件22与安装板24转动连接；切割组件2还包括用于驱动切刀组件22相对安装板24转动以使切刀组件22与待切产品的边界抵接的破膜驱动组件25。切割组件2在初始状态下，切刀组件22向远离待切割产品(为对待切割产品上的干膜进行切割)的方向倾斜，且切刀组件22位于干膜的上方且间隙较小；破膜驱动组件25带动切刀组件22向靠近待切割产品的方向转动，切刀组件22转动过程具有水平及竖直方向的两个分运动，竖直分运动使得切刀组件22将干膜切破并使得切刀组件22的端部低于待切割产品，水平分运动使得切刀组件22向靠近待切割产品的方向运动直至与晶圆的边界抵接；因此可实现切刀组件22在低于低于待切割产品后再与待切割产品的边界抵接，不会对待切割产品造成损坏。相对于切刀组件22直接从竖直方向向下运动将干膜切破并与待切割产品的边界抵接的方式，能避免切刀组件22直接从竖直方向向下运动时将待切割产品损坏。安装板24可通过连接板26与切割驱动组件23的输出端相连。

进一步地，请参阅图2，作为本实用新型提供的切膜装置的另一种具体实施方式，切刀组件22包括与安装板24转动连接的刀座221、以及固定安装于刀座221的刀具222；破膜驱动组件25包括与刀座221转动连接的转动块251、以及活动端与转动块251相连的驱动气缸252；驱动气缸252的固定端与安装板24转动连接。刀座221相对安装板24转动时带动刀具222转动。切刀组件22也可为切刀直接与安装板24转动连接。刀具222上设有倾斜的刀刃，刀具222上设有与刀座221相连多个安装位置，以实现刀具222伸出刀座221的长度的调节。破膜驱动组件25带动切刀组件22转动的过程为：驱动气缸252的活动端的伸缩过程带动转动块251的运动，转动块251运动过程中带动切刀组件22转动。

进一步地，请参阅图2，作为本实用新型提供的切膜装置的另一种具体实施方式，刀座221上设有第一转动座2211；转动块251与第一转动座2211转动连接；安装板24上设有第二转动座241；驱动气缸252的固定端与第二转动座241转动连接。第一转动座2211可为相对且间隔设置的两块导向板，转动块251与第一转动座2211的导向板之间可设置转轴以实现转动连接。第二转动座241可为相对且间隔设置的两块导向板，驱动气缸252的固定端与第二转动座241的导向板之间可设置转轴以实现转动连接。

进一步地，请参阅图3，作为本实用新型提供的切膜装置的另一种具体实施方式，切割让位槽11的侧壁开设有下刀避让缺口12。破膜驱动组件25带动切刀组件22向靠近晶圆的方向转动并实现刀具222低于晶圆上表面的过程中，刀具222通过下刀避让缺口12进入切割让位槽11内。

进一步地，请参阅图2，作为本实用新型提供的切膜装置的另一种具体实施方式，切割驱动组件23与安装板24之间设有连接板26，连接板26开设有连接通孔，安装板24于长度方向开设有若干螺纹孔；连接板26与安装板24之间设有连接螺钉，连接螺钉贯穿连接通孔并与螺纹孔螺纹连接。连接板26开设有连接通孔，安装板24于长度方向开设有若干螺纹孔；连接板26与安装板24之间设有连接螺钉，可调节安装板24伸出于连接板26的长度，进而调节设置在安装板24上的切刀组件22随着安装板24做圆周切割运动时，圆周的半径可调节，以适应不同尺寸的产品。

进一步地，请参阅图3，作为本实用新型提供的切膜装置的另一种具体实施方式，切割让位槽11的数量为多个，各个切割让位槽11的圆心相同，因此不同尺寸的产品可放置于切割台1时，只需调节安装板24伸出于连接板26的长度，无需移动切刀组件22整体的位置。

进一步地，请参阅图2，作为本实用新型提供的切膜装置的另一种具体实施方式，连接板26开设有滑动槽，安装板24设有位于滑动槽内的滑动凸起。调节安装板24伸出于连接板26的长度时，可操作安装板24沿着连接板26滑动至预设长度，再用连接螺钉锁紧，操作便捷。

需要声明的是，另一种具体实施方式中的方案可为在其他实施例的基础上进一步改进的实施方案。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims

1.切膜装置，其特征在于，包括切割台、切割组件、以及用于带动所述切割组件移动的移动驱动组件；所述切割台的中部设有真空吸盘，所述切割台开设有至少一个圆形的切割让位槽；所述切割组件包括与所述移动驱动组件的输出端相连的切割固定台、切刀组件、以及设于所述切割固定台且用于驱动所述切刀组件完成切割动作的切割驱动组件。

2.根据权利要求1所述的切膜装置，其特征在于，所述移动驱动组件包括支撑台、设于所述支撑台的水平驱动模组、以及与所述水平驱动模组的输出端相连的竖直驱动模组；所述切割固定台与所述竖直驱动模组的输出端相连。

3.根据权利要求2所述的切膜装置，其特征在于，所述水平驱动模组包括设于所述支撑台的水平电机、与所述水平电机的输出轴相连的水平丝杠轴、套设于所述水平丝杠轴的外部的水平丝杠螺母、以及与所述水平丝杠螺母相连的水平移动板；所述竖直驱动模组包括设于所述水平移动板的竖直电机、与所述竖直电机的输出轴相连的竖直丝杠轴、套设于所述竖直丝杠轴的外部的竖直丝杠螺母、以及与所述竖直丝杠螺母相连的竖直移动板，所述切割固定台与所述竖直移动板相连。

4.根据权利要求1所述的切膜装置，其特征在于，所述切割组件还包括设于所述切割驱动组件与所述切刀组件之间的安装板，所述切刀组件与所述安装板转动连接；所述切割组件还包括用于驱动所述切刀组件相对所述安装板转动的破膜驱动组件。

5.根据权利要求4所述的切膜装置，其特征在于，所述切刀组件包括与所述安装板转动连接的刀座、以及固定安装于所述刀座的刀具；所述破膜驱动组件包括与所述刀座转动连接的转动块、以及活动端与所述转动块相连的驱动气缸；所述驱动气缸的固定端与所述安装板转动连接。

6.根据权利要求5所述的切膜装置，其特征在于，所述刀座上设有第一转动座；所述转动块与所述第一转动座转动连接；所述安装板上设有第二转动座；所述驱动气缸的固定端与所述第二转动座转动连接。

7.根据权利要求4所述的切膜装置，其特征在于，所述切割让位槽的侧壁开设有下刀避让缺口。

8.根据权利要求4所述的切膜装置，其特征在于，所述切割驱动组件与所述安装板之间设有连接板，所述连接板开设有连接通孔，所述安装板于长度方向开设有若干螺纹孔；所述连接板与所述安装板之间设有连接螺钉，所述连接螺钉贯穿所述连接通孔并与所述螺纹孔螺纹连接。

9.根据权利要求8所述的切膜装置，其特征在于，所述切割让位槽的数量为多个，各个所述切割让位槽的圆心相同。

10.根据权利要求8所述的切膜装置，其特征在于，所述连接板开设有滑动槽，所述安装板设有位于所述滑动槽内的滑动凸起。