CN208005428U - 一种带流体压力测试功能的不锈钢cmp装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种带流体压力测试功能的不锈钢CMP装置，涉及化学机械抛光技术领域，它包括抛光辊电机、抛光辊、矩形抛光液喷头、电机支撑板、轨道、中空抛光带、液压升降装置、丝杠、联轴器、丝杠电机、流体压力传感器；本实用新型可以实时测试不锈钢带不同位置的流体压力，同时也可以单独测试不同抛光压力下、不同抛光速度以及不同流量抛光液等情况下的流体压力，抛光液输送装置采用矩形双侧喷头，保证两侧的抛光辊上的抛光液进给量相同，提高了抛光的效率，从节省空间的方面考虑，抛光机机架采用立式机架，空间利用率高，同时保证了抛光质量，大大降低加工成本，以满足人们的基本要求，具有很好的实用价值。
Description
技术领域
本实用新型涉及化学机械抛光，特别是一种带流体压力测试功能的不锈钢CMP装置。
背景技术
目前，在我们国家，随着智能时代的到来，智能手机，平板，液晶电视等电子显示设备随处可见，作为显示器柔性衬底材料的不锈钢对表面的粗糙度和平整度要求越来越高。化学机械抛光作为抛光不锈钢表面的一种方式，抛光过程中存在的流体压力对抛光的材料去除率以及工件的表面粗糙度影响较大，流体压力过大或者过小都会降低抛光质量。
发明内容
本实用新型的目的是要提供一种带流体压力测试功能的不锈钢CMP装置。
为达到上述目的，本实用新型是按照以下技术方案实施的：一种带流体压力测试功能的不锈钢CMP装置，包括机架，所述机架的底板上固定设置有两个平行的轨道，所述轨道上部设置有丝杠，所述丝杠的一端通过联轴器连接有丝杠电机，所述丝杠的另一端通过轴承安装在轴承底座上，所述轴承底座固定在所述机架的底板上，所述丝杠电机固定在所述机架的底板上，所述丝杠贯穿的连接有滑块，所述滑块可移动的连接在所述轨道上，所述滑块上部固定安装有液压升降装置，所述液压升降装置上部固定连接有抛光带，所述抛光带上安装有多个流体压力传感器，所述机架的两个侧壁之间有两个抛光辊，所述的两个抛光辊逆时针运转，所述的两个抛光辊通过固定在所述机架侧壁的抛光辊电机驱动，所述抛光辊电机固定在所述机架的侧壁外部，所述的两个抛光辊设置在所述抛光带的上部，所述的两个抛光辊之间滑动连接有抛光液喷头，所述抛光液喷头通过支撑架固定在所述机架的侧壁上。
进一步的，所述的抛光带为中空抛光带。
进一步的，所述的中空抛光带为不锈钢带。
进一步的，所述的抛光辊电机是通过三角形的电机支撑板固定在机架侧壁外部。
进一步的，所述的抛光液喷头为矩形双侧喷头。
进一步的，所述的液压升降装置通过螺栓或石蜡固定在所述的滑块上。
与现有技术相比，本实用新型的一种带流体压力测试功能的不锈钢CMP装置，结构设计合理，安装使用便捷，抛光带上设置有流体压力传感器，可以实时测试不锈钢带不同位置的流体压力，同时也可以单独测试不同抛光压力下、不同抛光速度以及不同流量抛光液等情况下的流体压力，液压升降装置根据不同的流体压力调节上下升降的高度，以达到抛光质量更高的产品，抛光液输送装置采用矩形双侧喷头，保证两侧的抛光辊上的抛光液进给量相同，提高了抛光的效率，从节省空间的方面考虑，抛光机机架采用立式机架，空间利用率高，同时保证了抛光质量，大大降低加工成本，以满足人们的基本要求，具有很好的实用价值。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
附图标记：1、抛光辊电机；2、抛光辊；3、矩形抛光液喷头；4、电机支撑板；5、轨道；6、中空抛光带；7、液压升降装置；8、丝杠；9、联轴器；10、丝杠电机；11、机架；12、滑块。
具体实施方式
下面结合附图以及具体实施例对本实用新型作进一步描述，在此实用新型的示意性实施例以及说明用来解释本实用新型，但并不作为对本实用新型的限定。
