CN209144304U - 一种新型管道疏通装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种新型管道疏通装置，其包括排气管道、与所述排气管道相连的抽气管道和设于所述排气管道内的叶轮，所述排气管道包括排气横管和排气竖管，所述排气横管一端为排气管道进气口，另一端设有与所述排气横管同轴的所述叶轮，所述排气竖管开口端为排气管道出气口；所述抽气管道包括抽气竖管和抽气横管，所述抽气竖管一端为抽气管道进气口，与所述排气管道出气口相连，另一端设有抽气管道清洁口，所述抽气管道清洁口上设有清洁口端盖，所述抽气横管开口端连接有真空泵；所述叶轮通过联轴器一与减速机相连，所述减速机通过联轴器二与伺服电机相连。

Description

一种新型管道疏通装置

技术领域

本实用新型涉及单晶炉排气装置，尤其涉及一种新型管道疏通装置。

背景技术

硅单晶片是一种重要的半导体材料，生产硅单晶片首先要通过单晶炉生产硅单晶棒，再通过切片等后续工序加工出硅单晶片产品。直拉型硅单晶炉在生产单晶过程中，会产生大量的挥发物，挥发物通过炉体底部的排气管道进入抽气管道，再由真空泵自抽气管道抽走排出。随着多棒工艺的推广，对单晶炉内的环境要求更加严格，拉晶周期的增加使排气筒极易堵塞，硅原料因高温而挥发出来的硅氧化物和杂志在排气孔处随温度的降低而快速凝结，拉晶周期的延长形成凝结物最终将排气孔堵塞或半堵塞，使排气不畅，大量挥发物无法及时排出，制约了多棒工艺的推广应用，如何保证拉晶过程中排气筒通畅，是推广多棒工艺首先要解决的问题。本实用新型提供了一种结构精简、运行安全、免维护、自动运行的新型管道疏通装置。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种结构精简、运行安全、免维护、自动运行的新型管道疏通装置。

为解决上述问题，本实用新型所采取的技术方案是：

一种新型管道疏通装置，其包括排气管道、与所述排气管道相连的抽气管道和设于所述排气管道内的叶轮，所述排气管道包括排气横管和排气竖管，所述排气竖管与所述排气横管中部连通呈“T”字形结构，所述排气横管一端为排气管道进气口，所述排气管道进气口与单晶炉的排气口连接，另一端设有与所述排气横管同轴的所述叶轮，所述排气竖管开口端为排气管道出气口；

所述抽气管道包括抽气竖管和抽气横管，所述抽气横管与抽气竖管中部连通呈“T”字型结构，所述抽气竖管一端为抽气管道进气口，与所述排气管道出气口相连，另一端设有抽气管道清洁口，所述抽气管道清洁口上设有清洁口端盖，所述抽气横管开口端连接有真空泵；

所述叶轮通过联轴器一与减速机相连，所述减速机通过联轴器二与伺服电机相连。

作为本实用新型的进一步改进，所述排气横管的一端设置有磁流体密封装置，所述叶轮的转轴通过所述磁流体密封装置与所述联轴器一相连。

作为本实用新型的进一步改进，所述磁流体密封装置上固定设置有减速机固定架，所述减速机设于所述减速机固定架上。

作为本实用新型的进一步改进，所述抽气管道清洁口从上到下向外倾斜设置，所述清洁口端盖上端通过铰接装置铰接在所述抽气管道清洁口上端。

作为本实用新型的进一步改进，所述排气横管上设有进风管道，所述进风管道上设有进风管道端盖。

作为本实用新型的进一步改进，所述叶轮上的叶片为螺旋叶片。

作为本实用新型的进一步改进，所述排气管道的管壁内部设有用于通入循环水的夹套。

作为本实用新型的进一步改进，单晶炉内设有气体压力计，所述气体压力计和伺服电机分别与控制器相连。

采用上述技术方案所产生的有益效果在于：

本实用新型所提供的一种新型管道疏通装置，通过所述气体压力计和控制器监测单晶炉内压力值，自动判断排气管道是否堵塞，在单晶炉内压力不断升高时，所述控制器控制伺服电机自行运行，驱动叶轮转动，把排气管道的凝结物破碎，随抽气管道排出，当炉内压力值恢复正常值后，伺服电机停止工作，实现了管道疏通的自动化，能在排气管道堵塞前及时进行处理；所述叶轮通过磁流体密封装置与联轴器一相连，实现了全程密封，不破坏炉体的密封环境，有利于单晶炉安全可靠的运行；所述抽气管道清洁口从上到下向外倾斜，清洁口端盖在重力作用下盖在所述抽气管道清洁口上，方便打开和关闭，单晶炉停止工作后，可通过所述抽气管道清洁口对排气竖管和抽气竖管内壁的凝结物进行人工破碎并通过抽气管道抽出。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型的左视结构示意图。

图3是本实用新型的俯视结构示意图。

其中：1伺服电机、2减速机、3联轴器一、4减速机固定架、5磁流体密封装置、6排气横管、61排气管道进气口、7叶轮、8进风管道、9进风管道端盖、10排气竖管、101排气管道出气口、11抽气竖管、12抽气横管、13抽气管道进气口、14抽气管道清洁口、15抽气管道出气口、16清洁口端盖、17铰接装置。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图和具体实施例对实用新型进行清楚、完整的描述。

如图1-3所示的一种新型管道疏通装置，其包括排气管道、与所述排气管道相连的抽气管道和设于所述排气管道内的叶轮7，所述排气管道包括排气横管6和排气竖管10，所述排气竖管10与所述排气横管6中部连通呈“T”字形结构，所述排气横管6一端为排气管道进气口61，所述排气管道进气口61与单晶炉的排气口连接，另一端设有与所述排气横管6同轴的所述叶轮7，所述排气竖管10开口端为排气管道出气口101。所述排气管道的管壁内部设有用于通入循环水的夹套，对排气管道进行降温，在排气管道上设有注水孔和出水孔。