如图1所示的一种带流体压力测试功能的不锈钢CMP装置，包括机架11，所述机架11的底板上固定设置有两个平行的轨道5，所述轨道5上部设置有丝杠8，所述丝杠8的一端通过联轴器9连接有丝杠电机10，所述丝杠8的另一端通过轴承安装在轴承底座上，所述轴承底座固定在所述机架11的底板上，所述丝杠电机10固定在所述机架11的底板上，所述丝杠8贯穿的连接有滑块12，所述滑块12可移动的连接在所述轨道5上，所述滑块12上部固定安装有液压升降装置7，所述液压升降装置7上部固定连接有中空抛光带6，所述中空抛光带6上安装有多个流体压力传感器，所述机架11的两个侧壁之间有两个抛光辊2，所述的两个抛光辊2逆时针运转，所述的两个抛光辊2通过固定在所述机架11侧壁的抛光辊电机1驱动，所述的抛光辊电机1是通过三角形的电机支撑板固定在机架11的侧壁外部，所述的两个抛光辊2设置在所述抛光带6的上部，所述的两个抛光辊2之间滑动连接有抛光液喷头3，所述抛光液喷头3通过支撑架固定在所述机架11的侧壁上。
本实用新型的原理：本实用新型是针对304不锈钢Roll-to-Roll化学机械抛光设计的，该装置传动部分主要包括丝杠传动和液压传动，该装置的的具体工作原理如下，该装置的丝杠传动就是线性模组结构，通过丝杠8的转动来带动与丝杠8配合的滑块12做平移运动；设计时考虑到运动的平稳性，采用两套线性模组进行组合使用；把液压升降装置7固定在线性模组的滑块12上，将304不锈钢带用石蜡黏粘或者其他固定方式固定在液压升降装置7上。该装置工作时，安装在机架11侧壁外部的的抛光辊电机1以一定的速度带动抛光辊2进行转动，丝杠8带动滑块把不锈钢带平移运送到抛光辊2的正下方，然后由液压升降装置7负责将不锈钢带升到与抛光辊2接触进行抛光，然后通过液压升降装置7对钢带施加不同的抛光压力，矩形抛光液喷头3定时向抛光辊2喷洒抛光液，保证抛光工作的正常运行；不锈钢带上不同位置都布置有流体压力传感器，可以实时测试不锈钢带不同位置的流体压力，同时也可以单独测试不同抛光压力下、不同抛光速度以及不同流量抛光液等情况下的流体压力；考虑到为抛光辊2转动提供动力的抛光辊电机1不能悬在半空中，抛光辊电机1虽然自身重量不大，但悬在空中使抛光机总体受力不均匀，影响抛光的正常进行，于是设计了一种三角形的支撑板，利用三角形的稳定性把抛光辊电机1固定。
本实用新型的技术方案不限于上述具体实施例的限制，凡是根据本实用新型的技术方案做出的技术变形，均落入本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种带流体压力测试功能的不锈钢CMP装置，包括机架，其特征在于：所述机架的底板上固定设置有两个平行的轨道，所述轨道上部设置有丝杠，所述丝杠的一端通过联轴器连接有丝杠电机，所述丝杠的另一端通过轴承安装在轴承底座上，所述轴承底座固定在所述机架的底板上，所述丝杠电机固定在所述机架的底板上，所述丝杠贯穿的连接有滑块，所述滑块可移动的连接在所述轨道上，所述滑块上部固定安装有液压升降装置，所述液压升降装置上部固定连接有抛光带，所述抛光带上安装有多个流体压力传感器，所述机架的两个侧壁之间有两个抛光辊，所述的两个抛光辊逆时针运转，所述的两个抛光辊通过固定在所述机架侧壁的抛光辊电机驱动，所述抛光辊电机固定在所述机架的侧壁外部，所述的两个抛光辊设置在所述抛光带的上部，所述的两个抛光辊之间滑动连接有抛光液喷头，所述抛光液喷头通过支撑架固定在所述机架的侧壁上。
2.根据权利要求1所述的一种带流体压力测试功能的不锈钢CMP装置，其特征在于：所述的抛光带为中空抛光带。
3.根据权利要求2所述的一种带流体压力测试功能的不锈钢CMP装置，其特征在于：所述的中空抛光带为不锈钢带。
4.根据权利要求1所述的一种带流体压力测试功能的不锈钢CMP装置，其特征在于：所述的抛光辊电机是通过三角形的电机支撑板固定在机架侧壁外部。
5.根据权利要求1所述的一种带流体压力测试功能的不锈钢CMP装置，其特征在于：所述的抛光液喷头为矩形双侧喷头。
6.根据权利要求1所述的一种带流体压力测试功能的不锈钢CMP装置，其特征在于：所述的液压升降装置通过螺栓或石蜡固定在所述的滑块上。
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