所述叶轮7通过联轴器一3与减速机2相连，所述减速机2通过联轴器二与伺服电机1相连。所述排气横管6的一端设置有磁流体密封装置5，所述叶轮7的转轴通过磁流体密封装置5与所述联轴器一3相连。所述磁流体密封装置5上固定设置有减速机固定架4，所述减速机2设于所述减速机固定架4上。通过所述磁流体密封装置5进行连接，实现了全程密封，不破坏炉体的密封环境，有利于单晶炉安全可靠的运行。所述叶轮7上的叶片采用钼材质，为螺旋叶片，使气流在排气管道内形成旋转气流，增加气体流通速度，避免叶片对排出气体形成内阻力，且叶片上的凝结物会在自身旋转的离心力和抽风作用下被带走。

所述抽气管道包括抽气竖管11和抽气横管12，所述抽气横管12与抽气竖管11中部连通呈“T”字型结构，所述抽气竖管11一端为抽气管道进气口13，与所述排气管道出气口101相连，另一端设有抽气管道清洁口14，所述抽气管道清洁口14上设有清洁口端盖16，所述抽气横管12开口端连接有真空泵。所述抽气管道清洁口14从上到下向外倾斜设置，所述清洁口端盖16上端通过铰接装置17铰接在所述抽气管道清洁口14上端，所述清洁口端盖16在重力作用下盖在所述抽气管道清洁口14上，方便打开和关闭。所述排气横管6上设有进风管道8，所述进风管道8上螺接有进风管道端盖9。真空泵工作时，抽风管道内存在负压，所述清洁口端盖16不会自行打开，当单晶炉停止工作后，可通过所述抽气管道清洁口14对排气竖管10和抽气竖管11内壁的凝结物进行人工破碎并通过所述抽气管道抽出，此时风从所述进风管道8进入，携带破碎后的凝结物从所述抽气管道出气口15排出。

单晶炉内设有气体压力计，所述气体压力计和伺服电机1分别与控制器相连。通过所述气体压力计和控制器监测单晶炉内压力值，自动判断排气管道是否堵塞，在单晶炉内压力不断升高时，所述控制器控制伺服电机1自行运行，驱动所述叶轮7转动，把排气管道的凝结物破碎，随抽气管道排出，当炉内压力值恢复正常值后，伺服电机1停止工作，实现了管道疏通的自动化。

具体工作过程：

气体压力计对单晶炉内的压力进行实时监测，当炉内压力超出设定值时，控制器向伺服电机1发动运行指令，所述伺服电机1带动所述叶轮7转动，对所述排气横管6内的凝结物进行破碎，破碎后的凝结物在真空泵作用下从所述抽气管道排出，当炉内压力值恢复正常时，控制器控制所述伺服电机1停止运行。

当单晶炉不工作时可对排气竖管10和抽气竖管11内的凝结物进行清理，打开所述清洁口端盖16，对排气竖管10和抽气竖管11内壁的凝结物进行人工破碎，打开所述进风管道8上的进风管道端盖9，打开真空泵对破碎后的凝结物进行抽出。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型实施例技术方案的精神和范围。

Claims (8)

1.一种新型管道疏通装置，其特征在于，其包括排气管道、与所述排气管道相连的抽气管道和设于所述排气管道内的叶轮（7），所述排气管道包括排气横管（6）和排气竖管（10），所述排气竖管（10）与所述排气横管（6）中部连通呈“T”字形结构，所述排气横管（6）一端为排气管道进气口（61），所述排气管道进气口（61）与单晶炉的排气口连接，另一端设有与所述排气横管（6）同轴的所述叶轮（7），所述排气竖管（10）开口端为排气管道出气口（101）；

所述抽气管道包括抽气竖管（11）和抽气横管（12），所述抽气横管（12）与抽气竖管（11）中部连通呈“T”字型结构，所述抽气竖管（11）一端为抽气管道进气口（13），与所述排气管道出气口（101）相连，另一端设有抽气管道清洁口（14），所述抽气管道清洁口（14）上设有清洁口端盖（16），所述抽气横管（12）开口端连接有真空泵；

所述叶轮（7）通过联轴器一（3）与减速机（2）相连，所述减速机（2）通过联轴器二与伺服电机（1）相连。

2.根据权利要求1所述的一种新型管道疏通装置，其特征在于，所述排气横管（6）的一端设置有磁流体密封装置（5），所述叶轮（7）的转轴通过所述磁流体密封装置（5）与所述联轴器一（3）相连。

3.根据权利要求2所述的一种新型管道疏通装置，其特征在于，所述磁流体密封装置（5）上固定设置有减速机固定架（4），所述减速机（2）设于所述减速机固定架（4）上。

4.根据权利要求1所述的一种新型管道疏通装置，其特征在于，所述抽气管道清洁口（14）从上到下向外倾斜设置，所述清洁口端盖（16）上端通过铰接装置（17）铰接在所述抽气管道清洁口（14）上端。

5.根据权利要求1所述的一种新型管道疏通装置，其特征在于，所述排气横管（6）上设有进风管道（8），所述进风管道（8）上设有进风管道端盖（9）。

6.根据权利要求1所述的一种新型管道疏通装置，其特征在于，所述叶轮（7）上的叶片为螺旋叶片。

7.根据权利要求1所述的一种新型管道疏通装置，其特征在于，所述排气管道的管壁内部设有用于通入循环水的夹套。

8.根据权利要求1所述的一种新型管道疏通装置，其特征在于，单晶炉内设有气体压力计，所述气体压力计和伺服电机（1）分别与控制器相连。